DE1232433B - Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Entladungsgefaess hierfuer - Google Patents

Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Entladungsgefaess hierfuer

Info

Publication number
DE1232433B
DE1232433B DEE13802A DEE0013802A DE1232433B DE 1232433 B DE1232433 B DE 1232433B DE E13802 A DEE13802 A DE E13802A DE E0013802 A DEE0013802 A DE E0013802A DE 1232433 B DE1232433 B DE 1232433B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
current
discharge
voltage
glow discharge
discharge vessel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEE13802A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Bernhard Berghaus
Hans Bucek
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus
Original Assignee
Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from CH3666256A external-priority patent/CH383519A/de
Application filed by Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus filed Critical Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus
Publication of DE1232433B publication Critical patent/DE1232433B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
DEE13802A 1956-03-12 1957-03-11 Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Entladungsgefaess hierfuer Pending DE1232433B (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH854989X 1956-03-12
CH3666256A CH383519A (de) 1956-08-20 1956-08-20 Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1232433B true DE1232433B (de) 1967-01-12

Family

ID=25737315

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEE13802A Pending DE1232433B (de) 1956-03-12 1957-03-11 Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Entladungsgefaess hierfuer

Country Status (5)

Country Link
BE (1) BE555721A (OSRAM)
CH (1) CH355537A (OSRAM)
DE (1) DE1232433B (OSRAM)
FR (1) FR71424E (OSRAM)
GB (1) GB854989A (OSRAM)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2813385A1 (de) * 1977-03-28 1978-11-02 Mitsubishi Electric Corp Glimmentladungsheizungsapparat

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2619814C2 (de) * 1976-05-05 1978-02-16 Ionit Anstalt Bernhard Berghaus, Vaduz Gestell und Rezipient zum Tragen zu behandelnder Werkstücke
US4749589A (en) * 1984-12-13 1988-06-07 Stc Plc Method of surface treatment
GB8431422D0 (en) * 1984-12-13 1985-01-23 Standard Telephones Cables Ltd Plasma reactor vessel

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2813385A1 (de) * 1977-03-28 1978-11-02 Mitsubishi Electric Corp Glimmentladungsheizungsapparat

Also Published As

Publication number Publication date
FR71424E (fr) 1960-01-04
CH355537A (de) 1961-07-15
GB854989A (en) 1960-11-23
BE555721A (OSRAM)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1058806B (de) Verfahren zur Erzielung einer elektrischen Glimmentladung hoher Stromstaerke in einem Entladungsgefaess zwecks Durchfuehrung technischer Prozesse
DE1789071B1 (de) Vorrichtung zur Untersuchung plasmaphysikalischer Vorgaenge
DE976529C (de) Anordnung zur Durchfuehrung technischer Prozesse mittels Glimmentladung
DE1188221B (de) Verfahren zum Erzeugen einer energiereichen hochtemperierten Gasentladung
DE2803331C3 (de) Anlage zum teilweisen Behandeln von langgestreckten Werkstücken durch stromstarke Glimmentladung
DE4427902C1 (de) Verfahren zum Aufkohlen von Bauteilen aus kohlungsfähigen Werkstoffen mittels einer impulsförmig betriebenen Plasmaentladung
DE1232433B (de) Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Entladungsgefaess hierfuer
DE1929429A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Anregung eines spektrochemisch zu untersuchenden Materials
DE1190590B (de) Ionenquelle
DE2704434A1 (de) Elektronenstrahlgesteuerte entladungsschaltvorrichtung niedriger impedanz
AT221672B (de) Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Entladungsgefäß hiefür
DE1690663C3 (de) Einrichtung zur elektrischen Glimmnitrierung der Innenflächen von Bohrungen in Werkstücken aus Eisen oder Stahl
AT219733B (de) Einrichtung zur Durchführung von Prozessen mittels elektrischer Glimmentladungen
CH383519A (de) Verfahren zum Betrieb einer elektrischen Glimmentladung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE1464755A1 (de) Hochfrequenz-Bogenentladungsgenerator
DE1240199B (de) Entladungsvorrichtung zum Erzeugen einer energiereichen Bogenentladung
DE1928617C3 (de) Vorrichtung zur Durchführung chemischer Reaktionen mittels elektrischer Entladungen in einem in einer Überschallströmung ionisierten Gasstrom
DE880244C (de) Verfahren und Vorrichtung zum Aufbringen insbesondere metallischer Schutzschichten auf vorzugsweise bandfoermige Traeger
DE3026164A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur entladungschemischen behandlung empfindlicher werkstuecke durch einsatz der glimmentladung
DE1220940B (de) Ionenquelle
DE746986C (de) Dampfgefuelltes, elektrisches Entladungsgefaess zur Erzeugung von hochfrequenten elektrischen Schwingungen
DE2647590A1 (de) Stromdurchfuehrung
DE700053C (de) pannungsentladungsgefaess aus Glas mit Gluehkathode und lichtbogenartiger Entladung
DE2905166A1 (de) Vakuum-funken-generator
DE495560C (de) Elektrische Entladungsroehre