DE112020006121T5

DE112020006121T5 - Vakuumpumpe und Verfahren zum Einblasen eines Spülgases

Info

Publication number: DE112020006121T5
Application number: DE112020006121.3T
Authority: DE
Inventors: Eric MANDALLAZ; Yann Olivier
Original assignee: Pfeiffer Vacuum SAS
Current assignee: Pfeiffer Vacuum SAS
Priority date: 2019-12-18
Filing date: 2020-12-11
Publication date: 2022-12-29
Also published as: TW202138680A; CN114867942A; WO2021122359A1; FR3105313A1; FR3105313B1; KR20220111690A

Abstract

Vakuumpumpe (1), die mindestens einen Einblaskanal (10) umfasst, der durch mindestens eine Einblasöffnung (15) austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas auf eine Lagerfläche des Sitzes (5) in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils (4) und/oder auf ein mobiles Verschlussglied (6) und/oder auf mindestens ein an einem Statorteil (12) der Vakuumpumpe (1) gesichertes Führungselement (13), das zum Führen einer Verlagerung des mobilen Verschlussglieds (6) zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils (4) konfiguriert ist, einzublasen.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine trockene Vakuumpumpe. Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zum Einblasen eines Spülgases in eine Vakuumpumpe.
Einige Vakuumpumpen werden bei sogenannten „Pulver“-Verfahren eingesetzt, da Gase implementiert werden, die große Mengen an festen Nebenprodukten erzeugen. Dies ist beispielsweise der Fall bei gewissen Halbleiterherstellungsverfahren oder einigen Beschichtungsabscheidungsverfahren oder Flachbildschirmherstellungsverfahren oder LED-Herstellungsverfahren.
Wenn aus diesen Verfahren herrührende Gase gepumpt werden, können sich in der Vakuumpumpe oder in den Rohrleitungen feste Zusammensetzungen bilden und können in den Vakuumpumpen abgelagert werden, wodurch das Gasdurchströmungsmaß eingeschränkt werden kann und was zu Pumpkapazitätsverlusten führen kann. Diese Ablagerungen können auch den ordnungsgemäßen Betrieb der beweglichen Teile der Vakuumpumpe, insbesondere der Rotoren, die wiederum den Stator drehen, jedoch auch der aktiven Teile von Rückführ-, Überdruck- oder Auslassrückschlagventilen beeinträchtigen.
Die Rückschlagventile arbeiten als Überdruckventile, die öffnen, um unerwünschte Überdrücke in der Vakuumpumpe zu vermeiden. Sie ermöglichen es auch, die Leitung der Gase in nur einer einzigen Richtung zu gestatten. Die Rückschlagventile müssen auf Basis der Druckdifferenziale zu öffnen sein, müssen jedoch auch fest geschlossen sein. Eine Auswirkung einer übermäßigen Ansammlung von Ablagerungen in der Vakuumpumpe kann darin bestehen, dass eine dieser beiden Funktionen nicht mehr richtig sichergestellt ist. Solche Fehlfunktionen können für die Produktionsraten abträglich sein, können jedoch auch Probleme bei der Sicherheit von Personal aufwerfen und ein Risiko für Beschädigungen an den Geräten darstellen.
Es ist möglich, diese Risiken durch Beschichten der beweglichen Teile und der Sitze der Ventile mit Antihaftbeschichtungen, wie z. B. PTFE, zu reduzieren, jedoch sind die Kosten für dieses Material relativ hoch und seine Verwendung kann sich aufgrund seiner möglicherweise toxischen Eigenschaften in hohem Maße auf die Umwelt auswirken. Es ist auch möglich, Beschichtungen durch Sputtern abzuscheiden, jedoch kann ihre Festigkeit im Verlauf der Zeit nicht garantiert werden. Eine weitere Lösung könnte darin bestehen, die Rückschlagventile horizontal anzuordnen, so dass die Schwerkraft einen Beitrag zum Ablassen der abgelagerten Pulver leistet. Das Ablassen dieser Ablagerungen, die im Allgemeinen anhaften, nur durch Schwerkraft kann jedoch schwierig sein.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine verbesserte Vakuumpumpe vorzuschlagen, die einen der Nachteile des Stands der Technik zumindest zum Teil löst.
Dazu ist der Gegenstand der Erfindung eine Vakuumpumpe, die Folgendes umfasst:

- mindestens eine Pumpstufe, in der zwei Rotoren dazu konfiguriert sind, sich synchron in entgegengesetzten Richtungen zu drehen, um ein zu pumpendes Gas vorzutreiben,
- mindestens ein Rückschlagventil, das einen Sitz und ein mobiles Verschlusselement umfasst, wobei das Rückschlagventil eine geschlossene Stellung, in der das mobile Verschlusselement einen Durchgang des Sitzes verschließt, und eine geöffnet Stellung, in der das mobile Verschlusselement den Durchgang freigibt, einnehmen kann, wodurch das Rückschlagventil durch die Druckdifferenz beidseits des mobilen Verschlussglieds geöffnet werden kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe ferner mindestens einen Einblaskanal umfasst, der durch mindestens eine Einblasöffnung austritt und zum Einblasen eines Spülgases auf Folgendes konfiguriert ist:
- eine Lagerfläche des Sitzes in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils und/oder
- das mobile Verschlussglied und/oder
- mindestens ein an einem Statorteil der Vakuumpumpe gesichertes Führungselement, das zum Führen einer Verlagerung des mobilen Verschlussglieds zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils konfiguriert ist.

Das Einblasen eines Spülgases ermöglicht das Säubern des Rückschlagventils, um das Vorhandensein von Ablagerungen, die seinen Betrieb behindern könnten, zu verhindern. Das Säubern des Rückschlagventils gestattet die verlängerte Sicherstellung der abdichtenden Schließfunktion und der Öffnungsfunktion des Ventils im Falle von Überdrücken.
Die Vakuumpumpe kann mindestens einen Einblaskanal umfassen, der durch mindestens eine Einblasöffnung austritt und zum Einblasen eines Spülgases auf eine Lagerfläche des Sitzes in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils konfiguriert ist. Durch das Überstreichen der Lagerfläche wird gestattet, dass die Oberfläche des Sitzes, die in der geschlossenen Stellung mit dem mobilen Verschlussglieds in Kontakt ist, frei von Partikeln oder von Ablagerungen ist, um einen festen Verschluss des Rückschlagventils zu garantieren.
Das mobile Verschlussglied kann translatorisch, drehend oder durch eine kombinierte Bewegung verlagert werden.
Das Rückschlagventil kann mindestens ein an einem Statorteil der Vakuumpumpe gesichertes Führungselement umfassen, das zum Führen der Verlagerung des mobilen Verschlussglieds zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils konfiguriert ist. Die Vakuumpumpe kann mindestens einen Einblaskanal umfassen, der durch mindestens eine Einblasöffnung austritt und zum Einblasen eines Spülgases auf dieses Führungselement konfiguriert ist, wodurch die Sicherstellung der Führungsfunktion des mobilen Verschlussglieds gestattet wird.
Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform umfasst das Führungselement eine Stange, die mit einer Führungshülle des mobilen Verschlussglieds zusammenwirkt, um die axiale translatorische Verlagerung des mobilen Verschlussglieds zu führen. Der Einblaskanal kann dazu konfiguriert sein, ein Spülgas entlang der Stange des Führungselements einzublasen. Die Stange und/oder die Führungshülle des mobilen Verschlussglieds kann dazu eine Spiralnut aufweisen, die mit dem Einblaskanal zum Führen des Spülgases in Verbindung steht.
Gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform weist das Rückschlagventil Führungsdrehelemente für das mobile Verschlussglied auf.
Die Vakuumpumpe kann mindestens einen Einblaskanal umfassen, der durch mindestens eine Einblasöffnung austritt und zum Einblasen eines Spülgases auf das mobile Verschlussglied, insbesondere in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils, konfiguriert ist. Das Einblasen eines Spülgases auf das mobile Verschlussglied ermöglicht die Vermeidung einer Ansammlung von Ablagerungen, die das Öffnen des Rückschlagventils verhindern oder einschränken könnte.
Beispielsweise kann die Vakuumpumpe einen Einblaskanal umfassen, der einen ersten Kanal umfasst, der in dem Führungselement ausgebildet ist, wobei der erste Kanal durch mindestens eine Einblasöffnung zum Einblasen eines Spülgases auf das mobile Verschlussglied in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils austritt.
Die Vakuumpumpe kann des Weiteren ein oder mehrere Merkmale, die hier nachstehend beschrieben werden, alleine oder in Kombination umfassen.
Der Einblaskanal kann mindestens eine Einblasöffnung für ein Spülgas umfassen, die in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils von dem mobilen Verschlussglied versperrt wird und in der geöffneten Stellung freigegeben ist. Das Rückschlagventil ist somit selbstsperrend, wobei das Schließen des Rückschlagventils das Einblasen des Spülgases beendet.
Das Rückschlagventil kann ein elastisches Rückstellungsglied umfassen, das das mobile Verschlussglied in die geschlossene Stellung belastet.
Die Vakuumpumpe kann einen Einblaskanal umfassen, der einen in dem Führungselement ausgebildeten ersten Kanal und mindestens einen in dem mobilen Verschlussglied ausgebildeten zweiten Kanal, der durch die mindestens eine Einblasöffnung austritt, umfasst, wobei die mindestens eine Einblasöffnung so angeordnet ist, dass sie zu dem Sitz weist, wobei der erste und der zweite Kanal miteinander in Verbindung stehen. Das Spülgas reinigt somit die Lagerfläche des Sitzes über das Führungselement.
Im Falle eines Führungselements, das eine Stange umfasst, die mit einer Führungshülle des mobilen Verschlussglieds zusammenwirkt, um die axiale translatorische Verlagerung des mobilen Verschlussglieds zu führen, können die mindestens eine Einblasöffnung des ersten Kanals des Führungselements und die Führungshülle des mobilen Verschlussglieds derart bezüglich einander positioniert sein, dass:

- ein Spülgas durch die mindestens eine Einblasöffnung des Führungselements in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils eingeblasen werden kann, und
- ein Spülgas durch die mindestens eine Einblasöffnung, die aus dem mobilen Verschlussglied hervorgeht, in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils eingeblasen werden kann.

Das Einblasen des Spülgases ist somit entsprechend der Stellung des Rückschlagventils verschiedenartig, entweder zum Säubern der Lagerfläche des Sitzes, wenn das Ventil geöffnet ist, oder zum Säubern des hinteren Teils des mobilen Verschlussglieds, wenn das Rückschlagventil geschlossen ist.
Gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform ist der Einblaskanal, der durch die mindestens eine Einblasöffnung austritt, dazu konfiguriert, ein Spülgas in einer Richtung, die tangential zu einer Ebene, die eine planare Lagerfläche des Sitzes und eine komplementäre planare Oberfläche des mobilen Verschlussglieds abtrennt, verläuft, in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils einzublasen.
Gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungsform ist der durch die mindestens eine Einblasöffnung austretende Einblaskanal dazu konfiguriert, ein Spülgas auf eine konische Flanke eines Kopfs des mobilen Verschlussglieds, der den Durchgang in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils sperrt, einzublasen.
Der mindestens eine Einblaskanal kann dazu konfiguriert sein, ein verwirbeltes Spülgas einzublasen. Die Verwirbelung des Spülgases ermöglicht eine Verbesserung der Säuberung.
Die Vakuumpumpe kann mindestens zwei Pumpstufen umfassen, und das Rückschlagventil ist ein Überdruckventil, das an dem Ausgang der ersten oder der zweiten Pumpstufe angeordnet ist. In der geöffneten Stellung ermöglicht das Überdruckventil eine Umgehung der letzten Pumpstufen der Vakuumpumpe, wodurch die Gesamtdurchsatzrate, die beim Pumpen eines starken gasförmigen Stroms erzeugt wird, beschränkt werden könnte.
Die Vakuumpumpe kann mindestens zwei Pumpstufen umfassen, und das Rückschlagventil ist ein Auslassventil, das an dem Ausgang der letzten Pumpstufe angeordnet ist. Das Auslassrückschlagventil ermöglicht die Vermeidung des Zurückkehrens der gepumpten Gase in die Vakuumpumpe.
Das Rückschlagventil kann ein Rückführungsrückschlagventil sein, das zwischen einem Ausgang und einem Eingang einer ersten Pumpstufe eingebunden ist. Das Öffnen des Rückschlagventils ermöglicht es, dass die zu pumpenden Gase beim Pumpen von starken gasförmigen Strömen in derselben Pumpstufe zurückgeführt werden.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Einblasen eines Spülgases in eine Vakuumpumpe, wie zuvor beschrieben, dadurch gekennzeichnet, dass ein Spülgas auf eine Lagerfläche des Sitzes in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils und/oder auf das mobile Verschlussglied und/oder auf das an einem Statorteil der Vakuumpumpe gesicherte Führungselement, das zum Führen einer Verlagerung des mobilen Verschlussglieds zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils konfiguriert ist, eingeblasen wird.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung, die als ein nicht einschränkendes Beispiel erfolgt, unter Bezugnahme auf die anhängigen Zeichnungen hervor, in denen:

[1] 1 eine schematische Ansicht einer Pumpeneinheit, die eine mehrstufige Primärvakuumpumpe und eine stromaufwärts der Primärvakuumpumpe befestigte Roots-Vakuumpumpe umfasst, darstellt.
[2] 2 eine schematische Querschnittsansicht eines Rückschlagventils gemäß einer ersten beispielhaften Ausführungsform in einer geschlossenen Stellung zeigt.
[3] 3 das Rückschlagventil von 2 in einer geöffneten Stellung zeigt.
[4] 4 ein mobiles Verschlussglied des Rückschlagventils von 2 im Vergleich zur Ansicht von 2 umgedreht zeigt.
[5] 5 eine schematische Querschnittsansicht eines Rückschlagventils gemäß einer zweiten beispielhaften Ausführungsform in einer geschlossenen Stellung zeigt.
[6] 6 eine 5 ähnliche Ansicht in einer geöffneten Stellung zeigt.
[7] 7 eine schematische Querschnittsansicht eines Rückschlagventils gemäß einer dritten beispielhaften Ausführungsform in einer geöffneten Stellung zeigt.
[8] 8 eine Variante des Rückschlagventils von 7 bei Betrachtung von oben zeigt.
[9] 9 eine schematische Querschnittsansicht eines Rückschlagventils gemäß einer vierten beispielhaften Ausführungsform in einer geschlossenen Stellung zeigt.
[10] 10 eine schematische Querschnittsansicht eines Rückschlagventils gemäß einer fünften beispielhaften Ausführungsform in einer geschlossenen Stellung zeigt.
[11] 11 eine schematische Querschnittsansicht eines Rückschlagventils gemäß einer sechsten beispielhaften Ausführungsform in einer geschlossenen Stellung zeigt.

In diesen Figuren tragen identische Elemente dieselben Bezugszeichen.
Die folgenden Ausführungsformen sind Beispiele. Obgleich sich die Beschreibung auf eine oder mehrere Ausführungsformen bezieht, bedeutet dies nicht zwangsläufig, dass sich jede Bezugnahme auf dieselbe Ausführungsform bezieht oder dass die Merkmale lediglich bei einer einzigen Ausführungsform zutreffen. Einfache Merkmale der verschiedenen Ausführungsformen können auch zur Bereitstellung anderer Ausführungsformen kombiniert oder ausgetauscht werden.
Eine Primärvakuumpumpe wird als eine volumetrische Vakuumpumpe definiert, die dazu konfiguriert ist, unter Verwendung von zwei Rotoren das zu pumpende Gas bei Atmosphärendruck anzusaugen, weiterzuleiten und dann auszulassen. Die Rotoren werden von zwei Wellen getragen, die von einem Motor der Primärvakuumpumpe drehangetrieben werden. Eine Primärvakuumpumpe kann mehrstufig sein, das bedeutet, dass sie mehrere Stufen (mindestens zwei), wie z. B. zwei bis neun Pumpstufen, umfasst.
Eine Roots-Vakuumpumpe (die auch als „Roots-Gebläse“ bezeichnet wird) wird als eine volumetrische Vakuumpumpe definiert, die dazu konfiguriert ist, unter Verwendung von Roots-Rotoren das zu pumpende Gas anzusaugen, weiterzuleiten und dann auszulassen. Die Roots-Vakuumpumpe ist stromaufwärts einer Primärvakuumpumpe und in Reihe damit befestigt. Die Rotoren werden von zwei Wellen getragen, die von einem Motor der Roots-Vakuumpumpe drehangetrieben werden. Die Roots-Vakuumpumpe umfasst eine bis drei Pumpstufen.
„Stromaufwärts“ wird so verstanden, dass es bedeutet, dass ein Element vor einem anderen in Bezug auf die Zirkulationsrichtung des Gases platziert ist. „Stromabwärts“ hingegen wird so verstanden, dass es bedeutet, dass ein Element hinter einem anderen in Bezug auf die Zirkulationsrichtung des zu pumpenden Gases platziert ist.
Die Vakuumpumpe 1 ist beispielsweise mit einer Kammer zum Pumpen der Gase verbunden. Es kann eine Kammer sein, in der die Abscheidungs- und Ätzprozesse, die bei der Herstellung von mikroelektronischen Vorrichtungen auf Siliziumwafern eingesetzt werden, oder Beschichtungsprozesse oder Flachbildschirmherstellungsprozesse oder LED-Herstellungsprozesse erfolgen.
Die Erfindung bezieht sich auf eine beliebige Art von trockener Vakuumpumpe, einstufig oder mehrstufig, die also eine oder mehrere Stufen (mindestens zwei) umfasst. Diese Vakuumpumpe kann eine mehrstufige Primärvakuumpumpe, die dazu konfiguriert ist, die bei Atmosphärendruck gepumpten Gase auszulassen, oder eine Roots-Vakuumpumpe mit einer bis drei Pumpstufen, die im Gebrauch stromaufwärts einer Primärvakuumpumpe angeschlossen ist, sein.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst, wie an sich bekannt ist, einen mechanischen Antriebsteil (hier nicht dargestellt), der Motorantriebsrotoren, Rotorsynchronisationszahnräder und Lager, die die Wellen der Rotoren stützen, umfasst. Die Vakuumpumpe 1 umfasst des Weiteren eine Trockenpumpstufe, in der die Gase zirkulieren, die Vakuumpumpe 1 umfasst des Weiteren Dichtungsmittel, die die Drehung der Wellen in dem Trockenpumpteil gestatten, während das Überwandern von Schmiermittel von dem mechanischen Antriebsteil zu dem Trockenpumpteil beschränkt wird.
In dem Trockenpumpteil umfasst die Vakuumpumpe 1 mindestens eine Pumpstufe 1a-1e, in der zwei Rotoren dazu konfiguriert sind, sich synchron in entgegengesetzten Richtungen zum Vortreiben eines zu pumpenden Gases zu drehen. Die Vakuumpumpe 1 wird als „trocken“ bezeichnet, da sich die Rotoren im Betrieb in dem Stator ohne jeglichen mechanischen Kontakt mit dem Stator drehen, wodurch es möglich ist, kein Öl in dem Trockenpumpteil zu verwenden.
Die Vakuumpumpe 1 ist beispielsweise eine Primärvakuumpumpe vom „Roots“- oder „Klauen“-Typ oder vom Spiralen- oder Schraubentyp oder basiert auf einem anderen ähnlichen Prinzip für eine volumetrische Vakuumpumpe.
1 stellt somit ein Beispiel für eine Pumpeneinheit, die eine stromaufwärts einer mehrstufigen Vakuumpumpe angeordnete einstufige Vakuumpumpe umfasst, dar.
Die mehrstufige Vakuumpumpe 1 umfasst beispielsweise fünf Pumpstufen 1a-1e, die in Reihe zwischen einer Saugseite 2 und einer Auslassseite 3 befestigt sind. Die Pumpstufe 1a, die mit der Saugseite 2 der Vakuumpumpe 1 in Verbindung steht, ist die erste Pumpstufe, die auch als eine Niederdruckstufe bezeichnet wird, und die Pumpstufe 1e, die mit der Auslassseite 3 in Verbindung steht, ist die letzte Pumpstufe, die auch als eine Hochdruckstufe bezeichnet wird. Die Druckkammern der aufeinanderfolgenden Pumpstufen 1a-1e sind durch mindestens einen jeweiligen Zwischenstufenkanal nacheinander in Reihe verbunden, der den Ausgang der Verdichtungskammer der vorherigen Pumpstufe mit dem Eingang der Verdichtungskammer der folgenden Stufe verbindet. Während der Drehung ist das von der Saugseite 2 der Vakuumpumpe 1 gesaugte Gas in dem Volumen, das von den Rotoren und dem Stator der Pumpstufe 1a-1f erzeugt wird, eingeschlossen, wird dann verdichtet und zu der nächsten Stufe usw. zu der Auslassseite 3 der Vakuumpumpe 1 vorgetrieben. Die Pumpstufen 1a-1e haben ein erzeugtes Volumen, d. h. ein Pumpgasvolumen, das mit den Pumpstufen 1a-1e abnimmt (oder gleichbleibt), wobei die erste Pumpstufe 1a die höchste erzeugte Durchsatzrate aufweist und die letzte Pumpstufe 1e die geringste erzeugte Durchsatzrate aufweist.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst des Weiteren mindestens ein Rückschlagventil 4. Das Rückschlagventil 4 umfasst einen Sitz 5 und ein mobiles Verschlussglied 6. Das mobile Verschlussglied 6 kann translatorisch, drehend oder durch eine kombinierte Bewegung verlagert werden.
Das Rückschlagventil 4 kann eine geschlossene Stellung (2), in der das mobile Verschlussglied 6 mit einer Lagerfläche des Sitzes 5 in Kontakt ist und einen Durchgang 7 des Sitzes 5 für die zu pumpenden Gase verschließt, und eine geöffnete Stellung (3), in der sich das mobile Verschlussglied 6 von dem Sitz 5 weg befindet, wodurch der Durchgang für die Gase freigegeben ist, annehmen.
Das Rückschlagventil 4 kann entsprechend der Druckdifferenz beidseits des mobilen Verschlussglieds 6 geöffnet werden. Beispielsweise öffnet sich das Rückschlagventil 4 im Falle eines Überdrucks in einer Pumpstufe. Wenn die Druckdifferenz stromaufwärts/stromabwärts unter dem Belastungsschwellenwert des Rückschlagventils 4 liegt, ist das Rückschlagventil 4 geschlossen, das mobile Verschlussglied 6 verhindert das Durchströmen der Gase. Wenn die Druckdifferenz stromaufwärts/stromabwärts des Rückschlagventils 4 über dem Belastungsschwellenwert des Rückschlagventils 4 liegt, ist das mobile Verschlussglied 6 von dem Sitz 5 getrennt, wodurch der Durchgang für die zu pumpenden Gase durch das Rückschlagventil 4 hindurch freigegeben ist.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst beispielsweise ein Rückführungsrückschlagventil 4a und/oder mindestens zwei Pumpstufen 1a-1e und mindestens ein Überdruckrückschlagventil 4b und/oder mindestens ein Auslassrückschlagventil 4c.
Das Rückführungsrückschlagventil 4a (das auch als ein Druckablassrückschlagventil bezeichnet wird) ist zwischen dem Ausgang und dem Eingang ein und derselben Pumpstufe 1a eingebunden. Es ist dazu konfiguriert, sich zu öffnen, sobald die Druckdifferenz zwischen dem Eingang und dem Ausgang der Pumpstufe 1a einen vorbestimmten Schwellenwert überschreitet. Das Öffnen des Rückschlagventils 4a ermöglicht es, dass die zu pumpenden Gase beim Pumpen von starken gasförmigen Strömen in derselben Pumpstufe 1a zurückgeführt werden. Der Schwellenwert wird im Voraus definiert, insbesondere entsprechend dem Verhältnis der erzeugten Durchsatzraten und entsprechend den mechanischen Sicherheitseinstellungen. Das Rückführungsrückschlagventil 4a ist auch zwischen dem Ausgang und dem Eingang der ersten Pumpstufe 1a beispielsweise von einer Roots-Vakuumpumpe mit einer bis drei Pumpstufen, die stromaufwärts einer Primärvakuumpumpe angeordnet ist, angeordnet.
Das Überdruckrückschlagventil 4b ermöglicht es, einen starken gasförmigen Strom zu absorbieren und pünktlich weiterzuleiten, während der elektrische Verbrauch der Vakuumpumpe 1 beschränkt wird, beispielsweise während eines Druckabbaus in einer Kammer mit Atmosphärendruck. Es ist beispielsweise an dem Ausgang einer Niederdruck-Pumpstufe, wie z. B. an dem Ausgang der ersten oder der zweiten Pumpstufe 1a, 1b einer mehrstufigen Vakuumpumpe 1, angeordnet. In der geöffneten Stellung ermöglicht das Überdruckrückschlagventil 4b eine Umgehung der letzten Pumpstufen 1c-1e der Vakuumpumpe 1, wodurch die gesamte erzeugte Durchsatzrate beschränkt werden könnte.
Das Auslassrückschlagventil 4c (das auch als ein Sperrventil bezeichnet wird) ist an dem Ausgang der letzten Pumpstufe 1e, also an der Auslassseite 3 einer mehrstufigen Vakuumpumpe 1, allgemein stromaufwärts eines Lärmdämpfers der Vakuumpumpe 1 angeordnet. Es ermöglicht die Vermeidung des Zurückkehrens der gepumpten Gase in die Vakuumpumpe 1.
In allen Anordnungsfällen des Rückschlagventils 4 ist der Kopf 8 des mobilen Verschlussglieds 6 dazu konfiguriert, den Durchgang 7 der Gase zu sperren.
In dem Beispiel von 2 bis 4 weist der Sitz 5 eine planare Form auf, und der Kopf 8 weist eine zylindrische Form auf, die zu dem Durchgang 7 des Sitzes 5 komplementär ist. Das mobile Verschlussglied 6 und/oder der Sitz 5 können auch eine abdichtende Beschichtung oder eine Dichtung 9, die beispielsweise aus einem elastomeren Material oder Silikon hergestellt ist, aufweisen, um die mechanische Festigkeit und die Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen zu verbessern.
Das Rückschlagventil 4 kann ein elastisches Rückführglied 11 umfassen, das das mobile Verschlussglied 6 in die geschlossene Stellung belastet. Das elastische Rückführglied 11 umfasst beispielsweise eine Feder, die zwischen dem mobilen Verschlussglied 6 und einem Statorteil 12 der Vakuumpumpe 1 angeordnet ist. Es ist auch möglich, keine Feder zu verwenden und die Schwerkraft zum Belasten des mobilen Verschlussglieds 6 in die geschlossene Stellung zu nutzen.
Das Rückschlagventil 4 kann mindestens ein an dem Statorteil 12 gesichertes Führungselement 13 umfassen, das dazu konfiguriert ist, eine Verlagerung des mobilen Verschlussglieds 6 zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils 4 zu führen.
Gemäß einer beispielhaften Ausführungsform umfasst das Führungselement 13 eine Stange, die mit einer Führungshülle 14 des mobilen Verschlussglieds 6 zusammenwirkt, um die axiale translatorische Verlagerung des mobilen Verschlussglieds 6 zu führen. Die Führungshülle 14 ist beispielsweise ein zylindrischer Hohlraum. Sie kann in einer Mittelachse des mobilen Verschlussglieds 6 ausgebildet sein. Das elastische Rückführglied 11 ist beispielsweise um die Stange des Führungselements 13 herum angeordnet, wobei die Stange auch das Zusammendrücken des elastischen Rückführglieds 11 führt.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst ferner mindestens einen Einblaskanal 10, der durch mindestens eine Einblasöffnung 15 austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas auf eine Lagerfläche des Sitzes 5 in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils 4 und/oder auf das mobile Verschlussglied 6 und/oder auf das Führungselement 13 einzublasen.
Das Spülgas ist beispielsweise Stickstoff.
Das Einblasen eines Spülgases ermöglicht das Säubern des Rückschlagventils 4, um das Vorhandensein von Ablagerungen, die seinen Betrieb behindern könnten, zu verhindern. Die abdichtende Schließfunktion und die Öffnungsfunktion des Rückschlagventils 4 im Falle von Überdruck können somit für einen längeren Zeitraum zwischen zwei Wartungsfristen sichergestellt werden.
Das Einblasen des Spülgases ist lokal auf die aktiven Teile des Rückschlagventils 4, wie z. B. auf die Lagerfläche des Sitzes 5, das mobile Verschlussglied 6 und/oder das Führungselement 13 gerichtet.
Das Einblasen des Spülgases kann fortlaufend oder zeitlich geplant erfolgen. Das zeitliche nicht fortlaufend erfolgende Einblasen ermöglicht es, die Pump- und Endvakuumleistungsfähigkeitswerte der Vakuumpumpe 1 nicht zu beeinträchtigen (wenn keine zu pumpenden Gasströme vorliegen).
Insbesondere kann das Einblasen des Spülgases in einer sogenannten „Clean“-Phase, wenn kein Prozess in der mit der Vakuumpumpe 1 verbundenen Kammer stattfindet, gesteuert werden. Dazu umfasst die Vakuumpumpe 1 beispielsweise eine Treibereinheit, die dazu konfiguriert ist, Informationen zu dem in der Kammer stattfindenden Prozess zu empfangen und das Einblasen des Spülgases auf Basis dieser Informationen zu steuern.
Das zeitlich nicht fortlaufend erfolgende Einblasen kann auch durch zuvor definierte Einblaszeiten bestimmt werden.
Gemäß einem weiteren Beispiel wird dieses nicht fortlaufend erfolgende Einblasen durch die Bewegung des Rückschlagventils 4 selbst ausgelöst, wobei der Einblaskanal 10 mindestens eine Einblasöffnung 15 für ein Spülgas umfasst, die in der geschlossenen Stellung durch das mobile Verschlussglied 6 versperrt wird und in der geöffneten Stellung freigegeben ist. Das Rückschlagventil 4 ist somit selbstsperrend, wobei das Schließen des Rückschlagventils 4 das Einblasen des Spülgases beendet.
Diese Ausführungsform eignet sich besonders für den Fall, in dem ein Einblaskanal 10 durch eine Einblasöffnung 15 austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas auf eine Lagerfläche des Sitzes 5 des Rückschlagventils 4 in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils 4 einzublasen.
Durch das Überstreichen der Lagerfläche mit dem Spülgas wird gestattet, dass die Oberfläche des Sitzes 5, die in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils 4 mit dem mobilen Verschlussglied 6 in Kontakt ist, frei von Partikeln oder von Ablagerungen ist, um einen festen Verschluss des Rückschlagventils 4 zu garantieren.
Dazu umfasst die Vakuumpumpe 1 einen Einblaskanal 10, der einen in dem Führungselement 13 ausgebildeten ersten Kanal 16 und mindestens einen in dem mobilen Verschlussglied 6 ausgebildeten zweiten Kanal 17 umfasst. Der mindestens eine zweite Kanal 17 tritt von dem mobilen Verschlussglied 6 durch eine jeweilige Einblasöffnung 15, die zu dem Sitz 5 weisend angeordnet ist, aus. Der erste und der zweite Kanal 16, 17 stehen miteinander in Verbindung. Es gibt beispielsweise mehrere zweite Kanäle 17, die durch eine jeweilige Einblasöffnung 15 austreten, wie z. B. sechs und zehn, die gleichmäßig über den Umfang des mobilen Verschlussglieds 6 hinweg verteilt sind und einen „Duschkopf“ für die gleichmäßige Säuberung der Lagerfläche des Sitzes 5 bilden (4).
Im Betrieb werden, wenn sich das Rückschlagventil 4 in der geschlossenen Stellung befindet, die Einblasöffnungen 15 für ein Spülgas von dem mobilen Verschlussglied 6 versperrt.
In Fällen von Überdruck wird das mobile Verschlussglied 6 gegen das elastische Rückführglied 11 zurückgedrückt, das das Rückschlagventil 4 öffnet. Das Öffnen des Rückschlagventils 4 gestattet das Durchströmen der zu pumpenden Gase und gibt die Einblasöffnungen 15 für das Einblasen eines Spülgases auf die Lagerfläche des Sitzes 5 frei (3). Das Einblasen des Spülgases säubert die Lagerfläche des Sitzes 5 über das Führungselement 13.
5 und 6 zeigen eine zweite beispielhafte Ausführungsform.
In diesem Beispiel umfasst die Vakuumpumpe 1 einen Einblaskanal 10, der durch mindestens eine Einblasöffnung 18 austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas auf einen hinteren Teil 19 des mobilen Verschlussglieds 6 einzublasen. Spezifischer umfasst der Einblaskanal 10 einen ersten Kanal 16, der in dem Führungselement 13 ausgebildet ist. Der erste Kanal 16 tritt durch die mindestens eine Einblasöffnung 18 für das Einblasen eines Spülgases auf das mobile Verschlussglied 6 in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils 4 aus (5).
Es gibt beispielsweise mindestens zwei diametral gegenüberliegende Einblasöffnungen 18, die aus dem ersten Kanal 16 hervorgehen.
Das Einblasen eines Spülgases auf den hinteren Teil 19 des mobilen Verschlussglieds 6 ermöglicht die Säuberung des mobilen Verschlussglieds 6 in der geschlossenen Stellung zur Vermeidung einer Ansammlung von Ablagerungen, die das Öffnen des Rückschlagventils 4 verhindern oder einschränken könnte.
Im Falle eines Führungselements 13, das eine Stange umfasst, die mit einer Führungshülle 14 des mobilen Verschlussglieds 6 zusammenwirkt, um die axiale translatorische Verlagerung des mobilen Verschlussglieds 6 zu führen, ist es auch möglich, dafür zu sorgen, dass die mindestens eine Einblasöffnung 18 des ersten Kanals 26 des Führungselements 13 und die Führungshülle 14 des mobilen Verschlussglieds 6 bezüglich einander positioniert sind, um ein Spülgas durch die mindestens eine Einblasöffnung 18 des Führungselements 13 in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils 4 einzublasen und ein Spülgas durch die mindestens eine Einblasöffnung 15, die aus dem mobilen Verschlussglied 6 hervorgeht, in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils 4 einzublasen.
Im Betrieb wird, wenn sich das Rückschlagventil 4 in der geschlossenen Stellung befindet (5), das Spülgas durch die mindestens eine erste Einblasöffnung 18, die in dem Führungselement 13 ausgebildet ist, eingeblasen, wodurch der hintere Teil 19 des mobilen Verschlussglieds 6 gesäubert wird und die Bildung von Pulverklumpen an dem mobilen Verschlussglied 6 verhindert wird. Darüber hinaus werden die zweiten Einblasöffnungen 15 von dem mobilen Verschlussglied 6, das mit dem Sitz 5 in Kontakt ist, versperrt.
In Fällen von Überdruck wird das mobile Verschlussglied 6 gegen das elastische Rückführglied 11 zurückgedrückt, das das Rückschlagventil 4 öffnet (6). Das Öffnen des Rückschlagventils 4 gestattet das Durchströmen der zu pumpenden Gase, gibt die zweiten Einblasöffnungen 15 für das Einblasen eines Spülgases auf den Sitz 5 frei und verschließt die ersten Einblasöffnungen 18.
Das Einblasen des Spülgases ist somit entsprechend der Stellung des Rückschlagventils 4 verschiedenartig, entweder zum Säubern der Lagerfläche des Sitzes 5, wenn das Rückschlagventil 4 geöffnet ist, oder zum Säubern des hinteren Teils 9 des mobilen Verschlussglieds 6, wenn das Rückschlagventil 4 geschlossen ist.
7 zeigt eine dritte beispielhafte Ausführungsform, bei der der Einblaskanal 10 in dem Statorteil 12 (fixiert) der Vakuumpumpe 1 positioniert ist.
Die Vakuumpumpe 1 umfasst einen Einblaskanal 10, der durch die mindestens eine Einblasöffnung 15 austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas in einer Richtung, die tangential zu einer Ebene, die eine planare Lagerfläche des Sitzes 5 und eine komplementäre planare Oberfläche des mobilen Verschlussglieds 6 abtrennt, verläuft, in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils 4 auf den Sitz 5 des Rückschlagventils 4 einzublasen. Das Einblasen des Spülgases in der tangentialen Richtung ermöglicht die Säuberung der Lagerfläche des Sitzes 5 zur Sicherstellung eines festen Verschlusses des Rückschlagventils 4.
Die Vakuumpumpe 1 kann auch einen Einblaskanal 10 umfassen, der durch mindestens eine Einblasöffnung 15 austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas entlang der Stange des Führungselements 13 zu schicken, wodurch das Garantieren der Führungsfunktion des mobilen Verschlussglieds 6 und des elastischen Rückführglieds 11, falls nötig, ermöglicht wird.
Die Vakuumpumpe 1 kann des Weiteren einen Einblaskanal 10 umfassen, der durch mindestens eine Einblasöffnung 15 austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas auf das mobile Verschlussglied 6, insbesondere in der geschlossenen Stellung, einzublasen, um die Ansammlung von Pulvern an dem Rückschlagventil 4 zu verhindern. Das Einblasen des Spülgases kann in einer Richtung rechtwinklig oder tangential zur Oberfläche des hinteren Teils 19 des mobilen Verschlussglieds 6 durchgeführt werden.
Das Einblasen des Spülgases kann fortlaufend oder zeitlich geplant erfolgen. Das Einblasen des Spülgases wird beispielsweise in einer sogenannten „Clean“-Phase gesteuert oder durch im Voraus definierte Einblaszeiten bestimmt.
Der mindestens eine Einblaskanal 10 kann dazu konfiguriert sein, ein verwirbeltes Spülgas einzublasen (8).
Der Verwirbelungseffekt des Gases kann durch die Kombination aus einer spezifischen Ausrichtung einer oder mehrerer Einblasöffnungen 15 und einer zumindest zum Teil kreisförmigen oder zylindrischen Geometrie des Statorteils 12 erzielt werden. Das verwirbelte Spülgas ermöglicht eine Verbesserung der Säuberung.
Das verwirbelte Gas kann auf den Sitz 5 des Rückschlagventils 4 in der Richtung, die tangential zu der Ebene, die die planare Lagerfläche des Sitzes 5 und die komplementäre planare Oberfläche des mobilen Verschlussglieds 6 abtrennt, verläuft, eingeblasen werden, wenn sich das Rückschlagventil 4 in der geöffneten Stellung befindet. Das verwirbelte Gas kann auch um das Führungselement 13 herum oder auf das mobile Verschlussglied 6 eingeblasen werden.
9 zeigt eine vierte beispielhafte Ausführungsform.
In diesem Beispiel, in dem das Führungselement 13 eine Stange umfasst, die mit einer Führungshülle 14 des mobilen Verschlussglieds 6 zusammenwirkt, um die axiale translatorische Verlagerung des mobilen Verschlussglieds 6 zu führen, umfasst die Vakuumpumpe 1 einen Einblaskanal 10, der durch mindestens eine Einblasöffnung 15 austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas entlang der Stange des Führungselements 13 einzublasen. Die Stange und/oder die Führungshülle 14 des mobilen Verschlussglieds 6 weist dazu beispielsweise eine Spiralnut 20, die mit dem Einblaskanal 10 in Verbindung steht, zum Führen des Spülgases auf. Diese Ausführungsform ermöglicht die Vermeidung von Ablagerungen an den Führungsflächen des Rückschlagventils 4, die die Mobilität des Rückschlagventils 4 behindern könnten. Das Einblasen des Spülgases ermöglicht die Sicherstellung von leichtem Gleiten der Stange in der Führungshülle 14. Das Spülgas kann in der geöffneten und/oder geschlossenen Stellung des Rückschlagventils 4 eingeblasen werden.
Obgleich 2 bis 9 ein mobiles Verschlussglied 6 mit einer allgemein zylindrischen zweistufigen Form und einen planaren Sitz 5 zeigt, sind andere Ausführungsformen möglich.
Insbesondere kann das mobile Verschlussglied 6 sphärisch oder zum Teil sphärisch sein oder einen konischen oder zum Teil konischen Kopf aufweisen, und der Sitz 5 kann konisch sein. Das mobile Verschlussglied kann auch eine allgemein planare Form, wie z. B. eine Plattenform, aufweisen und durch Schwenken zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils über Führungsdrehelemente des mobilen Verschlussglieds verlagert werden.
10 und 11 zeigen ein weiteres Beispiel für ein mobiles Verschlussglied 6, dessen Kopf 8 eine konische Flanke 21, die zu einem konischen Sitz 5 komplementär ist, zum Sperren eines Durchgangs 7 des Sitzes 5 in der geschlossenen Stellung aufweist.
In diesem Beispiel tritt der Einblaskanal 10 durch mindestens eine Einblasöffnung 15 aus und ist dazu konfiguriert, ein Spülgas auf die konische Flanke 21 des Kopfes 8 des mobilen Verschlussglieds 6 zum Sperren des Durchgangs 7 in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils 4 einzublasen. Der Einblaskanal 10 ist beispielsweise in dem Statorteil 12 der Vakuumpumpe 1 ausgebildet. Die Vakuumpumpe 1 umfasst beispielsweise einen einzigen Einblaskanal 10, der durch eine einzige Einblasöffnung 15 austritt und dazu konfiguriert ist, eine beträchtliche Durchsatzrate einzublasen (10), oder die Vakuumpumpe 1 umfasst mehrere kleinere Einblaskanäle 10, die dazu konfiguriert sind, ein Spülgas auf gegenüberliegende Seiten des Kopfes 8 des mobilen Verschlussglieds 6 einzublasen ( 11).
Der Einblaskanal 10 kann dazu konfiguriert sein, ein Spülgas in einer rechtwinklig zur axialen Richtung der Verlagerung des Rückschlagventils verlaufenden Richtung (10) oder in einer rechtwinklig zur der konischen Flanke 21 des Kopfes 8 des mobilen Verschlussglieds 6 verlaufenden Richtung (11) einzublasen.

Claims

Vakuumpumpe (1), die Folgendes umfasst: - mindestens eine Pumpstufe (1a-1e), in der zwei Rotoren dazu konfiguriert sind, sich synchron in entgegengesetzten Richtungen zu drehen, um ein zu pumpendes Gas vorzutreiben, - mindestens ein Rückschlagventil (4), das einen Sitz (5) und ein mobiles Verschlussglied (6) umfasst, wobei das Rückschlagventil (4) eine geschlossene Stellung, in der das mobile Verschlusselement (6) einen Durchgang (7) des Sitzes (5) verschließt, und eine geöffnete Stellung, in der das mobile Verschlussglied (6) den Durchgang (7) freigibt, einnehmen kann, wobei das Rückschlagventil (4) durch die Druckdifferenz beidseits des mobilen Verschlussglieds (6) geöffnet werden kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe (1) ferner mindestens einen Einblaskanal (10) umfasst, der durch mindestens eine Einblasöffnung (15; 18) austritt und zum Einblasen eines Spülgases auf Folgendes konfiguriert ist: - eine Lagerfläche des Sitzes (5) in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils (4) und/oder - das mobile Verschlussglied (6) und/oder - mindestens ein an einem Statorteil (12) der Vakuumpumpe (1) gesichertes Führungselement (13), das zum Führen einer Verlagerung des mobilen Verschlussglieds (6) zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils (4) konfiguriert ist.
Vakuumpumpe (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Einblaskanal (10) mindestens eine Einblasöffnung (15) für ein Spülgas umfasst, die in der geschlossenen Stellung von dem mobilen Verschlussglied (6) versperrt wird und in der geöffneten Stellung freigegeben ist.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Einblaskanal (10) umfasst, der einen ersten Kanal (16) umfasst, der in dem Führungselement (13) ausgebildet ist, wobei der erste Kanal (16) durch mindestens eine Einblasöffnung (18) zum Einblasen eines Spülgases auf das mobile Verschlussglied (6) in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils (4) austritt.
Vakuumpumpe (1) nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Einblaskanal (10) umfasst, der einen in dem Führungselement (13) ausgebildeten ersten Kanal (16) und mindestens einen in dem mobilen Verschlussglied (6) ausgebildeten zweiten Kanal (17), der durch die mindestens eine Einblasöffnung (15) austritt, umfasst, wobei die mindestens eine Einblasöffnung (15) so angeordnet ist, dass sie zu dem Sitz (5) weist, wobei der erste und der zweite Kanal (16, 17) miteinander in Verbindung stehen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Führungselement (13) eine Stange umfasst, die mit einer Führungshülle (14) des mobilen Verschlussglieds (6) dahingehend zusammenwirkt, die translatorische Verlagerung des mobilen Verschlussglieds (6) zu führen.
Vakuumpumpe (1) nach Anspruch 3, 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Einblasöffnung (18) des ersten Kanals (16) der Stange des Führungselements (13) und die Führungshülle (14) des mobilen Verschlussglieds (6) derart bezüglich einander positioniert sind, dass: - ein Spülgas durch die mindestens eine Einblasöffnung (18) der Stange in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils (4) eingeblasen werden kann, und - ein Spülgas durch die mindestens eine Einblasöffnung (15), die aus dem mobilen Verschlussglied (6) hervorgeht, in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils (4) eingeblasen werden kann.
Vakuumpumpe (1) nach einem der Ansprüche 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Einblaskanal (10) umfasst, der durch die mindestens eine Einblasöffnung (15) austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas entlang der Stange einzublasen, wobei die Stange und/oder die Führungshülle (14) des mobilen Verschlussglieds (6) eine Spiralnut (20), die mit dem Einblaskanal (10) in Verbindung steht, zum Führen des Spülgases aufweisen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen Einblaskanal (10) umfasst, der durch die mindestens eine Einblasöffnung (15) austritt und dazu konfiguriert ist, ein Spülgas in einer Richtung, die tangential zu einer Ebene, die eine planare Lagerfläche des Sitzes (5) und eine komplementäre planare Fläche des mobilen Verschlussglieds (6) abtrennt, verläuft, in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils (4) einzublasen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, dass der Einblaskanal (10) dazu konfiguriert ist, ein Spülgas auf eine konische Flanke (21) eines Kopfs (8) des mobilen Verschlussglieds (6), der den Durchgang (7) in der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils (4) sperrt, einzublasen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Einblaskanal (10) dazu konfiguriert ist, ein verwirbeltes Spülgas einzublasen.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Rückschlagventil (4) ein elastisches Rückstellungsglied (11) umfasst, das das mobile Verschlussglied (6) in die geschlossene Stellung belastet.
Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie mindestens zwei Pumpstufen (1a-1e) umfasst, wobei das Rückschlagventil (4) ein Überdruckrückschlagventil (4a) ist, das an dem Ausgang der ersten oder der zweiten Pumpstufe (1a, 1b) angeordnet ist.
Vakuumpumpe (1) nach einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, dass sie mindestens zwei Pumpstufen (1a-1e) umfasst, wobei das Rückschlagventil (4) ein Auslassrückschlagventil (4c) ist, das an dem Ausgang der letzten Pumpstufe (1e) angeordnet ist.
Vakuumpumpe (10) nach einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, dass das Rückschlagventil (4) ein Rückführungsrückschlagventil (4a) ist, das zwischen einem Ausgang und einem Eingang einer ersten Pumpstufe (1a) eingebunden ist.
Verfahren zum Einblasen eines Spülgases in eine Vakuumpumpe (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Spülgas auf eine Lagerfläche des Sitzes (5) in der geöffneten Stellung des Rückschlagventils (4) und/oder auf das mobile Verschlussglied (6) und/oder auf das an einem Statorteil (12) der Vakuumpumpe (1) gesicherte Führungselement (13), das zum Führen einer Verlagerung des mobilen Verschlussglieds (6) zwischen der geöffneten und der geschlossenen Stellung des Rückschlagventils (4) konfiguriert ist, eingeblasen wird.