DE20004439U1 - Sondenkartenuntersuchungssystem zur Bestimmung der Relativpositionen von Sondenspitzen - Google Patents

Sondenkartenuntersuchungssystem zur Bestimmung der Relativpositionen von Sondenspitzen

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Claims (19)

1. Sondenkartenuntersuchungssystem zur Bestimmung der Relativpositionen von Sondenspitzen, die allgemein bekannte Abmessungen aufweisen, und allgemein bekannte Positionen auf einer Sondenkarte, wobei vorgesehen sind:
eine Vergleichsplatte, auf welcher mehrere regelmäßig angeordnete, optisch wahrnehmbare Vergleichsmarkierungen vorgesehen sind, welche in vorbestimmten, bekannten Abständen angeordnet sind, wobei die Vergleichsplatte weiterhin eine Kontaktoberfläche für mehrere der Sondenspitzen festlegt;
ein elektronisches Abbildungsgerät mit mehreren Abbildungselementen, die in einem adressierbaren Feld angeordnet sind, wobei jedes Element wesentlich kleiner ist als eine erwartete Größe eines Bildes einer ersten Sondenspitze;
eine optische Vorrichtung zur Ausbildung eines Bildes mehrerer der Vergleichsmarkierungen und der ersten Sondenspitze in Kontakt mit der Kontaktoberfläche auf dem Abbildungsgerät; und
eine Bildverarbeitungsvorrichtung zum Adressieren jedes der Abbildungselemente, um exakt ein Zentrum des ersten Sondenspitzenbildes und die Relativentfernung und Richtung des ersten Sondenspitzenbildzentrums in Bezug auf ein Bild einer der Vergleichsmarkierungen zu bestimmen, wodurch Relativpositionen der ersten Sondenspitze und einer zweiten Sondenspitze in gleichzeitigem Kontakt mit der Kontaktoberfläche und von der Bildverarbeitungsvorrichtung abgebildet, festgestellt werden können.
2. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen im wesentlichen koplanar zur Kontaktoberfläche angeordnet sind.
3. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen als mehrere metallisierte Schichten ausgebildet sind, die durch photolithographische Verfahren auf der Vergleichsplatte durch Dampfablagerung ausgebildet sind.
4. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen im wesentlichen entsprechend einer erwarteten Größe einer ersten Sondenspitze in einem zweidimensionalen Feld beabstandet angeordnet sind.
5. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen Quadrate mit Seitenlängen von 2,25 µm sind.
6. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungselemente in einem zweidimensionalen Feld mit Zentrumsentfernungen von 10,0 µm beabstandet angeordnet sind.
7. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsplatte und das Abbildungsgerät ausreichend groß sind, um gleichzeitig mehrere der Sondenspitzen abzubilden.
8. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildverarbeitungsvorrichtung exakt eine Position eines Bildes des zweiten Sondenspitzenzentrums bestimmt, und die Relativentfernung und die Richtung des zweiten Sondenspitzenbildes aus einem Bild einer anderen der Vergleichsmarkierungen bestimmt.
9. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsplatte im wesentlichen transparent ist.
10. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsplatte eine obere und hierzu parallele untere Oberfläche aufweist, und daß die Kontaktoberfläche auf der oberen Oberfläche vorgesehen ist, und die Vergleichsmarkierungen auf der unteren Oberfläche.
11. Sondenkartenuntersuchungssystem zur Bestimmung der Relativpositionen im wesentlichen gleichförmiger Sondenspitzen mit im allgemeinen bekannten Größen, und mit im allgemeinen bekannten Positionen auf einer Sondenkarte, wobei vorgesehen sind:
eine Vergleichsplatte mit mehreren regelmäßig angeordneten, optisch wahrnehmbaren Vergleichsmarkierungen auf der Vergleichsplatte, wobei die Vergleichsmarkierungen in regelmäßigen Abständen beabstandet angeordnet sind, und die Vergleichsplatte weiterhin eine Kontaktoberfläche mit einer Fläche ausbildet, die ausreichend groß ist, um gleichzeitig sämtliche Sondenspitzen zu kontaktieren;
ein elektronisches Abbildungsgerät, welches mehrere Abbildungselemente aufweist, die in einem adressierbaren Feld angeordnet sind, wobei jedes Element wesentlich kleiner ist als die erwartete Größe eines Sondenspitzenbildes; eine optische Vorrichtung zur Ausbildung eines Bildes von zumindest vier Vergleichsmarkierungen und von mehreren Sondenspitzen in Kontakt mit der Kontaktoberfläche, auf dem Abbildungsgerät; und
eine Bildbearbeitungsvorrichtung zum Adressieren der Abbildungselemente, um exakt Zentren der Sondenspitzenbilder sowie Relativentfernungen und Richtungen der Zentren der Sondenspitzenbilder in Bezug auf die Vergleichsmarkierungsbilder zu bestimmen, wodurch die Relativposition der abgebildeten Sondenspitzen, wenn sie in gleichzeitigem Kontakt mit der Kontaktoberfläche stehen, bestimmt wird.
12. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen im wesentlichen koplanar zur Kontaktoberfläche angeordnet sind.
13. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen als mehrere metallisierte Schichten ausgebildet sind, die durch photolithographische Verfahren mittels Dampfablagerung auf der Vergleichsplatte hergestellt sind.
14. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen einen Zentrumsabstand von 25 Mikrometer in einem zweidimensionalen Feld aufweisen.
15. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsmarkierungen Quadrate mit Seitenlängen von 2,25 µm sind.
16. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbildungselemente in einem zweidimensionalen Feld mit Zentrumsentfernungen von 10,0 µm beabstandet angeordnet sind.
17. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsplatte ein Quarzfenster ist.
18. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsplatte eine obere und eine parallel hierzu angeordnete untere Oberfläche aufweist, und daß die Kontaktoberfläche auf der oberen Fläche angeordnet ist, und die Vergleichsmarkierungen auf der unteren Oberfläche angeordnet sind.
19. Sondenkartenuntersuchungssystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichsplatte im wesentlichen transparent ist.
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