DE1546032B2 - Waessrige basische aetzloesung zur herstellung von getrennten halbleiterkontakten - Google Patents

Waessrige basische aetzloesung zur herstellung von getrennten halbleiterkontakten

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DE2639004A1 (de) * 1975-11-26 1977-06-02 Tokyo Shibaura Electric Co Mittel zur oberflaechenbehandlung von zwischenprodukten bei der herstellung von halbleiterelementen

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