DE155247T1 - Verfahren zur mikrophotometrie von mikroskopischen prueflingen, apparat zur ausfuehrung dieses verfahrens. - Google Patents

Verfahren zur mikrophotometrie von mikroskopischen prueflingen, apparat zur ausfuehrung dieses verfahrens.

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DE155247T1
DE155247T1 DE198585850055T DE85850055T DE155247T1 DE 155247 T1 DE155247 T1 DE 155247T1 DE 198585850055 T DE198585850055 T DE 198585850055T DE 85850055 T DE85850055 T DE 85850055T DE 155247 T1 DE155247 T1 DE 155247T1
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Claims (7)

Vs s &igr; O Patentansprüche
1. Verfahren für die Mikrophotometrie und anschließende Bildzusammensetzung durch Erzeugen einer leuchtenden, gegebenenfalls verstellbaren Bezugsmarke in der Brennpunktsebene (11) eines Mikroskopes (30) mit Hilfe eines konvergenten Lichtstrahles, Ausrichten der Bezugsmarke auf eine Mehrzahl von Elementarteilen der Probe (10) und Aufnehmen von Licht, das von der leuchtenden Bezugsmarke der Probe (10) erzeugt wird und Ermitteln des aufgenommenen Lichtes zur Erzeugung korrespondierender elektrischer Signale, gekennzeichnet
durch die Veränderung der Position von Probe (10) und Brennpunktsebene (11) relativ zueinander und Wiederausrichten der leuchtenden Bezugsmarke auf eine Mehrzahl von Elementarteilen der Probe (10), Wiederholung schrittweiser Änderung der Position von Probe (10) und Brennpunktsebene (11) relativ zueinander und, anschließend an jede dieser Änderungen, erneutes Ausrichten oder Abstimmen der leuchtenden Bezugsmarke auf eine Mehrzahl von Elementarteilen der Probe, gekennzeichnet weiter
durch Aufnehmen des von der leuchtenden Bezugsmarke und Elementarteilen der Probe (10) ausgehenden Lichtes und Aufzeichnen jeglicher Lichtstörung, die synchron von benachbarten (oberhalb, unterhalb, seitlich) Elementarteilen der Probe (10) ausgeht;
gekennzeichnet weiter
durch Ermitteln des so aufgenommenen Lichtes und Speichern von hierdurch erhaltenen Meßwerten, wobei die Speicherung vorzugsweise synchron mit dem Abstimmen der Bezugsmarke mit Elementarteilen der Probe (10) und der Veränderung der Position von
Probe (10) und Brennpunktsebene (11) relativ zueinander bewirkt wird, wobei die Meßwerte repräsentativ für Bereiche in verschiedenen Probenschichten sind und gekennzeichnet weiter
durch Kombination der Meßwerte der Bereiche in mehreren Probenschichten, die repräsentativ für ein vorgegebenes Probenvolumen sind, in Abhängigkeit von einer vorgegebenen/gewollten Probenanalyse.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Abstimmung der leuchtenden Bezugsmarke mit einer Mehrzahl von Elementarteilen der Probe (10) dadurch bewirkt wird, daß der konvergierende Lichtstrahl schrittweise in zwei Teilstrahlen (x- und y-Richtungen) zerlegt wird und daß die schrittweise Veränderung der Position von Probe (10) und Brennpunktsebene (10) des Mikroskopes relativ zueinander dadurch bewirkt wird, daß der Objekttisch (301) des Mikroskopes, auf dem die Probe sich befindet, schrittweise verstellt wird (z-Richtung).
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Abstimmung der leuchtenden Bezugsmarke mit einer Mehrzahl von Elementarteilen der Probe (10) dadurch bewirkt wird, daß der konvergierende Lichtstrahl relativ rasch schrittweise in einer Richtung abgelenkt wird (y-Richtung) und der Objekttisch des Mikroskopes (401) mit der darauf befindlichen Probe (10) in einer anderen Richtung (x-Richtung) relativ langsam schrittweise verstellt wird und daß der schrittweise Wechsel der Position der Probe (10) und der Brennpunktsebene (11) des Mikroskopes relativ zueinander durch schrittweises Verstellen des Objekttisches (401) des Mikroskopes bewirkt wird (z-Richtung).
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Abstimmung der leuchtenden Bezugsmarke mit einer Mehr-
zahl von Elementarteilen der Probe (10) dadurch bewirkt wird, daß der Objekttisch (501) des Mikroskopes entlang einer Fläche (x-y-Ebene) schrittweise verstellt wird, die senkrecht zur Hauptachse des Mikroskopes liegt und daß die schrittweise' Änderung der Position von Probe (10) und Brennpunktsebene des Mikroskopes (50) relativ zueinander dadurch bewirkt wird, daß der Objekttisch (501) des Mikroskopes (50) schrittweise verstellt wird (in z-Richtung).
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Aufnahme von Licht (reflektiertem fluoreszierendem Licht), das von der leuchtenden Bezugsmarke und Elementarteilen der Probe (10) ausgeht, auf der Seite des Objekttisches (501) bewirkt wird, auf der das Mikroskop (50) angeordnet ist.
6. Verfahren nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Aufnahme von Licht (übertragenem Licht), das von der leuchtenden Bezugsmarke und Elementarteilen der Probe (10) ausgeht, auf der Seite des Objekttisches (661) bewirkt wird, die der Seite gegenüberliegt, auf der das Mikroskop (60) angeordnet ist.
7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 mit einem einen Objekttisch (301) aufweisenden Mikroskop (30), einer Lichtquelle (31-32-33), einem Detektor (35) und einer Steuer- und Datensammeleinrichtung (36), dadurch gekennzeichnet,
daß der Objekttisch (301) des Mikroskopes (30) für eine schrittweise Bewegung in einer Richtung angeordnet ist, die der Hauptachse (z-Richtung) des Mikroskopes (30) entspricht, daß diese Bewegung gesteuert und bewirkt wird in Abhängigkeit von Führungsimpulsen der Steuer- und Datensammeleinrichtung (36) synchron mit dem Abtasten der Lichtquelle (31-32-33) von Elementarteilen einer mit dem Mikroskop zu untersuchenden, dem
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Objekttisch zugeordneten Probe (10) und gekennzeichnet weiter dadurch,
daß die Vorrichtung auch noch eine Einrichtung (37,38,39) zum Speichern, Verarbeiten und zur visuellen Wiedergabe von Daten enthält, die entsprechend den Meßwerten gebildet werden.
Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Objekttisch (401) des Mikroskopes (40) zur schrittweisen Bewegung in einer ersten Richtung (x-Richtung) rechtwinklig zur Hauptachse des Mikroskopes (z-Richtung) angeordnet ist, daß die Lichtquelle (41-42-43) zum schrittweisen Abtasten von Elementarteilen der Probe in einer anderen Richtung (y-Richtung) rechtwinklig zur Hauptachse (z-Richtung) des Mikroskopes angeordnet ist und daß die Bewegungen des Objekttisches (401) und der Lichtquelle (41-42-43) zum Abtasten einer ersten Mehrzahl von Elementarteilen in eine ersten Probenebene und dann einer zweiten Mehrzahl von Elementarteilen in einer zweiten Probenebene koordiniert sind, wobei die zweite Probenebene parallel zur ersten Probenebene liegt, wobei jeweils erste und jeweils zweite Probenebene so oft aufeinanderfolgen, daß die gesamte Probe abgetastet wird.
Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Objekttisch (501) des Mikroskopes (50) zur relativ langsamen schrittweisen Bewegung in einer ersten Richtung (x-Richtung) senkrecht zur Hauptachse (z-Richtung) des Mikroskopes und zur relativ schnellen schrittweisen Bewegung in einer anderen Richtung (Y-Richtung) rechtwinklig zur Hauptachse (z-Richtung) des Mikroskopes angeordnet ist, wobei Bewegungen des Objekttisches (501) in Ebenen rechtwinklig zur Hauptachse des Mikroskopes und parallel zu dieser Hauptachse durch Steuerimpulse der Steuer- und Datensammeleinrichtung (56) koordiniert sind, um Elementarteil nach Elementarteil der gesamten Probe abzutasten.
DE198585850055T 1984-03-15 1985-02-19 Verfahren zur mikrophotometrie von mikroskopischen prueflingen, apparat zur ausfuehrung dieses verfahrens. Pending DE155247T1 (de)

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