FR3105313A1 - Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge - Google Patents

Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge Download PDF

Info

Publication number
FR3105313A1
FR3105313A1 FR1914719A FR1914719A FR3105313A1 FR 3105313 A1 FR3105313 A1 FR 3105313A1 FR 1914719 A FR1914719 A FR 1914719A FR 1914719 A FR1914719 A FR 1914719A FR 3105313 A1 FR3105313 A1 FR 3105313A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
valve
vacuum pump
movable shutter
injection
purge gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR1914719A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3105313B1 (fr
Inventor
Eric MANDALLAZ
Yann Olivier
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum SAS
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum SAS filed Critical Pfeiffer Vacuum SAS
Priority to FR1914719A priority Critical patent/FR3105313B1/fr
Priority to TW109142611A priority patent/TW202138680A/zh
Priority to KR1020227021625A priority patent/KR20220111690A/ko
Priority to CN202080085265.XA priority patent/CN114867942A/zh
Priority to PCT/EP2020/085707 priority patent/WO2021122359A1/fr
Priority to DE112020006121.3T priority patent/DE112020006121T5/de
Publication of FR3105313A1 publication Critical patent/FR3105313A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3105313B1 publication Critical patent/FR3105313B1/fr
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum
    • F04C2220/12—Dry running
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/30—Use in a chemical vapor deposition [CVD] process or in a similar process
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
    • F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Abstract

Pompe à vide (1) comprenant au moins un canal d’injection (10) débouchant par au moins un orifice d’injection (15) configuré pour injecter un gaz de purge sur une face d’appui du siège (5) en position d’ouverture du clapet (4) et/ou sur un obturateur mobile (6) et/ou sur au moins un élément de guidage (13) solidaire d’une partie statorique (12) de la pompe à vide (1) configuré pour guider un déplacement de l’obturateur mobile (6) entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet (4). Figure d’abrégé : Figure 2

Description

Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge
La présente invention se rapporte à une pompe à vide sèche. L’invention se rapporte également à un procédé d’injection d’un gaz de purge dans une pompe à vide.
Certaines pompes à vide sont employées dans des procédés dits « à poudre » car mettant en œuvre des gaz générant de grandes quantités de sous-produits solides. C’est le cas par exemple de certains procédés de fabrication de semi-conducteurs ou de certains procédés de dépôt de revêtement (« coating » en anglais) ou de fabrication de panneaux solaires (dits « Flat Panel Display » en anglais) ou de fabrication de LED.
Lors du pompage des gaz issus de ces procédés, des composés solides peuvent se former dans la pompe à vide ou dans les canalisations et peuvent se déposer dans les pompes à vide, ce qui peut restreindre les dimensions de passage des gaz et conduire à des pertes de capacité de pompage. Ces dépôts peuvent également perturber le bon fonctionnement des pièces mobiles de la pompe à vide, notamment des rotors qui tournent dans le stator mais également des parties actives des clapets de recirculation, de délestage ou de refoulement.
Les clapets fonctionnent comme des soupapes qui s’ouvrent pour éviter des surpressions non souhaitables dans la pompe à vide. Ils permettent également de n’autoriser la circulation des gaz que dans un seul sens. Les clapets doivent pouvoir s’ouvrir en fonction des différentiels de pression mais ils doivent également se fermer de manière étanche. Une conséquence d’une accumulation trop importante de dépôts dans la pompe à vide peut être que l’une de ces deux fonctions ne soit plus assurée correctement. De tels dysfonctionnements peuvent nuire aux cadences de production mais peuvent également poser des problèmes pour la sécurité des personnes et risquer d’endommager les équipements.
Il est possible de réduire ces risques en revêtant les pièces mobiles et les sièges des clapets de revêtements anti-adhérents comme en PTFE mais le coût de ce matériau est relativement élevé et son utilisation peut avoir un impact environnemental important du fait de ses propriétés potentiellement nocives. Il est également possible de déposer des revêtements par pulvérisation mais leur tenue dans le temps peut ne pas être garantie. Une autre solution pourrait consister à disposer les clapets à l’horizontal pour que la force de gravité participe à l’évacuation des poudres déposées. Toutefois, les dépôts généralement adhérents peuvent difficilement être évacués par la seule force de gravité.
Un but de la présente invention est de proposer une pompe à vide améliorée résolvant au moins partiellement un des inconvénients de l’état de la technique.
A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide comprenant :
- au moins un étage de pompage à l’intérieur duquel deux rotors sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper,
- au moins un clapet comportant un siège et un obturateur mobile, le clapet pouvant prendre une position de fermeture dans laquelle l’obturateur mobile ferme un passage du siège et une position d’ouverture dans laquelle l’obturateur mobile libére le passage, la différence de pression de part et d’autre de l’obturateur mobile pouvant ouvrir le clapet, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre au moins un canal d’injection débouchant par au moins un orifice d’injection configuré pour injecter un gaz de purge :
- sur une face d’appui du siège en position d’ouverture du clapet et/ou
- sur l’obturateur mobile et/ou
- sur au moins un élément de guidage solidaire d’une partie statorique de la pompe à vide configuré pour guider un déplacement de l’obturateur mobile entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet.
L’injection d’un gaz de purge permet de nettoyer le clapet pour empêcher la présence de dépôts qui pourraient nuire à son fonctionnement. Le nettoyage du clapet permet que la fonction d’étanchéité de fermeture et la fonction d’ouverture du clapet en cas de surpression soient assurées plus longtemps.
La pompe à vide peut comporter au moins un canal d’injection débouchant par au moins un orifice d’injection configuré pour injecter un gaz de purge sur une face d’appui du siège en position d’ouverture du clapet. Le balayage de la face d’appui permet que la surface du siège en contact avec l’obturateur mobile en position de fermeture soit exempte de particules ou de dépôts pour garantir une fermeture étanche du clapet.
L’obturateur mobile peut se déplacer en translation, en rotation ou selon un mouvement combiné.
Le clapet peut comporter au moins un élément de guidage solidaire d’une partie statorique de la pompe à vide configuré pour guider le déplacement de l’obturateur mobile entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet. La pompe à vide peut comporter au moins un canal d’injection débouchant par au moins un orifice d’injection configuré pour injecter un gaz de purge sur cet élément de guidage, ce qui permet de garantir la fonction de guidage de l’obturateur mobile.
Selon un exemple de réalisation, l’élément de guidage comporte une tige coopérant avec une enveloppe de guidage de l’obturateur mobile pour guider le déplacement en translation axiale de l’obturateur mobile. Le canal d’injection peut être configuré pour injecter un gaz de purge le long de la tige de l’élément de guidage. La tige et/ou l’enveloppe de guidage de l’obturateur mobile peuvent présenter pour cela une rainure hélicoïdale communiquant avec le canal d’injection pour le guidage du gaz de purge.
Selon un autre exemple de réalisation, le clapet présente des éléments de guidage en rotation de l’obturation mobile.
La pompe à vide peut comporter au moins un canal d’injection débouchant par au moins un orifice d’injection configuré pour injecter un gaz de purge sur l’obturateur mobile, notamment en position de fermeture du clapet. L’injection d’un gaz de purge sur l’obturateur mobile permet d’éviter une accumulation de dépôts qui pourrait empêcher ou limiter l’ouverture du clapet.
Par exemple, la pompe à vide peut comporter un canal d’injection comportant un premier canal ménagé dans l’élément de guidage, le premier canal débouchant par au moins un orifice d’injection pour l’injection d’un gaz de purge sur l’obturateur mobile en position de fermeture du clapet.
La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs caractéristiques qui sont décrites ci-après, prise seule ou en combinaison.
Le canal d’injection peut comporter au moins un orifice d’injection d’un gaz de purge, obstrué par l’obturateur mobile en position de fermeture du clapet et libéré en position d’ouverture. Le clapet est ainsi auto-obstruant, la fermeture du clapet refermant l’injection du gaz de purge.
Le clapet peut comporter un organe de rappel élastique sollicitant l’obturateur mobile en position de fermeture.
La pompe à vide peut comporter un canal d’injection comportant un premier canal ménagé dans l’élément de guidage et au moins un deuxième canal ménagé dans l’obturateur mobile débouchant par le au moins un orifice d’injection, le au moins un orifice d’injection étant disposé en regard du siège, le premier et le deuxième canal communiquant entre eux. Le gaz de purge nettoie ainsi la face d’appui du siège via l’élément de guidage.
Dans le cas d’un élément de guidage comportant une tige coopérant avec une enveloppe de guidage de l’obturateur mobile pour guider le déplacement en translation axiale de l’obturateur mobile, le au moins un orifice d’injection du premier canal de l’élément de guidage et l’enveloppe de guidage de l’obturateur mobile peuvent être positionnés l’un par rapport à l’autre de sorte que :
- un gaz de purge peut être injecté par le au moins un orifice d’injection de l’élément de guidage en position de fermeture du clapet, et
- un gaz de purge peut être injecté par le au moins un orifice d’injection débouchant de l’obturateur mobile en position d’ouverture du clapet.
L’injection du gaz de purge est ainsi différenciée suivant la position du clapet, soit pour nettoyer la face d’appui du siège lorsque le clapet est ouvert, soit pour nettoyer une partie arrière de l’obturateur mobile lorsque le clapet est fermé.
Selon un autre exemple de réalisation, le canal d’injection débouchant par au moins un orifice d’injection est configuré pour injecter un gaz de purge dans une direction tangentielle à un plan séparant une face d’appui plane du siège et une surface plane complémentaire de l’obturateur mobile en position d’ouverture du clapet.
Selon un autre exemple de réalisation, le canal d’injection débouchant par au moins un orifice d’injection est configuré pour injecter un gaz de purge sur un flanc tronconique d’une tête de l’obturateur mobile obstruant le passage en position de fermeture du clapet.
Le au moins un canal d’injection peut être configuré pour injecter un gaz de purge tourbillonnant. Le tourbillon de gaz de purge permet d’améliorer le nettoyage.
La pompe à vide peut comporter au moins deux étages de pompage et le clapet est un clapet de délestage agencé en sortie du premier ou du deuxième étage de pompage. En position d’ouverture, le clapet de délestage permet de court-circuiter les derniers étages de pompage de la pompe à vide qui pourraient limiter le débit engendré global en cas de pompage d’un fort flux gazeux.
La pompe à vide peut comporter au moins deux étages de pompage et le clapet est un clapet de refoulement agencé en sortie du dernier étage de pompage. Le clapet de refoulement permet d’éviter le retour des gaz pompés dans la pompe à vide.
Le clapet peut être un clapet de recirculation raccordé entre une sortie et une entrée d’un premier étage de pompage. L’ouverture du clapet permet de faire recirculer les gaz à pomper dans le même étage de pompage en cas de pompage de fort flux gazeux.
L’invention a aussi pour objet un procédé d’injection d’un gaz de purge dans une pompe à vide telle que décrite précédemment, caractérisé en ce qu’on injecte un gaz de purge sur une face d’appui du siège en position d’ouverture du clapet et/ou sur l’obturateur mobile et/ou sur l’élément de guidage solidaire d’une partie statorique de la pompe à vide configuré pour guider un déplacement de l’obturateur mobile entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels:
La figure 1 représente une vue schématique d’un groupe de pompage comprenant une pompe à vide primaire multiétagée et une pompe à vide Roots montée en amont de la pompe à vide primaire.
La figure 2 montre une vue en coupe schématique d’un clapet selon un premier exemple de réalisation, en position de fermeture.
La figure 3 montre le clapet de la figure 2 en position d’ouverture.
La figure 4 montre un obturateur mobile du clapet de la figure 2 retourné par rapport à la vue de la figure 2.
La figure 5 montre une vue en coupe schématique d’un clapet selon un deuxième exemple de réalisation, en position de fermeture.
La figure 6 montre une vue analogue à la figure 5 en position d’ouverture.
La figure 7 montre une vue en coupe schématique d’un clapet selon un troisième exemple de réalisation, en position d’ouverture.
La figure 8 montre une variante du clapet de la figure 7, vue de dessus.
La figure 9 montre une vue en coupe schématique d’un clapet selon un quatrième exemple de réalisation, en position de fermeture.
La figure 10 montre une vue en coupe schématique d’un clapet selon un cinquième exemple de réalisation, en position de fermeture.
La figure 11 montre une vue en coupe schématique d’un clapet selon un sixième exemple de réalisation, en position de fermeture.
Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence.
Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations.
On définit par pompe à vide primaire, une pompe à vide volumétrique, qui est configurée pour, à l’aide de deux rotors, aspirer, transférer, puis refouler le gaz à pomper à la pression atmosphérique. Les rotors sont portés par deux arbres entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide primaire. Une pompe à vide primaire peut être multiétagée, c’est-à-dire qu’elle comporte plusieurs étages (au moins deux), telle que deux à neuf étages de pompage.
On définit par pompe à vide de type Roots (également appelé « Roots Blower » en anglais), une pompe à vide volumétrique configurée pour, à l’aide de rotors de type Roots, aspirer, transférer puis refouler le gaz à pomper. La pompe à vide de type Roots est montée en amont et en série d’une pompe à vide primaire. Les rotors sont portés par deux arbres entrainés en rotation par un moteur de la pompe à vide de type Roots. La pompe à vide Roots comporte un à trois étages de pompage.
On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper.
La pompe à vide 1 est par exemple raccordée à une enceinte pour le pompage des gaz. Il peut s'agir d’une enceinte dans laquelle ont lieu des procédés de dépôts et de gravures utilisés dans la fabrication de dispositifs microélectroniques sur des plaquettes de silicium ou de procédés de dépôt de revêtement (« coating » en anglais) ou de procédés de fabrication de panneaux solaires (dits « Flat Panel Display » en anglais) ou de procédés de fabrication de LED.
L’invention s’applique à tout type de pompe à vide sèche, monoétagée ou multiétagée, c’est-à-dire comportant un ou plusieurs étages (au moins deux). Cette pompe à vide peut être une pompe à vide primaire multiétagée configurée pour refouler les gaz pompés à pression atmosphérique ou une pompe à vide Roots de un à trois étages de pompage qui en utilisation, est raccordée en amont d’une pompe à vide primaire.
La pompe à vide 1 comporte de manière connue en soi une partie d’entrainement mécanique (non représentée ici), comprenant un moteur d’entrainement des rotors, des engrenages de synchronisation des rotors et des paliers supportant les arbres des rotors. La pompe à vide 1 comporte également une partie de pompage sec dans laquelle circulent les gaz, la pompe à vide 1 comprenant en outre des moyens d’étanchéité permettant la rotation des arbres dans la partie de pompage sec tout en limitant les migrations de lubrifiant de la partie d’entrainement mécanique vers la partie de pompage sec.
Dans la partie de pompage sec, la pompe à vide 1 comporte au moins un étage de pompage 1a-1e à l’intérieur duquel deux rotors sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper. La pompe à vide 1 est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors tournent à l’intérieur du stator sans aucun contact mécanique avec le stator, ce qui permet de ne pas utiliser d’huile dans la partie de pompage sec.
La pompe à vide 1 est par exemple une pompe à vide primaire de type « Roots », « Claw » ou de type à spirale ou à vis ou d’un autre principe similaire de pompe à vide volumétrique.
La Figure 1 représente ainsi un exemple de groupe de pompage comprenant une pompe à vide monoétagée agencée en amont d’une pompe à vide multiétagée.
La pompe à vide 1 multiétagée comporte par exemple cinq étages de pompage 1a-1e, montés en série entre une aspiration 2 et un refoulement 3. L’étage de pompage 1a communiquant avec l’aspiration 2 de la pompe à vide 1 est le premier étage de pompage, également appelé étage de basse pression et l’étage de pompage 1e communiquant avec le refoulement 3 est le dernier étage de pompage, également appelé étage de haute pression. Les chambres de compression des étages de pompage 1a-1e successifs sont raccordés en série les unes à la suite des autres par au moins un canal inter-étage respectif raccordant la sortie de la chambre de compression de l'étage de pompage qui précède à l'entrée de la chambre de compression de l'étage qui suit. Lors de la rotation, le gaz aspiré depuis l’aspiration 2 de la pompe à vide 1, est emprisonné dans le volume engendré par les rotors et le stator de l’étage de pompage 1a-1f, puis est comprimé et entraîné vers l’étage suivant et ainsi de suite jusqu’au refoulement 3 de la pompe à vide 1. Les étages de pompage 1a-1e présentent un volume engendré, c'est-à-dire un volume de gaz pompé, décroissant (ou égal) avec les étages de pompage 1a-1e, le premier étage de pompage 1a présentant le débit engendré le plus élevé et le dernier étage de pompage 1e présentant le débit engendré le plus faible.
La pompe à vide 1 comporte en outre au moins un clapet 4. Le clapet 4 comporte un siège 5 et un obturateur mobile 6. L’obturateur mobile 6 peut se déplacer en translation, en rotation ou selon un mouvement combiné.
Le clapet 4 peut prendre une position de fermeture (figure 2) dans laquelle l’obturateur mobile 6 est en contact avec une face d’appui du siège 5 et ferme un passage 7 du siège 5 pour les gaz à pomper et une position d’ouverture (figure 3) dans laquelle l’obturateur mobile 6 est à l’écart du siège 5, libérant le passage des gaz.
Le clapet 4 peut s’ouvrir en fonction de la différence de pression de part et d’autre de l’obturateur mobile 6. Par exemple, le clapet 4 s’ouvre en cas d’une surpression dans un étage de pompage. Lorsque la différence de pression amont/aval est inférieure au seuil de tarage du clapet 4, le clapet 4 est fermé, l’obturateur mobile 6 empêche le passage des gaz. Lorsque la différence de pression amont/aval du clapet 4 est supérieure au seuil de tarage du clapet 4, l’obturateur mobile 6 s’écarte du siège 5, libérant le passage des gaz à pomper à travers le clapet 4.
La pompe à vide 1 comporte par exemple un clapet de recirculation 4a et/ou au moins deux étages de pompage 1a-1e et au moins un clapet de délestage 4b et/ou au moins un clapet de refoulement 4c.
Le clapet de recirculation 4a (également appelé clapet de décharge) est raccordé entre la sortie et l’entrée d’un même étage de pompage 1a. Il est configuré pour s’ouvrir dès que la différence de pression entre l’entrée et la sortie de l’étage de pompage 1a dépasse un seuil prédéfini. L’ouverture du clapet 4a permet de faire recirculer les gaz à pomper dans le même étage de pompage 1a en cas de pompage de fort flux gazeux. Le seuil est prédéfini notamment selon le ratio des débits engendrés et selon les réglages de sécurité mécanique. Le clapet de recirculation 4a est généralement agencé entre la sortie et l’entrée du premier étage de pompage 1a par exemple d’une pompe à vide Roots de un à trois étages de pompage, agencée en amont d’une pompe à vide primaire.
Le clapet de délestage 4b permet d’absorber et transférer ponctuellement un fort flux gazeux tout en limitant la consommation électrique de la pompe à vide 1, par exemple au cours d’une mise sous vide d’une enceinte à pression atmosphérique. Il est par exemple agencé en sortie d’un étage de pompage de basse pression, tel qu’en sortie du premier ou du deuxième étage de pompage 1a, 1b d’une pompe à vide 1 multiétagée. En position d’ouverture, le clapet de délestage 4b permet de court-circuiter les derniers étages de pompage 1c-1e de la pompe à vide 1 qui pourraient limiter le débit engendré global.
Le clapet de refoulement 4c (également appelé clapet anti-retour) est agencé en sortie du dernier étage de pompage 1e, c’est-à-dire au refoulement 3 d’une pompe à vide 1 multiétagée, généralement en amont d’un silencieux de la pompe à vide 1. Il permet d’éviter le retour des gaz pompés dans la pompe à vide 1.
Dans tous les cas d’agencement du clapet 4, la tête 8 de l’obturateur mobile 6 est configurée pour obturer le passage 7 des gaz.
Sur l’exemple des figures 2 à 4, le siège 5 présente une forme plane et la tête 8 présente une forme cylindrique complémentaire au passage 7 du siège 5. L’obturateur mobile 6 et/ou le siège 5 peuvent aussi présenter un revêtement ou une garniture d’étanchéité 9, par exemple en matériau élastomère ou silicone, pour améliorer la tenue mécanique et la résistance vis-à-vis des hautes températures.
Le clapet 4 peut comporter un organe de rappel élastique 11 qui sollicite l’obturateur mobile 6 en position de fermeture. L’organe de rappel élastique 11 comporte par exemple un ressort interposé entre l’obturateur mobile 6 et une partie statorique 12 de la pompe à vide 1. Il est aussi possible de ne pas utiliser de ressort et d’utiliser la force de gravité pour solliciter l’obturateur mobile 6 en position de fermeture.
Le clapet 4 peut comporter au moins un élément de guidage 13 solidaire de la partie statorique 12 configuré pour guider un déplacement de l’obturateur mobile 6 entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet 4.
Selon un exemple de réalisation, l’élément de guidage 13 comporte une tige coopérant avec une enveloppe de guidage 14 de l’obturateur mobile 6 pour guider le déplacement en translation axiale de l’obturateur mobile 6. L’enveloppe de guidage 14 est par exemple une cavité cylindrique. Elle peut être ménagée dans un axe central de l’obturateur mobile 6. L’organe de rappel élastique 11 est par exemple disposé autour de la tige de l’élément de guidage 13, la tige guidant également la compression de l’organe de rappel élastique 11.
La pompe à vide 1 comporte en outre au moins un canal d’injection 10 débouchant par au moins un orifice d’injection 15 configuré pour injecter un gaz de purge sur une face d’appui du siège 5 en position d’ouverture du clapet 4 et/ou sur l’obturateur mobile 6 et/ou sur l’élément de guidage 13.
Le gaz de purge est par exemple de l’azote.
L’injection d’un gaz de purge permet de nettoyer le clapet 4 pour empêcher la présence de dépôts qui pourraient nuire à son fonctionnement. La fonction d’étanchéité de fermeture et la fonction d’ouverture du clapet 4 en cas de surpression peuvent ainsi être assurées plus longtemps entre deux périodes de maintenance.
L’injection du gaz de purge est ciblée localement sur les parties actives du clapet 4, comme sur la face d’appui du siège 5, l’obturateur mobile 6 et/ou l’élément de guidage 13.
L’injection du gaz de purge peut être continue ou ciblée dans le temps. L’injection discontinue dans le temps peut permettre de ne pas perturber les performances de pompage et de vide limite de la pompe à vide 1 (en l’absence de flux de gaz à pomper).
En particulier, l’injection du gaz de purge peut être commandée en phase dite de « clean » lorsqu’aucun procédé n’a lieu dans l’enceinte raccordée à la pompe à vide 1. Pour cela, la pompe à vide 1 comprend par exemple une unité de pilotage configurée pour recevoir des informations du procédé ayant lieu dans l’enceinte et pour contrôler l’injection du gaz de purge en fonction de ces informations.
L’injection discontinue dans le temps peut également être déterminée par des durées d’injection définies au préalable.
Selon un autre exemple, cette injection discontinue est déclenchée par le mouvement même du clapet 4, le canal d’injection 10 comportant au moins un orifice d’injection 15 d’un gaz de purge, obstrué par l’obturateur mobile 6 en position de fermeture et libéré en position d’ouverture. Le clapet 4 est ainsi auto-obstruant, la fermeture du clapet 4 fermant l’injection du gaz de purge.
Cette réalisation est particulièrement adaptée dans le cas où un canal d’injection 10 débouche par un orifice d’injection 15 configuré pour injecter un gaz de purge sur une face d’appui du siège 5 du clapet 4 en position d’ouverture du clapet 4.
Le balayage de la face d’appui par le gaz de purge permet que la surface du siège 5 en contact avec l’obturateur mobile 6 en position de fermeture du clapet 4 soit exempte de particules ou de dépôts pour garantir une fermeture étanche du clapet 4.
Pour cela par exemple, la pompe à vide 1 comporte un canal d’injection 10 comprenant un premier canal 16 ménagé dans l’élément de guidage 13 et au moins un deuxième canal 17 ménagé dans l’obturateur mobile 6. Le au moins un deuxième canal 17 débouche de l’obturateur mobile 6 par un orifice d’injection 15 respectif disposé en regard du siège 5. Le premier et le deuxième canal 16, 17 communiquent entre eux. Il y a par exemple plusieurs deuxièmes canaux 17 débouchant par un orifice d’injection 15 respectif, tel qu’entre six et dix, régulièrement répartis sur le pourtour de l’obturateur mobile 6 de manière à former une « douchette » pour le nettoyage homogène de la face d’appui du siège 5 (figure 4).
En fonctionnement, lorsque le clapet 4 est en position de fermeture, les orifices d’injection 15 d’un gaz de purge sont obstrués par l’obturateur mobile 6.
En cas de surpression, l’obturateur mobile 6 est repoussé à l’encontre de l’organe de rappel élastique 11, ce qui ouvre le clapet 4. L’ouverture du clapet 4 permet le passage des gaz à pomper et libére les orifices d’injection 15 pour l’injection un gaz de purge sur la face d’appui du siège 5 (figure 3). L’injection du gaz de purge nettoie la face d’appui du siège 5 via l’élément de guidage 13.
Les figures 5 et 6 montrent un deuxième exemple de réalisation.
Dans cet exemple, la pompe à vide 1 comporte un canal d’injection 10 débouchant par au moins un orifice d’injection 18 configuré pour injecter un gaz de purge sur une partie arrière 19 de l’obturateur mobile 6. Plus précisément, le canal d’injection 10 comporte un premier canal 16 ménagé dans l’élément de guidage 13. Le premier canal 16 débouche par au moins un orifice d’injection 18 pour l’injection d’un gaz de purge sur l’obturateur mobile 6 en position de fermeture du clapet 4 (figure 5).
Il y a par exemple au moins deux orifices d’injection 18 diamétralement opposés débouchant du premier canal 16.
L’injection d’un gaz de purge sur la partie arrière 19 de l’obturateur mobile 6 permet de nettoyer l’obturateur mobile 6 en position de fermeture pour éviter une accumulation de dépôts qui pourrait empêcher ou limiter l’ouverture du clapet 4.
Dans le cas d’un élément de guidage 13 comportant une tige coopérant avec une enveloppe de guidage 14 de l’obturateur mobile 6 pour guider le déplacement en translation axiale de l’obturateur mobile 6, on peut également prévoir que le au moins un orifice d’injection 18 du premier canal 26 de l’élément de guidage 13 et l’enveloppe de guidage 14 de l’obturateur mobile 6 soient positionnés l’un par rapport à l’autre pour injecter un gaz de purge par le au moins un orifice d’injection 18 de l’élément de guidage 13 en position de fermeture du clapet 4, et pour injecter un gaz de purge par le au moins un orifice d’injection 15 débouchant de l’obturateur mobile 6 en position d’ouverture du clapet 4.
En fonctionnement, lorsque le clapet 4 est en position de fermeture (figure 5), le gaz de purge est injecté par le au moins un premier orifice d’injection 18 ménagé dans l’élément de guidage 13, ce qui nettoie la partie arrière 19 de l’obturateur mobile 6 et empêche la formation d’amas de poudre sur l’obturateur mobile 6. Par ailleurs, les deuxièmes orifices d’injection 15 sont obstrués par l’obturateur mobile 6 en contact avec le siège 5.
En cas de surpression, l’obturateur mobile 6 est repoussé à l’encontre de l’organe de rappel élastique 11, ce qui ouvre le clapet 4 (figure 6). L’ouverture du clapet 4 permet le passage des gaz à pomper, libére les deuxièmes orifices d’injection 15 pour injecter un gaz de purge sur le siège 5 et ferme les premiers orifices d’injection 18.
L’injection du gaz de purge est ainsi différenciée suivant la position du clapet 4, soit pour nettoyer la face d’appui du siège 5 lorsque le clapet 4 est ouvert, soit pour nettoyer la partie arrière 9 de l’obturateur mobile 6 lorsque le clapet 4 est fermé.
La figure 7 montre un troisième exemple de réalisation dans lequel le canal d’injection 10 est localisé dans la partie statorique 12 (fixe) de la pompe à vide 1.
La pompe à vide 1 comporte un canal d’injection 10 débouchant par au moins un orifice d’injection 15 configuré pour injecter un gaz de purge sur le siège 5 du clapet 4, dans une direction tangentielle à un plan séparant une face d’appui plane du siège 5 et une surface plane complémentaire de l’obturateur mobile 6, lorsque le clapet 4 est en position d’ouverture. L’injection du gaz de purge dans la direction tangentielle permet de nettoyer la face d’appui du siège 5 pour assurer une fermeture étanche du clapet 4.
La pompe à vide 1 peut également comporter un canal d’injection 10 débouchant par au moins un orifice d’injection 15 configuré pour envoyer un gaz de purge le long de la tige de l’élément de guidage 13, ce qui permet de garantir la fonction de guidage de l’obturateur mobile 6 et de l’organe de rappel élastique 11 le cas échéant.
La pompe à vide 1 peut également comporter un canal d’injection 10 débouchant par au moins un orifice d’injection 15 configuré pour injecter un gaz de purge sur l’obturateur mobile 6, notamment en position de fermeture, pour empêcher l’accumulation de poudres sur le clapet 4. L’injection du gaz de purge peut être réalisée dans une direction perpendiculaire ou tangentielle à la surface de la partie arrière 19 de l’obturateur mobile 6.
L’injection du gaz de purge peut être continue ou ciblée dans le temps. L’injection du gaz de purge est par exemple commandée en phase dite de « clean » ou déterminée par des durées d’injection prédéfinies.
Le au moins un canal d’injection 10 peut être configuré pour injecter un gaz de purge tourbillonnant (figure 8).
L’effet tourbillonnant du gaz peut être obtenu par l’association d’une orientation spécifique d’un ou plusieurs orifices d’injection 15 et d’une géométrie au moins partiellement circulaire ou cylindrique de la partie statorique 12. Le tourbillon de gaz de purge permet d’améliorer le nettoyage.
Le gaz tourbillonnant peut être injecté sur le siège 5 du clapet 4, dans la direction tangentielle au plan séparant la face d’appui plane du siège 5 et la surface plane complémentaire de l’obturateur mobile 6 lorsque le clapet 4 est en position d’ouverture. Le gaz tourbillonnant peut également être injecté autour de l’élément de guidage 13 ou sur l’obturateur mobile 6.
La figure 9 montre un quatrième exemple de réalisation.
Dans cet exemple pour lequel l’élément de guidage 13 comporte une tige coopérant avec une enveloppe de guidage 14 de l’obturateur mobile 6 pour guider le déplacement en translation axiale de l’obturateur mobile 6, la pompe à vide 1 comporte un canal d’injection 10 débouchant par au moins un orifice d’injection 15 configuré pour injecter un gaz de purge le long de la tige de l’élément de guidage 13. La tige et/ou l’enveloppe de guidage 14 de l’obturateur mobile 6 présente par exemple pour cela une rainure hélicoïdale 20 communiquant avec le canal d’injection 10 pour le guidage du gaz de purge. Ce mode de réalisation permet d’éviter les dépôts sur les surfaces de guidage du clapet 4 qui pourraient gêner la mobilité du clapet 4. L’injection du gaz de purge permet d’assurer le coulissement aisé de la tige dans l’enveloppe de guidage 14. Le gaz de purge peut être injecté en position d’ouverture et/ou de fermeture du clapet 4.
Bien que les figures 2 à 9 montrent un obturateur mobile 6 de forme générale cylindrique bi-étagée et un siège 5 plan, d’autres formes de réalisation sont possibles. En particulier, l’obturateur mobile 6 peut être sphérique ou partiellement sphérique ou présenter une tête tronconique ou partiellement tronconique et le siège 5 peut être tronconique. L’obturateur mobile peut aussi présenter une forme générale plane, telle qu’une forme en plaque et se déplacer en pivotement entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet via des éléments de guidage en rotation de l’obturateur mobile.
Les figures 10 et 11 montrent un autre exemple d’un obturateur mobile 6 dont la tête 8 présente un flanc tronconique 21 complémentaire d’un siège 5 tronconique pour obstruer un passage 7 du siège 5 en position de fermeture.
Dans cet exemple, le canal d’injection 10 débouche par au moins un orifice d’injection 15 configuré pour injecter un gaz de purge sur le flanc tronconique 21 de la tête 8 de l’obturateur mobile 6 obstruant le passage 7 en position de fermeture du clapet 4. Le canal d’injection 10 est par exemple ménagé dans la partie statorique 12 de la pompe à vide 1. La pompe à vide 1 comporte par exemple un seul canal d’injection 10 débouchant par un seul orifice d’injection 15 configuré pour injecter un débit important (figure 10) ou la pompe à vide 1 comporte plusieurs canaux d’injection 10, plus petits, et configurés pour injecter un gaz de purge sur des côtés opposés de la tête 8 de l’obturateur mobile 6 (figure 11).
Le canal d’injection 10 peut être configuré pour injecter un gaz de purge dans une direction perpendiculaire à la direction axiale de déplacement du clapet (figure 10) ou dans une direction perpendiculaire au flanc tronconique 21 de la tête 8 de l’obturateur mobile 6 (figure 11).

Claims (15)

  1. Pompe à vide (1) comprenant :
    - au moins un étage de pompage (1a-1e) à l’intérieur duquel deux rotors sont configurés pour tourner de façon synchronisée en sens inverse pour entrainer un gaz à pomper,
    - au moins un clapet (4) comportant un siège (5) et un obturateur mobile (6), le clapet (4) pouvant prendre une position de fermeture dans laquelle l’obturateur mobile (6) ferme un passage (7) du siège (5) et une position d’ouverture dans laquelle l’obturateur mobile (6) libére le passage (7), la différence de pression de part et d’autre de l’obturateur mobile (6) pouvant ouvrir le clapet (4),
    caractérisée en ce que la pompe à vide (1) comporte en outre au moins un canal d’injection (10) débouchant par au moins un orifice d’injection (15 ; 18) configuré pour injecter un gaz de purge :
    - sur une face d’appui du siège (5) en position d’ouverture du clapet (4) et/ou
    - sur l’obturateur mobile (6) et/ou
    - sur au moins un élément de guidage (13) solidaire d’une partie statorique (12) de la pompe à vide (1) configuré pour guider un déplacement de l’obturateur mobile (6) entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet (4).
  2. Pompe à vide (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que le canal d’injection (10) comporte au moins un orifice d’injection (15) d’un gaz de purge, obstrué par l’obturateur mobile (6) en position de fermeture et libéré en position d’ouverture.
  3. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un canal d’injection (10) comportant un premier canal (16) ménagé dans l’élément de guidage (13), le premier canal (16) débouchant par au moins un orifice d’injection (18) pour l’injection d’un gaz de purge sur l’obturateur mobile (6) en position de fermeture du clapet (4).
  4. Pompe à vide (1) selon les revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un canal d’injection (10) comportant un premier canal (16) ménagé dans l’élément de guidage (13) et au moins un deuxième canal (17) ménagé dans l’obturateur mobile (6) débouchant par le au moins un orifice d’injection (15), le au moins un orifice d’injection (15) étant disposé en regard du siège (5), le premier et le deuxième canal (16, 17) communiquant entre eux.
  5. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que l’élément de guidage (13) comporte une tige coopérant avec une enveloppe de guidage (14) de l’obturateur mobile (6) pour guider le déplacement en translation de l’obturateur mobile (6).
  6. Pompe à vide (1) selon les revendications 3, 4 et 5, caractérisée en ce que le au moins un orifice d’injection (18) du premier canal (16) de la tige de l’élément de guidage (13) et l’enveloppe de guidage (14) de l’obturateur mobile (6) sont positionnés l’un par rapport à l’autre de sorte que :
    - un gaz de purge peut être injecté par le au moins un orifice d’injection (18) de la tige en position de fermeture du clapet (4), et
    - un gaz de purge peut être injecté par le au moins un orifice d’injection (15) débouchant de l’obturateur mobile (6) en position d’ouverture du clapet (4).
  7. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 5 ou 6, caractérisée en ce qu’elle comporte un canal d’injection (10) débouchant par au moins un orifice d’injection (15) configuré pour injecter un gaz de purge le long de la tige, la tige et/ou l’enveloppe de guidage (14) de l’obturateur mobile (6) présentant une rainure hélicoïdale (20) communiquant avec le canal d’injection (10) pour le guidage du gaz de purge.
  8. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte un canal d’injection (10) débouchant par au moins un orifice d’injection (15) configuré pour injecter un gaz de purge dans une direction tangentielle à un plan séparant une face d’appui plane du siège (5) et une surface plane complémentaire de l’obturateur mobile (6) en position d’ouverture du clapet (4).
  9. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que le canal d’injection (10) est configuré pour injecter un gaz de purge sur un flanc tronconique (21) d’une tête (8) de l’obturateur mobile (6) obstruant le passage (7) en position de fermeture du clapet (4).
  10. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le au moins un canal d’injection (10) est configuré pour injecter un gaz de purge tourbillonnant.
  11. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le clapet (4) comporte un organe de rappel élastique (11) sollicitant l’obturateur mobile (6) en position de fermeture.
  12. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisée en ce qu’elle comporte au moins deux étages de pompage (1a-1e), le clapet (4) étant un clapet de délestage (4a) agencé en sortie du premier ou du deuxième étage de pompage (1a, 1b).
  13. Pompe à vide (1) selon l’une des revendications 1 à 11, caractérisée en ce qu’elle comporte au moins deux étages de pompage (1a-1e), le clapet (4) étant un clapet de refoulement (4c) agencé en sortie du dernier étage de pompage (1e).
  14. Pompe à vide (10) selon l’une des revendications 1 à 11, caractérisée en ce que le clapet (4) est un clapet de recirculation (4a) raccordé entre une sortie et une entrée d’un premier étage de pompage (1a).
  15. Procédé d’injection d’un gaz de purge dans une pompe à vide (1) selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu’on injecte un gaz de purge sur une face d’appui du siège (5) en position d’ouverture du clapet (4) et/ou sur l’obturateur mobile (6) et/ou sur un élément de guidage (13) solidaire d’une partie statorique (12) de la pompe à vide (1) configuré pour guider un déplacement de l’obturateur mobile (6) entre les positions d’ouverture et de fermeture du clapet (4).
FR1914719A 2019-12-18 2019-12-18 Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge Active FR3105313B1 (fr)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1914719A FR3105313B1 (fr) 2019-12-18 2019-12-18 Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge
TW109142611A TW202138680A (zh) 2019-12-18 2020-12-03 真空泵及注入滌洗氣體之方法
KR1020227021625A KR20220111690A (ko) 2019-12-18 2020-12-11 진공 펌프 및 정화 가스를 분사하기 위한 방법
CN202080085265.XA CN114867942A (zh) 2019-12-18 2020-12-11 真空泵和用于喷射吹扫气体的方法
PCT/EP2020/085707 WO2021122359A1 (fr) 2019-12-18 2020-12-11 Pompe à vide et procédé d'injection d'un gaz de purge
DE112020006121.3T DE112020006121T5 (de) 2019-12-18 2020-12-11 Vakuumpumpe und Verfahren zum Einblasen eines Spülgases

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1914719A FR3105313B1 (fr) 2019-12-18 2019-12-18 Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge
FR1914719 2019-12-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3105313A1 true FR3105313A1 (fr) 2021-06-25
FR3105313B1 FR3105313B1 (fr) 2021-12-31

Family

ID=70738622

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1914719A Active FR3105313B1 (fr) 2019-12-18 2019-12-18 Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge

Country Status (6)

Country Link
KR (1) KR20220111690A (fr)
CN (1) CN114867942A (fr)
DE (1) DE112020006121T5 (fr)
FR (1) FR3105313B1 (fr)
TW (1) TW202138680A (fr)
WO (1) WO2021122359A1 (fr)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150129047A1 (en) * 2013-11-08 2015-05-14 Mks Instruments, Inc. Powder and deposition control in throttle valves
EP2516863B1 (fr) * 2009-12-24 2018-10-10 Edwards Limited Pompe à vide sèche avec système de gas de purge et méthode de purge

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2516863B1 (fr) * 2009-12-24 2018-10-10 Edwards Limited Pompe à vide sèche avec système de gas de purge et méthode de purge
US20150129047A1 (en) * 2013-11-08 2015-05-14 Mks Instruments, Inc. Powder and deposition control in throttle valves

Also Published As

Publication number Publication date
CN114867942A (zh) 2022-08-05
FR3105313B1 (fr) 2021-12-31
DE112020006121T5 (de) 2022-12-29
TW202138680A (zh) 2021-10-16
KR20220111690A (ko) 2022-08-09
WO2021122359A1 (fr) 2021-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0368122B1 (fr) Pompe à vide du type roots multiétagé
FR2969226A1 (fr) Compresseur frigorifique a spirales
FR2969227A1 (fr) Compresseur frigorifique a spirales
EP3485168B1 (fr) Procédé de descente en pression dans un sas de chargement et de déchargement et groupe de pompage associé
FR2993614A1 (fr) Procede et dispositif de pompage d'une chambre de procedes
FR2960948A1 (fr) Compresseur frigorifique a spirales
EP2767717A1 (fr) Pompe à vide multi-étagée de type sèche
FR3065040B1 (fr) Groupe de pompage et utilisation
FR2598469A1 (fr) Dispositif pour empecher la rotation en sens inverse des rotors a vis d'un compresseur a vis lors de l'arret de ce dernier, et ce compresseur.
WO2009122057A1 (fr) Deshuileur centrifuge a section de passage variable
EP2549112B1 (fr) Pompe à vide multi-étagée de type sèche
FR3105313A1 (fr) Pompe à vide et procédé d’injection d’un gaz de purge
EP1477684B1 (fr) Pompe moléculaire, turbomoléculaire ou hybride à vanne integrée
WO2020201218A1 (fr) Pompe à vide de type sèche et installation de pompage
WO2009071815A2 (fr) Equipement pour la fabrication de semi-conducteurs, dispositif de pompage et porte-substrat correspondants
FR3101683A1 (fr) Pompe à vide turbomoléculaire
FR3032493A1 (fr)
WO2016174375A1 (fr) Compresseur électrique avec système d'étanchéité dynamique amélioré
FR3106630A1 (fr) Pompe à vide sèche
WO2021008834A1 (fr) Groupe de pompage
FR2964163A1 (fr) Pompe a vide de type seche
FR3112176A1 (fr) Pompe à vide primaire et Installation
FR2669393A1 (fr) Vanne d'isolement automatique fonctionnant a la depression et installation utilisant cette vanne.
FR3119209A1 (fr) Pompe à vide de type sèche et groupe de pompage
FR3109806A1 (fr) Pompe à vide primaire et Installation

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20210625

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 5