FR3001263A1

FR3001263A1 - Pompe a vide multi-etagee de type seche

Info

Publication number: FR3001263A1
Application number: FR1350440A
Authority: FR
Inventors: Stephane Crochet
Original assignee: Adixen Vacuum Products SAS
Current assignee: Pfeiffer Vacuum SAS
Priority date: 2013-01-18
Filing date: 2013-01-18
Publication date: 2014-07-25
Anticipated expiration: 2033-01-18
Also published as: EP2767717A1; US20140205482A1; KR20140093635A; FR3001263B1; TW201437486A; JP2014141966A

Abstract

L'invention concerne une pompe à vide multi-étagée de type sèche comportant une pluralité d'étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) comportant respectivement une entrée (7) et une sortie (8), les étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) étant montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre au moins un module de délestage configuré pour délester un étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) ledit module de délestage étant agencé dans la partie supérieure de la pompe à vide, du côté de l'entrée (7) de l'étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR).

Description

Pompe à vide multi-étagée de type sèche La présente invention concerne une pompe à vide multi-étagée de type sèche. L'invention s'applique notamment à une pompe à vide de type sèche comportant deux arbres à lobes rotatifs de type « Roots » ou « Claw », ou encore de type à spirale ou à vis ou d'un autre principe similaire.

Les pompes à vides multi-étagées comportent plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une aspiration et un refoulement. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » avec deux ou trois lobes ou celles à double bec, également connues sous le nom « Claw ». Les pompes à lobes rotatifs comprennent deux rotors de profils identiques, tournant à l'intérieur d'un stator en sens opposé. Lors de la rotation, le gaz à pomper est emprisonné dans l'espace libre compris entre les rotors et le stator, et est entraîné par le rotor vers l'étage suivant ou après le dernier étage en sortie de refoulement. Le fonctionnement s'effectue sans aucun contact mécanique entre les rotors et le stator, ce qui permet l'absence totale d'huile dans les étages de pompage. Pour réduire la consommation d'énergie de la pompe à vide, les derniers étages de pompage situés du côté du refoulement présentent généralement un volume engendré, c'est-à-dire un volume de gaz pompé, plus petit que celui des premiers étages de pompage, côté aspiration. Toutefois, au cours de certaines applications, notamment pour diminuer la pression dans l'enceinte depuis la pression atmosphérique, la pompe à vide doit absorber d'importants flux de gaz initiaux, qui peuvent ne pas être admis par les derniers étages de pompage côté refoulement, créant d'importantes différences de pression dans la pompe à vide et provoquant une consommation d'énergie importante. C'est le cas par exemple pour le pompage de sas de chargement/déchargement (ou « load lock » en anglais), où des enceintes sont mises sous vide cycliquement (toutes les 12 secondes environ) depuis la pression atmosphérique. Ces écarts de pression peuvent également provoquer la migration des lubrifiants des paliers lubrifiés vers les étages de pompage. Or, il est indispensable qu'aucune trace d'huile ou de graisse ne se retrouve dans les étages de pompage pour les applications dites « sèches ». Un des buts de la présente invention est donc de proposer une pompe à vide de type sèche pouvant évacuer le surplus de gaz qui survient lorsque le flux de gaz à pomper devient trop important pour les capacités de la pompe à vide, notamment pour éviter la migration de lubrifiant vers les étages de pompage et limiter la consommation d'énergie de la pompe à vide. Un autre but de la présente invention est d'atténuer les vibrations des arbres rotatifs supportant les rotors des pompes à vide qui peuvent avoir lieu au moment du démarrage du pompage, suite à l'à-coup de pression se produisant à l'ouverture de la vanne d'isolation entre l'enceinte à pomper à pression atmosphérique et la ligne de vide sous basse pression.

Un autre but de la présente invention est de limiter l'échauffement de la pompe à vide qui peut également avoir lieu au moment de cette phase initiale de mise sous vide. A cet effet, l'invention a pour objet une pompe à vide multi-étagée de type sèche comportant une pluralité d'étages de pompage comportant respectivement une entrée et une sortie, les étages de pompage étant montés en série entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre au moins un module de délestage configuré pour délester un étage de pompage, ledit module de délestage étant agencé dans la partie supérieure de la pompe à vide, du côté de l'entrée de l'étage de pompage. Le module de délestage permet de réduire les écarts de pression importants dans les étages de pompage. On protège ainsi les joints d'étanchéité interposés entre les paliers lubrifiés et les étages de pompage. On limite leur usure prématurée et donc les risques de migration du lubrifiant vers les étages de pompage. Par ailleurs, en diminuant les écarts de pression dans les étages de pompage, on limite l'échauffement de la pompe à vide et sa consommation énergétique. En outre, le module de délestage est agencé dans la partie supérieure de la pompe à vide, du côté de l'entrée de l'étage de pompage et cela présente plusieurs avantages. Le module de délestage comporte par exemple au moins un canal ménagé dans le carter de la pompe à vide raccordant un logement central d'un étage de pompage et débouchant par une embouchure pouvant être obturée par un obturateur mobile respectif du module de délestage. Un premier avantage réside dans le fait que la fabrication du carter de la pompe à vide est simplifiée car il n'est pas besoin d'usiner de cavités dans le carter sous les étages de pompage pour recevoir les obturateurs mobiles soulevés du module de délestage. En effet, il suffit de ménager un canal en partie supérieure du stator. En plus de faciliter la réalisation de la pompe à vide, on dispose de plus de place pour l'agencement du module de délestage.

Par ailleurs, le surplus de gaz est facilement évacué à l'extérieur par le canal. On évite en effet ainsi au gaz à délester d'emprunter divers passages étroits et sinueux, qui réduisent la conductance, ralentissent et réchauffent le gaz, provoquant des échauffements parfois importants, de la pompe à vide. Selon un autre aspect de l'invention, au moins deux étages de pompage comportent un module de délestage respectif. Ainsi la pompe à vide comporte un ou plusieurs premier(s) module(s) de délestage agencé(s) dans la partie supérieure de la pompe à vide du côté des entrées des étages de pompage et un ou plusieurs module(s) de délestage agencé(s) dans la partie inférieure de la pompe à vide du côté des sorties des étages de pompage.

En agençant les étages de pompage en haut ou en bas dans la pompe à vide, on peut s'affranchir des problèmes d'encombrement. On peut ainsi par exemple délester deux étages de pompage par le bas, et deux étages de pompage par le haut, pour résoudre des questions d'encombrement dans la pompe à vide.

Selon un autre aspect de l'invention, tous les étages de pompage comportent un module de délestage respectif. Ainsi, tous les étages peuvent évacuer le surplus de gaz simultanément, sans passer par l'étage de pompage suivant et de manière autonome. En évacuant simultanément tous les étages de pompage de la pompe à vide, on réduit de manière importante les à-coups de flux de gaz dans les étages de pompage, à l'origine des vibrations des arbres rotatifs qui peuvent survenir notamment au moment de l'ouverture de la vanne d'isolation qui sépare l'enceinte à pomper de la ligne de vide à basse pression raccordée à la pompe à vide. Selon un exemple de réalisation, la pompe à vide comporte un boîtier fixé à la partie supérieure du carter de la pompe à vide, coiffant les modules de délestage et raccordant les embouchures des canaux des modules de délestage vers une sortie commune. On peut ainsi contrôler l'évacuation des gaz délestés, par exemple vers le refoulement de la pompe à vide. L'invention a aussi pour objet une pompe à vide multi-étagée de type sèche comportant une pluralité d'étages de pompage comportant respectivement une entrée et une sortie, les étages de pompage étant montés en série entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre au moins deux modules de délestage configurés pour délester un étage de pompage respectif, le module de délestage comportant au moins un canal ménagé dans le carter de la pompe à vide raccordant un logement central d'un étage de pompage et débouchant par une embouchure pouvant être obturée par un obturateur mobile respectif du module de délestage, l'obturateur mobile étant choisi parmi un disque plat ou une membrane.

L'invention a encore pour objet une pompe à vide multi-étagée de type sèche comportant une pluralité d'étages de pompage comportant respectivement une entrée et une sortie, les étages de pompage étant montés en série entre une aspiration et un refoulement de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte autant de modules de délestage respectivement configurés pour délester un étage de pompage, que d'étages de pompage, pour délester tous les étages de pompage. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels: la figure 1 est une vue en perspective d'un premier exemple d'une pompe à vide multi-étagée, la figure 2a représente une vue schématique en coupe transversale d'une pompe à vide multi-étagée avec un module de délestage selon le premier exemple en position de fermeture, la figure 2b représente une vue similaire à la figure 2a avec le module de délestage en position d'ouverture, la figure 3 représente une vue schématique d'un deuxième exemple de pompe à vide multi-étagée, la figure 4a représente un autre exemple de module de délestage, la figure 4b représente un autre exemple de module de délestage, la figure 4c représente un autre exemple de module de délestage, la figure 5a représente une vue schématique simplifiée d'une pompe à vide multi- étagée selon un troisième exemple de réalisation qui présente autant de module de délestage que d'étages de pompage, les modules de délestage étant en position de fermeture, et la figure 5b représente une vue similaire à la figure 5a avec les modules de délestage en position d'ouverture. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence.

Les figures 1, 2a et 2b illustrent un premier exemple de réalisation d'une pompe à vide multiétagée de type sèche 1. Comme on l'a représenté schématiquement sur la figure 2a, la pompe à vide comporte deux arbres rotatifs 2 portant des rotors 3 à lobes rotatifs de type « Roots ». Bien entendu, l'invention s'applique également à d'autres types de pompes à vide multi-étagées de type sèche, telles que de type « Claw » ou de type à spirale ou à vis ou d'un autre principe similaire. Comme on peut le voir sur la vue schématique de la figure 3, la pompe à vide multi-étagée 1 comprend plusieurs étages de pompage, six dans cet exemple, TA, T1, T2, T3, T4, TR, montés en série entre une aspiration 4 et un refoulement 5 de la pompe à vide 1 et dans lesquels un gaz à pomper peut circuler. A l'intérieur, les arbres rotatifs 2 s'étendent dans les étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR par des rotors 3 à lobes rotatifs et sont entraînés du côté de l'étage de refoulement TR par un moteur M de la pompe à vide 1 (figure 1). Les rotors présentent des profils identiques, tournant dans un logement central 10 à l'intérieur du carter 6 en sens opposé. Lors de la rotation, le gaz à pomper est emprisonné dans l'espace libre compris entre les rotors 3 et le carter 6, et est entraîné par les rotors 3 vers l'étage suivant ou vers le refoulement 5 après le dernier étage de pompage TR. La pompe à vide 1 est dite « sèche » car en fonctionnement, les rotors 3 tournent à l'intérieur du carter 6 de la pompe à vide 1 en sens opposé, sans aucun contact mécanique entre les rotors 3 et le carter 6, ce qui permet l'absence totale d'huile.

Chaque étage de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR comprend une entrée 7 et une sortie 8 respectives (figure 2a). Les étages de pompage successifs TA, T1, T2, T3, T4, TR sont raccordés en série les uns à la suite des autres par des canalisations inter-étages 9 respectives raccordant la sortie 8 de l'étage de pompage qui précède à l'entrée 7 de l'étage qui suit (figure 3). Le premier étage de pompage TA dont l'entrée 7 communique avec l'aspiration 4 de la pompe à vide 1 est aussi nommé « étage d'aspiration ». Le dernier étage de pompage TR dont la sortie 8 communique avec le refoulement 5 de la pompe à vide 1 est aussi nommé « étage de refoulement ». Les étages de pompage T1, T2, T3 et T4 montés en série entre l'étage d'aspiration TA et l'étage de refoulement TR sont aussi nommés étages intermédiaires. Les étages de pompage présentent un volume engendré, c'est-à-dire un volume de gaz pompé, décroissant entre l'étage d'aspiration TA et l'étage de refoulement TR. Les entrées 7 des étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR sont agencées dans la partie supérieure du carter 6 de la pompe à vide 1 et les sorties 8 sont agencées dans la partie inférieure du carter 6 de la pompe à vide 1. En fonctionnement, les gaz sont entraînés par les rotors 3 dans le logement central 10 depuis l'entrée 7 vers la sortie 8 puis remontent dans la canalisation inter-étages 9 vers l'entrée 7 agencée en partie supérieure de l'étage de pompage suivant. La pompe à vide 1 comporte au moins un module de délestage configuré pour délester un étage de pompage afin d'absorber les forts flux de gaz survenant notamment au démarrage de la mise sous vide d'une enceinte à pression atmosphérique raccordée à l'aspiration 4 de la pompe à vide.

En réduisant les écarts de pression importants dans les étages de pompage, on protège les joints d'étanchéité interposés entre les paliers lubrifiés et les étages de pompage. On limite ainsi leur usure prématurée et donc les risques de migration du lubrifiant vers les étages de pompage. Par ailleurs, en diminuant les écarts de pression dans les étages de pompage, on limite également l'échauffement de la pompe à vide et sa consommation énergétique.

Le module de délestage comporte au moins un canal 11 et au moins un obturateur mobile du canal respectif (figures 2a et 2b). Le canal 11 est ménagé dans le carter 6, il raccorde le logement central 10 d'un étage de pompage à l'extérieur, par exemple au refoulement 5 de la pompe à vide 1. Le module de délestage peut prendre une position d'ouverture ou de fermeture en fonction de la surpression dans l'étage de pompage. En position de fermeture, l'obturateur mobile ferme le passage dans le canal 11 de manière étanche. En position d'ouverture, le surplus de gaz peut s'évacuer de l'étage de pompage directement à l'extérieur, en court-circuitant les étages de pompage suivant. Selon un premier exemple de réalisation représenté sur les figures 1, 2a et 2b, l'obturateur mobile comporte une bille 12 et le canal 11 présente une embouchure 13 tronconique formant un siège pour la bille 12. La bille 12 est par exemple en acier. L'embouchure tronconique 13 ou la bille 12 peuvent comporter un revêtement par exemple en élastomère, tel qu'en silicone, ce qui permet d'améliorer leur tenue mécanique et leur résistance vis-à-vis des hautes températures de la pompe chauffée.

En position de fermeture, l'embouchure tronconique 13 du canal 11 est fermée par la bille 2 qui repose sur le siège du canal 11 (figure 2a). Lorsqu'elle est en appui dans le siège, la bille 12 ferme l'embouchure tronconique 13 du canal 11 de manière étanche. En cas de surpression dans l'étage de pompage, la bille 12 décolle du siège ouvrant l'embouchure 13 du canal 11 (figure 2b). L'embouchure 13 de forme tronconique permet en outre l'auto centrage de la bille 12 et son amortissement au moment où elle retombe sur le siège. Selon un deuxième exemple de réalisation, le module de délestage comporte un clapet. Comme représenté sur l'exemple de la figure 4a, l'obturateur mobile présente par exemple un disque plat 17 pour obstruer de manière étanche le canal 11 en fonction de la pression. Le clapet peut comporter un ressort 18 qui sollicite l'obturateur mobile 17 contre l'embouchure du canal 11 pour le fermer (figure 4a). En cas de surpression dans l'étage de pompage, l'obturateur mobile 17 se décolle, ouvrant l'embouchure du canal 11. Selon un autre exemple de réalisation du clapet, l'obturateur mobile comporte par exemple une bille et un ressort est agencé entre l'obturateur et l'embouchure du canal 11 (non représenté). Selon encore un autre exemple de réalisation du clapet, l'obturateur mobile comporte une membrane 19 (figure 4b). En position fermée, la membrane 19 ferme l'embouchure du canal 11 (voir pointillés sur la figure 4b). En position ouverte, la membrane 19 est déformée par le gaz en surpression ouvrant l'embouchure du canal 11(figure 4b). Selon un troisième exemple de réalisation représenté sur la figure 4c, le module de délestage comporte une soupape, telle qu'une soupape à tige de moteur de véhicule automobile. Les soupapes à tige comportent une tête 20, un collet 21 et une tige 22. La tête 20 de la soupape, de forme circulaire, joue le rôle d'obturateur du canal 11. Lorsque la soupape est en position fermée, la tête 20 vient s'appuyer sur le siège de soupape formé par l'embouchure du canal 11 pour assurer l'étanchéité ainsi qu'un centrage correct de la soupape. La partie de la tête 20 en contact avec le siège peut présenter une forme tronconique complémentaire d'une embouchure de canal 11 de forme tronconique (non représenté). La tige 22 assure le guidage vertical de la soupape dans le canal 11. On peut également prévoir que le module de délestage comporte deux canaux montés en dérivation et deux obturateurs mobiles respectifs au lieu d'un seul (non représenté). On utilise deux montages en dérivation pour délester un flux de gaz important en conservant un encombrement réduit. Dans le premier exemple de réalisation représenté sur les figures 1, 2a et 2b, le module de délestage est agencé dans la partie supérieure de la pompe à vide 1, du côté de l'entrée 7 de l'étage de pompage. Ainsi, en cas de surpression dans l'étage de pompage, comme par exemple au moment du démarrage de la mise sous vide, le module de délestage permet d'évacuer le surplus de gaz par le haut plutôt que par le bas et cela présente plusieurs avantages. Premièrement, la fabrication du carter 6 de la pompe à vide est simplifié car il n'est pas besoin d'usiner de cavités dans le carter 6 sous les étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR pour recevoir les obturateurs mobiles soulevés du module de délestage. En effet, il suffit de ménager un canal 10 en partie supérieure du stator 6. On peut en outre coiffer l'ensemble de manière étanche par un boîtier 15 pour s'assurer du trajet des gaz délestés par exemple vers le refoulement 5 de la pompe à vide 1. En plus de faciliter la réalisation de la pompe à vide, on dispose de plus de place pour l'agencement du module de délestage.

Par ailleurs, le surplus de gaz est facilement évacué à l'extérieur par le canal 10. On évite en effet ainsi au gaz à délester d'emprunter divers passages étroits et sinueux, qui réduisent la conductance, ralentissent et réchauffent le gaz, provoquant des échauffements parfois importants de la pompe à vide. Dans le deuxième exemple de réalisation de la figure 3, on prévoit qu'au moins deux étages de pompage comportent un module de délestage respectif. Selon un premier exemple, un ou plusieurs premier(s) module(s) de délestage 23 sont agencé(s) dans la partie supérieure de la pompe à vide du côté des entrées 7 des étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR et un ou plusieurs module(s) de délestage 24 sont agencé(s) dans la partie inférieure de la pompe à vide du côté des sorties 8 des étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR.

Par exemple, on prévoit que les étages de pompage côté aspiration, présentant les plus grands volumes engendrés, comportent un module de délestage respectif du surplus gazeux. Ainsi, dans l'exemple représenté, deux premiers modules de délestage 23 sont agencés dans la partie supérieure de la pompe à vide du côté des entrées 7 des deux premiers étages de pompage TA, T1 et deux deuxièmes modules de délestage 24 sont agencés dans la partie inférieure de la pompe à vide du côté des sorties 8 des étages de pompage T2, T3. Les deux premiers modules de délestage 23 et les deux deuxièmes modules de délestage 24 sont consécutifs dans cet exemple. En agençant au choix les étages de pompage en haut ou en bas dans la pompe à vide, on peut s'adapter au mieux à l'espace disponible dans la pompe à vide.

Selon un deuxième exemple, les modules de délestage 23 sont agencés tous dans la partie supérieure de la pompe à vide du côté des entrées 7 des étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR ou tous dans la partie inférieure de la pompe à vide du côté des sorties 8 des étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR (non représenté). Les figures 5a et 5b représentent un autre mode de réalisation dans lequel tous les étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR comportent un module de délestage respectif. La pompe à vide comporte par exemple un boîtier 15 fixé à la partie supérieure du carter 6 de la pompe à vide 1 coiffant les modules de délestage et raccordant les canaux 11 des modules de délestage vers une sortie commune 16. La sortie commune 16 est par exemple raccordée au refoulement 5 de la pompe à vide. Le boîtier 15 est ainsi agencé au-dessus des obturateurs mobiles des modules de délestage. Il est fixé au carter 6 par des moyens de fixation classiques. Il est par exemple réalisé d'une seule pièce, en fonte comme le carter 6 de la pompe à vide 1. En fonctionnement normal de la pompe à vide 1, c'est-à-dire pour le pompage d'un flux de gaz dimensionné pour la capacité de pompage de la pompe à vide 1, les embouchures 13 sont fermées (figure 5a). Les obturateurs mobiles, schématisés par des billes 12 sur les figures 5a et 5, en appui dans les embouchures 13 empêchent le gaz pompé de court-circuiter les étages de pompage suivant. Le gaz pompé suit le chemin représenté par les flèches en pointillés sur la figure 3a : le gaz à pomper est aspiré par les six étages de pompages TA, T1, T2, T3, T4, TR et sort au refoulement 5 de la pompe à vide 1. Lors d'un surplus de gaz, c'est-à-dire lorsque le flux de gaz devient trop important pour les capacités de pompage de la pompe à vide 1, par exemple, lors d'un pompage à partir de la pression atmosphérique, le surplus de gaz soulève les billes 12 de leur siège respectif, dégageant les embouchures 13 du canal 11. Le gaz est alors évacué des étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR vers la sortie commune 16. Puis, lorsque le flux de gaz diminue et peut être absorbé par la pompe à vide 1, les billes 12 retombent sur les embouchures 13 qui les guident au centre en amortissant leur chute. Ainsi, tous les étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR peuvent évacuer le surplus de gaz simultanément, sans passer par l'étage de pompage suivant et de manière autonome. En évacuant simultanément tous les étages de pompage TA, T1, T2, T3, T4, TR de la pompe à vide, on réduit de manière importante les à-coups de flux de gaz dans les étages de pompage, à l'origine des vibrations des arbres rotatifs 2 qui peuvent survenir, notamment au moment de l'ouverture de la vanne d'isolation qui sépare l'enceinte à pomper de la ligne de vide à basse pression raccordée à la pompe à vide. Bien que les figures 5a et 5b représentent une pompe à vide multiétagée pour laquelle tous les étages de pompage sont délestés par le haut, du côté des entrées des étages de pompage, d'autres modes de réalisation peuvent être réalisés pour délester tous les étages de pompage. Par exemple, tous les étages de pompage peuvent être délestés par le bas, du côté du refoulement des étages de pompage. Egalement, certains étages de pompage peuvent être délestés par le haut du côté de l'aspiration des étages de pompage et d'autre par le bas du côté du refoulement des étages de pompage.

Claims

REVENDICATIONS1. Pompe à vide multi-étagée de type sèche comportant une pluralité d'étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) comportant respectivement une entrée (7) et une sortie (8), les étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) étant montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre au moins un module de délestage configuré pour délester un étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) ledit module de délestage étant agencé dans la partie supérieure de la pompe à vide, du côté de l'entrée (7) de l'étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR).
2. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'au moins deux étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) comportent un module de délestage respectif.
3. Pompe à vide selon la revendication 2, dans lequel tous les étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) comportent un module de délestage respectif.
4. Pompe à vide selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte au moins un premier module de délestage agencé dans la partie supérieure de la pompe à vide du côté des entrées (7) des étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) et au moins un module de délestage agencé dans la partie inférieure de la pompe à vide du côté des sorties (7) des étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR).
5. Pompe à vide selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que le module de délestage comporte au moins un canal (10) ménagé dans le carter (6) de la pompe à vide raccordant un logement central (10) d'un étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) et débouchant par une embouchure (13) pouvant être obturé par un obturateur mobile respectif du module de délestage.
6. Pompe à vide selon la revendication 5, caractérisée en ce que l'embouchure est tronconique.
7. Pompe à vide selon l'une des revendications 5 ou 6, caractérisée en ce que l'obturateur mobile est choisi parmi une bille, un disque plat ou une membrane.
8. Pompe à vide selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisée en ce que le module de délestage comporte un ressort.
9. Pompe à vide selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte un boîtier (14) fixé à la partie supérieure du carter (6) de la pompe à vide, coiffant les modules de délestage et raccordant les embouchures (13) des canaux (10) des modules de délestage vers une sortie commune (16).
10. Pompe à vide multi-étagée de type sèche comportant une pluralité d'étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) comportant respectivement une entrée (7) et une sortie (8), les étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) étant montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte en outre au moins deux modules de délestage configurés pour délester un étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) respectif, le module de délestage comportant au moins un canal (10) ménagé dans le carter (6) de la pompe à vide raccordant un logement central (10) d'un étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) et débouchant par une embouchure (13) pouvant être obturée par un obturateur mobile (17, 19, 20) respectif du module de délestage, l'obturateur mobile étant choisi parmi un disque plat ou une membrane.
11. Pompe à vide multi-étagée de type sèche comportant une pluralité d'étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) comportant respectivement une entrée (7) et une sortie (8), les étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) étant montés en série entre une aspiration (4) et un refoulement (5) de la pompe à vide, caractérisée en ce que la pompe à vide comporte autant de modules de délestage respectivement configurés pour délester un étage de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR) que d'étages de pompage (TA, T1, T2, T3, T4, TR), pour délester tous les étages de pompage.20