DE1572700B1

DE1572700B1 - Fotografisches Objektiv vom Gausstyp mit Wechselgliedern zur AEnderung der Brennweite

Info

Publication number: DE1572700B1
Application number: DE19671572700
Authority: DE
Inventors: Tibbetts Raymond Eugene; Wilcznski Janusz Stanislaw
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1966-12-08
Filing date: 1967-12-02
Publication date: 1971-10-07
Also published as: FR1542937A; NL6716449A; CH469277A; GB1154785A; SE320517B

Description

Bei der Herstellung miniaturisierter integrierter Schaltungen werden die in den einzelnen Verfahrensschritten zu beschichtenden, zu dotierenden oder sonstwie zu behandelnden Bereiche eines Halbleiterblättchens durch fotolithografische Verfahren bestimmt. Bei den oft sehr zahlreichen Verfahrensschritten werden immer neue Masken auf den gleichen Bereichen des zu bearbeitenden Halbleiterblättchens abgebildet, deren Lage und Form sehr genau sein muß, damit die während eines Verfahrensschrittes erzeugten, oft nur wenige Mikron breiten Bereiche die richtige Relativlage zu den während anderer Verfahrensschritte erzeugten Bereichen und Anschlüssen haben. Bei der oft großen Kompliziertheit und der großen Anzahl der auf einem Halbleiterblättchen abzubildenden Masken ist es einleuchtend, daß an die Qualität der die Abbildung der Masken bewirkenden Linsensysteme hohe Anforderungen gestellt werden müssen.

Die Anforderungen an den Korrektionsgrad der Linsensysteme sind besonders dann sehr schwer zu erfüllen, wenn stark vergrößernde oder verkleinernde Linsensysteme erforderlich sind. Dies wird bei der Herstellung und der Abbildung der Masken für integrierte Schaltungen fast immer der Fall sein, da die meist von Hand gezeichneten Vorlagen wesentlich größer als die'integrierten Schaltungen selbst sein werden.

Diese für sich allein schon sehr schwer erfüllbaren Anforderungen an den Korrektionsgrad und das Auflösungsverfahren der abbildenden optischen Systeme sind noch schwerer zu erfüllen, wenn die Linsensysteme für mehrere Brennweiten ausgelegt werden müssen, was bei für die Herstellung von integrierten Schaltungen benötigten Systemen sehr oft der Fall ist. Derartige optische Systeme werden auch in vielen anderen Fällen benötigt, beispielsweise in der Mikrofotografie, bei Kristallstrukturuntersuchungen usw.

In der deutschen Auslegeschrift 1087 825 wird ein Gauß-Objektiv beschrieben, bei dem der mindestens aus zwei Gliedern bestehende Vorderteil des Objektivs zum Zwecke der Brennweitenveränderung auswechselbar ist. Die Korrektur der bei Änderung der Brennweite auftretenden Fehler erfolgt in Form eines Kompromisses durch geeignete Wahl der Glassorten und der anderen unveränderlichen Konstruktionsmerkmale, zu denen auch die Ausbildung des vor der Blende befindlichen Gliedes als Linse mit negativer Brechkraft gehört. Es ist einleuchtend, daß bei dieser Lösung eine für jede einstellbare Brennweite optimale Korrektur nicht erreicht werden kann.

In der französischen Patentschrift 951 536 wird die Verschiebung eines Frontgliedes aus Korrektionsgründen bei den Änderungen des Abbildungsmaßstabes angegeben. In der französischen Patentschrift 1 239 950 wird ein Objektiv mit einem aus zwei Menisken bestehenden Frontglied beschrieben. Schließlich ist es bei Fernrohren und bei Mikroskopen bekannt, eine Änderung der Vergrößerung durch sogenannte Schaltlinsen vorzunehmen.

Mit keinem der obengenannten Mittel war es

möglich, die Aufgabe gemäß der Erfindung zu lösen, die darin besteht, ein Objektiv mit veränderbarer Brennweite und mit für jede Brennweite optimaler Korrektion zu schaffen.

Um diese Anforderungen zu erfüllen, wird gemäß der Erfindung ein fotografisches Objektiv vom Gaußtyp angegeben, das dadurch gekennzeichnet ist, daß zum Zweck einer Brennweitenveränderung in seinem Blendenraum eine zerstreuende Brechkraft unterschiedlicher Größe, vorzugsweise ein zur Blende hohler Meniskus, einbringbar ist und daß die dadurch gestörte Korrektion durch entsprechende Ab-Standsänderungen der objektseitigen positiven Wirkungsgruppe von den auf diese folgenden optischen Gliedern herbeigeführt ist.

Eine besonders vorteilhafte Ausbildungsform des Erfindungsgedankens ist gekennzeichnet durch folgende Rahmenwerte, bezogen auf die Grundbrennweite / des Objekts:

0,92/	< +h ■	0,066 /	< d₁
3,60/	< +r₂ *	0,003 /	< S₁ ·
0,58/	< +r₃ ■	0,060 /	< d₂ ■
			S₂
0,84/	< +r₄ <	0,098 /	*< d₃ ■*
0,32 /	*< +r₅ <*	0,033 /	< d₄ *
2,35/	< +r₆ *	0,130 /	< S₃ «
0,22/	< +T₁ <	0,027 /	< d₅ <
	h
	r₉
0,26/	< -ho <	0,125 /	< S₄ <
2,30/	*< -hi <*	0,037 /	< d₆ «
0,37/	< -hi ·=	0,078 /
1,26/	< +^13 <	0,003 /	< Χ <
0,85/	< — r₁₄ <	0,076 /	< d„ <
< 1,04/	< 0,072/
< 4,00/	< 0,005/
< 0,63 /	< 0,063/
	variabel
ΐ 0,94/	< 0,102/
= 0,38 /	c 0,037/
' 2,53 /	c 0,136/
: 0,24/	ί 0,033/
variabel
variabel
: 0,30/	c 0,133/
c 2,50/	' 0,042/
= 0,41 /	c 0,082/
; 1,45/	; 0,005/
: 0,94/	: 0,082/

wobei die Krümmungsradien r₈ und r₉ des fünften 65 die Brechungsindizes n_d und die Abbeschen Zahlen ν

Linsenelements und der Abstand S₂ zwischen dem zweiten und dem dritten Linsenelement eine Funktion der Verkleinerung des Systems sind und wobei der Linsenelemente gleich 1,69089, 1,69089, 1,69089, 1,64752, 1,64752, 1,60328, 1,69089 und 1,69089 bzw. 54,80, 54,80, 54,80, 33,80, 38,02, 54,80 und 54,80 sind.

Eine spezielle Ausführungsform des Erfindungsgedankens kennzeichnet:

ist schließlich

durch

folgende Werte ge-

I	h =	+0,9840 /	d_x = 0,0691 /	1,69089	54,80
	»2 =	+ 3,8081 /	S₁ = 0,0044/
II	r₂ =	+0,6089 /	d₂ = 0,0616/	1,69089	54,80
	U =	+0,8903 /	S₂ = 0,0044/
III	r₅ =	+0,3461 /	d₃ = 0,0995/	1,69089	54,80
	h =	+2,4406 /	d₄ = 0,0352/
IV	* 7 =	+0,2320 /	S₃ = 0,1329/	1,64752	33,80
V	>8 =	+ 1,6228/	d₅ = 0,0299/	1,64752	33,80
	*Y₉ =*	+0,6295 /	s₄ = 0,1294/
VI	»Ίο =	-0,2813 /	d₆ = 0,0396 /	1,60328	38,02
	'Ίι =	-2,3989/	d-j = 0,0804/
VII	>Ί2 =	-0,3923 /	S₅ = 0,0044/	1,69089	54,80
VIII	»Ί3 =	+ 1,3630/	d₈ = 0,0792/	1,69089	54,80
	'Ί4 =	-0,8977 /

Dieses spezielle Objektiv kann abgeändert werden durch Wechselglieder V, deren Radien und zugeordnete Luftabstände zwischen der zweiten und dritten Linse in der folgenden Tabelle angegeben sind:

- Verkleinerung	S₂ mm	''s	0,649 · /
15 X	0,00431 ·/	1,764 · /	0,629 · /
20 χ	0,00440 · /	1,623·/	0,610 · /
30 χ	0,00469 · /	1,5019 · /	0,600 · /
40 χ	0,00506 · /	1,440 · /	0,594 · /
50 χ	0,00542 · /	1,407 · /	0,568 · /
Objekt im	0,00815 · /	1,271·/
Unendlichen

Vorteilhaft befinden sich die Linsenelemente verschiedener Brechkraft auf einer drehbar gelagerten Scheibe und eine Vorrichtung sorgt gleichzeitig für die erforderliche Veränderung des Luftspaltes S₂ durch axiales Verschieben des ersten und des zweiten Linsengliedes.

Die Erfindung wird an Hand der Figuren näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 einen Längsschnitt durch ein gemäß der Erfindung aufgebautes Linsensystem mit veränderlicher Verkleinerung,

F i g. 2 eine Aufstellung der Konstruktionsdaten des in F i g. 1 dargestellten Objektivs,

F i g. 3, 4, 5 Darstellungen der Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objektivs, berechnet für eine 20fache Verkleinerung für den paraxialen Raum, für das 0,7-Feld und für das volle Feld,

F i g. 6, 7, 8 Darstellungen der Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objektivs, berechnet für eine 17fache Verkleinerung für den paraxialen Raum, für das 0,7-Feld und für das volle Feld, jedoch ohne Berücksichtigung der durch die vorliegende Erfindung vorgesehenen Änderungen, F i g. 9 die Kurve des Astigmatismus des in F i g. 1 wiedergegebenen Objektivs mit einer 17fachen Vergrößerung, jedoch ohne Berücksichtigung der durch die vorliegende Erfindung vorgesehenen Änderungen, F i g. 10 die Kurve des Luftspaltes S₂ und des reziproken Krümmungsradius r₈ des in F i g. 1 dargestellten Objektivs als Funktion der reziproken Verkleinerung,

Fig. 11, 12, 13 Darstellungen der Modulations-

, übertragungsfunktion eines gemäß der vorliegenden Erfindung konstruierten Objektivs, berechnet für den paraxialen Raum, für das 0,7-Feld und für das volle Feld bei einer 15fachen Verkleinerung,

Fig. 14, 15, 16 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen, berechnet für eine 30fache Verkleinerung, -

Fig. 17, 18, 19 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen, berechnet für eine 40fache Verkleinerung,

F i g. 20, 21, 22 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen für eine SOfache Verkleinerung,

Fig. 23, 24, 25 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen für ein im Unendlichen liegendes Objekt,

F i g. 26 eine Darstellung der Kurven des Astigmatismus für ein gemäß der vorliegenden Erfindung konstruiertes Objektiv für eine 15-, 20-, 13-, 40-, und 50fache Verkleinerung,

F i g. 27 eine Darstellung der Verzeichnung-Kurven eines gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebauten Objektivs für 15-, 20-, 30-, 40- und 50fache Verkleinerungen,

F i g. 28 einen Längsschnitt durch ein gemäß der Erfindung aufgebautes verkleinerndes Objektiv mit Mitteln zum Auswechseln der Linse und zur Veränderung des Luftspaltes.

In F i g. 1 wird ein verkleinerndes Objektiv dargestellt, das aus acht Linsenelementen I bis VIII besteht. Bei Verwendung einer Strahlung von 5461 Ä Wellenlänge, hat das in F i g. 1 dargestellte Objektiv

eine effektive Brennweite von 113,62 mm, eine bildseitige Focalschnittweite von 59,26 mm und eine objektseitige Focalschnittweite von 46,78 mm. Es ist für eine 20fache Verkleinerung ausgelegt.

Die feststehende Blende mit einem Durchmesser von 20,8 mm bei //3 ist 3,7 mm rechts vom Linsenelement V angeordnet.

In den F i g. 3, 4 und 5 werden die Kurven der Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1

matismus im wesentlichen eine Funktion der Linsenstärke und fast unabhängig von der Linsenform ist. Da die Linse V so ausgelegt ist, daß sie im Bereich der Minimalablenkung des axialen Bündels arbeitet, so ändert sich die sphärische Aberration langsam als Funktion der Durchbiegung. Der Beitrag der Seidelkoma des Linsenelements V ändert sich jedoch in bezug auf die Durchbiegung sehr schnell, und da die chromatischen Aberrationen höherer Ordnung

dargestellten Objektivs für ein Feld in Achsennähe, io des gesamten Linsensystems sich nur wenig bei

für ein 0,7-Feld und für ein volles Feld dargestellt. Die Berechnungen wurden für eine Wellenlänge von λ = 5461 Ä, für / = 113,62 mm durchgeführt und umfassen ein lineares Feld von ±16 mm, auf das ein Feld von ± 320 mm verkleinert wurde. Aus den F i g. 3, 4 und 5 ist der einheitlich hohe Korrektionszustand ersichtlich, und zwar durch die geringen Abweichungen aller Kurven von der Beugungsgrenze. Der imaginäre Teil des tangentialen Bündels

für eine 15fache Verkleinerung vorgesehenen Kurven der F i g. 11, 12 und 13 mit den F i g. 6, 7 und 8 verdeutlicht, die einem nicht abgeänderten Linsensystem

Änderung des Verkleinerungsmaßstabs ändern, so wird eine Durchbiegung des Linsenelements V als Funktion der Verkleinerung alle Ordnungen der Koma mit sehr- schmalen zonalen Residuen ausbalancieren.

Die Kurven der Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objektivs sind in den F i g. 3, 4 und 5 für eine 20fache Verkleinerung dargestellt. Die Kurven für die Modulations-Uber-

ist sehr klein, und seine Zeichenumkehr zeigt die 20 tragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objek-Balancierung der residualen Koma an. Wird das tivs mit einem für eine 15fache Vergrößerung vorin Fig. 1 dargestellte Objektiv für eine 17fache gesehenen LinsenelementV sind in den Fig. 11, Verkleinerung verwendet, so zeigen die für diese 12 und 13 dargestellt. Ein Vergleich der Kurven Verkleinerung berechneten Kurven der Modulations- zeigt, daß bei beiden Verkleinerungen die imaginären Übertragungsfunktion, wie in den F i g. 6, 7 und 8 25 Teile der tangentialen Büschel sehr klein sind. Der dargestellt, einen starken Abfall der optischen Quali- Korrektionszustand wird durch einen Vergleich der tat. Der imaginäre Teil des tangentialen Bündels
wird dann sehr groß, so daß das Objektiv schon
bei dieser kleinen Änderung der Verkleinerung praktisch wertlos wird. In F i g. 9 wird der Astigmatismus 30 für eine 17fache Vergrößerung entsprechen. Die bei einer 17fachen Verkleinerung dargestellt und ist Durchbiegung des Linsenelementes V der in Fig. 1 für ein Objektiv mittlerer Leistung ebenfalls viel
zu groß. Der maximale Wert von Y, ist gemäß der
Darstellung in den F i g. 9, 26 und 27 gleich 16,0 mm.

Gemäß der Erfindung wird das in F i g. 1 dargestellte Linsensystem durch geringfügige Änderungen in ein Linsensystem übergeführt, das in einem, großen Bereich von Verkleinerungen verwendet werden kann, wobei der hohe Korrektionszustand bei

jeder Verkleinerung beibehalten wird. Es hat sich 40 wünschten Verkleinerungsmaßstab angegeben, gezeigt, daß durch Veränderung nur eines Linsen- kann die Krümmung C₉ (d. h. l/r₉) berechnet werden, elements, in der in F i g. 1 dargestellten Ausführungs- In F i g. 10 sind die erforderlichen Werte für C₈ als form ist es das Linsenelement V, das Objektiv einem eine Funktion der Verkleinerung und der reziproken bestimmten Verkleinerungsfaktor angepaßt werden Verkleinerung dargestellt. Soll das in F i g. 1 kann, ohne-daß der Korrektionszustand in Mitleiden- 45 dargestellte Objektiv für eine 30fache Verkleinerung schaft gezogen wird. Auf diese Weise ergibt sich ein verwendet werden, so kann an Hand der F i g. 10 achtlinsiges· Objektiv, bei dem sieben Linsenelemente,
es handelt sich um die Linsenelemente I bis IV und
VI bis VIII, und deren Luftabstände mit Ausnahme

dargestellten Linsenanordnungen wird durch auf die Brennweite bezogenen Ausdrücke

g g

C = Ι/η, - l/r₉ C = 0,0085566 mm"¹ definiert.
Ist die Krümmung C₈ (d. h.

l/r₈)

für einen geso

festgestellt werden, daß die Abszisse für eine 30fache Vergrößerung oder eine reziproke Verkleinerung gleich 0,033 für eine Krümmung C₈ eine Ordinate

des Lüftabstandes S₂ für einen großen Bereich von 50 mit dem Wert von 0,00586 mm ^J hat. Da r_s = 1/C₈

Verkleinerungsfaktoren ungeändert beibehalten werden können. Die Anpassung des Linsenelements V erfolgt Bach folgenden Gesichtspunkten:

Wird der Verkleinerungsfaktor, für den ein Linsensystem konstruiert wurde, geändert, so ist der Lei- 55
stungsabfall des Linsensystems auf zwei Aberrationen
zurückzuführen, nämlich Koma und Astigmatismus.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die durch
die Koma und den Astigmatismus verursachten Aberrationen durch die Veränderung von nur zwei Para- 60 rung berechnet werden, so daß die Durchbiegung meiern balanciert-Die Balancierung der Koma erfolgt des Linsenelements V festgelegt ist. durch eine Änderung der Form des Linsenelements V
während die Balancierung des Astigmatismus durch
Veränderung des Luftabstandes S₂ erfolgt.

. Bezüglich der Korrektion der Koma wird davon 65 tion der Verkleinerung und der reziproken Verausgegangen, daß das Linsenelement V ein relativ kleinerung aufgetragen. Für eine 30fache Verkleinedünnes und in der Nähe der Systemblende angeordnetes Linsenelement ist, dessen Beitrag zum Astig-

ist, so ist der Radius r₈ für das Linsenelement V bei einer 30fachen Vergrößerung gleich 1/00586 mm"¹, was bei einer effektiven Brennweite von / = 113,62 mm einen Wert von r₈ = 1,5019 / ergibt.

Ebenso ist, da C = /r₈ — l/r₉ und C = 0,0085566, \/r_g = 0,008556 + 0,00586 = 0,0144166 mm"¹, was bei einer Brennweite von /= 113,62 mm einen Wert von 0,6105 / ergibt. In gleicher Weise können die Werte von r₈ und r₉ für jede beliebige Verkleine-

Zur Balancierung der astigmatischen Aberration wird die Breite des Luftabstandes S₂ geändert. In F i g. 10 ist die Breite des Luftabstandes S₂ als Funk-

rung hat die Abszisse der Kurve s₂ eine Ordinate mit dem Wert von 0,533 mm, was bedeutet, daß

S₂ = 0,00469/ ist, wenn / = 113,62 mm ist. Die Werte für die Form des Linsenelements V und die Breite des Luftabstandes S₂ kann an Hand der Darstellungen der F i g. 10 für jeden Vergrößerungsfaktor bestimmt werden. In der folgenden Tabelle werden eine Reihe von Werten für S₂ und l/r₈ für verschiedene Verkleinerungen wiedergegeben.

Verkleinerung	S₂ mm	l/ig mm '
15 χ	.490	.00498S
20 χ	.500	.0054237
30 χ	.533	.00586
40 χ	.576	.006108
50 χ	.616	.006255
Objekt im Unendlichen	.930	.00692

Es wird besonders darauf hingewiesen, daß die Linsenelemente I bis IV und VI bis VIII sowie die Luftabstände S₁, S₃, S₄. und S₅ im Ausführungsbeispiel nicht geändert wurden. Ein Vergleich der Kurven der Modulations-Ubertragungsfunktion für verschiedene Verkleinerungen zeigt, daß der Korrektionszustand des Linsensystems bei den verschiedensten Verkleinerungen gleichbleibt. In den Fig. 11, 12 und 13 werden die Kurven für eine 15fache Verkleinerung, in den Fig. 14, 15 und 16 die Kurven für eine 30fache Verkleinerung, in den Fig. 17, 18 und 19 die Kurven für eine 40fache Verkleinerung, in den F i g. 20, 21 und 22 die Kurven für eine 50fache Verkleinerung und in den Fig. 23, 24 und 25 die Kurven für ein im Unendlichen liegendes Objekt dargestellt. Der Grenzfall eines im Unendlichen liegenden Objektes wurde gewählt, um den Bereich in dem die erfindungsgemäße Linsenanordnung verwendet werden kann, zu veranschaulichen. Alle Kurven zeigen eine außerordentlich hohe Güte über diesen Bereich an, wobei die Größe des Restkoma sehr klein ist und einen balancierten Zustand aufweist. Der Astigmatismus ist, wie aus F i g. 26 zu entnehmen, ebenfalls sehr klein, und die Verzeichnung überschreitet, wie aus Fi g. 27 zu ersehen, in keinem Fall 0,1%. Die Kurven des Astigmatismus und die Kurven der Verzeichnung sind für verschiedene Verkleinerungen in den F i g. 26 und 27 wiedergegeben. Die Berechnung erfolgte für alle Verkleinerungen bei einem Wert für / = 113,62 mm für ein Bildfeld von ±16 mm.

Aus den bisherigen Ausführungen geht hervor, daß das erfindungsgemäße Objektiv sehr vielseitig verwendbar ist, insbesondere kann es eine große Anzahl von bekannten Linsensystemen ersetzen, die jeweils für eine bestimmte Verkleinerung ausgelegt sind. Das erfindungsgemäße Objektiv ist insbesondere für eine Kamera gut geeignet. In Fig. 28 wird ein Längsschnitt durch ein gemäß der Erfindung konstruiertes Objektiv dargestellt, in dem auch die mechanischen Elemente zur Veränderung des Luftabstandes und zum Auswechseln des Linsenelementes V enthalten sind. In der Darstellung nach F i g. 28 sind die Linsenelemente I, II, III, IV, VI, VII und VIII sowie deren Luftabstände mit Ausnahme des Luftabstandes s₂ gleich dem in F i g. 2 dargestellten und durch die in F i g. 2 wiedergegebenen Werte festgelegten Objektiv. In der in F i g. 28 dargestellten Anordnung ist eine Vielzahl von Linsenelementen V verschiedener Durchbiegung enthaltende, drehbar gelagerte Scheibe 14 wiedergegeben, die mit Hilfe eines Rändelknopfes 16 gedreht werden kann. Durch Drehung des Knopfes 16 kann ein der jeweils gewünschten Verkleinerung angepaßtes Linsenelement V in den Bereich der optischen Achse 10 gebracht werden, über eine durch den Einstellknopf 18 drehbare Spindel können die auf einer gemeinsamen Führung angeordneten Linsenelemente I und II zur Verstellung des Luftspaltes s₂ verschoben werden. Es sei noch darauf hingewiesen, daß die Anordnung und Ausgestaltung der Linsenelemente des Objektivs so getroffen ist, daß die Linsenelemente V die einfachsten und billigsten Elemente sein können. Durch die in Fi g. 28 dargestellte Anordnung kann jede beliebige Kombination von geeignet durchgebogenen Linsenelementen V und Abständen S₂ etwa in Übereinstimmung mit den Werten der zuletzt wiedergegebenen Tabelle hergestellt werden.

Claims

Patentansprüche:

1. Fotografisches Objektiv vom Gaußtyp mit Wechselgliedern zur Änderung der Brennweite, dadurch gekennzeichnet, daß in seinem Blendenraum eine zerstreuende Brechkraft unterschiedlicher Größe, vorzugsweise ein zur Blende hohler Meniskus (V), einbringbar ist, und daß die dadurch gestörte Korrektion durch entsprechende Abstandsänderungen (s₂) der objektseitigen positiven Wirkungsgruppe von den auf diese folgenden optischen Gliedern herbeigeführt ist.

2. Fotografisches Objektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Rahmenwerte, bezogen auf die Objektivbrennweite /:

0,92/ < 0,066 / < d_x · 3,60/ < 0,003 / < S₁ ' 0,58/ < 0,060 / < d₂ - ^S2 0,84/ < 0,098 / < d₃ < 0,32/ < 0,033 / 2,35/ < 0,130 / < S₃ - 0,22/ < 0,027 / < d₅ < 0,26/ < 0,125 / < S₄ < 2,30/ < 0,037 / < d₆ < 0,37/ < 0,078 / 1,26/ < 0,003 / < S₅ < 0,85/ < 0,076 / < ^8 * ί +T₁ < < 0,072/ ί +r₂ < < 0,005/ < 0,063/ variabel ; +r₄ < c 0,102/ ' +r₅ < c 0,037/ ' +r₆ < ί 0,136/ c +r₇ < c 0,033/ ⁷S '- -ho < c 0,133/ C -T_n < c 0,042/ : -hi ^< c 0,082/ = +''13 < ί 0,005/ c 0,082/ = 1,04/ ί 4,00/ 55 c 0,63 / ; 0,94/ ί 0,38/ : 2,53/ 6o : 0,24/ variabel variabel ; 0,30/ ; 2,50/ 6₅ c 0,41 / c 1,45/ ; 0,94/

109 541/188

ίο

wobei die Krümmungsradien r₈ und r₉ des fünften Linsenelements (V) und der Abstand s₂ zwischen dem zweiten und dem dritten Linsenelement (II, III) eine Funktion der Verkleinerung des Systems sind und wobei die Brechungsindizes n_d und die Abbeschen Zahlen ν der Linsenelemente I bis VIII gleich 1,69089, 1,69089, 1,69089, 1,64752, 1,64752, 1,60328, 1,69089 und 1,69089 bzw. 54,80, 54,80, 54,80, 33,80, 33,80, 38,02, 54,80, 54,80 sind.

3. Fotografisches Objektiv mit 20facher Verkleinerung nach den Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet durch folgende Werte:

Linse

Radius

Dicke (d)
Luftabstand (s)

I h = +0,9840/ d_t = 0,0691 / 1,69089 54,80 r₂ = +3,8081/ Sl = 0,0044/ II r₃ = +0,6089/ d₂ = 0,0616/ 1,69089 54,80 T₄. = +0,8903/ S₂ = 0,0044/ III r₅ = +0,3461/ d₃ = 0,0995/ 1,69089 54,80 r₆ = +2,4406/ d_A = 0,0352/ IV ri = +0,2320/ S₃ = 0,1329/ 1,64752 33,80 V r₈ = +1,6228/ ds = 0,0299/ 1,64752 33,80 r₉ = +0,6295/ S₄ = 0,1294/ VI ho = -0,2813/ d₆ = 0,0396 / 1,60328 38,02 hi = -2,3989/ d₁ = 0,0804/ VII hi = -0,3923/ S₅ = 0,0044/ 1,69089 54,80 VIII = +1,3630/ ds = 0,0792/ 1,69089 54,80 = -0,8977/

4. Fotografisches Objektiv nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch folgende Werte des auswechselbaren fünften Linsenelements (V) und des Luftabstands s₂ zwischen dem zweiten (II) und dem dritten (III) Linsenelement

Verkleinerung

15 χ
20 χ
30 χ
40 χ

0,00431 ·/ 1,764· / 0,649 ·/

0,00440 ■ / 1,623 · / 0,629 · /

0,00469 · / 1,5019 · / 0,610 · /

0,00506 · / 1,440 · / 0,600 · /

Verkleinerung

s₂ mm

50 χ 0,00542

Objekt im 0,00819
Unendlichen

1,407 · / 0,594
1,271 ■ / 0,568

5. Fotografisches Objektiv nach den Ansprüchen 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine die Linsenelemente (V) verschiedener Brechkraft enthaltende drehbar gelagerte Scheibe (14) und eine Vorrichtung zur gleichzeitigen, eine Veränderung des Luftspaltes S₂ bewirkenden Verschiebung des ersten und des zweiten Linsenelements (I₅II).

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen