KR20220111690A

KR20220111690A - 진공 펌프 및 정화 가스를 분사하기 위한 방법

Info

Publication number: KR20220111690A
Application number: KR1020227021625A
Authority: KR
Inventors: 에릭 만달라즈; 얀 올리비에
Original assignee: 파이퍼 배큠
Priority date: 2019-12-18
Filing date: 2020-12-11
Publication date: 2022-08-09
Also published as: DE112020006121T5; FR3105313A1; WO2021122359A1; TW202138680A; FR3105313B1; CN114867942A

Abstract

진공 펌프(1)가, 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 시트(5)의 베어링 면 상으로, 및/또는 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로, 및/또는 체크 밸브(4)의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동형 폐쇄 부재(6)의 변위를 가이드하도록 구성되는 진공 펌프(1)의 고정자 부분(12)에 고정되는 적어도 하나의 가이드 요소(13) 상으로, 정화 가스를 분사하도록 구성되는 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 적어도 하나의 분사 채널(10)을 구비한다.

Description

진공 펌프 및 정화 가스를 분사하기 위한 방법

본 발명은, 건식 진공 펌프에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 정화 가스를 진공 펌프로 분사하기 위한 방법에 관한 것이다.

일부 진공 펌프는, 다량의 고체 부산물을 생성하는 가스가 구현되기 때문에, 소위 "분말" 방법에서 이용된다. 이는, 예를 들어, 특정 반도체 제조 방법 또는 일부 코팅 증착 방법 또는 평판 디스플레이 제조 방법 또는 LED 제조 방법의 경우이다.

이러한 방법들로부터 파생되는 가스가 펌핑될 때, 고체 화합물이, 진공 펌프 또는 파이프라인 내에서 형성될 수 있으며, 그리고 진공 펌프 내에 퇴적될 수 있고, 이는 가스 통로 치수를 제한할 수 있으며 그리고 펌핑 용량 손실로 이어질 수 있다. 이러한 퇴적물들은 또한, 진공 펌프의 가동 부분들의, 특히 고정자 내에서 회전하는 회전자들 뿐만 아니라 재순환, 릴리프 또는 방출 체크 밸브들의 활성 부분들의, 정확한 작동을 방해할 수 있다.

체크 밸브들은, 진공 펌프 내에서 바람직하지 못한 과압을 회피하기 위해 개방되는 릴리프 밸브들로서 작동한다. 체크 밸브들은 또한, 단지 단일 방향으로만 가스의 순환을 허용하도록 할 수 있다. 체크 밸브들은, 압력 차이에 기초하여 개방될 수 있도록 할 필요가 있지만, 이들은 또한, 긴밀하게 폐쇄되어야만 한다. 진공 펌프 내에서의 퇴적물의 과도한 축적의 한 가지 결과는, 이러한 두 가지 기능 중 하나가 더 이상 정확하게 보장되지 않는 것일 수 있다. 그러한 기능 장애는, 생산 속도에 해로울 수 있을 뿐만 아니라 인력의 안전 및 장비에 대한 손상 위험의 문제들을 일으킬 수 있다.

밸브들의 가동 부분들 및 시트들을 PTFE와 같은 비점착성 코팅으로 코팅함으로써 이러한 위험들을 줄일 수 있지만, 이러한 재료의 비용은, 상대적으로 높으며 그리고 그것의 사용은, 그의 잠재적 유독성 때문에, 상당한 환경적 영향을 동반할 수 있다. 또한, 스퍼터링에 의해 코팅을 증착할 수 있지만, 그들의 강도는 시간 경과에 따라 보장될 수 없다. 다른 해결책이, 중력이 퇴적된 분말의 방출에 기여하도록, 체크 밸브들을 수평으로 배열하는 것으로 구성될 수 있다. 하지만, 일반적으로 부착되는 퇴적물들은, 중력에 의해 간단하게 방출되기 어려울 수 있다.

본 발명의 하나의 목적은, 종래 기술의 단점들 중 하나를 적어도 부분적으로 해결하는, 향상된 진공 펌프를 제안하는 것이다.

이를 위한, 본 발명의 대상은, 진공 펌프로서:

- 2개의 회전자가 그 내부에서 펌핑될 가스를 구동하기 위해서 반대 방향으로 동기식으로 회전하도록 구성되는, 적어도 하나의 펌핑 스테이지,

- 시트 및 이동형 폐쇄 부재를 포함하는 적어도 하나의 체크 밸브로서, 체크 밸브는, 상기 이동형 폐쇄 부재가 상기 시트의 통로를 폐쇄하는 폐쇄 위치 및 상기 이동형 폐쇄 부재가 상기 통로를 개방하는 개방 위치를 취할 수 있고, 상기 이동형 폐쇄 부재 양측의 압력 차이는, 상기 체크 밸브를 개방할 수 있는 것인, 체크 밸브

를 포함하는 것인, 진공 펌프에 있어서:

진공 펌프는,

- 상기 체크 밸브의 개방 위치에서 상기 시트의 베어링 면 상으로, 및/또는

- 상기 이동형 폐쇄 부재 상으로, 및/또는

- 상기 체크 밸브의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 이동형 폐쇄 부재의 변위를 가이드하도록 구성되는 진공 펌프의 고정자 부분에 고정되는 적어도 하나의 가이드 요소 상으로,

정화 가스를 분사하도록 구성되는 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나오는 적어도 하나의 분사 채널을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프이다.

정화 가스의 분사는, 자체의 작동을 방해할 수 있는 퇴적물의 존재를 방지하도록 체크 밸브를 청소하는 것을 가능하도록 한다. 체크 밸브의 청소는, 과압의 경우에서 밸브의 폐쇄 밀봉 기능 및 개방 기능이 장시간 보장되는 것을 허용한다.

진공 펌프는, 체크 밸브의 개방 위치에서 시트의 베어링 면 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나오는 적어도 하나의 분사 채널을 포함할 수 있다. 베어링 면의 쓸어내기는, 체크 밸브의 긴밀한 폐쇄를 보장하기 위해서 폐쇄 위치에서 이동형 폐쇄 부재와 접촉하는 시트의 표면에 입자 또는 퇴적물이 없는 것을 허용한다.

이동형 폐쇄 부재는, 병진 운동, 회전 운동 또는 조합된 운동에 의해, 변위될 수 있다.

체크 밸브는, 체크 밸브의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동형 폐쇄 부재의 변위를 가이드하도록 구성되는, 진공 펌프의 고정자 부분에 고정되는 적어도 하나의 가이드 요소를 포함할 수 있다. 진공 펌프는, 이러한 가이드 요소 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나오는 적어도 하나의 분사 채널을 포함할 수 있고, 이는 이동형 폐쇄 부재의 가이드 기능이 보장되는 것을 허용한다.

예시적 실시예에 따르면, 상기 가이드 요소는, 상기 이동형 폐쇄 부재의 축방향 병진 변위를 가이드하기 위해 상기 이동형 폐쇄 부재의 가이드 격실과 협력하는 막대를 포함한다. 분사 채널은, 가이드 요소의 막대를 따라 정화 가스를 분사하도록 구성될 수 있다. 이를 위해, 막대 및/또는 이동형 폐쇄 부재의 가이드 격실은, 정화 가스의 가이드를 위해 분사 채널과 연통되는 나선형 홈을 구비할 수 있다.

다른 예시적 실시예에 따르면, 체크 밸브는, 이동형 폐쇄 부재를 위한 회전 가이드 요소들을 구비한다.

진공 펌프는, 특히 체크 밸브의 폐쇄 위치에서, 이동형 폐쇄 부재 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나오는 적어도 하나의 분사 채널을 포함할 수 있다. 이동형 폐쇄 부재 상으로의 정화 가스의 분사는, 체크 밸브의 개방을 방지하거나 제한할 수 있는 퇴적물의 축적을 회피하는 것을 가능하도록 한다.

예를 들어, 진공 펌프는, 가이드 요소 내에 형성되는 제1 채널을 포함하는 분사 채널을 포함할 수 있고, 제1 채널은, 체크 밸브의 폐쇄 위치에서 이동형 폐쇄 부재 상으로의 정화 가스의 분사를 위해 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나온다.

진공 펌프는 또한, 후술되는 하나 이상의 특징부를, 단독으로 또는 조합으로, 포함할 수 있다.

분사 채널은, 체크 밸브의 폐쇄 위치에서 이동형 폐쇄 부재에 의해 차단되며 그리고 개방 위치에서 차단 해제되는, 정화 가스를 위한 적어도 하나의 분사 오리피스를 포함할 수 있다. 따라서, 체크 밸브는 셀프 차단되고, 체크 밸브의 폐쇄는 정화 가스의 분사를 밀봉한다.

상기 체크 밸브는, 상기 이동형 폐쇄 부재를 상기 폐쇄 위치로 잡아당기는 탄성 복귀 부재를 포함할 수 있다.

상기 진공 펌프는, 상기 가이드 요소 내에 형성되는 제1 채널 및 상기 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나오는 상기 이동형 폐쇄 부재 내에 형성되는 적어도 하나의 제2 채널을 포함하는, 분사 채널을 포함할 수 있고, 상기 적어도 하나의 분사 오리피스는, 상기 시트를 지향하도록 배치되며, 상기 제1 채널 및 상기 제2 채널은 서로 연통된다. 따라서, 정화 가스는, 가이드 요소를 통하여 시트의 베어링 면을 청소한다.

가이드 요소가 상기 이동형 폐쇄 부재의 축방향 병진 변위를 가이드하기 위해 상기 이동형 폐쇄 부재의 가이드 격실과 협력하는 막대를 포함하는 경우에, 상기 가이드 요소의 상기 제1 채널의 적어도 하나의 분사 오리피스 및 상기 이동형 폐쇄 부재의 상기 가이드 격실은:

- 정화 가스가 상기 체크 밸브의 폐쇄 위치에서 상기 가이드 요소의 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 분사될 수 있는 방식으로, 그리고

- 정화 가스가 상기 체크 밸브의 개방 위치에서 상기 이동형 폐쇄 부재로부터 나오는 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 분사될 수 있는 방식으로,

서로에 대해 위치설정될 수 있다.

따라서, 정화 가스의 분사는, 밸브가 개방될 때 시트의 베어링 면을 청소하거나 체크 밸브가 폐쇄될 때 이동형 폐쇄 부재의 후방 부분을 청소하도록, 체크 밸브의 위치에 따라 구분된다.

다른 예시적 실시예에 따르면, 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나오는 분사 채널은, 상기 체크 밸브의 개방 위치에서 상기 이동형 폐쇄 부재의 상보적 평면형 표면과 상기 시트의 평면형 베어링 면을 분리하는 평면으로 접선 방향으로 정화 가스를 분사하도록 구성된다.

다른 예시적 실시예에 따르면, 적어도 하나의 분사 오리피스를 통하여 나오는 분사 채널은, 상기 체크 밸브의 폐쇄 위치에서 상기 통로를 차단하는 상기 이동형 폐쇄 부재의 헤드의 테이퍼형 플랭크 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성된다.

적어도 하나의 분사 채널은, 소용돌이치는 정화 가스를 분사하도록 구성될 수 있다. 정화 가스의 소용돌이는, 청소를 개선하는 것을 가능하도록 한다.

진공 펌프는, 적어도 2개의 펌핑 스테이지를 포함할 수 있으며, 그리고 체크 밸브는, 제1 또는 제2 펌핑 스테이지의 출력부에 배치되는, 릴리프 밸브이다. 개방 위치에서, 릴리프 밸브는, 진공 펌프의 마지막 펌핑 스테이지들을 쇼트시키는 것을 가능하도록 하고, 이는 강한 가스 흐름을 펌핑하는 경우에 생성되는 총 유량을 제한할 수 있다.

진공 펌프는, 적어도 2개의 펌핑 스테이지를 포함할 수 있으며, 그리고 체크 밸브는, 마지막 펌핑 스테이지의 출력부에 배치되는, 방출 밸브이다. 방출 체크 밸브는, 진공 펌프 내로 펌핑되는 가스의 복귀를 방지하는 것을 가능하도록 한다.

체크 밸브는, 제1 펌핑 스테이지의 출력부와 입력부 사이에 연결되는, 재순환 체크 밸브일 수 있다. 체크 밸브의 개방은, 강한 가스 흐름을 펌핑하는 경우에 펌핑될 가스가 동일한 펌핑 스테이지에서 재순환하는 것을 가능하도록 한다.

본 발명의 다른 대상이, 전술한 진공 펌프 내로 정화 가스를 분사하는 방법으로서, 정화 가스는, 체크 밸브의 개방 위치에서 시트의 베어링 면 상으로, 및/또는 이동형 폐쇄 부재 상으로, 및/또는 상기 체크 밸브의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 이동형 폐쇄 부재의 변위를 가이드하도록 구성되는 상기 진공 펌프의 고정자 부분에 고정되는 가이드 요소 상으로, 분사되는 것을 특징으로 하는 방법이다.

본 발명의 다른 특징부들 및 이점들이, 첨부 도면의 관점에서, 비제한적인 예로서 주어지는, 뒤따르는 설명으로부터 나타날 것이다.

도 1은, 복수 스테이지 일차적 진공 펌프 및 일차적 진공 펌프의 상류에 장착되는 루츠 진공 펌프를 포함하는, 펌프 유닛의 개략도를 나타낸다.
도 2는 폐쇄 위치에서의 제1 예시적 실시예에 따른 체크 밸브의 개략적 단면도를 도시한다.
도 3은 개방 위치에서의 도 2의 체크 밸브를 도시한다.
도 4는 도 2의 도면과 비교해 뒤집힌 도 2의 체크 밸브의 이동형 폐쇄 부재를 도시한다.
도 5는 폐쇄 위치에서 제2 예시적 실시예에 따른 체크 밸브의 개략적 단면도를 도시한다.
도 6은 개방 위치에서 도 5와 유사한 도면을 도시한다.
도 7은 개방 위치에서 제3 예시적 실시예에 따른 체크 밸브의 개략적 단면도를 도시한다.
도 8은 상부에서 본 도 7의 체크 밸브의 변형예를 도시한다.
도 9는 폐쇄 위치에서 제4 예시적 실시예에 따른 체크 밸브의 개략적 단면도를 도시한다.
도 10은 폐쇄 위치에서 제5 예시적 실시예에 따른 체크 밸브의 개략적 단면도를 도시한다.
도 11은 폐쇄 위치에서 제6 예시적 실시예에 따른 체크 밸브의 개략적 단면도를 도시한다.

이러한 도면들에서, 동일한 요소들은, 동일한 도면 부호를 갖는다.

뒤따르는 실시예들은, 예들이다. 비록 설명이 하나 이상의 실시예를 참조하지만, 이것은 반드시 각각의 참조가 동일한 실시예에 관련되거나 특징부들이 단일 실시예에만 적용되는 것을 의미하지는 않는다. 상이한 실시예의 단순 특징부들이 또한, 조합되거나 교환되어 다른 실시예를 제공할 수 있다.

일차적 진공 펌프는, 2개의 회전자를 사용하여, 대기압에서 펌핑될 가스를 흡입하고, 이송한 다음, 방출하도록 구성되는, 용적형 진공 펌프로서 정의된다. 회전자들은, 일차적 진공 펌프의 모터에 의해 회전 구동되는 2개의 샤프트에 의해 지탱된다. 일차적 진공 펌프는, 복수 스테이지형일 수 있고, 다시 말해서 그것은, 2개 내지 9개의 펌핑 스테이지와 같은, 여러 개의 (적어도 2개의) 스테이지를 포함한다.

루츠 타입 진공 펌프("루츠 송풍기"라고도 함)는, 루츠 타입 회전자들을 사용하여, 펌핑될 가스를 흡입하고, 이송한 다음, 방출하도록 구성되는, 용적형 진공 펌프로서 정의된다. 루츠 타입 진공 펌프는, 일차적 진공 펌프의 상류에 직렬로 장착된다. 회전자들은, 루츠 타입 진공 펌프의 모터에 의해 회전 구동되는 2개의 샤프트에 의해 지탱된다. 루츠 진공 펌프는, 1개 내지 3개의 펌핑 스테이지를 포함한다.

"상류"는, 가스의 순환 방향에 대해 다른 요소 이전에 배치되는 요소를 의미하는 것으로 이해된다. 한편, "하류"는, 펌핑될 가스의 순환 방향에 대해 다른 요소 이후에 배치되는 요소를 의미하는 것으로 이해된다.

진공 펌프(1)는, 예를 들어, 가스의 펌핑을 위한 챔버에 연결된다. 그것은, 실리콘 웨이퍼들 상의 마이크로전자 디바이스들의 생산에 사용되는 증착 및 에칭 프로세스 또는 코팅 프로세스 또는 평판 디스플레이 생산 프로세스 또는 LED 제조 프로세스가 그 내부에서 일어나는, 챔버일 수 있다.

본 발명은, 단일 스테이지 또는 복수 스테이지, 다시 말해서 하나 이상의 (적어도 2개의) 스테이지를 포함하는, 임의의 유형의 건식 진공 펌프에 적용된다. 이러한 진공 펌프는, 대기압에서 펌핑될 가스를 방출하도록 구성되는 복수 스테이지 일차적 진공 펌프, 또는 사용 시 일차적 진공 펌프의 상류에 연결되는 1개 내지 3개의 펌핑 스테이지의 루츠 진공 펌프일 수 있다.

진공 펌프(1)는, 그 자체로 공지된 바와 같이, 회전자들을 구동하는 모터, 회전자 동기화 기어들 및 회전자들의 샤프트를 지지하는 베어링을 포함하는, 기계적 구동부(여기에 도시되지 않은)를 포함한다. 진공 펌프(1)는 또한, 가스가 그 내부에서 순환하는, 건식 펌핑 스테이지를 포함하고, 진공 펌프(1)는 또한, 밀봉 수단을 포함하여, 기계적 구동부로부터 건식 펌핑부로의 윤활유의 이동을 제한하는 가운데 건식 펌핑부에서의 샤프트들의 회전을 허용하도록 한다.

건식 펌핑부에서, 진공 펌프(1)는, 2개의 회전자가 그 내부에서 펌핑될 가스를 구동하기 위해 동기식으로 반대 방향으로 회전하도록 구성되는, 적어도 하나의 펌핑 스테이지(1a-1e)를 포함한다. 진공 펌프(1)는, 회전자들이 작동 시에 고정자와 어떠한 기계적 접촉도 없이 고정자 내부에서 회전하고, 이는 건식 펌핑부에서 오일을 사용하지 않는 것을 가능하도록 하기 때문에, "건식"이라고 한다.

진공 펌프(1)는, 예를 들어, "루츠" 또는"클로" 타입의 또는 스파이럴 또는 스크류 타입의 또는 다른 유사한 용적형 진공 펌프 원리에 기초하는, 일차적 진공 펌프이다.

따라서, 도 1은, 복수 스테이지 진공 펌프의 상류에 배치되는 단일 스테이지 진공 펌프를 포함하는, 펌프 유닛의 예를 나타낸다.

복수 스테이지 진공 펌프(1)는, 예를 들어, 흡입부(2)와 방출부(3) 사이에 직렬로 장착되는 5개의 펌핑 스테이지(1a-1e)를 포함한다. 진공 펌프(1)의 흡입부(2)와 연통되는 펌핑 스테이지(1a)는, 저압 스테이지로도 지칭되는 제1 펌핑 스테이지이고, 방출부(3)와 연통되는 펌핑 스테이지(1e)는, 고압 스테이지로도 지칭되는 마지막 펌핑 스테이지이다. 연속적인 펌핑 스테이지들(1a-1e)의 압축 챔버들은, 선행 펌핑 스테이지의 압축 챔버의 출력부를 다음 스테이지의 압축 챔버의 입력부에 연결하는 적어도 하나의 개개의 스테이지-간 채널에 의해, 직렬로 차례로 연결된다. 회전 도중에, 진공 펌프(1)의 흡입부(2)로부터 흡입되는 가스는, 펌핑 스테이지(1a-1e)의 회전자들과 고정자에 의해 생성되는 용적 내에 포획되고, 이어서 압축되며, 그리고 다음 스테이지로 그리고 그에 따라 진공 펌프(1)의 방출부(3) 상으로 구동된다. 펌핑 스테이지들(1a-1e)은, 펌핑 스테이지들(1a-1e)과 더불어 감소하는 (또는 동일하게 유지되는), 생성된 체적을, 다시 말해 펌핑된 가스 체적을, 가지며, 제1 펌핑 스테이지(1a)는, 가장 높은 생성 유량을 가지며, 그리고 마지막 펌핑 스테이지(1e)는, 가장 낮은 생성 유량을 갖는다.

진공 펌프(1)는 또한, 적어도 하나의 체크 밸브(4)를 포함한다. 체크 밸브(4)는, 시트(5) 및 이동형 폐쇄 부재(6)를 포함한다. 이동형 폐쇄 부재(6)는, 병진 운동, 회전 운동 또는 조합된 운동에 의해, 변위될 수 있다.

체크 밸브(4)는, 이동형 폐쇄 부재(6)가 시트(5)의 베어링 면과 접촉하며 그리고 펌핑될 가스를 위한 시트(5)의 통로(7)를 폐쇄하는, 폐쇄 위치(도 2) 및, 이동형 폐쇄 부재(6)가 가스를 위한 통로를 개방하도록 시트(5)로부터 이격되는, 개방 위치(도 3)를 취할 수 있다.

체크 밸브(4)는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 양측에서의 압력 차이에 따라 개방될 수 있다. 예를 들어, 체크 밸브(4)는, 펌핑 스테이지에서의 과압의 경우에 개방된다. 상류/하류 압력 차이가 체크 밸브(4)의 부하 임계값 미만일 때, 체크 밸브(4)는 폐쇄되고, 이동형 폐쇄 부재(6)는 가스의 통과를 방지한다. 체크 밸브(4)의 상류/하류 압력 차이가 체크 밸브(4)의 부하 임계값을 초과할 때, 이동형 폐쇄 부재(6)가, 체크 밸브(4)를 통해 펌핑될 가스를 위한 통로를 개방하도록, 시트(5)로부터 분리된다.

진공 펌프(1)는, 예를 들어, 재순환 체크 밸브(4a) 및/또는 적어도 2개의 펌핑 스테이지(1a-1e) 및 적어도 하나의 릴리프 체크 밸브(4b) 및/또는 적어도 하나의 방출 체크 밸브(4c)를 포함한다.

재순환 체크 밸브(4a)(또한 압력 릴리스 체크 밸브로도 지칭됨)는, 하나의 동일한 펌핑 스테이지(1a)의 출력부와 입력부 사이에 연결된다. 체크 밸브는, 펌핑 스테이지(1a)의 입력부와 출력부 사이 압력 차이가 사전 규정된 임계값을 초과하자마자 개방되도록 구성된다. 체크 밸브(4a)의 개방은, 강한 가스 흐름을 펌핑하는 경우에 펌핑될 가스가 동일한 펌핑 스테이지 내에서 재순환하는 것을 가능하도록 한다. 임계값은, 특히 생성된 유량의 비율에 따라 그리고 기계적 안전 설정에 따라, 사전 규정된다. 재순환 체크 밸브(4a)는 또한, 일차적 진공 펌프의 상류에 배치되는, 예를 들어 1개 내지 3개의 펌핑 스테이지의 루츠 진공 펌프의 제1 펌핑 스테이지(1a)의 출력부와 입력부 사이에 배치된다.

릴리프 체크 밸브(4b)는, 예를 들어 대기압에서 챔버의 감압 도중에, 진공 펌프(1)의 전력 소비를 제한하는 가운데 강한 가스 흐름을 흡수하고 정확하게 전달하는 것을 가능하도록 한다. 그것은, 예를 들어, 복수 스테이지 진공 펌프(1)의 제1 또는 제2 펌핑 스테이지(1a, 1b)의 출력부와 같은, 저압 펌핑 스테이지의 출력부에 배치된다. 개방 위치에서, 릴리프 체크 밸브(4b)는, 진공 펌프(1)의 마지막 펌핑 스테이지(1c-1e)를 쇼트시키는 것을 가능하도록 하고, 이는 총 생성 유량을 제한할 수 있다.

방출 체크 밸브(4c)(또한 비복귀 체크 밸브로도 지칭됨)는, 마지막 펌핑 스테이지(1e)의 출력부에, 다시 말해서, 일반적으로 진공 펌프(1)의 소음기의 상류의 복수 스테이지 진공 펌프(1)의 방출부(3)에, 배치된다. 그것은, 진공 펌프(1)에서 펌핑된 가스의 복귀를 회피하는 것을 가능하도록 한다.

체크 밸브(4)의 배치에 관한 모든 경우에, 이동형 폐쇄 부재(6)의 헤드(8)는, 가스의 통로(7)를 차단하도록 구성된다.

도 2 내지 도 4의 예에서, 시트(5)는, 평면 형태를 가지며, 그리고 헤드(8)는, 시트(5)의 통로(7)를 보완하는 원통형 형태를 갖는다. 이동형 폐쇄 부재(6) 및/또는 시트(5)는 또한, 기계적 강도 및 고온에 대한 저항성을 향상시키기 위해, 예를 들어 탄성중합체 재료 또는 실리콘으로 이루어지는, 밀봉 코팅 또는 가스켓(9)을 구비할 수 있다.

체크 밸브(4)는, 이동형 폐쇄 부재(6)를 폐쇄 위치로 잡아당기는, 탄성 복귀 부재(11)를 포함할 수 있다. 탄성 복귀 부재(11)는, 예를 들어, 진공 펌프(1)의 고정자 부분(12)과 이동형 폐쇄 부재(6) 사이에 개재되는 스프링을 포함한다. 또한, 스프링을 사용하지 않는 것 그리고 이동형 폐쇄 부재(6)를 폐쇄 위치로 잡아당기기 위해 중력을 사용하는 것이, 가능하다.

체크 밸브(4)는, 체크 밸브(4)의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 이동형 폐쇄 부재(6)의 변위를 가이드하도록 구성되는, 고정자 부분(12)에 고정되는 적어도 하나의 가이드 요소(13)를 포함할 수 있다.

예시적 실시예에 따르면, 가이드 요소(13)는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 축방향 병진 변위를 가이드하기 위해 이동형 폐쇄 부재(6)의 가이드 격실(14)과 협력하는 막대를 포함한다. 가이드 격실(14)은, 예를 들어, 원통형 캐비티이다. 그것은, 이동형 폐쇄 부재(6)의 중심축에 형성될 수 있다. 탄성 복귀 부재(11)는, 예를 들어, 가이드 요소(13)의 막대 둘레에 배치되고, 상기 막대는 또한, 탄성 복귀 부재(11)의 압축을 가이드한다.

진공 펌프(1)는, 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 시트(5)의 베어링 면 상으로, 및/또는 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로, 및/또는 가이드 요소(13) 상으로, 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 적어도 하나의 분사 채널(10)을 더 구비한다.

정화 가스는, 예를 들어, 질소이다.

정화 가스의 분사는, 그의 작동에 해로울 수 있는 퇴적물의 존재를 방지하기 위해, 체크 밸브(4)를 청소하는 것을 가능하도록 한다. 따라서, 과압의 경우에 체크 밸브(4)의 밀봉 폐쇄 기능 및 개방 기능은, 두 가지 유지보수 기간 사이에서 더 긴 시간 동안 보장될 수 있다.

정화 가스의 분사는, 국부적으로, 시트(5)의 베어링 면, 이동형 폐쇄 부재(6) 및/또는 가이드 요소(13) 상과 같이, 체크 밸브(4)의 활성 부품들 상으로 표적화된다.

정화 가스의 분사는, 연속적일 수 있거나 적시에 표적화될 수 있다. 시간 불연속적 분사는, (펌핑될 가스 유동의 부재 시) 진공 펌프(1)의 펌핑 및 궁극적인 진공 성능 레벨을 방해하지 않는 것을 가능하도록 할 수 있다.

특히, 정화 가스의 분사는, 진공 펌프(1)에 연결된 챔버에서 프로세스가 일어나지 않을 때, 소위 "청소" 단계에서 제어될 수 있다. 이를 위해, 진공 펌프(1)는, 예를 들어, 챔버에서 일어하는 프로세스에 대한 정보를 수신하도록 그리고 이 정보에 기초하여 정화 가스의 분사를 제어하도록 구성되는, 드라이버 유닛을 포함한다.

시간 불연속적 분사는 또한, 사전 규정된 분사 시간에 의해 결정될 수 있다.

다른 예에 따르면, 이러한 불연속적 분사는, 체크 밸브(4) 자체의 운동에 의해 촉발되고, 분사 채널(10)은, 폐쇄 위치에서 이동형 폐쇄 부재(6)에 의해 차단되며 그리고 개방 위치에서 차단 해제되는, 정화 가스를 위한 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 포함한다. 따라서, 체크 밸브(4)는, 셀프 차단되며, 그리고 체크 밸브(4)의 폐쇄는, 정화 가스의 분사를 종료시킨다.

이 실시예는, 분사 채널(10)이, 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 체크 밸브(4)의 시트(5)의 베어링 면 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 경우에, 특히 적합하다.

정화 가스에 의한 베어링 면의 쓸어내기는, 체크 밸브(4)의 긴밀한 폐쇄를 보장하기 위해서 체크 밸브(4)의 폐쇄 위치에서 이동형 폐쇄 부재(6)와 접촉하는 시트(5)의 표면에 입자 또는 퇴적물이 없는 것을 허용한다.

이를 위해, 예를 들어, 진공 펌프(1)는, 가이드 요소(13) 내에 형성되는 제1 채널(16) 및 이동형 폐쇄 부재(6)에 형성되는 적어도 하나의 제2 채널(17)을 포함하는, 분사 채널(10)을 포함한다. 적어도 하나의 제2 채널(17)은, 시트(5)를 지향하도록 배치되는 각각의 분사 오리피스(15)를 통하여 이동형 폐쇄 부재(6)로부터 나온다. 제1 채널 및 제2 채널(16, 17)은, 상호 연통된다. 예를 들어, 시트(5)의 베어링 면의 균일한 청소를 위한 "샤워 헤드"를 형성하도록 하기 위해, 이동형 폐쇄 부재(6)의 둘레에 걸쳐 균등하게 분산되는, 6개 및 10개와 같은, 개개의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 여러 개의 제2 채널(17)이, 존재한다(도 4).

작동 시, 체크 밸브(4)가 폐쇄 위치에 있을 때, 정화 가스를 위한 분사 오리피스(15)는, 이동형 폐쇄 부재(6)에 의해 차단된다.

과압의 경우에, 이동형 폐쇄 부재(6)는, 탄성 복귀 부재(11)에 대해 뒤로 밀리고, 이것은, 체크 밸브(4)를 개방한다. 체크 밸브(4)의 개방은, 펌핑될 가스의 통과를 허용하며 그리고 시트(5)의 베어링 면 상으로의 정화 가스의 분사를 위해 분사 오리피스(15)를 개방한다(도 3). 정화 가스의 분사는, 가이드 요소(13)를 통하여 시트(5)의 베어링 면을 청소한다.

도 5 및 도 6은, 제2 예시적 실시예를 보여준다.

이러한 예에서, 진공 펌프(1)는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 후방 부분(19) 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(18)를 통하여 나오는 분사 채널(10)을 포함한다. 보다 구체적으로, 분사 채널(10)은, 가이드 요소(13) 내에 형성되는 제1 채널(16)을 포함한다. 제1 채널(16)은, 체크 밸브(4)의 폐쇄 위치에서 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로의 정화 가스의 분사를 위해 적어도 하나의 분사 오리피스(18)를 통하여 나온다(도 5).

예를 들어, 제1 채널(16)로부터 나오는 적어도 2개의 직경 방향으로 서로 반대편의 분사 오리피스(18)가 존재한다.

이동형 폐쇄 부재(6)의 후방 부분(19) 상으로의 정화 가스의 분사는, 체크 밸브(4)의 개방을 방지하거나 제한할 수 있는 퇴적물의 축적을 회피하기 위해, 폐쇄 위치에서 이동형 폐쇄 부재(6)를 청소하는 것을 가능하도록 한다.

이동형 폐쇄 부재(6)의 축방향 병진 변위를 가이드하기 위해 이동형 폐쇄 부재(6)의 가이드 격실(14)과 협력하는 막대를 포함하는 가이드 요소(13)의 경우에, 체크 밸브(4)의 폐쇄 위치에서 가이드 요소(13)의 적어도 하나의 분사 오리피스(18)를 통하여 정화 가스를 분사하도록 그리고 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 이동형 폐쇄 부재(6)에서 나오는 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 정화 가스를 분사하도록 서로에 대해 위치설정되는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 가이드 격실(14) 및 가이드 요소(13)의 제1 채널(26)의 적어도 하나의 분사 오리피스(18)를 제공하는 것이, 또한 가능하다.

작동 시, 체크 밸브(4)가 폐쇄 위치에 있을 때(도 5), 정화 가스는, 가이드 요소(13) 내에 형성된 적어도 하나의 제1 분사 오리피스(18)를 통해 분사되고, 이는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 후방 부분(19)을 청소하며 그리고 이동형 폐쇄 부재(6) 상에서 분말 덩어리의 형성을 방지한다. 더욱이, 제2 분사 오리피스(15)는, 시트(5)와 접촉하는 이동형 폐쇄 부재(6)에 의해 차단된다.

과압의 경우에, 이동형 폐쇄 부재(6)는, 탄성 복귀 부재(11)에 대해 뒤로 밀리며, 이는 체크 밸브(4)를 개방시킨다(도 6). 체크 밸브(4)의 개방은, 펌핑될 가스의 통과를 허용하고, 시트(5) 상으로 정화 가스를 분사하도록 제2 분사 오리피스(15)를 개방하며 그리고 제1 분사 오리피스(18)를 폐쇄한다.

따라서, 정화 가스의 분사는, 체크 밸브(4)가 개방될 때 시트(5)의 베어링 면을 청소하도록 또는 체크 밸브(4)가 폐쇄될 때 이동형 폐쇄 부재(6)의 후방 부분(19)을 청소하도록, 체크 밸브(4)의 위치에 따라 구분된다.

도 7은 분사 채널(10)이 진공 펌프(1)의 고정자 부분(12)에 위치(고정)되는, 제3 예시적 실시예를 도시한다.

진공 펌프(1)는, 체크 밸브(4)가 개방 위치에 있을 때, 시트(5)의 평면형 베어링 면과 이동형 폐쇄 부재(6)의 상보적 평면형 표면을 분리하는 평면에 접선 방향으로, 체크 밸브(4)의 시트(5) 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 분사 채널(10)을 포함한다. 접선 방향으로 정화 가스의 분사는, 체크 밸브(4)의 긴밀한 폐쇄를 보장하도록 시트(5)의 베어링 면을 청소하는 것을 가능하도록 한다.

진공 펌프(1)는 또한, 가이드 요소(13)의 막대를 따라 정화 가스를 보내도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 분사 채널(10)을 포함할 수 있고, 이는, 필요한 경우, 이동형 폐쇄 부재(6)의 그리고 탄성 복귀 부재(11)의 가이드 기능을 보장하는 것을 가능하도록 한다.

진공 펌프(1)는 또한, 체크 밸브(4) 상에서 분말의 축적을 방지하기 위해, 특히 폐쇄 위치에서, 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 분사 채널(10)을 포함할 수 있다. 정화 가스의 분사는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 후방 부분(19)의 표면에 직각으로 또는 접선 방향으로 수행될 수 있다.

정화 가스의 분사는, 연속적일 수 있거나 또는 적시에 표적화될 수 있다. 예를 들어, 정화 가스의 분사는, 소위 "청소" 단계에서 제어되거나, 또는 사전 규정된 분사 시간에 의해 결정된다.

적어도 하나의 분사 채널(10)은, 소용돌이치는 정화 가스를 분사하도록 구성될 수 있다(도 8).

가스의 소용돌이 효과는, 하나 이상의 분사 오리피스(15)의 특정 배향과 고정자 부분(12)의 적어도 부분적으로 원형의 또는 원통형의 기하학적 구조의 조합에 의해, 획득될 수 있다. 소용돌이치는 정화 가스는, 청소를 개선하는 것을 가능하도록 한다.

소용돌이치는 가스는, 체크 밸브(4)가 개방 위치에 있을 때 시트(5)의 평면형 베어링 면과 이동형 폐쇄 부재(6)의 상보적 평면형 표면을 분리하는 평면에 접선 방향으로, 체크 밸브(4)의 시트(5) 상으로 분사될 수 있다. 소용돌이치는 가스는 또한, 가이드 요소(13) 둘레에 또는 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로 분사될 수 있다.

도 9는 제4 예시적 실시예를 도시한다.

가이드 요소(13)가 이동형 폐쇄 부재(6)의 축방향 병진 변위를 가이드하기 위해 이동형 폐쇄 부재(6)의 가이드 격실(14)과 협력하는 막대를 포함하는 이러한 예에서, 진공 펌프(1)는, 가이드 요소(13)의 막대를 따라 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통해 나오는 분사 채널(10)을 포함한다. 예를 들어, 막대 및/또는 이동형 폐쇄 부재(6)의 가이드 격실(14)은, 이를 위해, 정화 가스의 가이드를 위해 분사 채널(10)과 연통되는 나선형 홈(20)을 구비한다. 이러한 실시예는, 체크 밸브(4)의 이동성을 방해할 수 있는 체크 밸브(4)의 가이드 표면들 상에서의 퇴적을 회피하는 것을 가능하도록 한다. 정화 가스의 분사는, 가이드 격실(14) 내에서의 막대의 용이한 슬라이딩을 보장하는 것을 가능하도록 한다. 정화 가스는, 체크 밸브(4)의 개방 및/또는 폐쇄 위치에서 분사될 수 있다.

도 2 내지 도 9는, 일반적으로 원통형의 2-스테이지 형태의 이동형 폐쇄 부재(6) 및 평면형 시트(5)를 도시하지만, 다른 실시예들이 가능하다. 특히, 이동형 폐쇄 부재(6)는, 구형 또는 부분적으로 구형일 수 있으며, 또는 테이퍼형 또는 부분적으로 테이퍼형의 헤드를 가질 수 있고, 그리고 시트(5)는 테이퍼형일 수 있다. 이동형 폐쇄 부재는 또한, 플레이트 형태와 같은 대체로 평면형의 형태를 가질 수 있으며 그리고 이동형 폐쇄 부재의 회전 가이드 요소들을 통하여 체크 밸브의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 선회시킴으로써 변위될 수 있다.

도 10 및 도 11은, 그의 헤드(8)가 폐쇄 위치에서 시트(5)의 통로(7)를 차단하도록 테이퍼형 시트(5)를 보완하는 테이퍼형 플랭크(21)를 구비하는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 다른 예를 도시한다.

이러한 예에서, 분사 채널(10)은, 체크 밸브(4)의 폐쇄 위치에서 통로(7)를 차단하는 이동형 폐쇄 부재(6)의 헤드(8)의 테이퍼형 플랭크(21) 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나온다. 분사 채널(10)은, 예를 들어, 진공 펌프(1)의 고정자 부분(12) 내에 형성된다. 진공 펌프(1)는, 예를 들어, 충분한 유량을 분사하도록 구성되는, 단일 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 단일 분사 채널(10)을 포함하거나(도 10), 또는 진공 펌프(1)는, 이동형 폐쇄 부재(6)의 헤드(8)의 서로 등지는 측면들 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 여러 개의 더 작은 분사 채널(10)을 포함한다(도 11).

분사 채널(10)은, 체크 밸브의 변위의 축 방향에 대해 직각인 방향으로(도 10) 또는 이동형 폐쇄 부재(6)의 헤드(8)의 테이퍼형 플랭크(21)에 대해 직각인 방향으로(도 11), 정화 가스를 분사하도록 구성될 수 있다.

Claims

진공 펌프(1)로서,
- 2개의 회전자가 그 내부에서 펌핑될 가스를 구동하기 위해 반대 방향으로 동기식으로 회전하도록 구성되는, 적어도 하나의 펌핑 스테이지(1a-1e),
- 시트(5) 및 이동형 폐쇄 부재(6)를 포함하는 적어도 하나의 체크 밸브(4)로서, 체크 밸브(4)는, 상기 이동형 폐쇄 부재(6)가 상기 시트(5)의 통로(7)를 폐쇄하는 폐쇄 위치 및 상기 이동형 폐쇄 부재(6)가 상기 통로(7)를 개방하는 개방 위치를 취할 수 있고, 상기 이동형 폐쇄 부재(6) 양측의 압력 차이는, 상기 체크 밸브(4)를 개방할 수 있는 것인, 체크 밸브
를 포함하는 것인, 진공 펌프(1)에 있어서,
진공 펌프(1)는,
- 상기 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 상기 시트(5)의 베어링 면 상으로, 및/또는
- 상기 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로, 및/또는
- 상기 체크 밸브(4)의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 변위를 가이드하도록 구성되는 진공 펌프(1)의 고정자 부분(12)에 고정되는 적어도 하나의 가이드 요소(13) 상으로,
정화 가스를 분사하도록 구성되는 적어도 하나의 분사 오리피스(15; 18)를 통하여 나오는 적어도 하나의 분사 채널(10)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항에 있어서,
상기 분사 채널(10)은, 상기 폐쇄 위치에서 상기 이동형 폐쇄 부재(6)에 의해 차단되며 그리고 상기 개방 위치에서 차단 해제되는, 정화 가스를 위한 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 및 제2항 중 한 항에 있어서,
진공 펌프는, 상기 가이드 요소(13) 내에 형성되는 제1 채널(16)을 포함하는 분사 채널(10)을 포함하고, 상기 제1 채널(16)은, 상기 체크 밸브(4)의 폐쇄 위치에서 상기 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로의 정화 가스의 분사를 위해 적어도 하나의 분사 오리피스(18)를 통하여 나오는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제3항에 있어서,
진공 펌프는, 상기 가이드 요소(13) 내에 형성되는 제1 채널(16) 및 상기 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 상기 이동형 폐쇄 부재(6) 내에 형성되는 적어도 하나의 제2 채널(17)을 포함하는, 분사 채널(10)을 포함하고, 상기 적어도 하나의 분사 오리피스(15)는, 상기 시트(5)를 지향하도록 배치되며, 상기 제1 채널(16) 및 상기 제2 채널(17)은, 서로 연통되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제4항 중 한 항에 있어서,
상기 가이드 요소(13)는, 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 병진 변위를 가이드하기 위해 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 가이드 격실(guiding envelope)(14)과 협력하는 막대를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제3항, 제4항 및 제5항에 있어서,
상기 가이드 요소(13)의 상기 막대의 상기 제1 채널(16)의 적어도 하나의 분사 오리피스(18) 및 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 상기 가이드 격실(14)은:
- 정화 가스가 상기 체크 밸브(4)의 폐쇄 위치에서 상기 막대의 적어도 하나의 분사 오리피스(18)를 통하여 분사될 수 있는 방식으로, 그리고
- 정화 가스가 상기 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 상기 이동형 폐쇄 부재(6)로부터 나오는 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 분사될 수 있는 방식으로,
서로에 대해 위치설정되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제5항 및 제6항 중 한 항에 있어서,
진공 펌프는, 상기 막대를 따라 정화 가스를 분사하도록 구성되는 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 분사 채널(10)을 포함하고, 상기 막대 및/또는 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 상기 가이드 격실(14)은, 정화 가스의 가이드를 위해 상기 분사 채널(10)과 연통되는 나선형 홈(20)을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제7항 중 한 항에 있어서,
진공 펌프는, 상기 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 상보적 평면형 면과 상기 시트(5)의 평면형 베어링 면을 분리하는 평면으로 접선 방향으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는, 적어도 하나의 분사 오리피스(15)를 통하여 나오는 분사 채널(10)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제7항 중 한 항에 있어서,
상기 분사 채널(10)은, 상기 체크 밸브(4)의 폐쇄 위치에서 상기 통로(7)를 차단하는 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 헤드(8)의 테이퍼형 플랭크(21) 상으로 정화 가스를 분사하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제9항 중 한 항에 있어서,
적어도 하나의 분사 채널(10)은, 소용돌이치는 정화 가스를 분사하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제10항 중 한 항에 있어서,
상기 체크 밸브(4)는, 상기 이동형 폐쇄 부재(6)를 상기 폐쇄 위치로 잡아당기는 탄성 복귀 부재(11)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제11항 중 한 항에 있어서,
진공 펌프는, 적어도 2개의 펌핑 스테이지(1a-1e)를 포함하고, 상기 체크 밸브(4)는, 제1 또는 제2 펌핑 스테이지(1a, 1b)의 출력부에 배치되는, 릴리프 체크 밸브(4a)인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제11항 중 한 항에 있어서,
진공 펌프는, 적어도 2개의 펌핑 스테이지(1a-1e)를 포함하고, 상기 체크 밸브(4)는, 마지막 펌핑 스테이지(1e)의 출력부에 배치되는, 방출 체크 밸브(4c)인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제11항 중 한 항에 있어서,
상기 체크 밸브(4)는, 제1 펌핑 스테이지(1a)의 출력부와 입력부 사이에 연결되는, 재순환 체크 밸브(4a)인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
제1항 내지 제14항 중 한 항에 따른 진공 펌프(1) 내로 정화 가스를 분사하는 방법으로서,
정화 가스는, 체크 밸브(4)의 개방 위치에서 시트(5)의 베어링 면 상으로, 및/또는 이동형 폐쇄 부재(6) 상으로, 및/또는 상기 체크 밸브(4)의 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 이동형 폐쇄 부재(6)의 변위를 가이드하도록 구성되는 상기 진공 펌프(1)의 고정자 부분(12)에 고정되는 가이드 요소(13) 상으로, 분사되는 것을 특징으로 하는 방법.