DE543992C - Einrichtung zur Entlueftung von Vakuumgefaessen, welche mit einem Vorvakuum zusammenwirkt - Google Patents

Einrichtung zur Entlueftung von Vakuumgefaessen, welche mit einem Vorvakuum zusammenwirkt

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DE543992C
DE543992C DEZ17737D DEZ0017737D DE543992C DE 543992 C DE543992 C DE 543992C DE Z17737 D DEZ17737 D DE Z17737D DE Z0017737 D DEZ0017737 D DE Z0017737D DE 543992 C DE543992 C DE 543992C
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/12Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps

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  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Entlüftung von Vakuumgefäßen, welche mit einem Vorvakuum zusammenwirkt. Es sind bereits Entlüftungseinrichtungen bekannt, bei welchen die zu entfernenden Gase in einem elektrischen Felde ionisiert werden und unter dessen Einwirkung die so erzeugten Ionen aus dem zu entlüftenden Räume herausfliegen. Allerdings ist bei diesen bekannten Einrichtungen die Wirkung des elektrischen Feldes dadurch beeinträchtigt, daß die ionisierten Teilchen mit anderen, neutralen, dauernd zusammenstoßen und dadurch ihre Geschwindigkeit allmählich ver-Heren, ohne einen leeren Platz für die anderen Teilchen zu lassen, so daß eine Häufung von ionisierten Teilchen nicht stattfinden kann.
Um eine solche Häufung zu bewirken, wird gemäß vorliegender Erfindung eine weitere zusätzliche Kraft durch die Einwirkung eines besonderen zusätzlichen magnetischen Feldes hervorgerufen, welches auf die Ionen zentrifugal wirkt. Die Teilchen verlassen dadurch den inneren Raum, aus dem sie auch
as noch andere Teilchen mitreißen, häufen sich an der Peripherie und erzeugen so axial ein Vakuum.
Die Ionisation der Teilchen kann dabei auf verschiedene Art vorgenommen werden, zweckmäßigerweise kann dazu ein elektrisch geladener, kranzförmig mit Spitzen versehener Metallring verwendet werden. Um die Wirkung des elektrischen Feldes in radialer Richtung zu verstärken, wird es am besten durch zwei Metallkörper erzeugt, die zweckmäßigerweise koaxial angeordnet sind und von denen der eine mit positiver, der andere mit negativer Elektrizität aufgeladen ist.
Das magnetische Feld ist im allgemeinen konstant. Die Wirkung desselben kann dadurch vergrößert werden, daß man ein um eine zur Richtung des konstanten Feldes parallele Achse rotierendes Feld von hoher Frequenz hinzufügt.
Dieses rotierende Feld wird auf bekannte Weise erzeugt. Man geht von einem hochfrequenten Wechselstrom aus, aus dem man z. B. zwei um eine Viertelperiode gegeneinander verschobene Wechselströme herstellt, die man dann zur Erzeugung des Drehfeldes verwendet. Selbstverständlich kann man das Drehfeld auch auf andere Art erhalten.
Die Zeichnung zeigt schematisch eine beispielsweise Ausbildung der den Erfindungsgegenstand bildenden Entlüftungseinrichtung. Darin bedeuten α das zu evakuierende Gefäß, b die elektrisch geladenen Spitzen, c die das (Dreh-) Feld erzeugenden feststehenden Elektromagnet e, d die Wand der Einrichtung aus einem Isolierstoff, am besten aus Glas, e eine Metallbelegung auf der Außenseite der Wand mit einer Ladung von entgegengesetzter Richtung wie die Ladung der Spitzen.
Die Wirkungsweise der Einrichtung ist ohne weiteres klar. Die durch die Spitzenentladung ionisierten Gasteilchen werden
durch die Wirkung des (Dreh-) Feldes bzw. der Belegung abgesogen, die nicht ionisierten Gasteilchen werden in der nächsten Stufe ionisiert und sodann gleichfalls abgesogen.
Zweckmäßigerweise werden zwei solcher Einrichtungen hintereinandergeschaltet, und zwar derart, daß die Ladungen der Spitzen bzw. Belegladungen in beiden entgegengesetzt
ίο sind. Es werden dann Gasteilchen mit einer bestimmten Ladung in der ersten und mit entgegengesetzter Ladung in der zweiten Einrichtung abgesogen.
Auf diese Weise kann man fast sämtliche Teilchen aus dem zu evakuierenden Gefäß herausholen und so ein Hochvakuum erzeugen.
Ein Zurückströmen der Teilchen ist nicht möglich, da sie durch die direkte und indirekte Zentrifugalkraft aus dem Innern des Gefäßes zu den Wänden abgedrängt werden, was bei den bekannten Einrichtungen nicht der Fall ist.

Claims (4)

  1. Patentansprüche:
    i. Einrichtung zur Entlüftung von Vakuumgefäßen, beispielsweise von elektrischen Leuchtröhren oder Glühlampen, bei welcher die zu entfernenden Gase in einem elektrischen Felde ionisiert werden und unter dessen Einwirkung die erzeugten Ionen aus dem zu entlüftenden Räume herausfliegen, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung Magnete oder Solenoide (c) zur Erzeugung eines zusätzlichen, gleichfalls auf die Ionen einwirkenden magnetischen Feldes besitzt.
  2. 2. Entlüftungseinrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der zur Ionisation des Gases dienende Teil aus einem elektrisch geladenen, kranzförmig mit Spitzen versehenen Metallnnge (b) besteht.
  3. 3.-Einrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der zur Erzeugung des elektrischen Feldes dienende Teil aus zwei zueinander koaxial angeordneten, elektrisch verschieden aufgeladenen Metallkörpern (b und e) besteht.
  4. 4. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische Feld aus einem konstanten Felde und aus einem 'weiteren, diesem übergelagerten, um eine zur Richtung des konstanten Feldes parallele Achse rotierenden Felde von hoher ' Frequenz besteht.
    Hierzu ι Blatt Zeichnungen
DEZ17737D 1928-08-02 1928-08-02 Einrichtung zur Entlueftung von Vakuumgefaessen, welche mit einem Vorvakuum zusammenwirkt Expired DE543992C (de)

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