DE1521699C - Ätzvorrichtung - Google Patents

Description

F i g. 2 eine" Draufsicht auf die Ätzvorrichtung gemäß F i g. 1,

F i g. 3 eine Vorderansicht der Ätzvorrichtung gemäß Fig. 1,

F i g. 4 eine zur Erläuterung der zykloidischen Bewegung der Sprühdüsen dienende Skizze und

F i g. 5 eine schematische Darstellung einer kontinuierlich arbeitenden erfindungsgemäßen Ätzvorrichtung.

Die in den Fig. 1 bis 3 dargestellte Ätzvorrichtung hat ein im allgemeinen kastenförmiges Gehäuse mit· einer Tankkammer oder Sprühkammer 10 und einer Nebenkammer 12. Das Gehäuse ist'flüssigkeitsdicht und von einem Deckel 14 mit Handgriff 16 abgedeckt, welcher mittels eines Scharniers 18 schwenkbar befestigt ist.

Die Sprühkammer 10 enthält als Hauptbestandteile eine Abschirm-. und Haltevorrichtung20, einen Rahmen 22 für die Sprühdüsen, der. so angeordnet ist, daß er in einem Abstand unterhalb der Abschirm- und Haltevorrichtung 20 oszillieren kann, ein mit 24 Ι allgemein angedeutetes Planetengetriebe, welches den Rahmen 22 trägt, und einen das Ätzmittel enthaltenden und im unteren Abschnitt der Sprühkammer 10 längs ihrer Rückwand sitzenden Tank 26. Die Nebenkammer 12 trägt an der Vorderseite der Vorrichtung ein Steuergehäuse 28 und enthält in ihrem Inneren ein Pumpsystem 30 für das Ätzmittel, einen Antriebsmotor 32, der zur Oszillation des Sprühdüsen-Rahmens mit dem Planetengetriebe 24 verbunden ist, und einen Antriebsmotor 33 für die Abschirm- und Haltevorrichtung 20.

Der Tank 26 hat eine abgedichtete Bodenwandung zwischen einer senkrechten Kammerrückwand 36 und einer kurzen senkrechten Zwischenwand 38 an der Tankvorderseite. An die Zwischenwand 38 stößt eine nach vorn und diagonal nach oben geneigte Ablaufwanne 40, die mit einer senkrecht verlaufenden Vorderwand 42 der Sprühkammer 10 verbunden ist. Ein Halteboden 44 ist an der Wanne 40 befestigt und trägt einen unteren Wellenzapfen 46 des Planetengetriebes 24. Ein senkrecht ausgerichtetes Fußstück 48 -, "Λ sitzt auf einer Maschinenplatte 50 und trägt mit seinem ¹^ oberen Ende den Halteboden 44.

Der untere Wellenzapfen 46 ist hohl; er ist ein raumfester Bestandteil des Planetengetriebes und trägt an seinem oberen Ende, welches einen verringerten Durchmesser hat, drehbar einen Exzenterkopf oder ein Kopfstück, bestehend aus einer oberen Platte 52, einer unteren Platte 54 und einem hohlen Zwischenstück 56, welches zwischen den Platten verriegelt ist. Der kreisförmige Exzenterkopf ist so montiert, daß er horizontal um eine raumfeste Drehmittelachse 58 schwingen kann, welche durch den unteren Wellenzapfen 46 definiert wird. Ein Schneckenzahnrad 60 des Planetengetriebes ist unten am Exzenterkopf befestigt und treibt ihn an. Das Schneckenzahnrad 60 sitzt drehbar auf einer Schulter am unteren Wellenzapfen 46 auf, wobei die Schulter als Drucklager wirkt.

Ein oberer Wellenzapfen ist so montiert, daß er sich auf dem schwingenden äußeren Ende des Exzenterkopfes dreht; dieser obere-Wellenzapfen ist ähnlich dem unteren 46 hohl ausgeführt. Beide Zapfen stehen senkrecht und sind mit Reihen von Flüssigkeitsöffnungen 64 bzw. 66 versehen, so daß sie innerhalb des Zwischenstückes 56 frei miteinander kommunizieren. Geeignete Dichtungen (nicht dargestellt) zwischen Exzenterkopf und den Wellenzapfen sowie geeignete Flanschdichtungen (nicht dargestellt) zwischen dem Zwischenstück 56 und den Platten 52 und 54 verhindern Undichtigkeiten des Exzenlerkopfes.

Ein Planetenantriebsrad 68, welches unten am

5 oberen Zapfen befestigt ist, greift in ein raumfestes Sonnenrad 70 ein (Fig. 1), welches am unteren Wellenzapfen 46 befestigt ist. Das Planetenantriebsrad 68 hat soviel weniger Zähne als das festliegende Sonnenrad 70, daß der Wellenzapfen nahezu zweimal

ίο so schnell um seine eigene Achse rotiert, wie er umläuft, aber im gleichen Umlaufsinn um die Drehmittelachse 58, welche konzentrisch durch den Wellenzapfen 46 und das Sonnenrad 70 verläuft.

Der Rahmen 22 für die Sprühdüsen ist mit dem oberen Wellenzapfen verbunden und an dessen oberen Ende befestigt; dort sitzt ein vom Rahmen getragener Ringansatz 72, der auf einem (nicht dargestellten) Dichtungsring auf der oberen Platte 52 des Exzenterkopfes aufliegt. Der Ringansatz 72 ist am unteren Abschnitt eines T-Stückes 74 befestigt, der das Hauptrohr des Rahmens 22 trägt. Der Rahmen hat eine senkrechte Mittelachse 76, die mit dem T-Stück 74 und mit dem oberen Wellenzapfen konzentrisch verläuft.

Der Rahmen 22 für die Sprühdüsen ist waagerecht angeordnet; er ist im allgemeinen kreisflächig ausgebildet und wird von einem Hauptrohr 78 und einer Reihe von sich daran anschließender, senkrecht dazu angeordneter Seitenrohre 80 gebildet. Die Seitenrohre 80 werden nach den beiden entgegengesetzten Enden des Rohres 78 zu immer kürzer, und die längeren von ihnen sind an ihren äußersten Enden durch parallel

.zum Hauptrohr78 verlaufende kurze Verbindungsrohre 82 untereinander verbunden. Die Verbindungsrohre 82 kommunizieren nicht mit dem Rest des Rahmens, obwohl die Seitenrohre 80 flüssigkeitsmäßig mit dem Hauptrohr 78 kommunizieren und von ihm getragen werden; das Hauptrohr stellt praktisch das Kopfstück dieser Seitenrohre dar. Die Seitenrohre tragen individuell angebrachte Düsen, die in den Fig. 1, 2 und 3 allgemein mit 84 bezeichnet sind; sie werden in der Folge, soweit nötig, besonders gekennzeichnet. Die Zahl der Düsen erstreckt sich von einem Minimum von zwei Sprühdüsen auf den kürzesten Seitenrohren bis zu zwölf Düsen auf den längsten Seitenrohren. Wie aus-F ig. 2 ersichtlich, sind die zahlreichen Düsen insgesamt gleichmäßig in Form eines orthogonalen Netzes verteilt, und zwar beiderseits des Hauptrohres 78 und symmetrisch dazu und in zueinander parallelen Reihen in Richtung der

Seitenrohre 80 und senkrecht dazu. Das Ätzmittel tritt aus jeder der Düsen in einem konischen Strahl aus.

An der Abschirm- und Haltevorrichtung 20 sind

verschiedene Teile raumfest und fest miteinander verbunden angebracht; dazu gehören ein Paar in einem Abstand voneinander sitzende obere Führungsstücke 86 (F i g. 3), die schmale Gesimsstreifen 88 tragen, und ein Paar unterer Führungsstücke 90, die schmale Gesimsstreifen 92 tragen. Eine Halterung für den zu ätzenden Gegenstand mit einem Paar relativ einstellbarer Querbalken 94 und 96, an welche sich in gewissen Abständen voneinander sitzende Längsstäbe 98 anschließen, ist auf den Gesimsstreifen 88 zwischen einer in F i g. 1 ausgezogenen Arbeitsstellung in der Mitte und einer Stellung zum Beladen der Halterung (durch die gestrichelten Linien 96 a dargestellt) verschiebbar. Der Querbalken 96 trägt ein Paar Flügelschrauben 100, von denen jede mit

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einem der Längsstäbe 98 zur Einstellung der Rahmen- F i g. 4 genau oben dargestellten* auftritt, beispielsausdehnungen der Halterung zusammenwirken kann; weise um 90° oder auch um 30° versetzt, usw. jeder der Querbalken 94 und 96 trägt einen Satz Die Bewegung des Endes 242 des verlängerten räumlich voneinander getrennter Stifte 102, von denen Radius beschreibt bei ihrem Umlauf eine verkürzte die zu ätzenden Gegenstände, wie etwa Fotogravier- 5 Epizykloide, oder fachgerechter ausgedrückt, eine platten, getragen werden. Jeder Stift hat eine nach Epitrochoidc. Durch geeignete Wahl des Zähneoben ragende Spitze, auf der der Gegenstand punkt- Verhältnisses (oder der entsprechenden Radien) zwiförmig aufliegt. Das festgelegte zu ätzende Objekt sehen den Kreisen wiederholt sich die auf diese Weise kann durch Abschirmbleche 104, 106 gegen die Sprüh- aufgezwungene Bahn 244 während einer beträchtlichen mittelstrahlen abgedeckt werden. io Zahl von Umläufen um den ortsfesten Kreis 236 nicht.

Es sind Mittel zur Heizung und Kühlung des Ätz- Die meisten — wenn nicht alle -— Spriihdüsen des mittels im Tank 26 vorgesehen. Eine im Ätzmittel- erfindungsgemäßen Sprührahmens beschreiben epiiro-Pumpsystcm 30 eingeschlossene Zentrifugalpumpe 146 choide Bahnen, die in unterschiedlichen Abstufungen ist an ihrem Einlaß mit einem L-förmigen Ansaug- der Bahn 244 gleichen; die Düsen führen eine ünregelstlitzen verbunden, der durch eine Öffnung in der 15 mäßige Bewegung aus, bei der ihre aufeinanderfolgen-Zwischenwand 38 des Ätzmitteltanks 26 hindurch den Umläufe zwangläufig einander ungleich sind, kommuniziert. Die Zwischenwand 38 befindet sich Infolgedessen ist das zu ätzende Objekt einer ständig • zwischen der äußeren und der inneren Seitenwand 149 wechselnden, verstärkten Besprühung durch Flüssigbzw. 151 der Sprühkammer 10. Die. Pumpe 146 wird keitsstrahlen unter Druck ausgesetzt. . von einem schaltergesteuerten Elektromotor 152 ge- 20 In der Folge soll eine beispielsweise Ausführungstrieben, der an einer Innenwand 154 der Neben- form der erfindungsgemäßen Ätzvorrichtung iii ihren kammer 12 befestigt ist." technischen Daten beschrieben werden:

Die Pumpe 146 hat einen Überlauf 156, der mit ' ..... , , „ „ _, : _ __Λ , ■, '

der Sprühkammer 10 durch eine Öffnung 158 hin- Spruhle.tungsdruck am 0,15 b.s 0,70 kp/cm-,

durch kommuniziert. Die Pumpe 146 hat ein Austritts- ,5 Manometeransatz vorzugsweise.0,35 bis .

rohr 162, das die Ätzmittelflüssigkeit einem äußeren _.. ·„.„., „« V?.: ^p'^cm

'Filier 164 zuführt, welches auf einem Boden in der Düsen un Rahmen 22 92 Düsen

Nebenkammer 12 montiert ist. Die filtrierte Ätzmittel- Dusenabstand, ortho- etwa 10 cm von Düsen-

flüssigkeit verläßt das Filter 164 durch einen Stutzen _ gonaler Netzabstand . mitte zu Dusenmitte

168 und tritt von da durch ein Winkelstück in eine 30 Sonnenrad 70 ^O Zahne

koaxiale Leitung 170 des ,Planetengetriebes 24 ein. Planetenzahnrad 68 . .24 Zahne . .

Ein Ventill76 im Stutzen 168 wird mittels einer Zannevernaltnis }.J _:

Welle 178 (F ig. 2) gesteuert, die nach außen aus . Exzentrizität des Kopf- etwa 5 cm Abstand

der Ätzvorrichtung herausführt und dort einen Ventil- ^stucke.^{s des} kneten- zwischen den Achsen

hebel 180 trägt. Das Ventil 176 regelt den Leitungs- 35 «,^8ίί^Γ!?w x_t nur· d? , f - λ

druck im Stutzen 168. Die Leitung 170 ist fest an das Werkstoff der Atzvor- PVC-PJastikwande

untere Ende des hohlen unteren Zapfens 46 des _ ™^c _, "^ .. „ . ■

Planetengetriebes 24 angeschlossen, so daß Ätzmittel Ze.twahler fur Atzzyklus Ze.twahler gce.gneten

unter kontrolliertem Manometerdruck von der Pumpe ... . , ,. _ ■«!„,„

146 aus dem Sprührahmen 22 gefördert werden kann. 40 Atzmiltelemulsion Öl-Phase-j-Benetzungs-

Ihnerhalb der Nebenkammer 12 ist der Antriebs- - - : mittel + Saure- ;■ motor 32 für das Planetengetriebe 24 über zwei (nicht . bestandteil + Rest : dargestellte) Kegelräder mit einem Kettenradantrieb Wasser .._: verbunden, der aus antreibenden und getriebenen In der oben als Beispiel beschriebenen Vorrichtung Kettenrad und einer dariibergezogencn Kette 184 be- 45 soll nun eine spezielle, mit 84' bezeichnete Düse zum steht. Eine Welle 186 trägt das angetriebene der beiden besseren Verständnis auf die von ihr während 5 UmKettenräder und eine Schnecke 190, weiche das laufen erreichten räumlichen Punkte hin untersucht Schneckenzahnrad 60 und damit das Planetengetriebe werden. Die aufeinanderfolgenden Punkte, die sie 24 mit dem die Düsen tragenden Rahmen 22 bewegt. , längs ihrer Epitrochoiden-Bahn durchläuft, sind in ■= Auf diese Weise wird die Oszillation des Planeten- 50 der folgenden Tabelle mit Bezug auf Fig. 2 ztisamgetriebes 24 hervorgerufen. mengestellt. ' : , :.-,.>■:'■

Die Skizze in F i g. 4 deutet den prinzipiellen Vcr- Position Umlaufwinkcl " _ ^ . :

lauf der zykloidischcn Arbeitsweise des Sprührahmens 84' 0" fUmlaufbetiinnV ^:

der Vorrichtung an. Ein ortsfester großer I nnerikreis . 04 > ·' ^5° '■ - . ;.

236 entspricht dem Sonnenrad des Planetengetriebes. 55 · g₄^/ ' 270° ^v>

Der kleinere rollende Kreis 238 entspricht dem 84 c·'.! 1! U! 360° (ein Umlaui vollendet)-^:i^

PlanclcnzahnradJS und roll auf der Umfangsl.n.e , _Mi/, _ 720° (zwei Umläufe vollendet)

des Inncnkrcises 236 m Richtung des Pfeiles 240 ab. 84' ......... 1080° (drei Umläufe vollendet) -

Das Ende 242 eines verlängerten Radius des abrollen- _84(/ _ 1440° (vier Umläufe vollendet)

t°r^{n r}^^Sf , ΓΨ ^S- ^l.^anß,^{S CinCS} f^ometr,^{lschen 6o} Ud' ...... 1800° (fünf Umläufe vollendet)

Weges 244, der durch eine 111 den ortsfesten Innen- ".-.... .'.■'■:·

kreis 236 eintauchende und wieder aus ihn heraus- In Fig. 5 ist ein kontinuierlicher Sprühätzer 247

wandernde Schlcifcnkomporientc246 und außerdem dargestellt, der ein oberes Planetengetriebe 24« und

eine Umlaufkomponcntc gekennzeichnet ist, wobei ein unteres Planetengetriebe 24/; enthält. Die zu der Radius R der Umlaufbahn sich mit der Bewegung 65 ätzenden Objekte 248 werden auf einen Endlos-

dcs abrollenden Kreises 238 ändert. Man kann er- Förderer 250 geladen und dann durch die Sprüh-

rcichcn, daß beim nächsten Umlauf die Schleifen- kammer und den (nicht dargestellten) Rest der Vor-

koniponcnlc 246 an einer anderen Stelle aus der in richtung geführt. Ein oberer Rahmen mit Spriihdüsen,

der abwärts gerichtete Sprühstrahlen liefert, wird vom abwärts gerichtet ist. Offensichtlich können die Düsenoberen Planetengetriebe in eine Oszillationsbewegung achsen unter einem kleinen Winkel gegen die Normale in einer horizontalen Ebene versetzt; ein unterer der Rahmenebene geneigt sein; man wird dann den Sprühdüsenrahmen, dessen Strahlen nach oben ge- Rahmen ohne Rücksicht auf diesen kleinen Winkel richtet sind, wird in ähnlicher Weise vom unteren 5 in seiner eigenen Ebene oszillieren lassen, welche man Planetengetriebe in eine Oszillationsbewegung ver- im wesentlichen parallel zur Hauptfläche des zu besetzt. Der Förderer schließt synchron umlaufende arbeitenden Werkstückes festlegen wird. Soll das Rollen 254 ein, die mit ausreichendem Abstand von- Objekt beispielsweise geätzt werden, während es sich einander in beiden orthogonalen Richtungen ange- senkrecht in der Vorrichtung befindet, so werden die ordnet sind, so daß die nach oben gerichteten Strahlen io Ebene des Rahmens und die Ebene seiner Oszillation die Unterseiten der Objekte 248 mit etwa derselben ebenfalls senkrecht sein. In beiden beschriebenen er-Ätzwirkung treffen, mit der die Oberseiten der Objekte findungsgemäßen Ausführungen wurden Ätzvorrichvon den abwärts gerichteten Strahlen aus den Düsen tungs-Konstruktionen jener Art vermieden, wie man des Rahmens erreicht werden. sie bisher unter Verwendung eines Tankdeckels mit Eine motorgetriebene senkrecht stehende Welle, 15 daran befestigtem Mechanismus kannte, beispielsweise durch die gestrichelte Linie 256 angedeutet, ist über mit einem schweren Mechanismus zur Befestigung und geeignete Schrägtriebe angeschlossen, die nicht dar- Umdrehung der Platte am Deckel. Be- und Entladen gestellt sind, und dient zum Antrieb der Planeten- der Objekte ist bei den erfindungsgemäßen Vorrichsysteme 24 a und 24 b mit gleicher Geschwindigkeit tungen leicht auszuführen, ein unbelasteter Deckel und mit gleicher oder einer symmetrisch entgegen- 20 wird verwendet, und der Düsenmechanismus selbst gesetzten Phasenbeziehung zueinander. Die Rahmen führt die erforderliche oszillatorische Bewegung aus. müssen notwendigerweise gleichsinnig um die senk- Wichtig zur Erzielung der verbesserten Ergebnisse rechte Mittellinie der Sprühkammer umlaufen. Wie gemäß der Erfindung ist es, daß die Emulgierung des hierin beschrieben, sind erfindungsgemäße Vorrich- Sprühmittels, die Sprühgeschwindigkeit und die Sprühtungen unter anderem dadurch gekennzeichnet, daß 25 mitteltemperatur sämtlich bereits vor dem Einwirken der Sprühstrahl rechtwinklig zur Ebene des Sprüh- des Ätzmittelstrahls auf das Objekt stabil auf ihren rahmens und in vertikaler Richtung aufwärts und optimalen Wert eingestellt sind.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (3)

1 2 Aber auch diese Ausbildung der Ätzvorrichtung kann Patentansprüche: nicht den oben angeführten Nachteil verursachenden Mangel beseitigen, daß sich das Objekt stets in der

1. Ätzvorrichtung mit einer Objekthalterung und gleichen Umlaufbahn bewegt. Diese Ätzvorrichtung wenigstens einem im Abstand von dieser Halterung 5 birgt ,den weiteren Nachteil, daß eine kontinuierliche zu einer Drehbewegung antreibbar angebrachten Förderung yon zu ätzenden Objekten ausgeschlossen Sprühdüsen-Rahmen, welcher durch die Antriebs- ist,'weil;diese nicht an den Sprüheinrichtungen vorbeiwelle hindurch mit dem Ätzmittel gespeist wird geführt--werden können, sondern am Objektträger, und dieses durch seine einzelnen Düsen gegen das bis zum Abschluß des Ätzungsvorganges, befestigt Objekt sprüht, dadurch gekennzeich- io werden müssen.

net, daß der Rahmen (22) auf einer nach einem Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine

vollen Umlauf nicht in sich selbst zurückkehrenden Ätzvorrichtung der eingangs beschriebenen Art derart

Epizykloidenbahn (244, 246) bewegt ist. auszubilden, daß mit dieser eine vollkommen gleich-

2. Ätzvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch mäßige Ätzung erreicht werden kann.

• gekennzeichnet, daß der Rahmen (22) exzentrisch 15 Zur Lösung der gestellten Aufgabe wird vorge-

und drehbar auf einem zu einer Drehbewegung schlagen, bei einer oben angegebenen Ätzvorrichtung

angetriebenen Exzenterkopf (52, 54, 56) befestigt den die Düsen tragenden Rahmen auf einer nach

ist und daß ein auf der Rahmenwelle angebrachtes ' einem vollen Umlauf nicht in sich selbst zurück-

Zahnrad (68) mit einem auf der Achse des Exzenter- kehrende Epizykloidenbahn zu bewegen,

kopfes raumfest angebrachten Zahnrad (70) kämmt, so Mit der Erfindung wird erreicht, daß die Sprüh-

wobei die Zahnräder unterschiedliche Durchmesser düsen eine gleiche Bahn erst nach vielen Umläufen

aufweisen. ■ - durchlaufen und damit ein Auftreffen der Sprüh-

3. Ätzvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, strahlen auf eine gleiche Stelle eines vorhergehenden dadurch gekennzeichnet, · daß zwei Rahmen auf Umlaufs erst nach vielen Umläufen eintritt. Damit gegenüberliegenden Seiten einer Objekt-Förder- 25 wird eine bisher unbekannte Gleichmäßigkeit der bahn (254) angebracht sind, auf der die Objekte Ätzung erreicht.

im wesentlichen senkrecht zu den Drehachsen Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform kann

der Rahmen durch die Sprühstrahlen bewegt die Bewegung des Rahmens gemäß der Erfindung werden. dadurch erfolgen, daß der Rahmen exzentrisch und

30 drehbar auf einem zu einer Drehbewegung angetrie-

benen Exzenterkopf befestigt ist und daß ein auf der

Rahmenwelle angebrachtes Zahnrad mit einem auf der Achse des Exzenterkopfes raumfest angebrachten

Die Erfindung betrifft eine Ätzvorrichtung mit einer Zahnrad kämmt, wobei die Zahnräder unterschiedliche Objekthalterung und wenigstens einem im Abstand 35 Durchmesser aufweisen.

von dieser Halterung zu einer Drehbewegung antreib- Die Kapazität der erfindungsgemäßen Ätzvorrich-

bar angebrachten Sprühdüsen-Rahmen, welcher durch tung läßt sich mit einfachen konstruktiven Mitteln die Antriebswelle hindurch mit dem Ätzmittel gespeist erheblich steigern, wenn zwei Rahmen auf gegenüberwird und dieses durch seine einzelnen Düsen gegen liegenden Seiten einer Objekt-Förderbahn angebracht das Objekt sprüht. 40 sind, auf der die Objekte im wesentlichen senkrecht

Solche Ätzvorrichtungen werden beispielsweise zum ,zu den Drehachsen der Rahmen durch die Sprüh-Ätzen von Druck- und Fotogravierplatten verwendet. strahlen bewegt werden.

Dabei wird angestrebt, daß sich der Sprühdüsen- Die Vorrichtung gemäß der Erfindung eignet sich

rahmen derart bewegt, daß möglichst jeder Punkt besonders in erster Linie für Ätzungen auf dem Gebiet der zu ätzenden Oberfläche der Platten von den Sprüh- 45 der grafischen Technik, wobei das Objekt oder ein strahlen der Düsen bestrahlt wird, um ungleichmäßige Satz von Objekten in die Vorrichtung eingebracht Ätzungstiefen zu vermeiden. Bei einer bekannten werden, die Vorrichtung zur Ätzung über einen voll-Ätzvorrichtung (deutsche Auslegeschrift 1158 085) ständigen Zyklus gefahren und dann.angehalten wird sind daher die Sprühdüsen auf einem Sprühdüsen- und die geätzten Objekte zur Leerung der Maschine Rahmen angeordnet, der in. einer zur horizontalen 50 für den nächsten Zyklus entnommen werden.
Ebene der zu ätzenden Platte parallelen Ebene um- Im Rahmen der weitergehenden Aspekte der Erfin-

läuft, wobei die Sprühdüsen Kreise beschreiben, dung, beispielsweise in der industriellen Anwendung, deren gemeinsamer Mittelpunkt in der Drehachse der ist der Mechanismus zur zykioidischen Bewegung der Antriebs- und Trägerwelle des Sprühdüsen-Rahmens Sprühdüsen ebensogut für kontinuierliches Ätzen liegt, durch welche das Ätzmittel den Sprühdüsen 55 geeignet, wobei ein Endlos-Förderer eine Folge von zugeführt wird.¹ Die Sprühdüsen bestreichen die zu Objekten durch die Vorrichtung hindurchbefördert, ätzende Platte mit den Sprühstrahlen somit zwang- Diese Objekte treten von der einen Seite in die Vorläufig in sich ständig wiederholenden kreisförmigen richtung ein und verlassen sie an der anderen, nach-Bahnen, wobei sich entgegen der gewünschten gleich- dem sie beim Durchgang dem oszillierenden Sprühmäßig tiefen Ätzung der zu bearbeitenden Flächen 60 strahl seitens der sich bewegenden Sprühdüsen aus-Ungleichmäßigkeiten in der Platte ergeben, deren gesetzt waren, welche oberhalb und/oder unterhalb Tiefe und Verlauf von der Stärke und der Größe des Förderers angebracht sind,
der Bestrahlungsfläche der einzelnen Düsenstrahlen Weitere Ziele und Vorzüge der Erfindung ergeben

sowie der Bewegungsbahn der Düsen abhängt. sich aus der folgenden Beschreibung einer beispiels-

Bei einer anderen bekannten Ätzvorrichtung wird 65 weisen Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichdas zu ätzende Objekt bewegt. Dabei wird ein Objekt- tung an Hand der Zeichnung. In dieser zeigt
träger über ein Planetengetriebe in Umlauf gesetzt F i g. 1 eine Ansicht der erfindungsgemäßen Ätz-

und bewegt sich über der ortsfesten Sprühvorrichtung. vorrichtung längs Schnittlinie I-I in Fig. 3,