TW201437486A - 乾式幫浦之多段式真空幫浦 - Google Patents

Abstract

本發明係關於一種乾式幫浦的多段式真空幫浦，其包含多個抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)，其各自具有一入口(7)及一出口(8)，該等抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)係以串接方式被安裝在該真空幫浦的一抽吸埠(4)和一排放埠(5)之間，其特徵在於該真空幫浦進一步包含至少一閥，其被建構來將來將壓力從一抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)宣洩掉，該閥被設置在該真空幫浦的上部，和該抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)的入口(7)在同一側。

Description

乾式幫浦之多段式真空幫浦

本發明係有關於一種乾式幫浦之多段式真空幫浦。本發明尤其適用於一種乾式真空幫浦，其包含兩個具有“根(root)”形或“爪(claw)”形或甚至是渦卷形或螺旋形旋轉式葉瓣(lobes)或使用另一類似原理的旋轉式葉瓣的軸。

多段式真空幫浦包含數個串聯的抽泵階段(pumping stages)，一將被抽泵於一抽吸埠與一排放埠之間的氣體循環通過該等抽泵階段。在習知的真空幫浦中，它們之間的一項區別為具有旋轉式葉瓣，其亦被稱為“根”幫浦，其具有兩個或三個旋轉式葉瓣且那些具有雙爪的幫浦亦被稱為“爪”幫浦。具有旋轉式葉瓣的幫浦包含兩個相同輪廓的轉子，其在一定子內部轉動於相反方向上。在該轉動期間，將被抽泵的氣體被包圍在一形成在該等轉子和該定子之間的空的空間內，且被該轉子朝向下一個段驅趕，或者在最後一段之後被驅趕至排放埠出口。該操作沒 有涉及該等轉子和該定子的機械式接觸，這表示在該等抽泵階段中完全沒有油。

為了要降低該真空幫浦的功率消耗，朝向排放埠端設置的後段的一些抽泵階段通常具有一容積排量(swept volume)，這表示在抽吸埠端的一被抽泵的氣體體積小於前段的抽泵階段的被抽泵的氣體體體積。

然而，在某些應用中，為了要將一室的壓力從大氣壓力下降，該真空幫浦必需吸收無法被位在排放埠端的最後抽泵階段所允許之大量的初始氣流，因而在該真空幫浦內產生顯著的壓差並導致高功率消耗。例如，這是抽泵一裝載/卸載鎖定室(“負載鎖定室(load lock)”)的情況，該等室被週期性地(約每12秒鐘)從大氣壓力被降壓至抽真空的狀態。

這些壓差亦可造成潤滑油從被潤滑的軸朝向該等抽泵階段遷移。現在，絕對重要的是，在被稱為“乾式(dry)”的應用中沒有任何油或油脂的痕跡在該等抽泵階段中被發現。

因此，本發明的目的之一是要提出乾式幫浦的一種真空幫浦，其能夠將多餘的氣體(surplus gas)(其係在待抽泵的氣流對於真空幫浦而言太高時發生)排空，用以防止潤滑油朝向抽泵階段遷移並限制該真空幫浦的功率消耗。

本發明的另一個目的是要降低用來支撐真空幫浦的轉子的轉動軸的振動、該振動會在抽泵開始的時候，其後接著的是在將處於大氣壓力下且真空管路是在低壓下之待抽空的室之間的隔離閥打開的時候所發生的壓力暴衝。

本發明的另一個目的是限制該真空幫浦的加熱，其亦會在此初始排空階段發生。

為此，本發明的一個主體是一乾式幫浦之多段式真空幫浦，其包含多個抽泵階段，其各自具有一入口及一出口，該等抽泵階段係以串聯方式被安裝在該真空幫浦的一抽吸埠和一排放埠之間，其特徵在於該真空幫浦進一步包含至少一閥，其被建構來將來將壓力從一抽泵階段宣洩掉，該閥被設置在該真空幫浦的上部中，其和該抽泵階段的入口在同一側。

該閥(其就意義上而言是一釋壓閥(或在法語中為“clapet”)，(或“排氣閥”))可降低在諸抽泵階段中的顯著壓差。嵌設在被潤滑的軸承和該等抽泵階段之間的密封件因而受到保護。它們的過早磨損及潤滑油朝向該等抽泵階段遷移的風險因而被限制。再者，藉由降低在該等抽泵階段內的壓差，該真空幫浦的加熱及其功率消耗被限制。

此外，該閥被設置在該真空幫浦的上部內，其和該抽泵階段的入口在同一側，這可提供數項好處。

例如，該閥包含至少一個通道，其被形成在 該真空幫浦的外殼(casing)內，用來透過一可被該閥的一個別的可活動的閘門(或“可活動的封閉器”)封閉的嘴部連接一抽泵階段的中央殼體(central housing)和一開口。

第一項好處係關於該真空幫浦外殼的製造變得更簡單，因為不需要在該等抽泵階段底下的外殼中機械加工形成凹穴，用以接納該閥之被提升起來的可活動的閘門。實際上所需要的只是在該定子的上部內製造出一通道。

除了讓該真空幫浦更容易製造之外，該真空幫浦內可以有更多空間來容納該閥。

此外，多餘的氣體(surplus gas)更容易由該通道被排放至外面。實際上，這可防止待排洩的氣體沿著許多窄且蜿蜒的路徑通過，因為沿著這些路徑會降低傳導性、會使該氣體變慢且加熱該氣體、造成該真空幫浦的加熱且這有時候很嚴重。

依據本發明的另一態樣，至少兩個抽泵階段包含一各自的閥。

因此，該真空幫浦包含一或數個第一閥，其被設置在該真空幫浦的上部內的和該等抽泵階段的入口同一側處及一或多個第二閥，其被設置在該真空幫浦的下部中，其和該等抽泵階段的出口在同一側。

藉由將該等閥設置在該真空幫浦的上部或下部，即可克服有關於所需要空間的問題。因此，例如，兩個抽泵階段可讓壓力從下部宣洩掉，且兩個抽泵階段可讓 壓力從上部被宣洩掉，用以解決在該真空幫浦內的空間問題。

依據本發明的另一態樣，所有抽泵階段都包含一各自的閥。因此，所有抽泵階段可同時且獨立地排放多餘的氣體，而無需通過下一個抽泵階段。藉由將該真空幫浦的所有抽泵階段同時排氣，在該等抽泵階段內的氣體流的暴衝(surge)可被顯著地降低，這些氣流的暴衝是造成轉動軸振動的原因，轉動軸的振動會在該隔離閥打開的時候顯著地發生，該隔離閥係將待充抽的室和連接至該真空幫浦的低壓真空管路隔開來。

依據一實施例，該真空幫浦包含一罩殼(case)，其固定至該真空幫浦的外殼的上部、覆蓋該等閥且將該等閥的通道的嘴部朝向一共同的出口連接。因此，可控制該等被排洩的氣體的排氣，例如朝向該真空幫浦的排放埠排氣。

本發明的另一個發明主體是一乾式幫浦的多段式真空幫浦，其包含多個抽泵階段，其各自具有一入口及一出口，該等抽泵階段係以串聯方式被安裝在該真空幫浦的一抽吸埠和一排放埠之間，其特徵在於該真空幫浦進一步包含至少兩個閥，其被建構來將壓力從一各自的抽泵階段宣洩掉，該閥包含至少一形成在該真空幫浦的外殼內的通道，其透過一可被該閥的一個別的可活動的閘門封閉的嘴部連接一抽泵階段的中央殼體和一開口，該可活動的閘門係選自於一扁平的圓盤及一隔膜。

本發明的又另一個發明主體是一乾式幫浦的多段式真空幫浦，其包含多個抽泵階段，其各自具有一入口及一出口，該等抽泵階段係以串聯方式被安裝在該真空幫浦的一抽吸埠和一排放埠之間，其特徵在於該真空幫浦進一步包含和抽泵階段數目一樣多的閥，其被建構來將壓力從一抽泵階段宣洩掉，藉以將壓力從所有的抽泵階段宣洩掉。

1‧‧‧真空幫浦

2‧‧‧轉動軸

3‧‧‧轉子

TA‧‧‧抽泵階段

T1‧‧‧抽泵階段

T2‧‧‧抽泵階段

T3‧‧‧抽泵階段

T4‧‧‧抽泵階段

TR‧‧‧抽泵階段

4‧‧‧抽吸埠

5‧‧‧排放埠

6‧‧‧外殼

10‧‧‧中央殼體

7‧‧‧入口

8‧‧‧出口

9‧‧‧階段間的管子

11‧‧‧通道

12‧‧‧球

13‧‧‧漏斗錐形的嘴部

17‧‧‧扁平的圓盤(可活動的閘門)

18‧‧‧彈簧

19‧‧‧隔膜

20‧‧‧閥頭

21‧‧‧軸環

22‧‧‧柄

15‧‧‧罩殼

23‧‧‧第一閥

24‧‧‧第二閥

16‧‧‧共同的出口

本發明的其它特徵及好處從下面參考附圖之非限制性的例子的描述中將變得很明顯，其中；圖1是一多段式真空幫浦的第一例子的立體圖；圖2a顯示一具該第一例子的一具有在關閉位置的閥的多段式真空幫浦的剖面示意圖；圖2b顯示和圖2a類似的圖式，只是該閥是在打開的位置；圖3顯示一多段式真空幫浦的第二例子的示意圖；圖4a顯示該閥的另一個例子；圖4b顯示該閥的另一個例子；圖4c顯示該閥的另一個例子；圖5a顯示一依據第三實施例的多段式真空幫浦的簡化示意圖，其具有和抽泵階段數目一樣多的閥，該等閥係在關閉的位置；及圖5b顯示和圖5a類似的圖式，只是該等閥是在打開 的位置。

在這些圖中，相同的元件被標示相同的元件符號。

圖1、2a及2b例示一乾式幫浦的多段式真空幫浦1的第一實施例。如在圖2a中被示意地顯示的，該真空幫浦包含兩個轉動軸2，其帶有“根(root)”形的旋轉葉瓣式轉子3。當然，本發明亦適用於乾式幫浦的其它類型的多段式真空幫浦，譬如“爪(claw)”形幫浦、渦卷式幫浦(scroll pump)、螺旋式幫浦或使用另一類似原理的幫浦。

如可在圖3的示意圖中看到的，該多段式真空幫浦1包含數個抽泵階段，在此例子中有六個抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR，其被串聯地安裝在該真空幫浦1的一抽吸埠4和一排放埠5之間且一將被抽泵的氣體可循環通過該等抽泵階段。在內部，轉動軸2係以葉瓣式轉子3的形式延伸穿過抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR且被真空幫浦1的馬達M從該排放埠TR驅動(圖1)。

該等轉子具有相同的輪廓，其在該外殼6內部的中央殼體10內轉動於相反方向上。當它們轉動時，該將被抽泵的氣體被包圍在介於該等轉子3和該外殼6之間的空間內，且被轉子3朝向下一個抽泵階段或在最後一個抽泵階段TR之後朝向排放埠5驅趕。該真空幫浦1被 稱為“乾式”幫浦是因為在操作時該等轉子3在該真空幫浦1的外殼6的內部係轉動於相反方向上，在該等轉子3和該外殼6之間沒有機械性接觸，其允許完全沒有油。

每一抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR都包含一各自的入口7及一各自的出口8(參見圖2a)。這些連續的抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR係藉由各自的抽泵階段之間的管子9而一個接著一個地串聯在一起，該等抽泵階段之間的管子係將前一個抽泵階段的出口8連接至下一個抽泵階段的入口7(參見圖3)。該第一個抽泵階段TA(其入口7和該真空幫浦1的抽吸埠4相連通)亦被稱為“抽吸階段”。該最後一個抽泵階段TR(其出口8和該真空幫浦1的排放埠5相連通)亦被稱為“排放階段”。以串聯方式安裝在該抽吸階段TA和該排放階段TR之間的抽泵階段T1，T2，T3，T4亦被稱為中間階段。該等抽泵階段具有一容積排量，即一被抽泵的氣體容積，其在該抽吸階段TA和該排放階段TR之間逐漸減小。

該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR的出口7被設置在該真空幫浦1的外殼6的上部中且出口8被設置在該真空幫浦1的外殼6的下部中。在操作時，氣體被該中央殼體10內的轉子3從入口7朝向出口8驅趕，然後向上進入該抽泵階段之間的管子9朝向下一個抽泵階段被設置在該上部中的入口7流動。

該真空幫浦1包含至少一個閥，其被建構來將壓力從一抽泵階段排洩掉(在法文中稱為“délester”) 或(“卸壓載(unballast)”)，用以吸收掉在開始排空一連接至該真空幫浦的抽吸埠4之在大氣壓力下的室時顯著地發生的大量氣流。

藉由降低在該等抽泵階段內的大幅壓力差，套設在被潤滑的軸承和該等抽泵階段之間的密封件即可受到保護。因此，它們過早的磨損及潤滑油朝向該等抽泵階段遷移的風險因而被限制。再者，藉由降低該等抽泵階段中的壓差，該真空幫浦的加熱及其功率消耗亦被限制。

該閥包含至少一通道11及至少一用來封閉個別通道之可活動的閘門(參見圖2a及2b)。該通道11被形成在該外殼6中，且將一抽泵階段的該中央殼體10連接到外面，例如，連接到該真空幫浦1的排放埠5。

該閥是一被動式排洩模組，它能夠根據該抽泵階段內的過壓(overpressure)採取一打開或關閉位置，該打開或關閉位置係與該閥的上游側及下游側之間的壓力差有關。在該關閉位置時，當該閥的上游側及下游側之間的壓力差小於一閥校正低限值(calibration threshold)時，該可活動的閘門以流體密閉的方式將該通道11封閉。在該打開位置時，當該閥的上游側及下游側之間的壓力差大於一閥校正低限值時，多餘的氣體會從該抽泵階段直接被排放至外面，繞過接下來的諸抽泵階段。

在示於圖1、2a及2b的閥的第一實施例中，該可活動的閘門包含一球12且該通道11具有一漏斗圓錐形的嘴部13，其形成一用於該球12的座。

該球12例如是用鋼製成的。該漏斗圓錐形的嘴部13或該球12可具有有一塗層，例如，一彈性體塗層，譬如由矽製成的塗層，它可改善機械上的完整性及對被加熱的幫浦的高溫的抵抗性。

在該關閉位置時，該通道11的該漏斗圓錐形的嘴部13被停放在該通道11的座上的球12封閉(圖2a)。當停放在該座上時，該球12以一種流體密封的方式將該通道11的漏斗圓錐形的嘴部13封閉。在該抽泵階段內的過壓情況下，該球12從該座被升起，並打開該通道11的嘴部13(圖2b)。該漏斗圓錐形的嘴部13亦自動地將該球12定心並緩衝它回落到該座上。

依據示圖4a的例子的閥的第二實施例，該可活動的閘門是由一扁平的圓盤17所形成，其根據壓力以流體密封的方式將該通道11封閉。

該閥可包含一彈簧18，其迫擠該可活動的閘門17頂抵住該通道11的嘴部以將其關閉(參見圖4a)。在該抽泵階段內的過壓情況下，該可活動的閘門17被抬起，並打開該通道11的嘴部。

依據該閥的另一實施例，該可活動的閘門例如包含一球且一彈簧被設置在該閘門和該通道11的嘴部之間(未示出)。

依據該閥的又另一實施例，該可活動的閘門包含一隔膜19(圖4b)。關閉位置時，該隔膜19關閉該該通道11的嘴部(參見圖4b的虛線所示)。在打開位置時， 該隔膜19被過壓氣體所變形，並打開該通道11的嘴部(圖4b)。

依據示於圖4c的第三實施例，該閥包含一提動閥(poppet valve)，如同一機動車輛引擎的提動閥。該等提動閥包含一閥頭20、一軸環21及一柄22。該圓形的閥頭20係如用來封閉該通道11的可活動的閘門般地作用。當該閥在關閉位置時，該閥頭20壓抵住由該通道11的嘴部所形成的閥座以提供密封並將該閥正確地定心。該閥頭20之和該閥座接觸的部分具有一漏斗圓錐形狀，其和該通道11的嘴部的漏斗圓錐形狀互補(未示出)。該柄22提供該閥在該通道11內的垂直引導。

該閥亦可以包含兩個彼此繞過(bypass)的通道，及兩個各自的可活動的閘門，而不是只有一個(未示出)。兩個彼此繞過然後被用來排洩大量的氣流以保持精巧的佈局。

在示於圖1、2a及2b的閥的第一實施例中，該閥被設置在該真空幫浦1的上部中的和該抽泵階段的入口7同一側處。因此，在該抽泵階段內的過壓狀況下，例如當抽空開始時，該閥允許該多餘的氣體從該上部而不是從該下部被排放且這提供數項好處。

首先，該真空幫浦的外殼6的製造被簡化，因為無需在該外殼6內該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR底下加工製造出凹穴，用以接納該閥之被抬升的可活動的閘門。事實上，只需要在該定子6的上部形成一 通道10即可。再者，該組件可用一罩殼15以流體密封的方式來加以保持，用以確保該被排洩的氣體所流過的路徑係例如朝向該真空幫浦1的排放埠5。

除了讓該真空幫浦的製造更容易之外，還可以有更多的空間來設置該閥。

再者，該多餘的氣體可藉由該通道10被輕易地排放至外面。這可防止該被排洩的氣體流經許多窄且蜿蜒的路徑，這些路徑會降低傳導性、將該氣體減慢並加熱該氣體、造成該真空幫浦的加熱，而這有時候很顯著。

在圖3的第二實施例中，至少兩個抽泵階段包含一各自的閥。

依據第一個例子，一或多個第一閥23被設置在該真空幫浦的上部中且和該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR的入口7在同一側及一或多個第二閥24被設置在該真空幫浦的下部中且和該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR的出口8在同一側。

例如，在該抽吸側的該等抽泵階段(即，具有最大排量容積的抽泵階段)包含一各自的閥，用來排放該多餘的氣體。

因此，在該被顯示的例子中，兩個第一閥23被設置在該真空幫浦的上部中且和兩個第一抽泵階段TA，T1的入口7在同一側及兩個第二閥24被設置在該真空幫浦的下部中且和抽泵階段T2，T3的出口8在同一側。在此例子中，這兩個第一閥23及這兩個第二閥24是連續 的。

因為可以選擇將該等閥設置在該真空幫浦的上部或下部，所以可讓該真空幫浦內的可用空間有最佳的使用。

依據一第二例子，該等閥23都被設置在該真空幫浦的上部中且和該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR的入口7在同一側，或該等閥都被設置在該真空幫浦的下部中且和該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR的出口8在同一側(這未被示出)。

圖5a及5b顯示另一實施例，在此實施例中所有抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR都包含一各自的閥。

該真空幫浦包含例如一固定至該真空幫浦1的外殼6的上部的罩殼15，其覆蓋該等閥且將該等通道11連接至一共同的出口16。該共同的出口16例如被連接至該真空幫浦的該排放埠5。該罩殼15因而被設置在該等可活動的閘門的上方。它係藉由傳統的附裝方式而被固定至該外殼6。它例如像是該真空幫浦1的外殼6一樣是用單一構件鑄造而成的。

在該真空幫浦1的正常操作期間，亦即抽泵一適合該真空幫浦1的抽泵能力的氣體流時，嘴部13係被封閉(參見圖5a)。該等可活動的閘門(其在圖5a及5b中係被示意地例示為球12)停放在該等嘴部13內以防止被抽泵的氣體繞過接下來的抽泵階段。該被抽泵的氣體沿著 圖3a中的虛線箭頭流動：將被抽泵的氣體被六個抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR吸入並從真空幫浦1的排放埠5離開。

當有多餘的氣體的時候，亦即當該氣體流變成對於該真空幫浦1的抽流能力而言太多的時候，例如，當從大氣壓力抽空時，該多於的氣體將該等球12抬離它們各自的座，讓該通道11的嘴部13打開。該氣體然後從該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR被排放至共同的出口16。

然後，當該氣體流減小且可被該真空幫浦1處理時，該等球12即回落至該等嘴部13上，該等嘴部將該等球引導至中心並緩衝該等球的下落。

因此，所有的抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR都能夠同時地排出多於的氣體，無需通過下一個抽泵階段，且可以自動地實施。

藉由同時地將氣體從該真空幫浦的所有該等抽泵階段TA，T1，T2，T3，T4，TR排放，則氣體流暴衝通過該等抽泵階段所造成之在隔離閥(其將待抽空的室和連接至該真空幫浦的低壓真空管路隔開來)打開的時候會顯著地發生之轉動軸2的振動可被顯著地降低。

雖然圖5a及5b顯示出一多段式真空幫浦，其中所有抽泵階段讓氣體從和該等抽泵階段的入口在同一側的上部宣洩掉，但其它實施例可被製造成讓氣體從所有抽泵階段宣洩掉。

例如，所有抽泵階段可讓氣體從和該等抽泵階段的排放埠在同一側的下部宣洩掉。

相同地，某些抽泵階段可讓氣體和該等抽泵階段的抽吸埠在同一側的上部宣洩掉及其它的實施例則從和該等抽泵階段的排放埠在同一側的下部宣洩掉。

2‧‧‧轉動軸

3‧‧‧轉子

6‧‧‧外殼

10‧‧‧中央殼體

7‧‧‧入口

8‧‧‧出口

11‧‧‧通道

12‧‧‧球

13‧‧‧漏斗錐形的嘴部

15‧‧‧罩殼

Claims (11)

1. 一種乾式幫浦的多段式真空幫浦，其包含多個抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)，其各自包含一入口(7)及一出口(8)，該等抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)係以串聯方式被安裝在該真空幫浦的一抽吸埠(4)和一排放埠(5)之間，其特徵在於該真空幫浦進一步包含至少一閥，其被建構來將來將壓力從一抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)宣洩掉，該閥被設置在該真空幫浦的上部中，和該抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)的入口(7)在同一側。
2. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中至少兩個抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)包含一各自的閥。
3. 如申請專利範圍第1或2項之真空幫浦，其中所有抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)都包含一各自的閥。
4. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中該真空幫浦包含至少一第一閥，其被設置在該真空幫浦的上部中且和該等抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)的入口(7)在同一側及至少一第二閥，其被設置在該真空幫浦的下部中且和該等抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)的出口(7)在同一側。
5. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中該閥包含至少一通道(10)，其被形成在該真空幫浦的該外殼(6)內並透過一可被該閥的一個別的可活動的閘門封閉的嘴部(13)來連接一抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)的一中央 殼體(10)和一開口。
6. 如申請專利範圍第5項之真空幫浦，其中該嘴部是漏斗圓錐形。
7. 如申請專利範圍第5或6項之真空幫浦，其中該可活動的閘門係選自於一球、一扁平的圓盤及一隔膜。
8. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中該閥包含一彈簧。
9. 如申請專利範圍第1項之真空幫浦，其中該真空幫浦包含一罩殼(14)，其被固定至該真空幫浦的該外殼(6)的上部、覆蓋該等閥及將該等閥的該通道(10)的嘴部(13)連接至一共同的出口(16)。
10. 一種乾式幫浦的多段式真空幫浦，其包含多個抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)，其各自包含一入口(7)及一出口(8)，該等抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)係以串聯方式被安裝在該真空幫浦的一抽吸埠(4)和一排放埠(5)之間，其特徵在於該真空幫浦進一步包含至少兩個閥，其被建構來將壓力從一各自的抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)宣洩掉，該閥包含至少一形成在該真空幫浦的外殼(6)內的通道(10)，其透過一可被該閥的一個別的可活動的閘門(17，19，20)封閉的嘴部(13)來連接一抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)的中央殼體(10)和一開口，該可活動的閘門係選自於一扁平的圓盤及一隔膜。
11. 一種乾式幫浦的多段式真空幫浦，其包含多個抽 泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)，其各自包含一入口(7)及一出口(8)，該等抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)係以串聯方式被安裝在該真空幫浦的一抽吸埠(4)和一排放埠(5)之間，其特徵在於該真空幫浦包含和抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)一樣多的閥，其各自被建構來將壓力從一抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)宣洩掉，藉以將壓力從所有的抽泵階段(TA，T1，T2，T3，T4，TR)宣洩掉。