DE1278124B

DE1278124B - Verfahren zur Herstellung von Teilungen, Messmarken, Gittern u. dgl.

Info

Publication number: DE1278124B
Application number: DE1965L0051536
Authority: DE
Inventors: Dipl-Phys Guenther Meinecke
Original assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Current assignee: Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Priority date: 1965-09-02
Filing date: 1965-09-02
Publication date: 1968-09-19

Description

Verfahren zur Herstellung von Teilungen, Meßmarken, Gittern u. dgl. Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Teilungen, Meßmarken, Gittern u. dgl. auf fotomechanischem Weg nach Patentanmeldung L 51193 IX b / 42d (deutsche Auslegeschrift 1262 027).

In der Patentanmeldung L 51193 IX b / 42 d (deutsche Auslegeschrift 1262 027) ist ein derartiges Verfahren beschrieben, das durch folgende Schritte gekennzeichnet ist:

1. Aufbringen einer Chromschicht auf einen als

Trägerkörper der Teilungen, Meßmarken u. dgl.

vorgesehenen Grundkörper;

2. überziehen der Chromschicht mit einer licht-

empfindlichen Schicht;

3. die von einem Original erzielte Kontaktkopie

entwickeln und den nicht belichteten Teil der

Schicht entfernen, dann

4. die freigelegte Chromoberfläche aktivieren und

anschließend diese frei liegende Chromschicht

ablösen und

5. die restlichen Teile der lichtempfindlichen

Schicht entfernen.

Die Aktivierung der Chromschicht erfolgt danach vorzugsweise auf elektrochemischem Weg. Das Aufbringen der Schichten kann auf chemischem Weg oder durch Aufdampfen im Vakuum erfolgen.

Da das relativ hohe Reflexionsvermögen der Chromschicht, insbesondere bei einer Auflichtbeleuchtung der Teilungen, Meßmarken u. dgl., in vielen Fällen stört, wird in an sich schon lange bekannter Weise vorzugsweise durch Aufbringen von Interferenzschichten die Reflexion weitgehend unterdrückt. Das ist beispielsweise durch Aufbringen einer Titandioxidschicht möglich, deren Dicke aus den Fresnelschen Gleichungen herzuleiten ist. Da das Aufbringen dieser zusätzlichen Schicht das Ätzen der Chromschicht nach dem oben beschriebenen Verfahren praktisch unmöglich macht, weil die Titandioxidschicht chemisch nahezu unangreifbar ist, kann das Aufbringen der Titandioxidschicht erst nach Fertigstellung der Teilung nach dem oben beschriebenen Verfahren erfolgen. Das bedeutet aber gleichzeitig, daß die Titandioxidschicht sich auch auf den von der Chromschicht nicht bedeckten Teilen des Trägers niederschlägt, was dann wiederum zu einer meist unerwünschten Erhöhung der Reflexion des Trägers führt.
Diese Nachteile werden erfindungsgemäß dadurch vermieden, daß nach dem Aufbringen der Chromschicht auf den Träger auf die Chromschicht eine etwa 100 bis 200 A dicke Zwischenschicht aus einer Substanz, die zusammen mit einem Ätzmittel eine Aktivierung der Chromschicht ermöglicht, und anschließend eine reflexmindernde Mischschicht aus mindestens zwei Substanzen, von denen mindestens eine durch das Ätzmittel für das Chrom angreifbar ist, aufgebracht werden. Beispielsweise kann dafür eine reflexmindernde Schicht aus Titandioxid und Zinkoxid verwendet werden, deren Brechungsindex auf die Reflexion der Chromschicht so eingestellt werden kann, daß eine möglichst hohe Reflexionsminderung erzielt wird. Bekanntlich soll dazu der reflexmindernden Schicht gleich der Wurzel aus dem Brechungsindex der Unterlage sein.
Es hat sich als besonders zweckmäßig herausgestellt, die einzelnen Schichten unmittelbar nacheinander im Hochvakuum aufzudampfen. Wenn die Aufdampfung in einer sauerstofffreien Atmosphäre erfolgt, kann sogar auf das Aufdampfen der Zwischenschicht verzichtet werden, da durch die reflexmindernde Schicht eine Passivierung der Chromschicht, die ja nur eine Oxydation der Chromoberfläche darstellt, verhindert wird. Es ist dann nur die reflexmindernde Mischschicht erforderlich, deren durch das Ätzmittel für das Chrom angreifbarer Bestandteil durch das Ätzmittel herausgelöst wird, so daß das Ätzmittel an die Chromschicht gelangen kann.
Selbstverständlich sind zwischen dem Aufdampfen der vorgenannten Schichten und dem Ätzen die unter den Ziffern 2 und 3 genannten Verfahrensschritte nach der Patentanmeldung L 51193 IX b / 42 d (deutsche Auslegeschrift 1262 027) durchzuführen. Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Teilungen, Meßmarken u. dgl. haben den Vorteil, daß sie sowohl im Durchlicht wie im Auflicht benutzt werden können, wobei in jedem Fall die Teilungen als dunkle Markierungen auf hellem Untergrund erscheinen. Zusätzlich erfolgt durch die reflexmindernde Schicht noch ein Schutz der eigentlichen Teilung.

Claims

Patentansprüche: 1. Verfahren zur Herstellung von Teilungen, Meßmarken, Gittern u. dgl., bei dem 1. eine Chromschicht auf einen als Trägerkörper der Teilungen, Meßmarken u. dgl. vorgesehenen Grundkörper aufgebracht, 2. die Chromschicht mit einer lichtempfindlichen Schicht überzogen, 3. die von einem Original erzielte Kontaktkopie entwickelt und der nicht belichtete Teil der Schicht entfernt, dann 4. die freigelegte Chromoberfläche aktiviert und anschließend diese frei liegende Chromschicht abgelöst und 5. die restlichen Teile der lichtempfindlichen Schicht entfernt werden, nachPatentanmeldung L 51193 IXb/42 d (deutsche Auslegeschrift 1262 027), d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e t, daß nach dem Aufbringen der Chromschicht auf den Träger auf die Chromschicht eine etwa 100 bis 200 A dicke Zwischenschicht aus einer Substanz, die zusammen mit einem Ätzmittel eine Aktivierung der Chromschicht ermöglicht, und anschließend eine reflexmindernde Mischschicht aus mindestens zwei Substanzen, von denen mindestens eine durch das Ätzmittel für das Chrom angreifbar ist, aufgebracht werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichten unmittelbar nacheinander im Vakuum aufgedampft werden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schichten im Hochvakuum in einer sauerstofffreien Atmosphäre aufgedampft werden.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß unmittelbar auf die Chromschicht die. reflexmindernde Mischschicht aus mindestens zwei Substanzen, von denen mindestens eine durch das Atzmittel für das Chrom angreifbar ist, aufgedampft wird.