DE1211721B - Verfahren und Vorrichtung zum AEndern der Dicke von Festkoerpern - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum AEndern der Dicke von Festkoerpern

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DE1211721B
DE1211721B DEP25085A DEP0025085A DE1211721B DE 1211721 B DE1211721 B DE 1211721B DE P25085 A DEP25085 A DE P25085A DE P0025085 A DEP0025085 A DE P0025085A DE 1211721 B DE1211721 B DE 1211721B
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DE
Germany
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thickness
voltage
solid
processing
electrical quantity
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Pending
Application number
DEP25085A
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German (de)
English (en)
Inventor
Donald Edmund Kelley
Willard Howard Moll
Stuart Louis Parsons
Gerald Francis Pascale
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxar Space LLC
Original Assignee
Philco Ford Corp
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Publication date
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0428—Apparatus for mechanical treatment or grinding or cutting
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
    • C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
    • C25F3/02—Etching
    • C25F3/12—Etching of semiconducting materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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    • C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
    • C25F3/02—Etching
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