DE1233694B - Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminium-Oberflaechenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel fuer Elektronenroehren - Google Patents

Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminium-Oberflaechenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel fuer Elektronenroehren

Info

Publication number
DE1233694B
DE1233694B DE1962S0081768 DES0081768A DE1233694B DE 1233694 B DE1233694 B DE 1233694B DE 1962S0081768 DE1962S0081768 DE 1962S0081768 DE S0081768 A DES0081768 A DE S0081768A DE 1233694 B DE1233694 B DE 1233694B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
aluminum
electrodes
nickel
surface layer
iron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE1962S0081768
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Georg Eckert
Albrecht Gruender
Dr Walter Schmidt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE1962S0081768 priority Critical patent/DE1233694B/de
Publication of DE1233694B publication Critical patent/DE1233694B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/06Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material
    • C23C16/18Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of metallic material from metallo-organic compounds
    • C23C16/20Deposition of aluminium only
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/56After-treatment

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Description

  • Verfahren zum Herstellen einer finit dem Grüridinetxll iütermetallisch verbundenen Aluminium-Öberflächenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel für Elektronenröhren Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Her-Stellung von Elektroden aus im wesentlichen Eisen, Nickel od. dgl. mit gut oder -absörbierender, etwa schwarzer Oberfläche für Elektronenröhren, bei .denen eine oberflächliche Aluminiumschicht durch Glühen in eine intermetallische Verbindung umgewandelt ist. Sie hat besondere Bedeutung für Elektroden von Elektronenröhren mit kleinsten Abmessungen bei zylindrischem Aufbau in Metallkeramik.
  • Es ist an sich bekannt, Elektroden elektrischer Entladungsgefäße, vorzugsweise ohne zusätzliche Kühlung, insbesondere hochbelastbare Anoden, aus einem wenigstens einseitig mit Aluminium überzogenen Blech solcher Metalle herzustellen, die, wie Nickel, Eisen, Molybdän oder Wolfram, bei Erhitzung auf 500 bis 1000° C mit Aluminium eine intermetallische Verbindung eingehen; so daß deren Gesamt Strahlungsvermögen wenigstens 60 °/a der Strahlung des »schwarzen Körpers« erreicht.
  • Bei der technischen Fertigung derartiger Elektroden, insbesondere Anoden, treten jedoch erhebliche, sehr verschiedenartige Schwierigkeiten auf. So ist z. B. bei einseitig aluminiumplattierten Elektroden zur Vermeidung einer vorzeitigen Bildung der intermetallischen Verbindung, z. B. beim Weichglühen des betreffenden Blechs, der deshalb vorgesehene: Sauerstoffgehalt des Grundwerkstoffs, z. B. des Eisens, für den Funktionsmechanismus des betreffenden Entladungsgefäßes erheblich störend: Bei doppelseitig aluminiumplattierteni Eisen hat sich herausgestellt, daß die mit Aluminium überzogene Innenseite der Anode bei gewissen Röhrenarten, insbesondere bei Röhren mit engen Systemen, z. B. Gleichrichtern, modernen UKW=Verstärkern, Kleinströhren vom zylindrischen Aufbau in Metallkeramik usw., ungünstige Rückwirkungen auf die Kathode hat. So sind vor allem diese Schichten relativ raun, und es kommt gelegentlich zum Ablösen von kleinen Flittern, die insbesondere bei Röhren kleinster Abmessungen Isolationsfehler verursachen und damit die Funktion der betreffenden Röhre in Frage stellen können: Ein weiterer wesentlicher Nachteil der bisher bekannten Methoden besteht vor allem darin, daß bei der Herstellung von Elektroden aus vorher mit Aluminium beschichtetem Blech Schwierigkeiten beim Löten, Schweißen oder Ziehen entstehen.
  • Es ist deshalb auch schön der Weg beschritten worden, fertiggeformte Teile nachträglich mit einer Aluminiumsuspension zu besprühen oder direkt mit Aluminium zu bedampfen. Beim letzteren Verfahren erhält man zwar glatte feinkörnige Aluminiumschichten, kann aber nicht hintersetzte Flächen und vor allem nicht Innenwandungen von engen Hohlräumen5 wie z. B. Bohrungen, wegen der geradlinigen Transportwege der Partikelcheri beim Aüfdampfvorgang beschichten. Beim Besprühen der Teile mit einer Emulsion werden diese Schwierigkeiten zwar zum Teil behoben; man erhält jedoch relativ raune Oberflächen, die vor allem durchweg nur eine unzureichende Haftfestigkeit besitzen, weil die Ausbildung der intermetallischen Verbindung mit dem Grundmetall erst bei höheren Temperaturen als die Zersetzung des betreffendeil organischen Binders einsetzt. Die geschilderten Nachteile weist z. B. ein bekanntes Verfahren zum Schwärzen der Innenwand von Kathodennickelröhrchen auf, bei dem entweder eine Emulsion mit organischen Lösungsmitteln und Binder durch das chlzelne Kathodenröhrchen mit einem Luftstrom gesaugt wird oder aber Aluminium von einer im Innern angebrachten Quelle aus verdampft wird. Besonders nachteilig bei der technischen Durchführung dieser Verfahren weist sich der Umstand aus; daß nur die fertigen Röhrchen zum Beschichten mit Aluminium einzeln behandelt werden können.
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht darin, die vorangehend beschriebenen Nachteile zu veniieiden und das Aufbringen von sehr feinporigen glatten Schichten intermetallischer Aluminiumverbindungen guter Haftfestigkeit auf der Oberfläche und/oder Innenwandung enger Hohlräume von fertiggeformten Elektroden durch Anwendung der an sich bekannten Abscheidung von Metallen aus der Gasphase metallorganischer Verbindungen zu ermöglichen.
  • Es ist an sich die ziemlich allgemein gültige Eigenschaft von metallorganischen Verbindungen, insbesondere von solchen, bei denen das Metall mit Kohlenwasserstoffresten verbunden ist, bekannt, bei höheren Temperaturen unterAbscheidung des Metalls zu zerfallen. Kommen derartige metallorganische Verbindungen mit erhitzten Festkörpern in Berührung, so überzieht sich deren Oberfläche mit dem betreffenden Metall. Bekannt ist diese Maßnahme von einem Verfahren zum fortlaufenden Metallisieren von Papier- oder papierähnlichen Bändern durch Gasplattieren mit Metallcarbonylen oder Metallacetylacetonaten bzw. anderen, bei relativ niedriger Temperatur zersetzbaren Metallverbindungen, bei dem vor dem Gasplattieren das Papier mit Siliconesterharz od. dgl. imprägniert wird, so daß ein flexibles metallisiertes Papierblatt entsteht.
  • Zustand und Eigenschaften der bei der Abscheidung aus der Gasphase metallorganischer Verbindungen entstehenden Bedeckungsschichten sind allerdings stark abhängig von der Art des Grundwerkstoffs und des Grundmetalls, des Schichtmetalls sowie von den Abscheidungsbedingungen.
  • Das besondere Merkmal besteht deshalb bei einem Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall verbundenen Oberflächenschicht intermetallischer Aluminiumverbindungen durch Abscheiden von Aluminium aus der Gasphase metallorganischer Metallverbindungen und dessen anschließende thermische Umwandlung auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel für elektrische Entladungsgefäße nach der Erfindung darin, daß die fertiggeformten oder wesentlich vorgeformten Elektroden oder Elektrodenteile in einer inerten Trägergasatmosphäre, die mit einem Aluminiumalkyl gesättigt ist, auf mindestens 250° C, vorzugsweise durch hochfrequente Induktionserhitzung, erwärmt werden; so daß an deren Oberfläche die Aluminiumabscheidung erfolgt und daß dann die Elektroden oder Elektrodenteile im Vakuum oder in einem geeigneten inerten Gas zur Bildung der intermetallischen Verbindung, vorzugsweise beim Entgasen, auf mindestens 600° C, insbesondere auf etwa 1000° C, erhitzt werden.
  • Durch eingehende systematische Versuche wurde festgestellt, daß das an sich bekannte Verfahren zur Abscheidung von Aluminium auf beliebig geformten erhitzten Körpern durch thermische Zersetzung aus verdampften metallorganischen Verbindungen, z. B. Aluminiumalkylen, wenn es auf Eisen und insbesondere Nickel angewendet wird, beim Erhitzen überraschenderweise schon in dünner Lage eine sehr feinkörnige und festhaftende Schicht aus den intermetallischen Verbindungen Fe2A15 bzw. NiA13 liefert, deren relativ glatte dunkle Oberfläche bei guten Strahlungseigenschaften auch in Röhrensystemen kleinster geometrischer Abmessungen keine funktionsstörenden Eigenschaften aufweist.
  • Dadurch, daß die Aluminiumschichten auf fertige, beliebig geformte oder wesentlich vorgeformte Elektroden oder Elektrodenteile aufgebracht werden, ist bei dem Verfahren besonders vorteilhaft, daß für die Beschaffenheit des Grundmetalls, wie z. B. Eisen, Nickel od. dgl., z. B. im Hinblick auf die Herstellung der betreffenden Kathode, weitgehende Freiheit besteht. Teile der Elektrodenoberfiäche, die aus den verschiedenartigsten Gründen, z.B. wegen der nachträglichen Befestigung weiterer Teile durch Schweißen, Löten usw. oder aber auch zum bewußten Steuern der Wärmeabstrahlung oder -absorption, z. B. bei Kathodennickelröhrchen, von einem Aluminiumniederschlag frei bleiben sollen, können durch einfache übliche Abdeckmittel abgedeckt werden.
  • In besonders vorteilhafter Weise können in technisch einfacher Form die Innenwandungen von Hohlräumen, insbesondere von Röhrchen, mit einem feinporigen, etwa schwarzen überzug hoher Wärmeabsorption versehen werden.
  • Für die Durchführung des Verfahrens eignet sich als Aluminiumalkyl z. B. besonders gut Aluminiumtriisobutyl, während als inertes Gas Stickstoff, Stickstoff-Wasserstoff-Gemische, Argon od. dgl. Anwendung finden. Bei durchgehenden, insbesondere engen Hohlräumen benutzt man an Stelle einer ruhenden Gasatmosphäre einen mit Aluminiumalkyl gesättigten inerten Gasstrom.
  • Bei der Bildung der intermetallischen Verbindung der abgeschiedenen Aluminiumschicht nimmt die Oberfläche eine etwa schwarze Färbung an und erhält gleichzeitig die Eigenschaft, gut Wärme abzustrahlen oder zu absorbieren.
  • Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung besteht darin, daß die Abscheidung des aufzubringenden Aluminiums und dessen Umwandlung in eine intermetallische Verbindung .durch Erwärmen der Teile auf mindestens 700° C gleichzeitig erfolgt.
  • Die dazu benötigte, mit Aluminiumalkyl gesättigte, inerte Gasatmosphäre oder -Strömung erhält man durch Durchleiten des betreffenden Gases durch das Aluminiumalkyl, z. B. Aluminiumtriisobutyl. Dabei kann man in vorteilhafter Weise zur Erzielung kurzer Abscheidungszeiten auf Grund einer höheren Sättigungskonzentration das betreffende Aluminiumalkyl zusätzlich erwärmen.
  • Das geschilderte Verfahren ist besonders vorteilhaft für das Beschichten mit einer Schicht intermetallischer Aluminiumverbindungen von engen gezogenen Nickelröhrchen, und zwar innen und/oder außen.
  • Bei Kathodennickelröhrchen mit ihren engen Bohrungen kann man das Beschichten an größeren Längen eines Vorrohres vornehmen und diese dann nachträglich entsprechend den jeweils gewünschten Kathodenlängen mechanisch auftrennen. Da die Abdeckung von Stellen, die nicht mit einer Aluminiumschicht bedeckt werden sollen, technisch in einfachster Weise erfolgt, ist man beim Einreihen des Beschickungsvorgangs in den Herstellungsrhythmus praktisch unabhängig.
  • Selbstverständlich lassen sich nach dem beschriebenen Verfahren auch Bleche vor ihrer Weiterverarbeitung, insbesondere Verformung, ein- oder zweiseitig mit Aluminium beschichten, da die Haftfestigkeit der nach diesem Verfahren aufgebrachten Schichten besonders gut ist.

Claims (7)

  1. Patentansprüche: 1. Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminiumoberflächenschicht durch Abscheiden von Aluminium aus der Gasphase metallorganischer Aluminiumverbindungen und dessen anschließende thermische Umwandlung auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel für elektrische Entladungsgefäße, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t, daß die fertiggeformten oder wesentlich vorgeformten Elektroden oder Elektrodenteile in einer inerten Trägergasatmosphäre, die mit einem Aluminiumalkyl gesättigt ist, auf mindestens 250° C, vorzugsweise durch hochfrequente Induktionserhitzung, erwärmt werden und daß dann die Elektroden oder Elektrodenteile im Vakuum oder in einem geeigneten inerten Gas, vorzugsweise beim Entgasen, auf mindestens 600° C, insbesondere etwa auf 1000° C, erhitzt werden.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bestimmte Teile der Oberfläche vor der thermischen Abscheidung des Aluminiums durch übliche Mittel abgedeckt werden.
  3. 3. Verfahren zur Herstellung der Aluminiumoberflächenschicht aufden Innenfiächenvon durchgehenden Hohlräumen, insbesondere von Kathodennickelröhrchen, nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß von den Elektroden ,die Hohlräume während ihrer Erwärmung auf mindestens 250° C von einem mit einem Aluminiumalkyl gesättigten inerten Gasstrom durchsetzt werden.
  4. 4. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden oder Elektrodenteile bei der Abscheidung des Aluminiums aus .der Gasphase von metallischen Aluminiumalkylen auf etwa 700° C erwärmt werden.
  5. 5. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägergas zur Sättigung durch das betreffende Aluminiumalkyl, beispielsweise Aluminiumtriisobutyl, geleitet wird.
  6. 6. Verfahren nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Aluminiumalkyl zusätzlich erwärmt wird.
  7. 7. Verfahren zurHerstellung innen geschwärzter Kathodennickelröhrchen nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgangsrohr selber von einem inerten, mit einem Aluminiumalkyl gesättigten Gasstrom bei entsprechender Erwärmung durchsetzt wird und daß dann das Ausgangsrohr entsprechend den gewünschtenKathodenröhrchenlängen mechanisch aufgeteilt wird. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 1114 068.
DE1962S0081768 1962-09-28 1962-09-28 Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminium-Oberflaechenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel fuer Elektronenroehren Pending DE1233694B (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1962S0081768 DE1233694B (de) 1962-09-28 1962-09-28 Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminium-Oberflaechenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel fuer Elektronenroehren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1962S0081768 DE1233694B (de) 1962-09-28 1962-09-28 Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminium-Oberflaechenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel fuer Elektronenroehren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1233694B true DE1233694B (de) 1967-02-02

Family

ID=7509868

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1962S0081768 Pending DE1233694B (de) 1962-09-28 1962-09-28 Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminium-Oberflaechenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel fuer Elektronenroehren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE1233694B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0769571A1 (de) * 1995-09-29 1997-04-23 General Electric Company Verfahren zur Niedertemperaturbeschichtung eines Körpers mit Aluminium

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0769571A1 (de) * 1995-09-29 1997-04-23 General Electric Company Verfahren zur Niedertemperaturbeschichtung eines Körpers mit Aluminium

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2728555C2 (de) Vormaterial für kohlefaserverstärkte Metalle und Verfahren zu seiner Herstellung
DE69410548T2 (de) Wolfram Metallisierung des CVD-Diamantes
CH619740A5 (de)
DE2309660A1 (de) Stromabnehmerbuerste
DE2347147C3 (de) Verfahren zum Oberziehen einer Oberfläche eines metallischen oder metallisierten Körpers mit Kohlenstoff
DE3117961C2 (de)
DE1233694B (de) Verfahren zum Herstellen einer mit dem Grundmetall intermetallisch verbundenen Aluminium-Oberflaechenschicht auf Elektroden aus im wesentlichen Eisen oder Nickel fuer Elektronenroehren
DE1254727B (de) Verfahren zum Herstellen gedruckter Leitungen
DE1063774B (de) Verfahren zum Verbinden eines eine metallische Oberflaeche aufweisenden Gegenstandesmit einem aus glasartigem Werkstoff bestehenden Koerper und danach hergestellter Glasgegenstand
DE3114467A1 (de) Verdampferschiffchen und verfahren zu seiner herstellung
DE1179278B (de) Verfahren zur Herstellung von Leitungs-wegen nach Art der sogenannten gedruckten Schaltungen
DE3011694C2 (de) Verfahren zur Beschichtung von Verschleißflächen, z.B. Kontaktflächen für die Schwachstromtechnik
DE971697C (de) Verfahren zur Herstellung von Selengleichrichtern
DE739251C (de) Kohle- oder Graphitelektrode fuer elektrische Entladungsgefaesse mit einem UEberzug aus einem hochschmelzenden, bei hoeherer Temperatur auf chemischem Wege gasbindenden Metall auf wenigstens der der Elektronenquelle zugewandten Flaeche
AT272929B (de) Verfahren zur vakuumdichten Verlötung eines Metallkörpers mit einem glasphasenfreien Keramikkörper
DE1489235C (de) Elektrode für impulsbetriebene Elektronenrohren hoher Leistung
DE102018220173B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung reduzierter Metalloberflächen
DE2052855C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Selengleichrichtern
DE968976C (de) Verfahren zum Herstellen eines loetbaren Metallueberzuges auf einem nichtmetallischen Koerper
WO2017059467A1 (de) Komponente einer metallverarbeitungsmaschine
DE1614656C3 (de) Verfahren zum Verlöten der Gitter draYitetiocribelasfbarerKreuzspanngitter fur elektrische Entladungsgefäß
DE2119154C3 (de) Verfahren zum Überziehen von Gegenständen aus zementierten Karbiden mit einem harten, goldenen Zierüberzug
DE580748C (de) Verfahren zum Aufbringen eines festhaftenden UEberzuges von Molybdaen auf beliebig geformte Koerper aus anderen Werkstoffen
DE1064646B (de) Verfahren zum Herstellen von Gettern
DE730626C (de) Verfahren zur Herstellung von hochohmigen Schichten im Innern von Vakuumroehren