DE766171C - Entladungsrohr mit Gas- oder Dampffuellung - Google Patents

Entladungsrohr mit Gas- oder Dampffuellung

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DE766171C
DE766171C DEL101701D DEL0101701D DE766171C DE 766171 C DE766171 C DE 766171C DE L101701 D DEL101701 D DE L101701D DE L0101701 D DEL0101701 D DE L0101701D DE 766171 C DE766171 C DE 766171C
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electron
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DEL101701D
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J41/02Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
    • H01J41/06Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of cold cathodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J17/00Gas-filled discharge tubes with solid cathode
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    • H01J17/14Magnetic means for controlling the discharge
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/04Ion sources; Ion guns using reflex discharge, e.g. Penning ion sources

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Description

  • Entladungsrohr mit Gas- oder Dampffüllung Gegenstand der Erfindung ist ein Entladungsrohr mit Gas- oder Dampffüllung, einer Elektronenquelle, einer oder mehreren Elektronenbeschleunigungs- und Elektronenverzögerungselektroden und einem zur Hauptbewegungsrichtung der Elektronen parallel gerichteten Magnetfeld, dessen Feldstärke H entsprechend der Ungleichung gewählt ist, wenn c die Lichtgeschwindigkeit (etwa 300ooo km/sec), m die Masse und e die Ladung der Elektronen, E die maximale kinetische Energie der beschleunigten Elektronen und r den Radius der kleinsten Durchtrittsöffnung in den Elektronenbeschleunigungs- oder -verzögerungselektroden bezeichnen. Bei dem Entladungsrohr nach der Erfindung ist ferner die Ausdehnung in Richtung der Elektronenbewegung des Raumes, in dem die primären Elektronen zum erstenmal beschleunigt werden, kleiner als die entsprechende Ausdehnung des Raumes, in dem die primären Elektronen zum erstenmal verzögert werden. Die Beschleunigungs- Spannung wird erfindungsgemäß größer als der zwölffache Wert der Ionisierungsspannung des Teiles der Füllung gewählt, der ionisiert werden soll.
  • In diesem Entladungsrohr werden die von der Elektronenquelle ausgehenden Elektronen -zunächst beschleunigt in dem Raum, der an die Elektronenquelle angrenzt und im folgenden als Beschleunigungsraum bezeichnet wird. Anschließend werden die Elektronen nach dein Durchtritt durch die Öffnung der Beschleunigungselektroden unter dem Einfluß des zwischen der letzten Beschleunigungselektrode und den Verzögerungselektroden wirkenden elektrischen Feldes verzögert. Dieser Raum wird im folgenden als Verzögerungsraum bezeichnet. Er ist im allgemeinen nicht durch die Elektroden begrenzt.
  • Die Elektronen werden im Verzögerungsraum abgebremst, so daß sie unter Umkehr ihrer Bewegungsrichtung sich wieder auf die Beschleunigungselektroden zu bewegen und diese erneut passieren. Durch den Energieverlust und die Streuung, die sie bei den Zusammenstößen mit dem Gas oder Dampf erlitten haben, wird jedoch bewirkt, daß sie nicht wieder bis zur Elektronenquelle gelangen, sondern bereits vor Erreichung derselben ihre Bewegungsrichtung erneut umkehren. Sie passieren die Öffnung der Beschleunigungselektroden ein drittes Mal und werden anschließend im Verzögerungsraum erneut abgebremst und umgekehrt. Dieser Vorgang wiederholt sich so lange. bis die Elektronen ihre gesamte Energie durch Zusammenstöße an die Moleküle der Gas- oder Dampffüllung abgegeben haben oder schließlich infolge der zahlreichen Zusammenstöße doch auf den Rand einer der Beschleunigungselektroden auftreffen, anstatt ihre Öffnung zu passieren. Bei den Zusammenstößen mit den Molekülen der Füllung verlieren jedoch die Elektronen nicht nur einen Teil ihrer Energie, sondern sie ändern auch ihre Bewegungsrichtung. Es würden daher nur sehr wenige Elektronen die iIffnungen der Beschleunigungselektroden passieren, wenn nicht durch das entsprechend der genannten Ungleichung gewählte Magnetfeld der Elektronenstrahl zusammengehalten würde. Auf diese Weise wird auch verhindert, daß die Elektronen dadurch auseinanderlaufen, daß die elektrischen Felder infolge der Öffnungen in den Beschleunigungs- und Verzögerungselektroden nicht überall parallel zur Hauptbewegungsrichtung der Elektronen gerichtet sind.
  • Bei den Zusammenstößen mit den Gas--,Molekülen «-erden nicht nur positive Ionen, sondern auch Sekundärelektronen gebildet. Die positiven Ionen wandern infolge ihrer Ladung entgegengesetzt wie die Primärelektronen. Die im Verzögerungsraum erzeugten positiven Ionen wandern also auf die Verzögerungselektroden zu, während die im Beschleunigungsraum erzeugten positiven Ionen auf die Kathode zu wandern. Die Sekundärelektronen, die im Gas gebildet werden oder beim Auftreffen der positiven Ionen auf die Verzögerungselektroden entstehen. verhalten sich gerade so wie die Primärelektronen. Sie werden nach ihrer Bildung zunächst beschleunigt, so daß sie die Öffnung der Beschleunigungselektroden passieren. Sie erhalten dabei um so größere Energie, in je größerem Abstand von der Beschleunigungselektrode sie gebildet worden sind. Anschließend werden sie gerade so wie die Primärelektronen abgebremst und passieren nach Richtungsumkehr erneut die Beschleunigungselektroden. Auch dieser Vorgang wiederholt sich so lange, bis die Sekundärelektronen die Energie, die sie durch die Beschleunigung im elektrischen Feld erhielten, durch die Zusammenstöße mit den Gas- oder Dampfmolekülen der Füllung verloren haben oder bis sie schließlich auf den Rand der Beschleunigungselektroden infolge der zahlreichen Richtungsänderungen durch die Zusammenstöße auftreffen. Die Sekundärelektronen, die im Gas gebildet werden, stellen jedoch nur dann einen wesentlichen Beitrag zum Gesamtstrom dar, wenn die Primärelektronen auf ihrem Wege mehrere Ionen bilden. Das ist nur der Fall. wenn ihre Energie groß genug ist. Aus diesem Grunde wird erfindungsgemäß dieBeschleunigungsspannung größer gewählt als der zwölffache Wert der Ionisierungsspannung des Teiles der Füllung, der ionisiert werden soll.
  • Wenn das Magnetfeld kleiner als entsprechend der Ungleichung gewählt wird. ist die Wahrscheinlichkeit dafür, daß die primären Elektronen und die Sekundärelektronen auf die Beschleunigungselektroden treffen, anstatt ihre Öffnungen zu passieren, so groß, daß nur ein kleiner Teil der Energie der primären und sekundären Elektronen zur Ionisierung ausgenutzt wird.
  • Wird ferner die Ausdehnung des Beschleunigungsraumes kleiner gewählt als die Ausdehnung des Verzögerungsraumes, so werden mehr positive Ionen im Verzögerungsraum als im Beschleunigungsraum gebildet. Es treffen infolgedessen bei der Anordnung nach der Erfindung weniger positive Ionen auf die Elektronenquelle als auf die Verzögerungselektroden. Dadurch wird nicht nur die Elektronenquelle geschont, sondern auch die Möglichkeit eröffnet, die positiven Ionen zum größten Teil aus dem Verzögerungsraum in Richtung ihrer Bewegung zu entnehmen. Das Entladungsrohr nach der Erfindung kann daher beispielsweise mit Vorteil als Quelle positiver Ionen verwendet werden.
  • Bei dem Entladungsrohr nach der Erfindung wird also durch ein primäres Elektron ein verhältnismäßig großer Strom erzeugt, da es nicht nur selbst mehrfach Gas- oder Dampfmoleküle ionisieren kann, sondern darüber hinaus auch die bei diesen Prozessen gebildeten Sekundärelektronen sowie die beim Auftreffen der positiven Ionen auf die Verzögerungselektroden gebildeten Sekundärelektronen ebenfalls mehrfach ionisieren, sofern das Magnetfeld entsprechend der Ungleichung gewählt wird, also so groß ist, daß der größere Teil der Elektronen nicht auf die Beschleunigungselektroden auftrifft, sondern ihre Öffnung passiert.
  • Die Anordnung kann auch mit nur einer Beschleutigungselektrode und nur einer Verzögerungselektrode betrieben werden. Zur Vereinfachung der Darstellung wird im folgenden - nur dieser Fall erläutert. Die Überlegungen gelten jedoch entsprechend für Anordnungen mit mehreren Beschleunigungs-oder Verzögerungselektroden.
  • Befindet sich die Verzögerungselektrode auf einem negativen Potential gegenüber der Elektronenquelle; so können die Primärelektronen die Verzögerungselektrode nicht erreichen. Sie werden zurückgeworfen und können, falls sie auf ihrem Weg keine Zusammenstöße erlitten haben, unter Umständen die Elektronenquelle erreichen. Haben sie aber Zusammenstöße erlitten, so können sie die Elektronenquelle keinesfalls erreichen. Sie pendeln dann im Beschleunigungs- und Verzögerungsraum so lange hin und her, bis sie schließlich auf die Beschleunigungselektrode auftreffen. Sie. werden also in diesem Fall einen sehr großen Weg bis zum Auftreffen auf die Beschleunigungselektrode -zurücklegen. ' Befindet sich jedoch die Verzögerungselektrode auf positivem Potential gegenüber der Elektronenquelle, so können die Primärelektronen die Verzögerungselektrode unter Umständen erreichen, falls sie noch keinen Zusammenstoß erlitten haben. Haben sie jedoch einen Zusammenstoß erlitten, so werden sie zurückgeworfen und werden, da sie die Elektronenquelle keinesfalls erreichen können, im Beschleunigungs- und Verzögerungsraum so lange hin und her pendeln, bis sie schließlich auf die Beschleunigungselektrode auftreffen. Wenn also die Verzögerungselektrode sich auf einem positiven Potential gegenüber der Elektronenquelle befindet, so werden weniger Primärelektronen zum Pendeln kommen als bei einer auf negativem Potential befindlichen Verzögerungselektrode. Die Verwendung einer auf positivem Potential befindlichen Verzögerungselektrode bietet jedoch unter Umständen, wie sich aus dem Folgenden ergeben wird, trotz dieser Tatsache Vorteile.
  • Die Sekundärelektronen, die durch die positiven Ionen aus der Verzögerungselektrode ausgelöst -werden, werden bei positivem Potential der Verzögerungselektrode zur Elektronenquelle hin beschleunigt, sie können sie jedoch nicht erreichen. Sie pendeln gerade so wie die Primärelektronen im Beschleunigungs-und Verzögerungsraum hin und her, bis sie schließlich auf die Beschleunigungselektrode auftreffen. Auf diesem verhältnismäßig langen Weg finden zahlreiche Zusammenstöße mit Molekülen der Gas- oder Dampffüllung statt, bei denen abermals positive Ionen und Elektronen gebildet werden, die sich ihrerseits an dem Pendelvorgang beteiligen. Der durch das Auffangen eines Teiles der Primärelektronen durch die Verzögerungselektrode bei positivem Potential derselben eintretende Verlust an pendelnden Elektronen wird bei passender Wahl des positiven Potentials weit aufgewogen durch die Wirkung der Sekundärelektronen, die infolge des positiven Potentials der Verzögerungselektrode nicht auf die Elektronenquelle zurückfallen können.
  • Befindet sich jedoch die Verzögerungselektrode auf negativem Potential Oder auf dem gleichen Potential wie die Elektronenquelle, so. können die Sekundärelektronen schon an der Elektronenquelle ausgeschieden werden, so daß nur ein kleinerer Teil von ihnen zum Pendeln kommt. Die Ausbeute ist also in diesem Fall geringer. Da jedoch der aus der Verzögerungselektrode - ausgelöste Sekundärelektronenstrom einen großen Teil des gesamten Elektronenstromes ausmacht, ist es zur Erzielung einer hohen Verstärkung zweckmäßig, dafür Sorge zu trägen, daß diese Sekundärelektronen möglichst weitgehend am Pendelvorgang beteiligt werden.
  • Das Potential der Verzögerungselektrode wird in der Regel nur etwa r bis a Volt höher als das Potential der Elektronenquelle gewählt. Ist das Potential stark positiv, beispielsweise -i- 30 Volt, so tritt wieder eine Abnähme der Wirkung ein, da ein zu großer Teil der Primärelektronen vorzeitig aus dem Pendelvorgang ausgeschieden wird.
  • Zur Erzielung einer möglichst intensiven Sekundärelektronenemission aus der Verzögerungselektrode wird diese zum mindesten an der von den positiven Ionen getroffenen Stelle vorzugsweise aus einem unter dem Aufprall positiver Ionen stark Elektronen emittierenden Werkstoff, beispielsweise Aluminium, Magnesium oder Beryllium, hergestellt. Es kommen auch andere Werkstoffe für die Verzögerungselektrode in Frage, die diese Eigenschaft haben. Man wird jedoch solche Werkstoffe bevorzugen. die unter dem Einfluß der auftreffenden Ionen nur schwach zerstäuben oder verdampfen.
  • Die Füllung des Entladungsrohres besteht, falls es als Ionenquelle verwendet -,werden soll, aus dem Gas oder Dampf (Grundgas), dessen Ionen erzeugt werden sollen. Es ist jedoch unter Umständen vorteilhaft, diesem Gas noch ein weiteres hinzuzufügen, das die Elektronen stärker streut und/oder den Elektronen durch unelastische Zusammenstöße häufiger Energie entzieht als das Grundgas. Handelt es sieh beispielsweise darum, Ionen von H., Dz, He oder eines anderen elementaren Gases zu bilden. so wird man mit Vorteil als Zusatzfüllung mehratomige Gase, beispielsweise Benzol, oder Edelgase hohen Atomgewichts, beispielsweise Xenon. verwenden. Durch das Zusatzgas wird erreicht, daß ein kleinerer Anteil der Primärelektronen auf die Verzögerungselektrode oder die Elektronenquelle auftrifft. Dies hat seinen Grund darin, daß das Zusatzgas die Elektronen stärker streut bzw. ihnen häufiger Energie entzieht als das Grundgas.
  • Als Elektronenquelle kann eine Glühkathode oder eine Photokathode oder eine Sekundärelektronenkathode verwendet werden. Die zuletzt genannte Kathode kann mit Röntgenstrahlen oder Korpuskularstrahlen von der Seite des Entladungsraumes oder von der abgewandten Seite her beschossen werden. Die aus der Elektronenquelle austretenden Sekundärelektronen übernehmen in diesem Fall die Rolle der Primärelektronen der v orhergehenden Betrachtungen.
  • Die Felder werden bei der Anordnung nach der Erfindung zweckmäßig so gerichtet, daß sie im wesentlichen parallel zur Hauptbewegungsrichtung der Elektronen verlaufen. Unter Umständen ist es jedoch zweckmäßig, diese Bedingung vor der Elektronenquelle nicht zu erfüllen. ;Ulan kann vielmehr durch eine seitliche Komponente der elektrischen Kraftfelder vor der Elektronenquelle erreichen, daß die positiven Ionen nicht auf den emittierenden Teil der Elektronenquelle, sondern auf andere Teile auftreffen. Die positiven Ionen werden nämlich wegen ihrer geringeren Geschwindigkeit bedeutend weniger als die Elektronen durch das Magnetfeld zusammengehalten. Die ungünstige Wirkung, die diese besondere Feldausbildung auf das Zusammenhalten der Elektronen ausübt. braucht daher nicht sehr groß zu sein. Der Vorteil dieser Anordnung ist, daß die Elektronenquelle möglichst dagegen geschützt wird, daß positive Ionen auf sie auftref"ten.
  • Falls es in einem besonderen Fall erwünscht ist, die aus der Verzögerungselektrode ausgelösten Sekundärelektronen an dem Entladungsvorgang nicht zu beteiligen, kann vor dieser eine Elektrode, beispielsweise ein Gitter, auf negativem Potential gegenüber der benachbarten Verzögerungselektrode vorgesehen werden. Durch dieses negativ aufgeladene Gitter werden die aus der Verzögerungselektrode austretenden Sekundärelektronen auf die Verzögerungselektrode zurückgeworfen, so daß sie sich an dem Entladungsvorgang nicht beteiligen. Es ist selbstverständlich, die negativ aufgeladene Elektrode an der Stelle, an der der Ionenstrahl der Primärelektronen hindurchtreten soll, mit einer genügend großen öffnung zu versehen. Anderenfalls würden die Ionen auf diese negativ geladene Elektrode fliegen.
  • Soll die Anordnung nach der Erfindung als Ionenquelle benutzt werden, so wird die Verzögerungselektrode mit einer zentralen öffnung versehen, auf die der Primärelektronenstrahl und der Strahl positiver Ionen gerichtet ist.
  • Die Anordnung nach der Erfindung kann auch als Elektronenverstärker Verwendung finden. Besteht beispielsweise die Elektronenquelle aus einer von außen belichteten Photokathode oder wird sie, wie bereits erwähnt, durch Röntgenstrahlen oder Korpuskularstrahlen zur Sekundäremission erregt, so wird durch den geschilderten Pendelvorgang der Primär- und Sekundärelektronen eine Verstärkung des primär ausgelösten Elektronenstromes eintreten.
  • Da die Wahrscheinlichkeit dafür, daß die Primärelektronen auf ihrem ersten Wege mit Gasmolekülen zusammenstoßen, vom Druck abhängt. kann die Anordnung nach der Erfindung auch als Druckmesser verwendet werden. Der resultierende Strom steht in einer eindeutigen Beziehung zu dem Druck. Er ist selbstverständlich abhängig von der Art des Gases, so daß für jede Gasart und jedes Gasgemisch besonders geeicht werden muß. Für viele Anwendungszwecke ist jedoch dies ohne Bedeutung. Wegen der sehr hohen Verstärkung ist die Entladungsröhre nach der Erfindung besonders geeignet zum Messen sehr geringer Drucke. Die Ausbeute und damit der Verstärkungsfaktor hängen sehr stark von den benutzten Beschleunigungs- und Verzögerungsspannungen ab. Bei kleiner Primärintensität steigt der Verstärkungsfaktor mit zunehmender Spannung sehr stark an. Es wird jedoch schließlich eine Sättigung erreicht.
  • Das Entladungsrohr nach der Erfindung wirkt. sofern an die Beschleunigungselektrode ein gegenüber der Elektronenquelle wechselndes Potential gelegt wird. als Gleichrichter. Vor den bekannten Gleichrichtern zeichnet sich das Entladungsrohr nach der Erfindung dadurch aus, daß' -bei gleicher Strombelastung ein bedeutend geringerer primärer Elektronenstrorn erforderlich ist. Die Durchschlagsfestigkeit des Entladungsrohres in. der Sperrrichtung ist höher als bei den gasgefüllten Entladungsröhren der bekannten Bauart, da der Gasdruck wegen des Pendelvorganges ganz bedeutend niedriger gewählt werden kann, ohne daß ein Mangel an Ionen eintritt. In der Sperrichtung findet ein Pendelvorgang nicht statt, da die positiven Ionen nicht pendeln. Sie werden nämlich, wie bereits- auseinandergesetzt wurde, durch das-Magnetfeld nicht zusammengehalten, so daß sie .sehr schnell auf eine Elektrode auftreffen. Es findet also eine sehr rasche Entionisierung statt.
  • Aus der Elektronenquelle r (Fig. i) treten die Elektronen in den Beschleunigungsraum :2 ein, Durch das Feld der auf positivem Potential gegenüber der Elektronenquelle befindlichen Beschleunigungselektrode 3 werden sie beschleunigt. Sie durchlaufen die Öffnung q. dieser Elektrode und treten in den Verzögerungsraum 5 ein. Durch die auf positivem oder negativem Potential befindliche Verzögerungselektrode 6 werden sie =in -der -geschilderten Weise abgebremst und unter Umständen zurückgeworfen, so daß sie in den Räumen-2 und 5 hin und her pendeln, sofern das durch die Pfeile angedeutete Magnetfeld entsprechend der genannten Ungleichung gewählt ist.
  • Es können auch, wie Fig. 2 zeigt, mehrere Beschleunigungselektroden 3 und 7 und/oder mehrere Verzögerungselektroden 8, 8', 6' zur Anwendung gelangen, falls eine Unterteilung des Beschleuniggungs- und/oder des Verzögerungsraumes im Hinblick auf die benutzten Spannungen und den Druck der Gasfüllung wünschenswert erscheint. Es ist auf diese Weise außerdem möglich, das Feld homogener zu gestalten als mit nur je einer Beschleunigungs- und Verzögerungselektrode. Diese Unterteilung spielt besonders für den Verzögerungsraum eine große Rolle, der eine wesentlich größere Ausdehnung hat als der Beschleunigungsraum.
  • Falls die Anordnung nach der Erfindung als Ionenquelle verwendet werden soll; wird auch die letzte Verzögerungselektrode 9, wie in Fig. 3 angedeutet ist, mit einer zentralen Öffnung io zum Durchtritt des Ionenstrahles versehen.
  • Fig. q. zeigt eine Ausführungsform der Entladungsröhre nach der Erfindung, bei der die Elektronenquelle i durch den etwa auf ihrem Potential befindlichen Zylinder i i gegen den Aufprall positiver Ionen möglichst geschützt ist. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Beschleunigungselektrode zudem mit einem rohrförmigen Ansatz 1.2 versehen, der sich auf dem gleichen Potential befindet wie die Beschleunigungselektrode und eine Konzentrierung des Ionenstrahles bewirkt. Auf diese Weise läßt sich eine Verstärkung des durch die Öffnung io in der Elektrode 9 austretenden Ionenstromes erreichen.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel nach- Fig. 5 ist vor der Verzögerungselektrode 9 ein Gitter 13 vorgesehen, das sich gegenüber der Elektrode 9 auf negativem Potential -befindet und gegenüber der Öffnung io der Verzögerungselektrode ebenfalls eine Öffnung 1-4 .- zum Durchtritt des Ionenstrahles aufweist. Dieses Gitter 13 wirft die aus der Verzögerüngselektrode 9- ausgelösten Sekundärelektronen auf die Verzögerungselektrode g zurück.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. i ist zur Erzeugung des Magnetfeldes ein ferromagnetischer Körper 15 vorgesehen, der durch eine Magnetspule 16 erregt wird und bei genügend großem Querschnitt der Polschuhe ein homogenes, parallel zur Hauptbewegungsrichtung der Elektronen gerichtetes Magnetfeld erzeugt. Bei dieser Anordnung kommt man mit geringeren Leistungen für die Er-, regung -des-Feldes aus als bei der in Fig. 2 dargestellten Ausführungsform, bei der zur Erzeugung des Magnetfeldes eine die Entladungsröhre koaxial umgebende, in der Figur nur symbolisch dargestellte Magnetspule 17 verwendet wird.
  • Die Begrenzung des Vakuumraumes ist in den Fig. i, 2 und q. durch die gestrichelte Linie angedeutet.

Claims (6)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Entladungsrohr mit Gas- oder Dampffüllung, einer Elektronenquelle, einer oder mehreren Elektronenbeschleunigungs- und Elektronenverzögerungselektroden und einem zur Hauptbewegungsrichtung der Elektronen parallel gerichteten Magnetfeld, dadurch gekennzeichnet, daß die Feldstärke des Magnetfeldes H entsprechend der Ungleichung gewählt ist, wenn c die Lichtgeschwindigkeit, axa die Masse und e die Ladung der Elektronen sowie E die maximale kinetische Energie der Beschleunigungselektronen und r den Radius der kleinsten Durchtrittsöffnung in den Elektronenbeschleunigungs- bzw. -verzögerungselektroden bezeichnet, und daß die Ausdehnung des Beschleunigungsraumes in der Hauptbewegungsrichtung der Elektronen kleiner ist als die entsprechende Ausdehnung des Verzögerungsraumes und daß die Beschleunigungsspannung größer ist als der zwölffache Wert der Ionisierungsspannung der Grundgasfüllung.
  2. 2. Entladungsrohr nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Potential der von der Elektronenquelle am weitesten entfernten Verzögerungselektrode positiv, vorzugsweise i bis 2 Volt, gegenüber der Elektronenquelle ist.
  3. 3. Entladungsrohr nach den Ansprüchen i und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verzögerungselektroden zum mindesten an den Stellen, an denen sie von positiven Ionen getroffen werden, aus einem unter dem Aufprall positiver Ionen stark Elektronen emittierenden Werkstoff, vorzugsweise Aluminium, :Magnesium oder Beryllium, bestehen. q..
  4. Entladungsrohr nach Anspruch i und den folgenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die Füllung des Entladungsrohres neben der Grundgasfüllung ein oder mehrere weitere Gase oder Dämpfe enthält, die die Elektronen stärker streuen und/oder den Elektronen durch unelastische Zusammenstöße häufiger Energie entziehen als die Grundgasfüllung.
  5. 5. Entladungsrohr nach Anspruch i und den folgenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden so ausgebildet sind, daß das elektrische Feld vor der Elektronenquelle eine so große seitliche Komponente besitzt, daß die positiven Ionen bevorzugt nicht auf den emittierenden Teil der Elektronenquelle, sondern auf andere Teile auftreffen.
  6. 6. Entladungsrohr nach Anspruch i und den folgenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Verzögerungselektrode, aus der durch die auftreffenden positiven Ionen Sekundärelektronen ausgelöst werden, eine Elektrode, vorzugsweise ein Gitter, auf negativem Potential gegenüber der benachbarten Verzögerungselektrode vorgesehen ist.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3379910A (en) * 1965-07-09 1968-04-23 Navy Usa Plasma extraction guns and applications therefor

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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