DE1496765A1 - Verfahren zur Zubereitung der Oberflaeche von Halbleitern - Google Patents

Verfahren zur Zubereitung der Oberflaeche von Halbleitern

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DE1496765A1
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semiconductor
electrolyte
acid
distilled water
ammonium chloride
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Application number
DE19661496765
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German (de)
English (en)
Inventor
Andre Berardier
Pierre Gibeau
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Thales SA
Original Assignee
CSF Compagnie Generale de Telegraphie sans Fil SA
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    • C25D7/00Electroplating characterised by the article coated
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P50/00Etching of wafers, substrates or parts of devices
    • H10P50/60Wet etching
    • H10P50/61Electrolytic etching
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