DE1423555A1 - Optisches Geraet zum Messen kleiner Abstaende - Google Patents

Optisches Geraet zum Messen kleiner Abstaende

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DE1423555A1
DE1423555A1 DE19601423555 DE1423555A DE1423555A1 DE 1423555 A1 DE1423555 A1 DE 1423555A1 DE 19601423555 DE19601423555 DE 19601423555 DE 1423555 A DE1423555 A DE 1423555A DE 1423555 A1 DE1423555 A1 DE 1423555A1
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optical device
optical
devices
optical systems
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DE19601423555
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James Dyson
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Associated Electrical Industries Ltd
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Associated Electrical Industries Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • GPHYSICS
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  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

  • Optisches Gerät zum Messen kleiner Abstände Die Erfindung betrifft optische Geräte und im besonderen ein optisches Gerät zum kessen kleiner Abstände, wie z. B. der Abmessungen eines kleinen Objektes, wenn es durch ein Mikroskop betrachtet wird. bin derartiges verfahren ist notwendig, wenn z. j. der Durchmesser eines ieinen Drahtes oder der Durchmesser eines Blutkörpers genau gemessen werden soll.
  • Als eine der besten Möglichkeiten, einen geringen Abstand genau zu messen, wie z. B. den Durchmesser oder die Grouse eines Objektes, wenn es durch ein Mikroskop betrachtet wird, ist bekannt, zwei Bilder eines Objektes darzustellen und dann das erste bild relativ zum zweiten Bild so lange zu bewegen, bis aie gegenubergestellten kanten aer beiden Bilder aufeinander ausgerichtet ind. Der Betrag, um den jedes Bild oewegt werden mui kann genau gemessen werden. Dieser pivert stellt eine genaue Messung des Objektdurchmessers dar. Die Ausfluchtung der gegenübergestellten Kanten läßt sich mit gober Genauigkeit betreiben, und damit kann ein Gerät, das nach einem derartigen Meßprinzip arbeitet, sehr genaue Ergebnisse liefern.
  • Ein Ziel der Erfindung ist ein verbessertbs optisches Gerät zum genauen Messen kleiner Abstände.
  • Gemäß der Erfindung enthält ein optisches Gerät zum Messen kleiner Abstände zwischen zwei funkten auf einem Objekt zwei optische Systeme, einer Einrichtung zur Führung eines Lichtstrahles von dem Objekt durch beide optische Systeme, um zwei normalerweise übereinstimmende Bilder des Objektes darzustellen, Vorrichtungen zur Relativbewegung der beiden optischen Systeme zueinander,-um die Bilder einzeln derart zu bewegen, daß das eine Abbild-des ersten Bezugspunktes mit dem einen Abbild des zweiten Bezugspunktes übereinstimmt sowie ileßvorrichtungen für diejenige Relativbewegung der optischen Systeme, die notwendig ist, diese beiden Abbilder der beiden Bezugspunkte zum Ausfluchten zu bringen.
  • Vorzugsweise enthält jedes der beiden optischen Systeme ein Vierkant-Prisma, das an einem Ende mit einer teilweise reflektierenden Zwischenfläche eines rechtwinkligen prisas verkittet ist. Ein Lichtstrahl wird durch beide Vierkant-Prismen und ein angefügtes rechtwinkliges Prisma durchgeführt um zwei Abbilder des Objektes darzustellen.
  • Eine Relativdrehung der Prismenpaare bewirkt die Relativewegung der Abbilder zueinander.
  • Die Abbilder werden solange bewegt, bis die sich gegenüberstehenden Kanten zur Ausfluchtung gelangen. Die Relativbewegung des optischen bystems läßt sich messen und ergibt einen genauen Wert der Entfernungen, welche von den Bildern zurückgelegt worden sind und damit auch ihren Abstand.
  • WemäX der Erfindung kann in beide optische Systeme ein planparalleler Glasblock eingefügt werden, der sich relativ zum entsprechenden optischen System drehen kann, um eine Bewegung des zugehörenden Abbildes zu bewirken.
  • Zum besseren Verständnis dieser Erfindung wird in der folgenden Beschreibung auf die beigegebenenen Zeichnungen Bezug genommen.
  • Figur 1 ist ein schematischer Aufriß mit einer Sohnittfläche durch die Mitte des Gerätes. Figur 2 ist ein AufriIS des ganzen Gerates.
  • Demnach besteht das optische Gerät aus einem Gehäuse 1, welches uber das obere Ende eines Okularauszugs 2 eines Mikroskopes paßt und enthält ein Okular 3, daß tuber der Apertur-Blende 4 liegt. In dem Gehäuse 1 befinden sich zwei Prismengruppent? und 6, die zwei Vierkant-Prismen 7 und 8 enthalten, an deren einen onde jeweils ein rechtwinkliges rrisma 9. bzw. 11 angekittet ist. Die Zwischenflachen 12 und 13 zwischen jedem Prismenpaar sind für eine partielle Reflektion vorbehandelt, z. B. durch Teiimetallisierung der Prismenoberflächen. Die Prismegruppen sind so angeordnet, daß ihre Hauptachsen normalerweise parallel liegen, und daß sie durch einen beliebigen Antrieb eine Relativbewegung zueinander um eine vertikale Achse 14 ausfuhren können.
  • Der weg eines Lichtstrahles von einem Objekt 15 durch das Mikroskop wird durch die mit efeilen versehenen Linien gezeigt.
  • Der Strahl wird an der Zwischenfläche 13 teilweise reflektiert und in zwei Teilstrahlen geteilt. Einer dieser Teilstrahlen geht durch das Vierkant-Prisma 8, wird am Ende des Prismas reflektiert und läuft in das rechtwinklige rrisma 9, durch die Zwischenfläche-12 in das Ukular 3. Der zweite Teilstrahl läuft durch die Zwischenfläche 13 und das rechtwinklige Prisma 11, in das Vierkant-Prisma 7, wo er im Innern umgelenkt wird und nach Umlenkung an der Zwischenflache 12 in das Okular 3 gelangt. Aus diesem Grund sind im Okular 3 zwei Abbilaer des Objektes 15 zu sehen. Wenn die Prismengruppen 5 und 6 parallel zueinander gestellt sind, fluchten die beiden Abbilder miteinander ; wenn jedoch die beiden Prismengruppen relativ zueinander um die Achse 14 gedreht werden, werden sich die Abbilder auseinanderbewegen. ur kleine Relativdrehungen der Prismengruppen werden sich die Abbilder in einer Xichtung senkrecht zur Zeichenebene bewegen.
  • Bei Drehung der einen Erísmengruppe, und gleichzeitiger Arretierung der anderen wird das eine Abbild stehen bleiben, während das andere einen kreisförmigen weg mit dem Radius beschreibt, der gleich dem Abstand der Okularachse von der Achse des Auszugs ist. Wenn beide Prismengruppen in gegensätzliche Richtungen gedreht werden, werden sich die Bilder symmetrisch auseinanderbewegen, und eine Linie, welche übereinstimmende Teile der Bilder verbindet, bleibt in einer im Raum festen Richtung liegen. Es findet eine, allgemeine Bewegung der Abbilder auf die Achse 14 hin statt, die jedoch nur sehr klein ist für Auseinanderbewegungen von Abbildern, welche kleiner sind als der halbe Bildfelddurchmesser ; jedoch wird ein praktischer Nachteil dadurch nicht entstehen.
  • Wenn die Abbilder relativ zueinander bewegt werden, bis die sich gegenüberliegenden Kanten zur Ausfluchtung kommen und die Relativbewegungen der Prismengruppen gemessen . werden, so ergeben diese Messungen ein genaues Eaß von der Größe des Objektes. Die Bewegung der Prismengruppen kann durch eine oder zwei Mikrometerschrauben gesteuert werden, und wenn dieseingeeigneterWeise geeicht sind, erhält man eine direkte Messung der Größe des Objektes.
  • Zweckdienlicherweise werden zwei Mikrometerschrauben verwendet, die über ein Verzahnungsgetriebe miteinander verbunden sind, und auf einen Hebel oder ein geeignetes Gestänge wirken, daß an jeweils einer der Prismengruppen in an sich bekannter Weise befestigt ist.
  • Bei sehr genauen Messungen von Unterschieden im Durchmesser relativ großer Objekte kann es mögich sein, daß die Skalen, welche die Relativdrehung der beiden Prismegruppen anzeigen, nicht mehr genügend genau abgelesen werden können. Aus diesem Grund ist das Gerät mit zwei optisch parallelen Glasplatten 16 und 17 ausgestattet, die zwischen den beiden Prismengruppen angeordnet sind, so daß jeder der Teilstrahlen durch eine der Platten hindurchgeht. Die Platten 16 und 17 lassen sich um eine horizontale Achse in der Zeichenebene drehen. Die Drehung einer dieser Platten wird eine weitere Relativbewegung der beiden Bilder, vom Okular aus gesehen, bewirken. Der Betrag der Relativbewegung der Abbilder hängt von der Dicke jeder Platte und dem Drehwinkel der 2latte ab.
  • Der Betrieb des Gerätes in seiner abgeänderten Form geht wie folgt vor sich. Nach Einlegung des Objektes werden die beiden Abbilder einzeln durch Drehung der Prismengruppe 5 und 6 relativ zueinander bewegt,. bis sich die gegenüberstehenden Kanten fast fluchten. Die Prismengruppen werden dann festgeklemmt und die endgültige Ausfluohtung der sich gegenüberstehenden Kanten durch Drehung einer der elatten 16 oder 17 zu Ende gefuhrt. Dann wird die Skala, welche die relative Drehung der Platten 16 und 17 anzeigt, abgelesen. Durch Auswahl einer geeigneten Stärke der Platten 16 und 17 kann eine abgemessene Drehbewegung einer beliebig kleinen Bewegung des Abbildes entsprechen, und damit kann die Skala so weit geteilt werden, als es die Genauigkeit der Messungen erfordert.. Wenn der Durchmesser zweier Objekte miteinander verglichen werden soll, wird das zweite Objekt auf den Platz des ersten Objektes gelegt und der Unterschied im Durchmesser zwischen den beiden Objekten direkt an der Skala abgelesen, welche den kleinen Drehbewegungen einer der beiden rlatten 16 bzw. 17 entspricht.
  • An dem Gerät ist eine Zusatzeinrichtung vorgesehen, die es gestattet, die Große eines durch ein Mikroskop betrachteten Objektes genau zu messen und eine Einrichtung zum Vergleich der Abmessungen größerer Objekte, deren Abmessungen sich nur sehr gering voneinander unterscheiden. Das Gerät kann auf ein normales Mikroskop aufgesetzt werden, ohne daß am letzteren Abänderungen vorgenommen werden müssen. die Genauigkeit des Gerätes beträgt etwa 2 x 10-6" (5 x 10-5 mm), wenn der Durchmesser des Objektes in der Gräßenordnung von 10-3" 0,025 mm liegt.
  • Figur 2 stellt ein vollständiges optisches Gerät darg wenn es in Verbindung mit einem kikroskop 21 verwendet wird. Das Gehause 1 ist auf das Ende des Auszugs 2 des Mikroskops aufgesetzt, während das Objekt 15, das betrachtet werden soil, auf dem Objektträger22desMikroskopesaufgelegtist.
  • Die Stellungen der zwei Prismengruppen 5 und 6 werden jeweils durch zwei Mikrometerschrauben 23 und 24 gesteuert, welche die Skalen tragen, mit denen direkt die Drehbewegung jeder Prismegruppe gemessen werden kann. Diese Skalen konnen so geeicht werden, daß sie direkt die Entfernung zwischen den Bezugspunkten angeben, welche gemessen werden sollen. Die-Bikrometerschrauben 23 und 24 drehen Wellen 25 und 26, die wiederum Spindeln antreiben, mit welchen die Prismengruppen gekuppelt sind.
  • Die Stellungen der zwei Glasblöcke 16 und 17 werden jeweils durch zwei weitere Mikrometerschrauben 27 und 28 gesteuert.
  • Diese drehen in gleicher Weise Wellen, die wiederum Spindeln antreiben, mit denen die Glasblöcke gekuppelt sind. Die Mikrometerschrauben besitzen geeichte Skalen zur Messung der Drehung der Blöcke oder zur Messung der Verschiebung des Abbildes.

Claims (4)

  1. Patentansprüche 1. Optisches Gerät zum Messen kleiner Abstände zwischen zwei Bezugspunkten auf einem Objekt, das eine optische Einrichtung enthält zur Herstellung zweier normalerweise sich deckender Abbilder eines Objektes, Einrichtungen zur Abänderung der Eigenschaften des optischen Gerätes wie z.-b. eine Auseinanderbewegung der Abbilder, so daß ein Abbild des ersten bezugspunktes mit dem Abbild des zweiten Bezugspunktes fluchtet, d a d u r c h g e k e n n z e i c h'n e t, daß das optische Gerät zwei optische Systeme enthält, Vorrichtungen zur Führung eines Lichtstrahles durch beide optische Systeme, um zwei normalerweise sich deckende Abbilder des Objektes darsustellen, Sinrichtungen zur Bewegung der optischen Systeme relativ zueinander, um die Abbilder auseinanderzubewegen sowie Einrichtungen zum Messen der fieltivbewegung der optischen Systeme, die notwendig sind, um die Abbilder der beiden Bezugspunkte zum Ausfluchten zu bringen.
  2. 2. Optisches Gerät nach Anspruch 1, d a d u r c h g ek e n n z e i c h n e t, daß jedes der beiden optischen Systeme ein Vierkant-Prisma enthält, an dessen einem zende ein rechtwinkliges prisa angekittet ist, mit einer teilweise reflektierenden Zwischenfläche zwischen beiden Prisme, und daß ein Lichtstrahl durch jedes der beiden Vierkantrrismen. Li. nd das angefügte rechtwinklige Prisma hindurchgeht, so daß zwei Abbilder des Objektes erzeugt werden.
  3. 3. Optisches Gerät nach Anspruch 2, d a d u r c h g ek, e n n z e i c h n e t, daß zwei Vierkant-Prismen in zwei parallelen Ebenen liegen und daß Vorrichtungen eine Drehbewegung beider Vierkant-Prismen um eine gemeinsame Achse, die lotrecht zu den beiden Flächen verläuft, erzeugen, und daß Einrichtungen zum Messen der Drehbewegung der der Vierkant-Prismen vorgesehen sind.
  4. 4. Optisches Gerät nach Ansprüchen 1, 2 und 3, d a d u r c h g e k e n n z e i-c h n e t, daß jedes optische System einen planparallelen Glasblock in dem Weg des Lichtstrahles enthälts sowie Einrichtungen mur Drehbewegung des Glasblockes um eine Achse lotrecht zur Bahn des Lichtstrahles mit Bezug auf die verbleibenden Teile des optischen Systems, us eine Bewegung des dazugehorigen Abbildes bewirken sowie Einrichtungen für die Messung der Drehbewegung dieses Glasblockes.
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GB901319A (en) 1962-07-18
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