CN114867942A - 真空泵和用于喷射吹扫气体的方法 - Google Patents

Abstract

真空泵(1)包括通过至少一个喷射孔(15)显露的至少一个喷射通道(10)，该喷射孔构造成在止回阀(4)的打开位置将吹扫气体喷射到阀座(5)的支承面上和/或喷射到活动封闭构件(6)上和/或喷射到固定到真空泵(1)的定子部件(12)的至少一个引导元件(13)上，该引导元件(13)构造成引导活动封闭构件(6)在止回阀(4)的打开位置和关闭位置之间的移动。

Description

真空泵和用于喷射吹扫气体的方法

技术领域

本发明涉及一种干式真空泵。本发明还涉及一种用于将吹扫气体喷射(注射)入真空泵中的方法。

背景技术

一些真空泵使用所谓的“粉末”法，因为使用了产生大量固体副产品的气体。例如，某些半导体制造方法或一些涂层沉积法或平板显示器制造方法或LED制造方法就是这种情况。

当泵送这些方法产生的气体时，可能在真空泵或管道中形成固体化合物并沉积在真空泵中，这会限制气体通道尺寸并导致泵送能力损失。这些沉积物还会破坏真空泵的运动部件的正确运行，尤其是在定子中转动的转子以及再循环、泄压或排放止回阀的活动部件的正确运行。

止回阀作为泄压阀运行，其打开以避免真空泵中出现不希望的超压。它们还可以允许气体仅沿着单一方向循环。止回阀需要能够根据压差打开，但它们也必须紧密关闭。沉积物在真空泵中过度堆积的一个后果可能是不再正确保证这两种功能之一。这种故障可能不利于生产率，还可能对人员安全造成问题并有损坏设备的风险。

可以通过在阀门的运动部件和阀座上涂上诸如PTFE的不粘涂层来降低这些风险，但这种材料的成本较高，并且由于其潜在的有毒特性，这种材料的使用会对环境产生重大影响。还可以通过溅射来沉积涂层，但是随着时间的推移不能保证其强度。另一种解决方案可以是水平地布置止回阀，从而通过重力帮助排出沉积的粉末。然而，一般粘附的沉积物可能难以仅通过重力排出。

发明内容

本发明的一个目的是提出一种增强型真空泵，其至少部分地解决了现有技术的缺点之一。

为此，本发明的主题是一种真空泵，包括：

-至少一个泵级，在所述泵级中，两个转子构造成沿着相反的方向同步地转动，以驱动待泵送气体，

-至少一个止回阀，该止回阀包括阀座和活动封闭构件，该止回阀能够处于关闭位置和打开位置，在该关闭位置，活动封闭构件关闭阀座的通道，在该打开位置，活动封闭构件释放所述通道，活动封闭构件两侧的压差能够打开止回阀，其特征在于，该真空泵还包括至少一个通过至少一个喷射孔显露的喷射通道，该喷射孔构造成将吹扫气体：

-在止回阀的打开位置喷射到阀座的支承面上和/或

-喷射到活动封闭构件上和/或

-喷射到至少一个固定到真空泵的定子部件的引导元件上，该引导元件构造成引导活动封闭构件在止回阀的打开位置和关闭位置之间的移动。

吹扫气体的喷射使得可以清洁止回阀，以防止可能妨碍其运行的沉积物的存在。清洁止回阀可以更长时间地保证止回阀在过压情况下的密封封闭功能和打开功能。

真空泵可以包括至少一个通过至少一个喷射孔显露的喷射通道，该喷射孔构造成在止回阀的打开位置将吹扫气体喷射到阀座的支承面上。对支承面的清扫允许当处于关闭位置时，阀座与活动封闭构件接触的表面没有颗粒或沉积物，以保证止回阀紧密关闭。

活动封闭构件可以平移、旋转或以组合运动移动。

止回阀可以包括至少一个固定到真空泵的定子部件的引导元件，该引导元件构造成引导活动封闭构件在止回阀的打开位置和关闭位置之间的移动。真空泵可以包括至少一个通过至少一个构造成将吹扫气体喷射到该引导元件上的喷射孔显露的喷射通道，这可以保证活动封闭构件的引导功能。

根据示例性实施例，引导元件包括杆，该杆与活动封闭构件的引导护套配合，以引导活动封闭构件的轴向平移移动。喷射通道可以构造成沿着引导元件的杆喷射吹扫气体。杆和/或活动封闭构件的引导护套为此可以具有与用于引导吹扫气体的喷射通道连通的螺旋槽。

根据另一示例性实施例，止回阀具有用于活动封闭构件的旋转引导元件。

真空泵可以包括至少一个通过至少一个构造成特别是在止回阀的关闭位置将吹扫气体喷射到活动封闭构件上的喷射孔显露的喷射通道。将吹扫气体喷射到活动封闭构件上使得可以避免可能阻止或限制打开止回阀的沉积物的积聚。

例如，真空泵可以包括这样的喷射通道，该喷射通道包括在引导元件中构成的第一通道，该第一通道通过至少一个喷射孔显露，以在止回阀处于关闭位置时将吹扫气体喷射到活动封闭构件上。

真空泵还可以单独或组合地包括下文所述的一个或多个特征。

喷射通道可以包括至少一个用于吹扫气体的喷射孔，该喷射孔在止回阀的关闭位置被活动封闭构件阻塞，并在打开位置被释放。止回阀由此是自闭式，关闭止回阀使得停止喷射吹扫气体。

止回阀可以包括弹性复位构件，该弹性复位构件向活动封闭构件施加使该活动封闭构件进入关闭位置(封闭位置)的力。

真空泵可以包括这样的喷射通道，该喷射通道包括在引导元件中构成的第一通道和在活动封闭构件中构成的至少一个第二通道，该第二通道通过至少一个喷射孔显露，该至少一个喷射孔布置成面向阀座，第一通道和第二通道彼此连通。吹扫气体由此通过引导元件清洁阀座的支承面。

在引导元件包括与活动封闭构件的引导护套配合以引导活动封闭构件的轴向平移移动的杆的情况下，引导元件的第一通道的至少一个注射孔和活动封闭构件的引导护套可以相对于彼此定位成：

-可以在止回阀的关闭位置通过引导元件的至少一个喷射孔喷射吹扫气体，并且

-可以在止回阀的打开位置通过从活动封闭构件显露的至少一个喷射孔喷射吹扫气体。

吹扫气体的喷射因此根据止回阀的位置而不同，从而在止回阀打开时清洁阀座的支承面，或者在止回阀关闭时清洁活动封闭构件的后部部分。

根据另一示例性实施例，通过至少一个喷射孔显露的喷射通道构造成在止回阀处于打开位置时，沿着与使阀座的平面支承面和活动封闭构件的互补平面表面分离的平面相切的方向喷射吹扫气体。

根据另一示例性实施例，通过至少一个喷射孔显露的喷射通道构造成在止回阀的关闭位置将吹扫气体喷射到活动封闭构件的头部的阻塞所述通道的锥形侧翼上。

至少一个喷射通道可以构造成喷射涡流形吹扫气体。吹扫气体的涡流使得可以改善清洁。

真空泵可以包括至少两个泵级，并且止回阀是布置在第一或第二泵级的输出处的泄压阀。在打开位置，该泄压阀使得可以将真空泵的最末几个泵级短路(旁路)，在泵送强气流的情况下，这可能限制总的生成流量。

真空泵可以包括至少两个泵级，并且止回阀是布置在最末泵级的输出处的排放阀。该排放止回阀使得可以避免泵送气体返回真空泵中。

止回阀可以是连接在第一泵级的输出和输入之间的再循环止回阀。在泵送强气流的情况下，止回阀的打开使得待泵送气体可以在同一泵级中再循环。

本发明的另一主题是一种用于将吹扫气体喷射到如上所述的真空泵中的方法，其特征在于，在止回阀的打开位置将吹扫气体喷射到阀座的支承面上，和/或喷射到活动封闭构件上，和/或喷射到固定到真空泵的定子部件的引导元件上，该引导元件构造成引导活动封闭构件在止回阀的打开位置和关闭位置之间的移动。

附图说明

本发明的其他特征和优点将从下文参照附图并且作为非限制性示例给出的描述中显现出来，在附图中：

图1表示泵单元的示意图，该泵单元包括多级式初级真空泵和安装在初级真空泵上游的罗茨真空泵。

图2示出了根据第一示例性实施例的止回阀的示意性剖视图，其处于关闭位置。

图3示出了图2中的止回阀，其处于打开位置。

图4示出了图2中止回阀的活动封闭构件，其与图2的视图相比进行了翻转。

图5示出了根据第二示例性实施例的止回阀的示意性剖视图，其处于关闭位置。

图6示出了与图5类似的视图，其处于打开位置。

图7示出了根据第三示例性实施例的止回阀的示意性剖视图，其处于打开位置。

图8示出了从上面看到的图7中止回阀的变体。

图9示出了根据第四示例性实施例的止回阀的示意性剖视图，其处于关闭位置。

图10示出了根据第五示例性实施例的止回阀的示意性剖视图，其处于关闭位置。

图11示出了根据第六示例性实施例的止回阀的示意性剖视图，其处于关闭位置。

在这些附图中，相同的元件具有相同的附图标记。

具体实施方式

以下实施例是示例。尽管描述涉及一个或多个实施例，但这并不一定意味着每次参考都涉及同一实施例，或者这些特征仅适用于单个实施例。不同实施例的简单特征也可以组合或互换，以提供其他实施例。

初级真空泵定义为容积式真空泵，其构造成使用两个转子吸入、转移、然后在大气压下排放待泵送气体。转子由两个轴支承，这些轴由初级真空泵的电机驱动旋转。初级真空泵可以是多级式，也就是说它包括多个级(至少两个级)，例如二至九个泵级。

罗茨真空泵(也称为“罗茨鼓风机”)定义为容积式真空泵，其构造成使用罗茨转子吸入、转移然后排放待泵送气体。罗茨真空泵安装在初级真空泵的上游并与其串联。转子由两个轴支承，这些轴由罗茨真空泵的电机驱动旋转。罗茨真空泵包括一至三个泵级。

“上游”应理解成是指相对于气体循环方向位于另一元件之前的元件。另一方面，“下游”应理解成是指相对于待泵送气体的循环方向位于另一元件之后的元件。

真空泵1例如连接到用于泵送气体的腔室。它可以是在其中进行用于在硅片上制造微电子器件的沉积和蚀刻工艺或涂层工艺或平板显示器生产工艺或LED制造工艺的腔室。

本发明适用于任何类型的单级式或多级式干式真空泵，即，其包括一个或多个级(至少两个)。该真空泵可以是多级式初级真空泵，其构造成在大气压下排放待泵送气体，或者是具有一至三个泵级的罗茨真空泵，其在使用中连接在初级真空泵的上游。

如本身已知的那样，真空泵1包括机械驱动部分(这里未示出)，所述部分包括驱动转子的电机、转子同步齿轮和支撑转子轴的轴承。真空泵1还包括气体在其中循环的干式泵级，真空泵1还包括密封装置，其允许轴在干式泵送部分中旋转，同时限制润滑剂从机械驱动部分转移到干式泵送部分。

在干式泵送部分中，真空泵1包括至少一个泵级1a-1e，在所述泵级中，两个转子构造成沿着相反方向同步转动，以驱动待泵送气体。真空泵1被称为“干式”，因为在运行中，转子在定子内转动，而与定子没有任何机械接触，这使得在干式泵送部分中可以不使用油。

真空泵1例如是“罗茨”或“爪”型或螺旋型或螺杆型或基于另一类似的容积式真空泵原理的初级真空泵。

因此，图1表示泵单元的示例，该泵单元包括布置在多级式真空泵上游的单级式真空泵。

多级式真空泵1例如包括五个泵级1a-1e，它们串联地安装在吸入口2和排放口3之间。与真空泵1的吸入口2连通的泵级1a是第一泵级，也称为低压级，与排放口3连通的泵级1e是最末泵级，也称为高压级。连续的泵级1a-1e的压缩室通过至少一个相应的级间通道一个接一个地串联连接，该级间通道将前一泵级的压缩室的输出连接到后一级的压缩室的输入。在旋转过程中，从真空泵1的吸入口2吸入的气体被限制在由转子和泵级1a-1e的定子产生的容积中，然后被压缩并被驱动到下一级，以此类推，被驱动到真空泵1的排放口3。泵级1a-1e的生成体积(即泵送气体体积)随着泵级1a-1e而减小(或保持相等)，第一泵级1a具有最高的生成流量，最末泵级具有最低的生成流量。

真空泵1还包括至少一个止回阀4。止回阀4包括阀座5和活动封闭构件6。活动封闭构件6可以平移、旋转或以组合运动移动。

止回阀4可以处于关闭位置(图2)和打开位置(图3)，在该关闭位置，活动封闭构件6与阀座5的支承面接触，并且关闭阀座5中用于待泵送气体的通道7，在该打开位置，活动封闭构件6离开阀座5，为气体释放出通道。

止回阀4可以根据活动封闭构件6两侧的压差而打开。例如，止回阀4在泵级中出现过压的情况下打开。当上游/下游的压差低于止回阀4的负载阈值时，止回阀4关闭，活动封闭构件6阻止气体通过。当止回阀4上游/下游的压差高于止回阀4的负载阈值时，活动封闭构件6与阀座5分离，为待泵送气体释放出通过止回阀4的通道。

真空泵1例如包括再循环止回阀4a和/或至少两个泵级1a-1e与至少一个泄压止回阀4b和/或至少一个排放止回阀4c。

再循环止回阀4a(也称为压力释放止回阀)连接在同一泵级1a的输出和输入之间。它构造成在泵级1a的输入和输出之间的压差超过预定阈值时尽快打开。在泵送强气流的情况下，止回阀4a的打开使得待泵送气体可以在同一泵级1a中再循环。所述阈值特别是根据所产生的流量比并根据机械安全设定而预先定义的。再循环止回阀4a还布置在例如具有一至三个泵级的罗茨真空泵的第一泵级1a的输出和输入之间，该罗茨真空泵布置在初级真空泵的上游。

例如在大气压下对腔室泄压期间，泄压止回阀4b使得可以吸收和准时转移强气流，同时限制真空泵1的耗电。它例如布置在低压泵级的输出处，例如多级式真空泵1的第一或第二泵级1a、1b的输出处。在打开位置，泄压止回阀4b使得可以将真空泵1的最末几个泵级1c-1e短路，这可能限制总的生成流量。

排放止回阀4c(也称为单向止回阀)布置在最末泵级1e的输出处，即多级式真空泵1的排放口3处，其通常位于真空泵1的消音器上游。它使得可以避免真空泵1中的泵送气体回流。

在止回阀4的所有布置情况下，活动封闭构件6的头部8构造成阻塞气体的通道7。

在图2至图4的示例中，阀座5具有平面形式，头部8具有与阀座5的通道7互补的圆柱形形式。活动封闭构件6和/或阀座5也可以具有密封涂层或垫圈9，该密封涂层或垫圈9例如由弹性体材料或硅树脂制成，以增强机械强度和耐高温性。

止回阀4可以包括弹性复位构件11，其将活动封闭构件6推压到关闭位置。弹性复位构件11例如包括插入活动封闭构件6和真空泵1的定子部件12之间的弹簧。也可以不使用弹簧而利用重力来将活动封闭构件6推压到关闭位置。

止回阀4可以包括至少一个固定到定子部件12的引导元件13，该引导元件13构造成引导活动封闭构件6在止回阀4的打开位置和关闭位置之间的移动。

根据一个示例性实施例，引导元件13包括杆，该杆与活动封闭构件6的引导护套14配合，以引导活动封闭构件6的轴向平移移动。引导护套14例如是圆柱形腔。它可以沿着活动封闭构件6的中心轴线构成。弹性复位构件11例如布置在引导元件13的杆周围，该杆还引导弹性复位构件11的压缩。

真空泵1还包括至少一个喷射通道10，该喷射通道10通过至少一个喷射孔15显露，该喷射孔15构造成在止回阀4的打开位置将吹扫气体喷射到阀座5的支承面上和/或喷射到活动封闭构件6和/或引导元件13上。

吹扫气体例如是氮气。

喷射吹扫气体使得可以清洁止回阀4，以防止可能妨碍其运行的沉积物的存在。因此，可以在两个维护周期之间更长时间地保证止回阀4在过压情况下的密封封闭功能和打开功能。

吹扫气体的喷射局部地针对于止回阀4的活动部分，例如针对阀座5的支承面、活动封闭构件6和/或引导元件13。

吹扫气体的喷射可以连续进行或及时定向进行。时间上不连续地喷射使得可以不干扰真空泵1的泵送和最终真空性能水平(在没有待泵送气流的情况下)。

特别地，可以在所谓的“清洁”阶段控制吹扫气体的喷射，在该阶段，在与真空泵1相连的腔室中没有进程发生。为此，真空泵1例如包括驱动器单元，其构造成接收关于在腔室中发生的进程的信息，并且基于该信息来控制吹扫气体的喷射。

时间上不连续的喷射也可以通过预先定义的喷射时间来确定。

根据另一示例，这种不连续喷射由止回阀4本身的运动触发，喷射通道10包括用于吹扫气体的至少一个喷射孔15，该喷射孔15在关闭位置被活动封闭构件6阻塞，并在打开位置被释放。止回阀4由此是自闭式，关闭止回阀4使得停止喷射吹扫气体。

该实施例特别适用于喷射通道10通过喷射孔15显露的情况，该喷射孔15构造成在止回阀4的打开位置将吹扫气体喷射到止回阀4的阀座5的支承面上。

吹扫气体对支承面的清扫允许当止回阀4处于关闭位置时，阀座5与活动封闭构件6接触的表面没有颗粒或沉积物，以保证止回阀4紧密关闭。

为此，例如，真空泵1包括喷射通道10，该喷射通道10包括在引导元件13中构成的第一通道16和在活动封闭构件6中构成的至少一个第二通道17。所述至少一个第二通道17通过布置成面向阀座5的相应喷射孔15从活动封闭构件6显露。第一通道16和第二通道17彼此连通。例如有多个第二通道17通过相应的喷射孔15显露，例如有六个和十个，它们均匀地分布在活动封闭构件6的周边，从而构成“喷头”，以均匀地清洁阀座5的支承面(图4)。

在运行中，当止回阀4处于关闭位置时，吹扫气体的喷射孔15被活动封闭构件6阻塞。

在过压情况下，活动封闭构件6抵抗弹性复位构件11被推回，从而打开止回阀4。止回阀4的打开允许待泵送气体通过，并且释放出了喷射孔15以将吹扫气体喷射到阀座5的支承面上(图3)。喷射吹扫气体使得通过引导元件13清洁阀座5的支承面。

图5和图6示出了第二示例性实施例。

在该示例中，真空泵1包括通过至少一个喷射孔18显露的喷射通道10，该喷射孔18构造成将吹扫气体喷射到活动封闭构件6的后部部分19上。更具体地，喷射通道10包括在引导元件13中构成的第一通道16。第一通道16通过至少一个喷射孔18显露，以在止回阀4处于关闭位置时将吹扫气体喷射到活动封闭构件6上(图5)。

例如，具有至少两个从第一通道16显露的径向相对的喷射孔18。

吹扫气体向活动封闭构件6的后部部分19上的喷射使得可以在关闭位置清洁活动封闭构件6，以避免可能阻止或限制打开止回阀4的沉积物的积聚。

在引导元件13包括与活动封闭构件6的引导护套14配合以引导活动封闭构件6的轴向平移移动的杆的情况下，还可以设想引导元件13的第一通道26的至少一个喷射孔18和活动封闭构件6的引导护套14相对于彼此定位，以在止回阀4的关闭位置通过引导元件13的至少一个喷射孔18喷射吹扫气体，并且在止回阀4的打开位置通过从活动封闭构件6显露的至少一个喷射孔15喷射吹扫气体。

在运行中，当止回阀4处于关闭位置时(图5)，通过在引导元件13中构成的至少一个第一喷射孔18喷射吹扫气体，以清洁活动封闭构件6的后部部分19，并防止在活动封闭构件6上形成粉末团块。此外，第二喷射孔15被与阀座5接触的活动封闭构件6阻挡。

在过压情况下，活动封闭构件6抵抗弹性复位构件11被推回，从而打开止回阀4(图6)。止回阀4的打开允许待泵送气体通过，释放出第二喷射孔15以将吹扫气体喷射到阀座5上，并且关闭第一喷射孔18。

吹扫气体的喷射因此根据止回阀4的位置而不同，从而在止回阀4打开时清洁阀座5的支承面，或者在止回阀4关闭时清洁活动封闭构件6的后部部分9。

图7示出了第三示例性实施例，其中，喷射通道10位于真空泵1的(固定的)定子部件12中。

真空泵1包括喷射通道10，该喷射通道10通过至少一个喷射孔15显露，该喷射孔15构造成在止回阀4处于打开位置时，沿着与使阀座5的平面支承面和活动封闭构件6的互补平面表面分离的平面相切的方向将吹扫气体喷射到止回阀4的阀座5上。沿着切线方向喷射吹扫气体使得可以清洁阀座5的支承面，以保证止回阀4紧密关闭。

真空泵1还可以包括通过至少一个喷射孔15显露的喷射通道10，该喷射孔15构造成沿着引导元件13的杆传送吹扫气体，这使得在必要时可以保证移动封闭构件6和弹性复位构件11的引导功能。

真空泵1还可以包括通过至少一个喷射孔15显露的喷射通道10，该喷射孔15构造成特别是在关闭位置将吹扫气体喷射到活动封闭构件6上，以防止粉末在止回阀4上积聚。喷射吹扫气体可以沿着与活动封闭构件6的后部部分19的表面成直角或相切的方向进行。

喷射吹扫气体可以连续进行或及时定向。例如，在所谓的“清洁”阶段控制或通过预定的喷射时间来确定吹扫气体的喷射。

所述至少一个喷射通道10可以构造成喷射涡流形吹扫气体(图8)。

可以通过一个或多个喷射孔15的特定方向和定子部件12的至少部分圆形或圆柱形几何形状的组合来获得气体的涡流效应。涡流吹扫气体使得可以改善清洁。

当止回阀4处于打开位置时，可以沿着与使阀座5的平面支承面和活动封闭构件6的互补平面表面分离的平面相切的方向将涡流气体喷射到止回阀4的阀座5上。也可以将涡流气体喷射到引导元件13周围或活动封闭构件6上。

图9示出了第四示例性实施例。

在该示例中，引导元件13包括杆，该杆与活动封闭构件6的引导护套14配合，以引导活动封闭构件6的轴向平移移动，真空泵1包括通过至少一个喷射孔15显露的喷射通道10，该喷射孔15构造成沿着引导元件13的杆喷射吹扫气体。杆和/或活动封闭构件6的引导护套14为此例如具有与用于引导吹扫气体的喷射通道10连通的螺旋槽20。该实施例使得可以避免止回阀4的引导表面上可能妨碍止回阀4的移动性的沉积物。喷射吹扫气体使得可以保证杆在引导护套14中容易滑动。可以在止回阀4的打开和/或关闭位置喷射吹扫气体。

尽管图2至图9示出了大体上圆柱形的两级式活动封闭构件6和平面的阀座5，但是其他实施例是可能的。特别地，活动封闭构件6可以是球形或部分球形，或者具有锥形或部分锥形的头部，并且阀座5可以是锥形。活动封闭构件还可以具有大体上平面的形式，例如板的形式，并且在止回阀的打开位置和关闭位置之间通过经由活动封闭构件的旋转引导元件枢转来移动。

图10和图11示出了活动封闭构件6的另一示例，其头部8具有锥形侧翼21，该锥形侧翼21与锥形阀座5互补，以在关闭位置阻塞阀座5的通道7。

在该示例中，喷射通道10通过至少一个喷射孔15显露，该喷射孔15构造成将吹扫气体喷射到活动封闭构件6的头部8的锥形侧翼21上，从而在止回阀4的关闭位置阻塞通道7。喷射通道10例如在真空泵1的定子部件12中构成。真空泵1例如包括通过单个喷射孔15显露的单个喷射通道10，该喷射孔15构造成喷射较大流量(图10)；或者真空泵1包括多个较小的喷射通道10，该喷射通道10构造成将吹扫气体喷射到活动封闭构件6的头部8的相对两侧上(图11)。

喷射通道10可以构造成沿着与止回阀的轴向移动方向成直角的方向(图10)或者沿着与活动封闭构件6的头部8的锥形侧翼21成直角的方向喷射吹扫气体(图11)。

Claims (15)

1.真空泵(1)，包括：

-至少一个泵级(1a-1e)，两个转子构造成在所述至少一个泵级中沿着相反方向同步转动，以驱动待泵送气体，

-至少一个止回阀(4)，其包括阀座(5)和活动封闭构件(6)，所述止回阀(4)能够处于关闭位置和打开位置，在所述关闭位置，所述活动封闭构件(6)关闭所述阀座(5)的通道(7)，在所述打开位置，所述活动封闭构件(6)释放所述通道(7)，所述活动封闭构件(6)两侧的压差能够打开所述止回阀(4)，

其特征在于，所述真空泵(1)还包括通过至少一个喷射孔(15；18)显露的至少一个喷射通道(10)，所述喷射孔构造成将吹扫气体：

-在所述止回阀(4)的所述打开位置喷射到所述阀座(5)的支承面上和/或

-喷射到所述活动封闭构件(6)上和/或

-喷射到至少一个固定到所述真空泵(1)的定子部件(12)的引导元件(13)上，所述引导元件构造成引导所述活动封闭构件(6)在所述止回阀(4)的打开位置和关闭位置之间的移动。

2.根据权利要求1所述的真空泵(1)，其特征在于，所述喷射通道(10)包括至少一个用于吹扫气体的喷射孔(15)，所述喷射孔(15)在所述关闭位置被所述活动封闭构件(6)阻塞，并在所述打开位置被释放。

3.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，它包括这样的喷射通道(10)，所述喷射通道包括在所述引导元件(13)中构成的第一通道(16)，所述第一通道(16)通过用于在所述止回阀(4)处于关闭位置时将吹扫气体喷射到所述活动封闭构件(6)上的至少一个喷射孔(18)显露。

4.根据前述权利要求所述的真空泵(1)，其特征在于，它包括这样的喷射通道(10)，所述喷射通道包括在所述引导元件(13)中构成的第一通道(16)和在所述活动封闭构件(6)中构成并且通过所述至少一个喷射孔(15)显露的至少一个第二通道(17)，所述至少一个喷射孔(15)布置成面向阀座(5)，所述第一通道(16)和所述第二通道(17)彼此连通。

5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述引导元件(13)包括杆，所述杆与所述活动封闭构件(6)的引导护套(14)配合，以引导所述活动封闭构件(6)的平移移动。

6.根据权利要求3、4和5所述的真空泵(1)，其特征在于，所述引导元件(13)的杆的所述第一通道(16)的所述至少一个喷射孔(18)和所述活动封闭构件(6)的所述引导护套(14)相对于彼此定位成：

-能在所述止回阀(4)的关闭位置通过所述杆的所述至少一个喷射孔(18)喷射吹扫气体，以及

-能在所述止回阀(4)的打开位置通过从所述活动封闭构件(6)显露的所述至少一个喷射孔(15)喷射吹扫气体。

7.根据权利要求5和6中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，它包括通过至少一个喷射孔(15)显露的喷射通道(10)，所述喷射孔构造成沿着所述杆喷射吹扫气体，所述杆和/或所述活动封闭构件(6)的所述引导护套(14)具有与用于引导吹扫气体的所述喷射通道(10)连通的螺旋槽(20)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，它包括通过至少一个喷射孔(15)显露的喷射通道(10)，所述喷射孔构造成在所述止回阀(4)处于打开位置时，沿着与使所述阀座(5)的平面支承面和所述活动封闭构件(6)的互补平面表面分离的平面相切的方向喷射吹扫气体。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述喷射通道(10)构造成在所述止回阀(4)的关闭位置将吹扫气体喷射到所述活动封闭构件(6)的头部(8)的堵塞所述通道(7)的锥形侧翼(21)上。

10.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个喷射通道(10)构造成喷射涡流形吹扫气体。

11.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述止回阀(4)包括弹性复位构件(11)，该弹性复位构件施加使所述活动封闭构件(6)进入关闭位置的力。

12.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，它包括至少两个泵级(1a-1e)，所述止回阀(4)是布置在第一或第二泵级(1a、1b)的输出处的泄压止回阀(4b)。

13.根据权利要求1至11中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，它包括至少两个泵级(1a-1e)，所述止回阀(4)是布置在最末泵级(1e)的输出处的排放止回阀(4c)。

14.根据权利要求1至11中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述止回阀(4)是连接在第一泵级(1a)的输出和输入之间的再循环止回阀(4a)。

15.用于将吹扫气体喷射到根据前述权利要求中任一项所述的真空泵(1)中的方法，其特征在于，在所述止回阀(4)的打开位置将吹扫气体喷射到所述阀座(5)的支承面上，和/或喷射到所述活动封闭构件(6)上，和/或喷射到固定到所述真空泵(1)的定子部件(12)的引导元件(13)上，所述引导元件(13)构造成引导所述活动封闭构件(6)在所述止回阀(4)的打开位置和关闭位置之间的移动。

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