DE1448365A1 - Optisches Geraet - Google Patents

Optisches Geraet

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DE1448365A1
DE1448365A1 DE19621448365 DE1448365A DE1448365A1 DE 1448365 A1 DE1448365 A1 DE 1448365A1 DE 19621448365 DE19621448365 DE 19621448365 DE 1448365 A DE1448365 A DE 1448365A DE 1448365 A1 DE1448365 A1 DE 1448365A1
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DE
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images
optical
optical device
points
secondary component
Prior art date
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Pending
Application number
DE19621448365
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English (en)
Inventor
James Dyson
Noble Peter John Wellesley
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Associated Electrical Industries Ltd
Original Assignee
Associated Electrical Industries Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/04Measuring microscopes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0016Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Optisches Gerät Die Erfindung bezieht siob auf ein optisches Gerät, lnabesondere ein optisches Gerät zum Prüfen des Abstandes zwiachen zwei Punkten auf einei Gegenstand.
  • Se ißt bereits bekannt, kleine abstände zwischen verschiedenen Punkten auf eines Gegenstand dadurch zu messen, daß zwei Bilder des Gegenstands. erzeugt werden und daß diese beiden Bilder relativ zueinander so lange bewegt werden, bis ein Bild des einen Punktes mit dem anderen Bild des anderen Punktes zusammenfällt. Die beiden Bilder sind dann um eine solche Wegstreche bewegt worden, die gleich dem Abstand zwischen den beiden Punkten ist. *enn die beiden Punkte an diametral gegenüberliegenden Stellen auf dem Gegenstand angeordnet sind, stellt der gemessene Abstand die Breite des Gegenstandes dar.
  • Damit kann ein solches Verfahren beispielsweise zum Messen dee Durchmessers eines Gegenstandes verwendet werden.
  • In manchen Fällen soll festgestellt werden, ob der Abstand zwischon Punkten mehrerer Gegenstände oder die Durchmesser mehrerer Gegenstände innerhalb bestimmter Grenzen liegen. Dieses Problem tritt zum Beispiel bei eines Vergleich mehrerer iast identischer Gegenstände auf, wie bei Kontrollen in einer Fabrik oder beim Zählen von Partikeln, z.B. Staubpartikeln, die innerhalb bestimmter Größengrenzen liegen. Hierzu ist eine ki'inriobtung in Form einer "Ja oder Nicht-Ja"-Lehre zum Prüfen des Abstandes zwischen Punkten einer Gegenstandes oder der Breite des Gegenstandes erforderlich. Diese Abstände oder breiten sind sehr klein.
  • Aufgabe vorliegender Erfindung ist es, ein optische Gerät zum Prtifen kleiner Abstände zwischen zwei Punkten eines Gegenstandes zu schaffen.
  • Gemäß der Erfindung enthält ein optisches Gerät zum Prüfen des Abstandes zweier punkte auf einem Gegenstand zwei optische Systeme, eine Vorrichtung zum Hindurchschicken eines Lichtstrahles von dem Gegenstand durch Jedes der beiden optischen Systeme, so daß zwei normalerweise zusammentallende Bilder des Gegenstandes entstehen, ferner eine Einrichtung zur Bewegung der Primärkomponenten der optischen Systeme in der Weise, daß die Bilder relativ zueinander verschiebbar sind und eine Vorrichtung zur Rin- und Rerbewegung der optischen Systeme zwischen zwei ausgewählten Stellungen und damit zum Hin- und Herbewegen der Bilder relativ zueinander zwischen zwei vorgegebenen Stellungen.
  • Um den Abatnd zwischen zwei Punkten auf dem Gegenstand zu prüfen, werden die Primärkomponenten zuerst soweit bewegt, bis die Bilder der beiden punkte beinahe vollstandig zussmmenfallen, dann wird die Sekundärkomponente zwischen den atlagewählten tellungen eine und herbewegt. Diese Hin- und Herbewegung bewirkt, daß die bilder zwischen zwei vorgegebenen Stellungen verschoben werden. denn die Bilder der Punkte susammenfallen, falls die Eilder eine der beiden ausgewählten Stellungen einnehmen, oder in manclen Fällen, wenn die bilder sich zwischen den beiden ausgewählten Stellungen bewegen, liegt der Abstand der beiden Punkte voneinander innerhalb bestimmter Grenzen.
  • Das Gerät kann deshalb dazu verwendet werden zu prüfen, ob die Abstände zwischen entsprechenden Punkten auf mehreren Gegenständen innerhalb bestinimter Grenzen liegen.
  • Die Sekundärkomponente kann zwischen einstellbaren Anschlägen hin- und herbewegt werden, so daß die ausgewählten Stellungen und @ie vorerwähnten Grenzen verändert werden können. Die Hin-und Herbewegung kann von Hand oder selbsttätig durchgefUhrt werden.
  • Im folgenden wird anhand eines ausführungsbeispieles die Erfindung in Verbindung mit der Zeichnung n@her erläutert.
  • Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht des optischen Geräter gemäß der Erfindung, teilweise im Schnitt und FigJ 2 stellt eine Seitenansicht des Gerätes in Verbindung mit de Schaltdiagramm einer zugeordneten elektrischen Schaltung dar.
  • Das optische Gerät nach den Fig. 1 und 2 weist ein Gehäuse 1 auf, das über den oberen Teil eines Tubus 2 paßt und ein Okular 3 enthält, daß in einer entsprechenden @ffnung 4 angeordnet ist.
  • Das Prismensystem 5, 6 ist im Gehäuse 1 vorgesehen und eist zwei rhombische Prismen 7,8 auf, an deren Jeweils einem Ende zwei rechtwinklig ausgebildete Prismen 9, 11 angeordnet sind.
  • Die Grenzflächen 12 zwischen Jedem rhom ischen Prisma und dem zugeordneten rechtwinkligen Prisma sind so bear eitet, daß aie teilweise reflektieren, z.B. indem die Flächen der Trismen teilweise metallisiert werden. bie Prismensysteme 59 6 sind so angeordnet, daß ihre Hauptachsen normalerweise parallel verlaufen und relativ zueinander um eine senkrechte Achse 14 drehbar sind.
  • Zwei optis h ebene parallele Glasplatten 1, 17 sind zwi@chen den Enden der eiden @rismensysteme ange-ordnet, wie in der Zeichnung dargestellt, und kennen um Achsen 18, 19 dreht werden.
  • Der Weg des Llchtetrables von einem Gegenstand 15, durch das Mikroskop betrachtet ist Gurch die mit Efeilen versehenen Linien angedeutet. Der Strahl wird an der Grenzfläche 13 teilweise reflektiert und in zwei Strahlkomponenten zerlegt. Line dieser strahlkomponenten verläuft durch das rhombische Pris@a 8, wird am Ende dieses Prismas reflektiert und läuft in das rechtwinklige Prisma 9, durch die Grenzfläche 12 und in das Okular 3.
  • Die zweite Strahlkomponente verläuft durch die Grenzfläche 13 und das rechtwinklige prisma 11 in das rhombische @risma 7, wird dort innen reflektiert und gelangt von der Grenzfläche 12 lurch Reflexion in das @kular 3, @enn die Prismensysteme 5, 6 parallel zueinander angeordnet sind, @allen die beiden @ilder des Ge enstandes, die durch die beiden Strahikomponenten gebildet werden, zusammen, wenn Jedoch die Prismensystems relativ zueinander um die Achse 14 verdreht sind, bewegen sich die beilden bilder auseinander. Die bilder bewegen sich in einer Richtung senkrecht zur Zeichenebene nach Fig. 1, wenn die drehung der Prismensystemem relativ klein ist. bine Drehung einer oder @eider Glasplatten 16, 17 um ihre Wellemachse die senkrecht zu dem Verlauf der beiden Strahlkomponenten liegt, verschiebt die beiden Bilder relativ zueinander um einen Wert, der von dem Winkel abhängt, um den jeder Glasblock gedreht wird, ferner von der Dicke und dem Brechungsindex eines Jeden Glasblockes.
  • Um zu prüfen, ob die Breinten mehrerer Partikel innerhalb beatimter Grenzen liegen, wird eines dieser rartikel in die Stellung des Gegenstandes 15 gebracht und die beiden durch das Gerät erzeugten Bilder des artikels werden relativ zueinander durch Drehung der Prismensysteme 5, 6 bewegt, bis die diametral gegenüberliegenden Teile des Partikels zusammenfallen. Eine Peineinstellung der Lage der milder läßt sich durch Drehung einer oder bcider Glasplatten 16, 17 erreichen. Wenn die Glaaplatten 16, 17 zwischen zwei festen Winkelstellungen gedreht werden und die entsprechenden Punkte der beiden bilder während der Drehung der Glasplatten zusammenfallen, bedeutet dies, daß die Breite der Partikel zwischen bestimmten Grenzen liegt. Kit einem derartigen Gerät läßt sich somit die Größe von Partikeln feststellen, die annähernd gleich groj sind.
  • Die ulasplatten 16, 17 kennen von Hand zwischen Anschlägen verdreht werden. Solche. Anschläge sind z.B. der Fig. 2 zu entnehmen. Bei einer solchen Anordnung ist ein Arm 21 an der Welle 19 befetigt und kann sich zwischen einem festen Anschlag 22 am Gchäuse 1 und einem beweglichen Anschlag 23 bewegen, dessen Lage über ein Mikrometer 24 eingestellt wird. Durch Ätnderung der Einetellung des kikrometers 24 kann die Winkeldrehung der platte 17 genau fest elegt werden.
  • Die Drehung der Welle 19 kann durch die in Pig. 2 gezeigte elettrische Schaltung gesteuert werden. Diese Schaltung weist zwei Elektromagneten 25, 26 itt entsprechenden Magnetjochen 27, 28 auf. wenn einer dieser Magnete erregt wird, zieht er den Arm 21 an, ro daß dieser sich gegen einen der Anschläge 22, 23 bewegt.
  • Durch Erregen der Magnete 25 und 26 kann der Arm 21 abwechselnd eine und herbewegt werden.
  • Durob wiederholte Hin- und Herbewegung des Armes 21 zwischen festen Anschlägen kann der Durchmesser von Partikeln aui ein fache Weise geprüft werden. Vorzugsweise verläuft die iiin- und Herbewegung des Armes so, daß die Platte 17 meistens in den beiden Extremstellungen verharrt und nur kurze @eit zwischen diesen beiden Stellungen eine und herbewegt wird. Die Platte 16 kann durch eine ähnliche anordnung gesteuert werden, falls deren @ewegung erforderlich ist.
  • Eine elektrische Schaltung, mit deren Hilfe die genaue Hin- und Herbewegung des Armes 21 erreicht @ird, ist in Fig. 2 gezeigt.
  • Die Schaltung weist zwei feste Widerstände R1, zwei veränderliche Widerstände R3, R4; zwei Kondensatoren C1, C ; sowie zwei Transistoren T1, T2 auf, die an Speiseleitungen L1, L2 liegen. Typische erste fUr die Elemente sind z.B.: R1, R2= 4,7 kOhm; R3, R4 = 50 kOhm und C1, C2 = 25 mF. Die Spulen haben einen widerstand von 1700 Ob für die Elektromagneten 25, 26, die Spannung zwischen den Leitungen L1, L2 beträgt 24 V. kit diesen Werten der oben angeführten Elemente ergibt sich die Frequenz der Hin- und Herbewegung der Platte zu 5 bis 0,5 Hz.
  • Wenn die latte 17 zur Hin- und Herbewegung nicht erforderlich ist, kann der Arm 21 gegen den beweglichen Anschlag 23 mit Hilfe einer Weder 24 vorgespannt werden.
  • Das Gerät gemäß der Erfindung ermöglicht die Prüfung kleiner Abstände zwischen entsprechenden Punktepaaren auf Partikeln oder die Prüfung des durchmessers oder der breite der Partikel.

Claims (5)

  1. Patentansprüche 1) Optisches Gerät zum Prüfen des Abstandes zwischen 2 Punkten aui einem Gegenstand mit 2 optischen Systemen, einer Vorrichtung zum Hindurchschicken eines Lichtstrahls durch Jede der beiden optischen Systeme, so daß 2 normalerweise zusammenfallende Bilder des Gegenstandes entstehen, einer Vorrichtung zur Bewegung der Primärkomponente der optische Systeme gegeneinander, um die Bilder relativ zueinander zu verschieben und einer Vorricbtung eines der beiden optischen Syseme, um die milder relativ zueinander zu verschieben, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Sekundärkomponente (16, 17) zwischen vorbestimmten Stellungen hin- und herbewegt wird, um die Bilder relativ zueinander zwischen 2 vorbesteimmten Stellungen zu verschieben.
  2. 2) Optisches Gerät n ch Anspruch t, d a d u r c h g e k e a n -z e i c h n e t , duß eine Vorrichtung zur Hin- und herbewegung einer Sekundärkomponente im anderen optischen System zwischen vorbestimmten stellungen vorgesehen ist.
  3. 3) Optisches Gerät nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß Jede ekundärkomponente von Hand hin- und herbewegt wird.
  4. 4) Optisches Gerät nach Anspruch 1, d a d u r c b g e k e n n -s e i c h n e t , daß Jede Sekundärjkomponente mit Hilfe einer elektrischen schaltung hin- und herbewegt wird.
  5. 5) Optisches Gerät nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n -z e i e h n e t , daß die elektrische Schaltung 2 Elektromagnete (27, 28) aufweist, die auf jeder seite eines magnetisierbaren Bauteils der Sekundärkomponente aufweist und daß eine Vorrichtung zum abwechselnden Erregen der Elektromagnete vorgesehen ist.
DE19621448365 1961-05-30 1962-05-29 Optisches Geraet Pending DE1448365A1 (de)

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GB19500/61A GB948273A (en) 1961-05-30 1961-05-30 Improvements relating to optical apparatus

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DE1448365A1 true DE1448365A1 (de) 1969-02-27

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ID=10130399

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DE19621448365 Pending DE1448365A1 (de) 1961-05-30 1962-05-29 Optisches Geraet

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Families Citing this family (6)

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GB948273A (en) 1964-01-29
US3326079A (en) 1967-06-20
CH413405A (de) 1966-05-15

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