DE1539397C - Verfahren und Vorrichtung zum Evakuieren und Füllen von Leuchtstofflampen - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Evakuieren und Füllen von LeuchtstofflampenInfo
- Publication number
- DE1539397C DE1539397C DE1539397C DE 1539397 C DE1539397 C DE 1539397C DE 1539397 C DE1539397 C DE 1539397C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- pressure
- pump
- filling
- gas
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 23
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 9
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims description 7
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000002775 capsule Substances 0.000 claims 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 5
- 210000004072 Lung Anatomy 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Evakuieren und Füllen von Leuchtstofflampen, bei dem
Verunreinigungen aus dem Inneren des Lampenkolbens durch Ausspülen entfernt werden und eine Vorrichtung
zur Durchführung des Verfahrens.
Das sogenannte Evakuieren von Leuchtstofflampen
bedeutet nicht nur die Entlüftung derselben, sondern eine ganze Reihe von aufeinander abgestimmten Vorgängen.
Die gebräuchlichen Verfahrensschritte werden im folgenden aufgezählt:
a) Anschluß der Lampe an das Pumpensystem.
b) Leerpumpen des Innenraumes.
c) »Ausheizen«, d. h. Reinigung der Oberflächen von absorbierten Verunreinigungen, insbesondere
von Wasserdampf.
d) Elektrischer Anschluß der Kathode bzw. Kathoden; Aufheizen derselben.
e) Quecksilberzugabe, falls die Lampe Quecksilber enthalten soll. -
f) Einfüllen des Füllgases.
g) Betrieb mit den üblichen und/oder mit größeren Strömen, und_danach eventuell Gaserneuerung.
h) Abtrennen der Lampe von der Pumpe, das sogenannte
»Abstechen«.
Diese Vorgänge werden zumeist auf rotierenden Pumpautomaten in mehreren Positionen durchgeführt.
Die zuletzt angeführten Vorgänge wurden bei den bekannten Evakuiersystemen zumeist auf folgende
Weise gelöst:
An die Bohrungen des ruhenden Ventiltellers wurden separatstehende Vakuumpumpeneinheiten angeschlossen.
Zum Absaugen von zwei, eventuell von mehreren Positionen wurde eine gemeinsame Pumpe
verwendet.
Der Nachteil dieser Lösungen liegt darin, daß insgesamt die Verwendung von vielen Pumpeneinheiten
notwendig ist, was vom Gesichtspunkt der Betriebssicherheit und der Instandhaltung nachteilig ist. Es
kann vorkommen, daß das Vakuum irgendeiner Pumpeneinheit schlechter ist, als dasjenige der vorherigen,
in welchem Falle in der Leuchtstofflampe eine Rückströmung eintritt, so daß das bereits verhältnismäßig
gute Vakuum derselben wieder verschlechtert wird, wobei bei der Rückströmung durch
die Rohrleitung verunreinigtes Gas in die Lampe gelangen kann.
Wegen des großen Volumens der Leuchtstofflampe und des großen Strömungswiderstands des erforderlichen
dünnen und langen Saugrohres kann das notwendige Vakuum nur nach sehr langer Zeit erreicht
werden, was eine Verlängerung der Pumpzeit oder ein Herabsetzen der Lampenqualität zur Folge hat.
Zur Einführung von Edelgas aus den Hochdruckbehältern
oder der Edelgasleitung mit einem Enddruck von 2 bis 3 mm wird der Gasdruck schon vor
dem ruhenden Ventilteller der Pumpe auf einen Wert von unter 1 at eingestellt.
Im Falle des Brechens der Lampe erhält die zur Lampe gehörende Pumpe und die Leitung Luft, so
daß das Vakuum der nächsten eintretenden Lampen so weit verschlechtert wird, daß in einem unvorteilhaften
Fall die Lampe selbst bei einem vollen Kreislauf nicht abgesaugt werden kann und daher diese
Lampen als zweitklassige Ware oder als Ausschuß zu betrachten sind.
Ein weiterer Nachteil dieses Verfahrens liegt darin,
daß, wenn eine gebrochene Lampenstelle oder ein einen Druck von 1 at besitzender Leitungsteil unter
die Stelle der Einfüllöffnung gelangt, in das unter verhältnismäßig kleinem Druck stehende Füllsystem
Luft eintritt. Das. auf diese-Weise verunreinigte Füllgas
gelangt dann in die ansonsten gut evakuierten Lampen und verursacht eine Qualitätsverminderung
oder Ausschuß.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs beschriebenen Art anzugeben,
ίο mit dessen Hilfe bei der Herstellung von Leuchtstofflampen
die Reinheit des Gases trotz der verhältnismäßig großen Röhrenlänge und des kleinen Durchmessers
der Röhre gesichert wird, d. h. ein Teil der an den Pumpenautomaten durchzuführenden Verfahrensschritte
verbessert wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Lampen in einem Pumpsystem evakuiert
werden, dessen Enddruck zwischen 10-;) und 1 Torr
liegt, wobei die zu evakuierenden Lampen an einem an der Vakuumpumpe angeordneten, an sich bekannten Vakuumkessel angeschlossen sind und der
unterhalb 10 4 Torr liegende partielle Druck der Verunreinigungen durch ein wiederholtes Spülen
mittels Edelgas und/oder Quecksilber gehalten wird, in dem das außer dem Quecksilber eingespeiste Spül-
und Füllgas aus einem Füllsystem mit über 1 at liegenden Druck während einer kürzeren Zeit als einem
Schrittzyklus des Pumpautomaten, eingespeist wird. Dabei wird das Spül- und Edelgas aus einem Füllsystem
von über 1 at Druck derart eindosiert, daß die Gaseinströmungszeit mit der Verdrehgeschwindigkeit
des rotierenden Ventiltellers des Pumpautomaten konstant gehalten wird und die Einströmungsgeschwindigkeit in Abhängigkeit von dem gewünsch-
ten Füllgasdruck durch den Überdruck des Füllsystems und durch die Regelung von in das System
eingesetzten Strömungswiderständen eingestellt wird. Die Vakuumkessel bzw. das Pumpensystem werden
bei Bruch einer gepumpten Röhre gegen die einströmende Luft durch in jeder Position eingebaute
Rückschlagventile geschützt.
Die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens dienende Einrichtung ist dadurch gekennzeichnet,
daß im Gehäuse des Pumpautomaten ein bzw. mehrere Vakuumkessel mit einem Anschluß an
dem stehenden Ventilteller vorgesehen sind und daß diese Vakuumkessel mit außerhalb der Pumpautomaten
angeordneten Pumpen in Verbindung stehen. Der Druck der Vakuumkessel kann zwischen 10 :}
und 1 Torr liegen, wobei dieser Druck zweckmäßig mit Roots-Pumpen aufrechterhalten wird.
Die Erfindung wird nachstehend ausführlich. beschrieben:
Basis des Verfahrens bildet die Tatsache, daß die Leuchtstofflampe über den großen Widerstand des
aus sonstigen Gründen langen und dünnen Saugrohres während der zur Verfügung stehenden kurzen
Zeit nicht auf 10 4 Torr oder auf einen niedrigeren Druck gepumpt werden kann. Im fertigen Produkt
besteht aber keine Notwendigkeit für den sehr niedrigen Druck, sondern nur für eine große Gasreinheit
während der ganzen Lebensdauer der Leuchtstofflampe. -
Da der Strömungswiderstand des Saugrohres im Bereich der Reibungsströmung wesentlich geringer
ist, als im Bereich der molekularen Strömung und mit dem Druck proportional ist, bietet sich eine Möglichkeit
dafür, mit der Spülung bzw. mit den SpQ-
lungen durch das Füllgas die notwendige Gasreinheit zu sichern. Das in der Glühlampentechnologie übliche
Spülen kann bei Leuchtstofflampen nicht verwendet werden, da dies weder die Kathode noch der
Leuchtstoff ohne Schaden ertragen kann.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahrens sind der Druckbereich des Spülens und die Ariyjtendungsart
so gewählt, daß sich einerseits der kleine Widerstand der Reibungsströmung bereits geltend macht und andererseits
weder die Kathode noch der Leuchtstoff Schaden leiden.
Die Vorbedingung der Anwendbarkeit des Verfahrens ist ein Gaseinlaßverfahren, welches ermöglicht,
daß die Gaseinfüllung den Pumpvorgang nur für eine sehr kurze Zeit unterbricht und durch ein
System durchgeführt wird, bei welchem eine Gasströmung aus der Richtung der Entladungsröhre nach
der Fülleitung nicht möglich ist, ferner ein Pumpverfahren, welches sichert, daß eine Gasströmung
aus der Richtung der Pumpe gegen die,Entladungsröhre nicht eintritt.
Beim Pumpvorgang wird so verfahren, daß zweckmäßig zwei bis drei Vakuumkessel Verwendung finden,
in denen der notwendige Druck durch Pumpen mit großer Sauggeschwindigkeit, jedoch von einem.
' Druck, der notwendigerweise nicht unterhalb 10 :1
Torr liegt, aufrechterhalten wird.
Die Vakuumkessel sind auf verschiedenem, gut
bestimmtem Druck gehalten. Die einzelnen Positionen werden immer an jenen Behälter angeschlossen,
dessen Druck dem an der betreffenden Position durchzuführenden Vorgang am besten entspricht.
Die Vakuumkessel sind zweckmäßig im Gehäuse der Pumpautomaten untergebracht.
Ein derart ausgebildetes Pumpsystem bietet Gewähr dafür, daß von dem Pumpensystem gegen die
Lampe keine Strömung erfolgen kann, da mit der an entsprechenden Stellen angewendeten Spülung der
Druck in den Lampen auf einem höheren Wert gehalten werden kann, als der Druck des Vakuumkessels.
Dieses System ist von den Fehlern der bekannten Systeme frei, da es nur einige große Pumpen von
hoher Betriebssicherheit beansprucht, gegenüber den bekannten Systemen, wo eine große Anzahl von eine
geringe Betriebssicherheit besitzenden kleinen Pumpen Verwendung gefunden haben.
Bricht während des Evakuierens eine Leuchtstofflampe, so ist das System von der einströmenden Luft
der beim Bruch undicht gewordenen Leuchtstofflampe zu schützen. Zu ähnlichen Zwecken werden
im allgemeinen Rückschlagventile verwendet. Werden pro Position besondere Pumpeneinheiten verwendet,
so kommt es häufig vor, daß in dem hinter dem Rückschlagventil liegenden Raum der Druck
rascher anwächst, als das Ventil in Tätigkeit tritt, so daß der Abschluß überhaupt nicht zustande kommen
kann.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann der Druck der ein großes Volumen besitzenden Vakuumkessel, die durch Pumpen mit großer Sauggeschwindigkeit
evakuiert werden, nicht plötzlich ansteigen, so daß ein betriebssicheres Rückschlagventil zu verwenden
ist. Durch das erfindungsgemäße Verfahren wird die Verwendung von betriebssicheren Rückschlagventilen
nicht nur ermöglicht, sondern auch bedingt. Es würden nämlich ohne Verwendung derselben
im Falle von Leuchtröhrenbrüchen die gemeinsamen Vakuumkessel in solchem Maße Luft erhalten,
daß auch die Vakuumwerte der in den übrigen Positionen befindlichen Leuchtstofflampen sich verschlechtern
würden. Eine beispielsweise Lösung des bei der Erfindung verwendeten Rückschlagventils ist
übrigens aus der ungarischen Patentschrift 145 425 bekannt.
Das Spülen und die Füllung mit Edelgas erfolgt durch Schlupfspülen. Dies bedeutet, daß an den
ίο stehenden Ventilteller, zwischen zwei oder.mehreren
Betriebsstellungen über eine zu diesem Zwecke aus- . gebildete kleine Bohrung das zum Spülen oder für
die Füllung bestimmte Edelgas in die Leuchtstofflampe geleitet wird, und zwar während des Schrittes
durch die in den über derselben vorbeibewegten rotierenden Ventilteller gebohrten Löcher. Während
der zur Verfugung stehenden sehr kurzen Zeit kann die notwendige Gasmenge derart in die zu füllende
Entladungsröhre eingeführt werden, daß in dem
ao unter dem stehenden Ventilteller befindlichen. Abschnitt ein verhältnismäßig hoher, über 1 at liegender
Druck erzeugt wird. Damit die zur Spülung und hauptsächlich zur Füllung notwendige geringe Gasmenge
innerhalb von engen Druckgrenzen eindosiert werden kann, wird der unter dem stehenden Ventilteller
befindliche Leiterteil mit einem kleinen Volumen ausgebildet und zur Verhinderung einer raschen
Zuströmung zur Leitung zweckmäßig ein Strömungswiderstand sowie zur Einstellung des entsprechenden
Druckes ein regelbares Nadelventil vorgesehen, Die Zeitdauer des Füllens wird infolge der immer gleichen
Schrittdauer des Pumpautomaten auf dem gleichen Wert gehalten.
• Durch die entsprechende Bemessung des Strömungswiderstandes und des vor dem rotierenden Ventilteller liegenden Raumes kann erreicht werden, daß im Zeitabschnitt des Durchströmens beim Schlupfspülen die Gasnachströmung'in der Leitung nur eine sehr geringe wird. Die Stillstandszeit während des Pumpens genügt, die aus dem unter dem Strömungswiderstand und dem stehenden Ventilteller befindlichen, ein kleines Volumen besitzenden Teil verbrauchte Gasmenge zu ersetzen und den zur wirksamen Betätigung notwendigen Druck von über 1 at wiederherzustellen.
• Durch die entsprechende Bemessung des Strömungswiderstandes und des vor dem rotierenden Ventilteller liegenden Raumes kann erreicht werden, daß im Zeitabschnitt des Durchströmens beim Schlupfspülen die Gasnachströmung'in der Leitung nur eine sehr geringe wird. Die Stillstandszeit während des Pumpens genügt, die aus dem unter dem Strömungswiderstand und dem stehenden Ventilteller befindlichen, ein kleines Volumen besitzenden Teil verbrauchte Gasmenge zu ersetzen und den zur wirksamen Betätigung notwendigen Druck von über 1 at wiederherzustellen.
Statt der Verwendung von Kontakten des Hänge- und Einspannsystems wird zur notwendigen Stromversorgung
der zu erzeugenden Gasentladungsröhren, die Stromzuführung mit einem umlaufenden Schienenpaar
gelöst, mit dem die seitlich abgebogenen Herausführungsdrähte der Elektroden in Berührung
treten.
Claims (6)
1. Verfahren zum Evakuieren und Füllen von Leuchtstofflampen, bei dem Verunreinigungen
aus dem Inneren des Lampenkolbens durch Ausspülen entfernt werden, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lampen in einem Pumpsystem evakuiert werden, dessen Enddruck zwi-. sehen 10 ;l und 1 Torr liegt, wobei die zu evakuierenden
Lampen an einem an der Vakuumpumpeangeordneten, an sich bekannten Vakuumkessel
angeschlossen sind und der unterhalb' 10-4 Torr liegende partielle Druck der Verunreinigungen
durch ein wiederholtes Spülen mittels Edelgas und/oder Quecksilber gehalten wird,
in dem das außer dem Quecksilber eingespeiste
Spül- und Füllgas aus einem Füllsystem mit über
1 at liegenden Druck, während einer küizercn Zeit als einem Schritlzyklus des Pümpautomaten,
eingespeist wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gckennzeichnet,
daß das Spül- und Edelgas aus einem Füllsystem von über 1 "al Druck derart
eindosiert wird, daß die Gaseirtft'römungszeit mit
der Verdrehgcsclnvindigkeit des rotierenden
Ventilteller des Pümpautomaten konstant ge- ίο
halten wird und die Einströmungsgeschwindigkeit in Abhängigkeit von dem gewünschten Füllgasdruck
durch den Überdruck des Füllsystems und durch die Regelung von in das System eingesetzten
Strömungswiderständen eingestellt wird.
3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumkessel
bzw. das Pumpsystem im Falle eines Bruchs der gepumpten Entladungsröhre gegen die einströmende
Luft durch positionsweise eingebaute Rückschlagventile geschützt werden.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß im Gehäuse des Pumpautomaten ein bzw. mehrere Vakuumkcssel mit einem
Anschluß an den stehenden Ventilteller vorgesehen sind und daß diese Vakuumkessel mit
außerhalb der Pumpautomaten angeordneten Pumpen in Verbindung stehen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß Vakuumkessel von 1 bis
K) :! Torr Druck und diesen Druck aufrechterhaltende
Pumpen vorgesehen sind.
6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Rohrleitung des
Drehkranzes an dem zwischen dem Ventilteller und der zu evakuierenden Entladungsröhre liegenden
Abschnitt ein Rückschlagventil enthält.
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69420474T2 (de) | Verfahren zum Spülen und Auspumpen einer Vakuumkammer bis Ultra-Hoch-Vakuum | |
DE2102352C3 (de) | Hochfrequenzbetriebene Sprühvorrichtung | |
DE1539397C (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Evakuieren und Füllen von Leuchtstofflampen | |
DE2253769B2 (de) | Kathodenzerstäubungsanlage mit kontinuierlichem Substratdurchlauf | |
DE1539397B2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum evakuieren und fuellen von leuchtstofflampen | |
DE3108159A1 (de) | Vorrichtung zum entfernen von organischen stoffen aus gereinigtem speisewasser | |
DE69712387T2 (de) | Abgasanlage in einem Ionenimplantierungssystem | |
DE3003700A1 (de) | Verfahren zum evakuieren einer leuchtstoffroehre | |
DE1614204A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer ein nicht verdampfendes Getter enthaltenden elektrischen Entladungsroehre | |
WO2016165996A1 (de) | Verfahren zum trocknen eines gasraums sowie anordnung umfassend einen schutzgasgefüllten gasraum | |
DE1107368B (de) | Verfahren zum Betrieb einer Ionenpumpe und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens | |
DE1080257B (de) | Hochvakuumpumpe | |
DE809442C (de) | Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Entladungsroehre, bei der auf der Kathode Verbindungen aufgebracht werden | |
DE2209868C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Metalldampfentladungslampe | |
DE2541050A1 (de) | Fluessigkeitsringverdichter | |
DE2139356B2 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Wolframhalogen-Glühlampe | |
DE1515312C2 (de) | Vorrichtung zur Herstellung dünner Schichten durch Kathodenzerstäubung | |
DE1252353B (de) | Verfahren zum Entfernen von stoßartigen Gasem bruchen in einen Rezipienten | |
DE1489570A1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Gluehlampen | |
DE1088611B (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Spuelen des Kolbens einer elektrischen Gluehlampe oder eines aehnlichen Gegenstandes | |
DE1614204C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer ein nicht verdampfendes Getter enthaltenden elektrischen Entladungsröhre | |
DE1464193B2 (de) | Elektrische Glühlampe mit einem rohrförmigen Kolben | |
DE1114981B (de) | Verfahren zur Evakuierung von Behaeltern, welche dampffoermige Bestandteile neben Permanentgasen enthalten, und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens | |
DE509825C (de) | Elektrische Entladungsroehre zum Aussenden von Strahlen | |
DE840415C (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Entladungsapparates mit einer Quecksilber enthaltenden Gasatmosphaere |