DE1623141C - - Google Patents

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DE1623141C
DE1623141C DE19671623141 DE1623141A DE1623141C DE 1623141 C DE1623141 C DE 1623141C DE 19671623141 DE19671623141 DE 19671623141 DE 1623141 A DE1623141 A DE 1623141A DE 1623141 C DE1623141 C DE 1623141C
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DE19671623141
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DE1623141B2 (de
DE1623141A1 (de
Inventor
Hans Dr Balzers Pulker (Liechtenstein) GOIc 11 16
Original Assignee
Balzers Hochvakuum GmbH, 6000 Frank fürt
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DE1623141B2 DE1623141B2 (de) 1972-10-12
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CN113106411A (zh) * 2021-04-13 2021-07-13 京东方科技集团股份有限公司 一种镀膜检测装置、镀膜设备

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