DE1572700C - Fotografisches Objektiv vom Gaußtyp mit Wechselgliedern zur Änderung der Brennweite - Google Patents

Description

Bei der Herstellung miniaturisierter integrierter Schaltungen werden die in den einzelnen Verfahrensschritten zu beschichtenden, zu dotierenden oder sonstwie zu behandelnden Bereiche eines Halbleiterblättchens durch fotolithografische Verfahren bestimmt. Bei den oft sehr zahlreichen Verfahrensschritten werden immer neue Masken auf den gleichen Bereichen des zu bearbeitenden Halbleiterblättchens abgebildet, deren Lage und Form sehr genau sein muß, damit die während eines Verfahrensschrittes erzeugten, off nur wenige Mikron breiten Bereiche die richtige Relativlage zu den während anderer Verfahrensschritte erzeugten Bereichen und Anschlüssen haben. Bei der oft großen Kompliziertheit und der großen Anzahl der auf einem Halbleiterblättchen abzubildenden Masken ist es einleuchtend, daß an die Qualität der die Abbildung der Masken bewirkenden Linsensysteme hohe Anforderungen gestellt werden müssen.

Die Anforderungen an den Korrektionsgrad der Linsensysteme sind besonders dann sehr schwer zu erfüllen, wenn stark vergrößernde oder verkleinernde Linsensysteme erforderlich sind. Dies wird bei der Herstellung und der Abbildung der Masken für integrierte Schaltungen fast immer der Fall sein, da die meist von Hand gezeichneten" Vorlagen wesentlich größer als die integrierten Schaltungen selbst sein werden.

Diese für sich allein schon sehr schwer erfüllbaren Anforderungen an den Korrektionsgrad und das Auflösungsverfahren der abbildenden optischen Systeme sind noch schwerer zu erfüllen, wenn die Linsensysteme für mehrere Brennweiten ausgelegt werden müssen, was bei für die Herstellung von integrierten Schaltungen benötigten Systemen sehr oft der Fall ist. Derartige optische Systeme werden auch in vielen anderen Fällen benötigt, beispielsweise in der Mikrofotografie, bei Kristallstrukturuntersuchungen usw.

In der deutschen Auslegeschrift 1087 825 wird ein Gauß-Objektiv beschrieben, bei dem der mindestens aus zwei Gliedern bestehende Vorderteil des Objektivs zum Zwecke der Brennweitenveränderung auswechselbar ist. Die Korrektur der bei Änderung der Brennweite auftretenden Fehler erfolgt in Form eines Kompromisses durch geeignete Wahl der Glassorten und der anderen unveränderlichen Konstruktionsmerkmale, zu denen auch die Ausbildung des vor der Blende befindlichen Gliedes als Linse mit negativer Brechkraft gehört. Es ist einleuchtend, daß bei dieser Lösung eine für jede einstellbare Brennweiteoptimale Korrektur nicht erreicht werden kann.

In der französischen Patentschrift 951 536 wird die Verschiebung eines Frontgliedes aus Korrektionsgründen bei den Änderungen des Abbildungsmaßstabes angegeben. In der französischen Patentschrift 1 239 950 wird ein Objektiv mit einem aus zwei Menisken bestehenden Frontglied beschrieben. Schließlich ist es bei Fernrohren und bei Mikroskopen bekannt, eine Änderung der Vergrößerung durch sogenannte Schaltlinsen vorzunehmen.

Mit keinem der obengenannten Mittel war es möglich, die Aufgabe gemäß der Erfindung zu lösen, die darin besteht, ein Objektiv mit veränderbarer Brennweite und mit für jede Brennweite optimaler Korrektion zu schaffen.

Um diese Anforderungen zu erfüllen, wird gemäß der Erfindung ein fotografisches Objektiv vom Gaußtyp angegeben, das dadurch gekennzeichnet ist, daß zum Zweck einer Brennweitenveränderung in seinem Blendenraum eine zerstreuende Brechkraft unterschiedlicher Größe, vorzugsweise ein zur Blende hohler Meniskus, einbringbar ist und daß die dadurch gestörte Korrektion durch entsprechende Abstandsänderungen der objektseitigen positiven Wirkungsgruppe von den auf diese folgenden optischen Gliedern herbeigeführt ist.

Eine besonders vorteilhafte Ausbildungsform des Erfindungsgedankens ist gekennzeichnet durch folgende Rahmenwerte, bezogen auf die Grundbrennweite / des Objekts:

0,92/	< H-r, <	0,066 /	< rf,	< 0,072 /
3,60/	< +r2 <	0,003 /	< s.	< 0,005/
0,58/	< + r3 <	0,060 /	< d2	< 0,063/
			S2	variabel
0,84/	< +r4 <	0,098 /	< d3	< 0,102/
0,32/	< +r5 <	0,033 /	< d4	< 0,037/
2,35 /	< +r6 <	0,130 /	< S3.	< 0,136/
0,22/	< +r7 <	0,027 /	< d5'	< 0,033/
	r8
	/9
0,26/	< "Γιο <	0,125/	< S4	< 0,133/
2,30 /	< -Γιΐ <	0,037/	< d6	< 0,042/
0,37 /	< -Γι2 "	0,078 /	< d7	< 0,082/
1,26/	< +Γΐ3 <	0,003/	< «5	< 0,005 /
0,85/	< -ri4 <	0,076 /	< ds	< 0,082/
= 1,04/
: 4,00/
= 0,63/
: 0,94/
: 0,38/
:. 2,53/
: 0,24/
variabel
variabel
: 0,30 /
: 2,50/
= 0,41 /
: 1,45/
: 0,94/

'wobei die Krümmungsradien r₈ und r_g des fünften 65 die Brechungsindizes n_d und die Abbeschen Zahlen j>

Linsenelements und der Abstand s₂ zwischen dem der Linsenelemente gleich 1,69089, 1,69089, 1,69089,

zweiten und dem dritten Linsenelemerit eine Funk- 1,64752, 1,64752, 1,60328, 1,69089 und 1,69089 bzw.

tion der Verkleinerung des Systems sind und wobei 54,80, 54,80, 54,80, 33,80, 38,02, 54,80 und 54,80 sind.

Eine spezielle Ausführungsform des Erfindungsgedankens ist schließlich kennzeichnet: .

durch

folgende Werte ge-

•ι.	h =	+0,9840 /	di = 0,0691 /	1,69089	54,80
	r2 =	+3,8081 /	S1 =0,0044/
II	r3 =	+0,6089 /	d2 = 0,0616/	1,69089	54,80
	r4 =	+0,8903 /	S2 = 0,0044/
III	's =	+0,3461 /	d3 = 0,0995/	1,69089	54,80
	r6 =	+ 2,4406/	dA = 0,0352/
IV	T1 =	+0,2320 /	S3 = 0,1329/	1,64752	33,80
V	r8 =	+1,6228 /	ds = 0,0299/	1,64752	33,80
	T9 =	+0,6295 /	S4 = 0,1294/
VI	ho =	-0,2813/	d6 = 0,0396 /	1,60328	' 38,02
	hi =	-2,3989/	dn = 0,0804/
VII	hl =	-0,3923 /	S5' = 0,0044 /	1,69089	54,80
VIII	hi =	+ 1,3630/	d8 = 0,0792/	1,69089	54,80
	r14 =	-0,8977/

Dieses spezielle Objektiv kann abgeändert werden durch Wechselglieder V, deren Radien und zugeordnete Luftabstände zwischen der zweiten und dritten Linse in der folgenden Tabelle angegeben sind:

-Verkleinerung	S2 mm	'S	r9
15 X	0,00431 · /	1,764··/	0,649 · /
20 χ	0,00440·/	1,623 · /	0,629 · /
30 χ	0,00469 · /	1,5019 · /	0,610·/
40 χ	0,00506 ■ /	1,440·/	0,600 · /
50 χ	0,00542 · /	1,407 · /	0,594·/
Objekt, im	0,00815·/	1,271 · /	0,568 · /
Unendlichen

Vorteilhaft befinden sich die Linsenelemente verschiedener Brechkraft auf einer drehbar gelagerten Scheibe und eine Vorrichtung sorgt gleichzeitig für die, erforderliche Veränderung des Luftspaltes S₂ durch axiales Verschieben des ersten und des zweiten Linsengliedes.

Die Erfindung wird an Hand der Figuren näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein gemäß der Erfindung aufgebautes Linsensystem mit veränderlicher'Verkleinerung,

F i g. 2 eine Aufstellung der Konstruktionsdaten des in F i g. 1 dargestellten Objektivs,

F i g. 3, 4, 5 Darstellungen der Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objektivs, berechnet für eine 20fache Verkleinerung für den paraxialen Raum, für das 0,7-Feld und für das volle Feld, ,

F i g. 6, 7, 8 Darstellungen der Modulations-Ubertragungsfunktion des in Fi g. 1 dargestellten Objektivs, berechnet für eine 17fache Verkleinerung für den paraxialen Raum, für das 0,7-Feld und für das volle Feld, jedoch ohne Berücksichtigung der durch die vorliegende Erfindung vorgesehenen Änderungen, F i g. 9 die Kurve des Astigmatismus des in F i g, 1 wiedergegebenen Objektivs mit einer 17fachen Vergrößerung, jedoch ohne Berücksichtigung der durch die vorliegende Erfindung vorgesehenen Änderungen, F i g. 10 die Kurve des Luftspaltes s₂ und des reziproken Krümmungsradius r₈ des in F i g. 1 dargestellten Objektivs als Funktion der reziproken Verkleinerung,

Fig. 11, 12, 13 Darstellungen der Modulationsr

übertragungsfunktion eines gemäß der vorliegenden Erfindung konstruierten Objektivs, berechnet für den paraxialen Raum, für das 0,7-Feld und für das volle Feld bei einer 15fachen Verkleinerung,

Fig. 14, 15, 16 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen, berechnet für eine 30fache Verkleinerung, -

Fig. 17, 18, 19 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen, berechnet für eine 40fache Verkleinerung,

F i g. 20, 21, 22 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen für eine 50fache Verkleinerung, ·. . : .

Fig. 23, 24, 25 eine Darstellung der Modulations-Ubertragungsfunktionen für ein im Unendlichen liegendes Objekt, ;

F i g. 26 eine Darstellung der Kurven des Astigmatismus für ein gemäß der« vorliegenden Erfindung konstruiertes Objektiv für eine 15-, 20-, 13-, 40-, und 50fache Verkleinerung,

F i g. 27 eine Darstellung der Verzeichnung-Kurven eines gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebauten Objektivs für 15-, 20-, 30-, 40- und 50fache Verkleinerungen,

F i g. 28 einen Längsschnitt durch ein gemäß der Erfindung aufgebautes verkleinerndes Objektiv mit Mitteln zum Auswechseln der Linse und zur Veränderung des Luftspaltes.

In Fig. 1 wird ein verkleinerndes Objektiv dargestellt, das aus acht Linsenelementen I bis VIII besteht. Bei Verwendung einer Strahlung von 5461 Ä Wellenlänge, hat das in F i g. 1 dargestellte Objektiv

eine effektive Brennweite von 113,62 mm, eine bildseitige Focalschnittweite von 59,26 mm und eine objektseitige Focalschnittweite von 46,78 mm. Es ist für eine 20fache Verkleinerung ausgelegt.

Die feststehende Blende mit einem Durchmesser von 20,8 mm bei fß ist 3,7 mm rechts vom Linsenelement V angeordnet.

In den Fig. 3, 4 und 5 werden die Kurven der Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objektivs für ein Feld in Achsennähe, für ein 0,7-Feld und für ein volles Feld dargestellt. Die Berechnungen wurden für eine Wellenlänge von λ =. 5461 Ä, für ./ = 113,62 mm durchgeführt und umfassen ein lineares Feld von ±16 mm, auf das ein Feld von ±320 mm verkleinert wurde. Aus den F i g. 3, 4 und 5 ist der einheitlich hohe Korrektionszüstand ersichtlich, und zwar durch die geringen Abweichungen aller Kurven von der Beugungsgrenze. Der imaginäre Teil des tangentialen Bündels ist sehr klein, und seine Zeichenumkehr zeigt die Baläncierufig der residualen Koma an. Wird das in F i g. 1 dargestellte Objektiv für eine 17fache' Verkleinerung verwendet, so zeigen die für diese Verkleinerung berechneten Kurven der Modulations-Uberträgungsfunktion, wie in den F i g. 6, 7 und 8 dargestellt, einen starken Abfall der optischen Qualität. Der imaginäre Teil des tangentialen Bündels wird dann sehr groß, so daß das Objektiv schon bei dieser kleinen Änderung der Verkleinerung praktisch wertlos wird. In F i g. 9 wird der Astigmatismus bei einer 17fachen Verkleinerung dargestellt und ist für ein- Objektiv mittlerer Leistung ebenfalls viel zu groß. Der maximale Wert von Y, ist gemäß der Darstellung in den F i g. 9, 26 und 27 gleich 16,0 mm.

Gemäß der Erfindung wird das in F i g. 1 dargestellte Linsensystem durch geringfügige Änderungen in ein Linsensystem übergeführt, das in einem großen Bereich von Verkleinerungen verwendet werden kann, wobei der hohe Korrektionszustand bei jeder Verkleinerung beibehalten wird. Es hat sich gezeigt, daß durch Veränderung nur eines Linsenelements, in der in F i g. 1 dargestellten Ausführungsform ist es das Linsenelement V, das Objektiv einem bestimmten Verkleinerungsfaktor angepaßt werden kann, ohne daß der Korrektionszustand in Mitleidenschaft gezogen wird. Auf diese Weise ergibt sich ein achtlinsiges Objektiv, bei dem sieben Linsenelemente, es handelt sich um die Linsenelemente I bis IV und VI bis VIII, und deren Luftabstände mit Ausnahme des Luftabständes S₂ für einen großen Bereich von Verkleinerurigsfaktoren ungeändert beibehalten werden können. Die Anpassung des Linsenelements V erfolgt nach folgenden Gesichtspunkten:

Wird der Verkleinerungsfaktor, für den ein Linsensystem konstruiert wurde, geändert, so ist der Lei- stungsabfall des Linsensystems auf zwei Aberrationen zurückzuführen, nämlich Koma und Astigmatismus. Gemäß der vorliegenden Erfindung werden die durch die Koma und den Astigmatismus verursachten Aberrationen durch die Veränderung von nur zwei Parä- meterri balanciert;: Die Balancierung der Koma erfolgt durch eine Änderung der Form des Linsenelements V während die Balancierung des Astigmatismus durch Veränderung des Luftabstandes s₂ erfolgt.

Bezüglich der Korrektion der Koma wird davon ausgegangen, daß das Linsenelement V ein relativ dünnes und in der Nähe der Systemblende angeordnetes Linsenelement ist, dessen Beitrag zum Astig matismus im wesentlichen eine Funktion der Linsenstärke und fast unabhängig von der Linsenform ist. Da die Linse V so ausgelegt ist, daß sie im Bereich der Minimalabienkung des axialen Bündels arbeitet, so ändert sich die sphärische Aberration langsam als Funktion der Durchbiegung. Der Beitrag der Seidelkoma des Linsenelements V ändert sich jedoch in bezug auf die Durchbiegung sehr schnell, urfd da die chromatischen Aberrationen höherer Ordnung des gesamten Linsensystems sich nur wenig bei Änderung des Verkleinerungsmaßstabs ändern, so wird eine Durchbiegung des Linsenelements V als Funktion der Verkleinerung alle Ordnungen der Koma mit sehr schmalen zonalen Residuen ausbalancieren.

Die Kurven der Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objektivs sind in den F i g. 3, 4 und 5 für eine 20fache Verkleinerung dargestellt. Die Kurven für die Modulations-Ubertragungsfunktion des in F i g. 1 dargestellten Objektivs mit einem für eine 15fache Vergrößerung vorgesehenen Linsenelement V sind in den Fig. 11, 12 und 13 dargestellt. Ein Vergleich der Kurven zeigt, daß bei beiden Verkleinerungen die imaginären Teile der tangentialen Büschel sehr klein sind. Der Korrektionszustand wird durch einen Vergleich der für eine 15fache Verkleinerung vorgesehenen Kurven der Fig. 11, 12 und 13 mit.den F ig. 6, 7 und 8 Verdeutlicht, die einem nicht abgeänderten Linsensystem für eine 17fache Vergrößerung entsprechen. Die Durchbiegung des. Linsenelementes V der in F i g. 1 dargestellten Linsenänordnungen wird durch die auf die Brennweite bezogenen Ausdrücke

g 9

C = l/r₈ - l/r₉
C = 0,0085566 mm-¹
definiert.

Ist die Krümmung C₈ (d. h. l/r₈) für einen gewünschten Verkleinerungsmaßstab angegeben, so kann die Krümmung C₉ (d. h. l/r₉) berechnet werden. In Fig. 10 sind die erforderlichen Werte für C₈ als eine Funktion der Verkleinerung und der reziproken Verkleinerung dargestellt. Soll das in F i g. 1 dargestellte Objektiv für eine 30fache Verkleinerung verwendet werden, so kann an Hand der F i g. 10 festgestellt werden, daß die Abszisse für eine 30fache Vergrößerung oder eine reziproke Verkleinerung gleich 0,033 für eine Krümmung C₈ eine Ordinate mit dem Wert von 0,00586 mm"¹ hat. Da T₈ — 1/C₈ ist, so ist der Radius r₈ für das Linsenelement V bei einer 30fachen Vergrößerung gleich 1/00586 mm"¹, was bei einer effektiven Brennweite von / = 113,62 mm einen Wert von r₈ = 1,5019 / ergibt.

Ebenso ist, da C=/r₈- l/r₉ und C = 0,0085566, l/r₉ = 0,008556 + 0,00586,= 0,0144166 mm"¹, was bei einer Brennweite von /= 113,62 mm einen Wert von 0,6105/ ergibt. In gleicher Weise können die Werte von r₈ und r₉ für jede beliebige Verkleinerung berechnet werden, so daß die Durchbiegung des Lirisenelements V festgelegt ist. '

Zur Balancierung der astigmatischen Aberration wird die Breite des Luftabstandes s₂ geändert. In Fi g. 10 ist "die Breite des Lüftabstandes s₂ als Funktion der Verkleinerung und der reziproken Verkleinerung aufgetragen. Für eine 30fache Verkleinerung hat die Abszisse der Kurve S₂ eine Ordinate mit dem Wert: von 0,533mm, was bedeutet, daß

S₂ = 0,00469/ ist, wenn / = 113,62 mm ist. Die Werte für die Form des Linsenelements V und die Breite des Luftabstandes S₂ kann an Hand der Darstellungen der F i g. 10 für jeden Vergrößerungsfaktor bestimmt werden. In der folgenden Tabelle werden eine Reihe von Werten für s₂ und l/r₈ für verschiedene Verkleinerungen wiedergegeben.

Verkleinerung	S2 mm	l/r8 mm"1
15 χ	.490	.004988
20 χ	.500	.0054237
30 χ	.533	.00586
40 χ	.576	.006108
50 χ	.616	.006255
Objekt im Unendlichen	.930	.00692

Es wird besonders darauf hingewiesen, daß die Linsenelemente I bis IV und VI bis VIII sowie die Luftabstände ,S₁, s₃, s₄ und s₅ im Ausführungsbeispiel nicht geändert wurden. Ein Vergleich der Kurven der Modulations-Ubertragungsfunktion für verschiedene Verkleinerungen zeigt, daß der Korrektiönszustand des Linsensystems bei den verschiedensten Verkleinerungen gleichbleibt. In den Fig. 11, 12 und 13 werden die Kurven für eine 15fache Verkleinerung, in jden F ig. 14, 15 und 16 die Kurven für eine 30fache Verkleinerung, in den Fig. 17, 18 und 19 die Kurven für eine 40fache Verkleinerung, in den F i g, 20, 21 und 22 die Kurven für eine 50fache Verkleinerung und in den F i g. 23, 24 und 25 die Kurven für ein im Unendlichen liegendes Objekt dargestellt. Der Grenzfall eines irn Unendlichen liegenden Objektes wurde gewählt, um den Bereich in dem die erfindungsgemäße Linsenanordnung verwendet werden kann, zu veranschaulichen. Alle Kurven zeigen eine außerordentlich hohe Güte über diesen Bereich an, wobei die Größe des Restkoma sehr klein ist und einen balancierten Zustand aufweist. Der Astigmatismus ist, wie aus F i g. 26 zu entnehmen, ebenfalls sehr klein, und die Verzeichnung überschreitet, wie aus Fig. 27 zu ersehen, in keinem Fall 0,1%. Die Kurven des Astigmatismus und die Kurven der Verzeichnung sind für verschiedene Verkleinerangen in den F i g. 26 und 27 wiedergegeben. Die Berechnung erfolgte für alle Verkleinerungen bei einem Wert für / = 113,62 mm für ein Bildfeld von ± 16 mm.

Aus¹ den bisherigen Ausführungen geht hervor, daß das erfindungsgemäße Objektiv sehr vielseitig verwendbar ist, insbesondere kann es eine große Anzahl von bekannten Linsensystemen ersetzen, die jeweils für eine bestimmte Verkleinerung ausgelegt sind. Das erfindungsgemäße Objektiv ist insbesondere für eine Kamera gut geeignet. In Fig. 28 wird ein Längsschnitt durch ein gemäß der Erfindung konstruiertes Objektiv dargestellt, in dem auch die mechanischen Elemente zur Veränderung des Luftabstandes und zum Auswechseln des Linsenelementes V enthalten sind. In der Darstellung nach F i g. 28 sind die Linsenelemente I, II, III, IV, VI, VII und VIII sowie deren Luftabstände mit Ausnahme des Luftabstandes S₂ gleich dem in F i g. 2 dargestellten und durch die in F i g. 2 wiedergegebenen Werte festgelegten Objektiv. In der in Fig. 28 dargestellten Anordnung ist eine Vielzahl von Linsenelementen V verschiedener Durchbiegung enthaltende, drehbar gelagerte Scheibe 14 wiedergegeben, die mit Hilfe eines Rändelknopfes 16 gedreht werden kann. Durch Drehung des Knopfes 16 kann ein der jeweils gewünschten Verkleinerung angepaßtes Linsenelement V in den Bereich der optischen Achse 10 gebracht werden, über eine durch den Einstellknopf 18 drehbare Spindel können die auf einer gemeinsamen Führung angeordneten Linsenelemente I und II zur Verstellung des Luftspaltes s₂ verschoben werden. Es sei noch darauf hingewiesen, daß die Anordnung und Ausgestaltung der Linsenelemente des Objektivs so getroffen ist, daß die Linsenelemente V die einfachsten und billigsten Elemente sein können. Durch die in F i g. 28 dargestellte Anordnung kann jede beliebige Kombination von geeignet durchgebogenen Linsenelementen V und Abständen S₂ etwa in Übereinstimmung mit den Werten der zuletzt wiedergegebenen Tabelle hergestellt werden.

Claims (5)

Patentansprüche :

1. Fotografisches Objektiv vom Gaußtyp mit Wechselgliedern zur Änderung der Brennweite, dadurch gekennzeichnet, daß in seinem Blendenraum eine zerstreuende Brechkraft unterschiedlicher Größe, vorzugsweise ein zur Blende hohler Meniskus (V), einbringbar ist, und daß die dadurch gestörte Korrektion durch entsprechende Abstandsänderungen (s₂) der objektseitigen positiven Wirkungsgruppe von den auf diese folgenden optischen Gliedern herbeigeführt ist.

2. Fotografisches Objektiv nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Rahmenwerte, bezogen auf die Objektivbrennweite /:

0,92/ < 0,066/ < 3,60/ < 0,003/ < 0,58/ < 0,060/ < 0,84/ < 0,098/ < 0,32/ < 0,033/ < 2,35/ < 0,130/ < 0,22 / < 0,027/ < 0,26/ < 0,125/ < 2,30/ < 0,037/ < 0,37/ < 0,078/ < 1,26/ < 0,003/ < 0,85 f < 0,076/ < : +T₁ < c d, < ' +r₂ < ; +r₃ < c d₂ < S₂ ; +r₄ < ' d₃ < : +r₅ < ' d₄ < c +r₆ < C S₃ < ; +r_n < c d₅ < ^r8 r₉ ' ^rio * C S₄ - = d₆ < = ~^r12 ^< c +r₁₃ < C S₅ < c d_s ■> : 1,04/ = 0,072/ : 4,00/ 55 c 0,005/ : 0,63 / c 0,063/ variabel : 0,94/ ί 0,102/ : 0,38/ c 0,037/ ; 2,53/ 6o c 0,136/ ; 0,24/ c 0,033/ variabel variabel : 0,30/ c 0,133/ : 2,50 / . 6₅ c 0,042/ : 0,41 / c 0,082/ : 1,45 / c 0,005/ ; 0,94/ c 0,082/

ίο

wobei die Krümmungsradien r₈ und r₉ des fünften Linsenelements (V) und der Abstand S₂ zwischen dem zweiten und dem dritten Linsenelement (II, III) eine Funktion der Verkleinerung des Systems sind und wobei die Brechungsindizes n_d und die Abbeschen Zahlen ν der Linsenelemente I bis VIII gleich 1,69089, 1,69089, 1,69089, 1,64752, 1,64752, 1,60328, 1,69089 und 1,69089 bzw. 54,80, 54,80, 54,80, 33,80, 33,80, 38,02, 54,80, 54,80 sind.'

3. Fotografisches Objektiv mit 20facher Verkleinerung nach den Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet durch folgende Werte:

Linse

Radius

Dicke {d) Luftabstand (s)

I »"ι = +0,9840/' d_l = 0,0691 / 1,69089 54,80 r₂ = + 3,8081 / ' S₁ = 0,0044/ II r₃ = +0,6089 / d₂ = 0,0616/ 1,69089 54,80 ^4 = +0,8903 / S₂ = 0,0044/ III ^r5 = +0,3461 / d₃ = 0,0995 / 1,69089 54,80 r₆ = +2,4406 /' d_A = 0,0352/ IV T₁ = +0,2320 / S₃ = 0,1329/ 1,64752 33,80 V 's '= + 1,6228/ d₅ = 0,0299 / 1,64752 33,80 r₉ = +0,6295 / S₄ = 0,1294/ VI ^rio — -0,2813 / d₆ = 0,0396 / 1,60328 38,02 hl = -2,3989 / d_n = 0,0804/ VII r_u = -0,3923 / S₅ = 0,0044/ 1,69089 54,80 VIII r_i3 = + 1,3630/ d_s = 0,0792/ 1,69089 54,80 »14 = -0,8977 /

4. Fotografisches Objektiv nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch folgende Werte des auswechselbaren fünften Linsenelements (V) und des Luftabstands S₂ zwischen dem zweiten (II) und dem dritten (HI) Linsenelement Verkleinerung

50 χ

Objekt im
Unendlichen

0,00542
0,00819

1,407
1,271

/ 0,594·/ / 0,568 ·./

Verkleinerung

15 χ
20 χ
30 χ
40 χ

0,00431 · /
0,00440/
0,00469 · /
0,00506 · /

1,764 · / 0,649 · / 1,623 · / 0,629 · / 1,5019/ 0,610'⁷/~ 1,440·/ 0,600-/

40

5. Fotografisches Objektiv nach den Ansprüchen 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine die Linsenelemente (V) verschiedener Brechkraft enthaltende drehbar gelagerte Scheibe (14) und eine Vorrichtung zur gleichzeitigen, eine Veränderung des Luftspaltes S₂ bewirkenden Verschiebung des ersten und des zweiten Linsenelements (I, II).

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen