DE1564653C3 - An der Pumpe arbeitender Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit gekühlten Bauteilen zur Verringerung der Objektverschmutzung - Google Patents

Description

Gegenstand des Hauptpatents 1514 572 ist ein an der Pumpe arbeitender Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer Objektpatrone, die zwecks Einführung eines Objekts in die Bohrung einer Objektivlinse in Richtung der Linsenachse bewegbar ist, sowie mit einem in wärmeleitender Verbindung mit einer Tiefkühlvorrichtung stehenden, das Linsenfeld nicht beeinflussenden Bauteil, das das eingeführte Objekt zur Verringerung seiner Verschmutzung mit einer gekühlten Wand umgibt, wobei die gekühlte Wand durch die innere Mantelfläche einer Bohrung eines im Linsenspalt angeordneten und sich senkrecht zur Linsenachse erstreckenden ring- oder scheibenförmigen Bauteils gebildet ist und der Durchmesser der Bohrung zumindest gleich dem Durchmesser der Linsenbohrung ist. Es handelt sich hierbei um eine Anordnung zur Objektraumkühlung, deren Zweck es ist, Moleküle und Atome, die zur Verschmutzung des Objekts beitragen können, auf den gekühlten Flächen niederzuschlagen.

Nach einer Ausführungsform des Hauptpatents ist bei einem Gerät, das mit einem Objektverstelltisch ausgerüstet ist, auf der der Objektivlinse abgekehrten Seite des Tischs ein weiteres gekühltes ring- oder scheibenförmiges Teil angeordnet.

Die Erfindung befaßt sich mit der Aufgabe, bei der genannten Ausführungsform des Hauptpatents die Wirksamkeit der Objektraumkühlung zu verbessern. Dies wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß der Objektverstelltisch von seiner der Objektivlinse zugekehrten Oberfläche zu seiner dem weiteren gekühlten Teil zugekehrten Oberfläche verlaufende Kanäle aufweist. Hierdurch wird erreicht, daß das gekühlte Teil durch den Objektverstelltisch »hindurchgreifen« kann, so daß zur Verschmutzung beitragende Atome und Moleküle aus dem Zwischenraum zwischen dem Objektverstelltisch und der Objektivlinse abgesaugt werden.

Dabei können die Kanäle parallel zur Achse des Korpuskularstrahls verlaufen; es ist aber auch möglich, diese Kanäle schräg oder geknickt auszuführen, wenn dies beispielsweise Antriebsmittel für die in dem Tisch gehaltene Objektpatrone erforderlich machen.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt die Figur.

Die dort dargestellte elektromagnetische Objektivlinse bestehe im wesentlichen aus der Erregerwicklung 1, den den magnetischen Rückschluß bildenden Teilen 2 und 3 sowie den beiden Polschuhen 4 und 5. Zwischen den beiden Polschuhen erstreckt sich in üblicher Weise der Linsenspalt 6, in dem sich gemäß dem Hauptpatent ein in diesem Ausführungsbeispiel über die wärmeleitende Stange 8 mit einem nicht dargestellten Kühlmittel in wärmeleitender Verbindung stehendes scheibenförmiges Teil 7 befindet.

Ein weiteres derartiges Teil 9 ist mittels märmeleitender Bolzen 10 od. dgl. oberhalb des die Objektpatrone 11 aufnehmenden Objektivverstelltischs 12 angeordnet. Die Objektpatrone 11 hält, wie bereits in dem im Hauptpatent beschriebenen Ausführungsbeispiel, die Objektträgerblende 13 mittels strebenartiger Halteelemente 14 im Linsenfeld der Objektivlinse.

Erfindungsgemäß sind in dem Objektverstelltisch 12 mehrere Kanäle vorgesehen, die sich von der dem gekühlten Teil 9 zugekehrten Fläche 15 des Tischs zu der der Objektivlinse zugekehrten Fläche 16 desselben erstrecken. Ein parallel zur Achse A des Korpuskularstrahls verlaufender Kanal ist mit 17 bezeichnet. Häufig ist es jedoch nicht möglich, den Kanal in dieser Weise zu führen, da beispielsweise Antriebselemente zur Bewegung des Objekts, z. B. im Falle von Stereountersuchungen, durch den Tisch 12 hindurchgeführt werden müssen. Dann können die Kanäle in der bei 18 angedeuteten Weise schräg liegen oder, wie bei 19 dargestellt, geknickt ausgeführt sein.

Durch diese Kanäle greift das gekühlte Teil 9 durch den Tisch 12 hindurch, so daß sich seine Wirkung auch auf die in dem Zwischenraum zwischen dem Tisch 12 und der Objektivlinse befindlichen Atome und Moleküle erstreckt, diese also aus dem Zwischenraum abgesogen und an dem gekühlten Teil 9 festgehalten werden.

Die Zahl der Kanäle richtet sich nach dem konstruktiven Aufbau des jeweils vorhandenen Objekttischs und den Strömungswiderständen, die im Bereich des Objekts und insbesondere in dem Zwischenraum zwischen dem Tisch 12 und der Objektivlinse vorliegen. Im allgemeinen ist es günstiger, eine kleinere Zahl von Kanälen größeren Durchmessers statt einer größeren Zahl von Kanälen kleineren Durchmessers vorzusehen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   An der Pumpe arbeitender Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer Objektpatrone, die zwecks Einführung eines . Objekts in die Bohrung einer Objektivlinse in Richtung der Linsenachse bewegbar ist, sowie mit einem in wärmeleitender Verbindung mit einer Tiefkühlvorrichtung stehenden, das Linsenfeld nicht beeinflussenden Bauteil, das das eingeführte Objekt zur Verringerung seiner Verschmutzung mit einer gekühlten Wand umgibt, wobei die gekühlte Wand durch die innere Mantelfläche einer Bohrung eines im Linsenspalt angeordneten und sich senkrecht zur Linsenachse erstreckenden ring- oder scheibenförmigen Bauteils gebildet ist und der Durchmesser der Bohrung zumindest gleich dem Durchmesser der Linsenbohrung ist, mit einem weiteren gekühlten ring- oder scheibenförmigen Teil, das bei einem mit einem Objektverstelltisch ausgerüsteten Gerät auf der der Objektivlinse abgekehrten Seite des Tischs angeordnet ist, nach Patent 1514 572, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektverstelltisch (12) von seiner der Objektlinse (4, 5) zugekehrten Oberfläche (16) zu seiner dem weiteren gekühlten Teil (9) zugekehrten Oberfläche (15) verlaufende Kanäle (17,18, 19) aufweist.

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