DE112005001928T5 - Selbstreinigender unterer Kontakt - Google Patents

Selbstreinigender unterer Kontakt Download PDF

Info

Publication number
DE112005001928T5
DE112005001928T5 DE112005001928T DE112005001928T DE112005001928T5 DE 112005001928 T5 DE112005001928 T5 DE 112005001928T5 DE 112005001928 T DE112005001928 T DE 112005001928T DE 112005001928 T DE112005001928 T DE 112005001928T DE 112005001928 T5 DE112005001928 T5 DE 112005001928T5
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
contact
contact element
housing
component
extendable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE112005001928T
Other languages
English (en)
Inventor
Douglas J. Beaverton Garcia
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Electro Scientific Industries Inc
Original Assignee
Electro Scientific Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Electro Scientific Industries Inc filed Critical Electro Scientific Industries Inc
Publication of DE112005001928T5 publication Critical patent/DE112005001928T5/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07CPOSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/34Sorting according to other particular properties
    • B07C5/344Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06705Apparatus for holding or moving single probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

Abstract

In einer Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile, die einen ersten und einen zweiten Kontakt umfasst, die räumlich ausgerichtet sind, um während eines Testprozesses ein elektrisches Bauteil elektrisch zu kontaktieren, das durch eine Testplatte übergeben wird, die das elektrische Bauteil zu und von einem Bauteilhandhabungsvorrichtungs-Testbereich transportiert, wobei die Testplatte eine Oberfläche aufweist, die benachbart zum ersten Kontakt angeordnet ist, die Verbesserung, die umfasst:
den ersten Kontakt mit einem Gehäuse und einem ausfahrbaren Kontaktelement, das aus dem Gehäuse heraus beweglich ist, wobei das ausfahrbare Kontaktelement einen Endabschnitt umfasst, der in einer Kontaktspitze endet; und
einen Vorspannungsmechanismus, der eine Kraft auf die Kontaktspitze aufbringt, um die Kontaktspitze gegen das elektrische Bauteil zu drücken, wenn es dem Testprozess unterzogen wird, und gegen die erste Oberfläche der Testplatte zu drücken, wenn sie das elektrische Bauteil transportiert, wobei das Drücken der Kontaktspitze gegen die erste Oberfläche zur Entfernung von Verunreinigungsmaterial, das von der Kontaktspitze...

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die Erfindung betrifft Handhabungsvorrichtungen für elektrische Bauteile, die elektrische Schaltungsbauteile testen, und insbesondere einen selbstreinigenden unteren Kontakt zur Verwendung in einer Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Handhabungsvorrichtungen für elektrische Bauteile empfangen elektrische Schaltungsbauteile, z.B. keramische Kondensatoren, übergeben die elektrischen Schaltungsbauteile an ein elektronisches Testgerät zum Testen und sortieren die elektrischen Schaltungsbauteile gemäß den Ergebnissen des Tests. Eine beispielhafte Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile ist im US-Patent Nr. 5 842 579, Garcia et al. ('579-Patent), beschrieben, das auf Electro Scientific Industries, Inc., den Anmelder der vorliegenden Patentanmeldung, übertragen wurde. Die Konstruktions- und Betriebsvorteile der Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile des '579-Patents umfassen (1) die Beseitigung des manuellen Absetzens von Komponenten für Testzwecke und der manuellen Sortierung; (2) die Fähigkeit, eine größere Menge von Komponenten pro Einheitszeit zu handhaben als Handhabungsvorrichtungen für elektrische Bauteile des Standes der Technik handhaben können; (3) die Fähigkeit, einen willkürlich orientierten Haufen von Bauteilen zu nehmen und sie korrekt zu orientieren; (4) die Fähigkeit, die Bauteile an ein Testgerät in Vielfachen zu übergeben; und (5) die Fähigkeit, die getesteten Teile in eine Vielzahl von Empfangs- oder Sortierbehälter zu sortieren.
  • 1 ist eine bildhafte Zeichnung einer Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile, wie im '579-Patent beschrieben. In der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile werden ein oder mehrere konzentrische Ringe 3 von Bauteilsitzen 4, die in einer ringförmigen Testplatte 5 ausgebildet sind, in einer Richtung im Uhrzeigersinn um eine Drehtischnabe 6 gedreht. Wenn sich die Testplatte 5 dreht, laufen die Bauteilsitze 4 unter einem Bestückungsbereich 10, einem Kontaktkopf 11 von fünf Kontaktmodulen 12 (zwei in 1 gezeigt) und einem Auswurfrohrverteiler 13 vorbei. Im Bestückungsbereich 10 werden elektrische Schaltungsbauteile oder getestete Bauelemente (DUTs) 14 (3) in konzentrische Ringe 3 gegossen, was bewirkt, dass nicht abgesetzte DUTs 14 willkürlich taumeln, bis sie in Testplattensitzen 4 abgesetzt werden. Die DUTs 14 werden dann unter dem Kontaktkopf 11 gedreht und jedes DUT 14 wird elektrisch kontaktiert und auf Parameter getestet. Sobald die DUTs 14 getestet wurden, wirft der Auswurfrohrverteiler 13 die DUTs 14 durch Luftstöße von selektiv betätigten, räumlich ausgerichteten pneumatischen Ventilen aus ihren Sitzen aus. Ausgeworfene DUTs 14 werden vorzugsweise durch Auswurfröhren 15a in Sortierbehälter 15b gelenkt.
  • 2 und 3 zeigen einen Kontaktkopf 11 des Standes der Technik des '579-Patents genauer. Insbesondere zeigt 2 eine bildhafte Zeichnung des Kontaktkopfs 11 mit weniger als einem vollständigen Komplement von Kontaktmodulen 12, die daran montiert sind; und 3 ist eine bruchstückhafte Schnittansicht entlang der Linien 3-3 von 2 in Nebeneinanderstellung mit einer bruchstückhaften Querschnittsansicht eines DUT 14, das in der Testplatte 5 sitzt. Mit Bezug auf 2 und 3 umfasst das Kontaktmodul 12 eine Vielzahl von oberen Kontakten 16 und unteren Kontakten 18 (wobei jeweils einer in 3 gezeigt ist) zum Koppeln des DUT 14 mit der Testplatte 5. Die oberen Kontakte 16 sind elastisch, flache, freitragende Metalllamellen mit geneigten, länglichen Spitzen, die in einem flachen Winkel von der Testplatte 5 wegstehen. Die oberen Kontakte 16 biegen sich geringfügig, wenn sie auf abgesetzte DUTs 14 treffen, um eine Abwärtskontaktkraft vorzusehen, die weitgehend durch die Dicken und/oder Endbreiten der Lamellen vorgegeben ist. Die länglichen Spitzen verhindern, dass abgesetzte DUTs 14 aus ihren Sitzen springen (infolge eines ""Flohhüpf"-Effekts), wenn die Lamellen über die Hinterkanten der DUTs 14 laufen, wenn sich die Testplatte 5 vorwärts bewegt. Die Spitzen der oberen Kontakte 16 können mit einer Metalllegierung beschichtet sein, um den Kontaktwiderstand zu minimieren.
  • Die unteren Kontakte 18 sind typischerweise stationäre Kontakte in Form von Zylindern. Wie in 4 gezeigt, ist ein beispielhafter unterer Kontakt 18 des Standes der Technik ein länglicher Zylinder mit oberen und unteren planaren Oberflächen, einem zentralen leitenden Kern 22 und einer elektrisch isolierenden äußeren Hülse 24. Der untere Kontakt 18 erstreckt sich durch Löcher 30, die in einer Vakuumplatte 32 ausgebildet sind und zwischen benachbarte Vakuumkanäle 34 gesetzt sind, so dass der untere Kontakt 18 auf seinen entsprechenden oberen Kontakt 16 und seinen entsprechenden Bauteilsitzring 3 ausgerichtet ist. Ein Basiselement 36, das unter der Vakuumplatte 32 angeordnet ist, umfasst eine nach oben vorstehende Wand 38, die aus zusammenhängenden zylindrischen bogenförmigen Ausschnittsegmenten 40 gebildet ist, die eine Reihe von Zylindern 18 aufnehmen. Ein lösbarer Klemmmechanismus 42 schiebt die äußeren Hülsen 24 der unteren Kontakte 18 gegen ihre zugehörigen bogenförmigen Ausschnittsegmente 40 der Wand 38 und steckt sie dadurch fest, um ihre Orientierung zur Testplatte 5 senkrecht zu halten. Für jede Reihe von unteren Kontakten 18 ist folglich ein Klemmmechanismus und eine Feststeckwand vorhanden. Eine entsprechende Vielzahl von durch eine Feder vorgespannten Stiftkontakten 44 (z.B. "Pogo"-Stifte) erstreckt sich durch eine Vielzahl von Schlitzen (nicht dargestellt) in der Unterseite des Basiselements 36, um einen elektrischen Kontakt mit den zentralen Kernen 22 der unteren Kontakte 18 herzustellen. Es ist ein Basisschlitz für jede Reihe von unteren Kontakten vorhanden. Die Stiftkontakte 44 sind vorzugsweise der Länge nach durch ihre durch eine Feder vorgespannten Enden in Haltern 46 montiert, vier für jeden Halter, um sie an eine Reihe von unteren Kontakten 18 anzupassen. Jeder Halter 46 ist in einem anderen Basisschlitz befestigt. Die Stiftkontakte 44 sind mit der Testgerätelektronik über Drähte 48 gekoppelt.
  • Der Kontaktkopf 11 umfasst fünf Kontaktmodule 12. Dieses Ausführungsbeispiel umfasst 20 obere Kontakte 16, fünf für jeden Ring 3 von Bauteilsitzen 4. Jeder von 20 unteren Kontakten 18 ist auf der entgegengesetzten Seite der Testplatte 5 und auf einen anderen der 20 oberen Kontakte 16 ausgerichtet angeordnet, wie in 3 für ein Paar von oberen und unteren Kontakten angegeben. Folglich umfasst der Kontaktkopf 11 ein vollständiges Komplement von Kontaktmodulen 12, wobei die Anschlüsse von 20 DUTs 14 gleichzeitig kontaktiert werden können, wodurch gleichzeitig alle 20 von ihnen mit der Testplatte 5 gekoppelt werden.
  • Die oberen und unteren Kontakte 16 und 18 der Kontaktmodule 12 werden während des Betriebs der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile verunreinigt. Beispielhafte Verunreinigungsquellen umfassen Reibungspolymerisation; externe Trümmer, wie z.B. Materialablagerungen von vorher getesteten Bauelementen; und natürlich vorkommende Oxidbildung auf der Kontaktoberfläche. Außerdem liegt eine gewisse Menge von Trümmern, wie z.B. zerbrochene Bauelemente, Plattierungsmedien oder Fragmente von feuerfesten Trägern, typischerweise in oder auf DUTs 14 vor. Die Trümmer werden häufig in das Testsystem eingeführt und anschließend in Kontakt mit den unteren Kontakten 18 angeordnet. Die Verunreinigung von oberen und unteren Kontakten 16 und 18 erzeugt eine Kontaktwiderstandsänderung, die sich zur tatsächlichen Widerstandsmessung für jedes DUT 14 addiert. Diese Verunreinigung der oberen und unteren Kontakte 16 und 18 führt zur Verwerfung von annehmbaren DUTs 14, was zu einem Ausbeuteverlust und zu einer Verringerung der mittleren Zeit zwischen Unterstützungen (MTBA), die der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile zugeordnet ist, führt. Wenn stationäre untere Kontakte 18 in der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile verwendet werden, werden etwa 5,89% von DUTs 14 fälschlich verworfen.
  • Folglich ist eine periodische Reinigung der oberen und unteren Kontakte 16 und 18 erforderlich, um eine genaue DUT-Messung zu erleichtern. Das üblichste Verfahren des Standes der Technik zum Reinigen der oberen und unteren Kontakte 16 und 18 hat das Stoppen des Betriebs der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile und das mechanische Reinigen der oberen und unteren Kontakte 16 und 18 zur Folge. Das Stoppen der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile führt jedoch zu einer verlorenen Produktivität und verringert den Maschinendurchsatz durch Verringern der MTBA.
  • Ein weiteres Verfahren des Standes der Technik zum Entfernen einer Verunreinigung und von Trümmern hat die Verwendung von Blockierungssensoren oder Blockierungsbeseitigungsmechanismen zur Folge. Die Implementierung dieser zusätzlichen Vorrichtung erhöht die Herstellungs- und Reparaturkosten sowie die mechanische Komplexität der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile.
  • Folglich besteht ein Bedarf für eine Vorrichtung, die in der Lage ist, ein wirksames und effizientes Verfahren zum Reinigen der Kontakte einer Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile auszuführen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung ist eine Vorrichtung, die ein wirksames und zweckmäßiges Verfahren zum Reinigen eines unteren Kontakts einer Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile während ihres Betriebs ausführt und dadurch einen Ausbeuteverlust und die Erhöhung der MTBA, die der Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile zugeordnet ist, verringert.
  • Eine bevorzugte Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile umfasst einen Kontaktkopf mit mehreren Sätzen von zugehörigen oberen und unteren Kontakten. Der obere Kontakt und der untere Kontakt in jedem Satz sind räumlich ausgerichtet, um die Anschlüsse eines einzelnen DUT elektrisch zu kontaktieren. Jedes DUT wird in eine Testplatte abgesetzt, die das DUT zu und aus dem mindestens einen Testbereich in der Bauteilhandhabungsvorrichtung transportiert. Die Testplatte besitzt eine obere und eine untere Oberfläche, die benachbart zu den oberen bzw. unteren Kontakten angeordnet sind. Der obere Kontakt übt eine Abwärtskraft gegen die obere Oberfläche der Testplatte, wenn sie das DUT transportiert, und gegen einen Anschluss des DUT, wenn es einem Testprozess unterzogen wird, aus. Der untere Kontakt umfasst ein Gehäuse und ein ausfahrbares Kontaktelement. Das Gehäuse ist vorzugsweise aus einem elektrisch isolierenden Material gebildet und das ausfahrbare Kontaktelement ist in das und aus dem Gehäuse beweglich und besitzt einen Endabschnitt, der in einer Kontaktspitze endet. Ein Vorspannungsmechanismus bringt eine Kraft auf die Kontaktspitze auf, um die Kontaktspitze gegen einen Anschluss des DUT zu drücken, wenn es dem Testprozess unterzogen wird, und gegen die untere Oberfläche der Testplatte zu drücken, wenn sie das DUT transportiert. Das Drücken der Kontaktspitze gegen die untere Oberfläche der Testplatte trägt zum Halten des DUT in einer Messposition und zum Entfernen von Verunreinigungsmaterial, das von der Kontaktspitze während des Betriebs der Bauteilhandhabungsvorrichtung aufgenommen wird, bei. Ein oberer Kontakt vom Rollentyp vermeidet einen Bedarf zum Reiben an der oberen Oberfläche der Testplatte, um den oberen Kontakt von Verunreinigungsmaterial frei zu halten.
  • Zusätzliche Aspekte und Vorteile dieser Erfindung sind aus der folgenden ausführlichen Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen ersichtlich, die mit Bezug auf die zugehörigen Zeichnungen vor sich geht.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine bildhafte Ansicht einer beispielhaften Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile des Standes der Technik.
  • 2 ist eine bildhafte Ansicht einer Kontaktkopfanordnung des Standes der Technik, an der weniger als ein vollständiges Komplement von Kontaktmodulen montiert sind.
  • 3 ist eine bruchstückhafte Schnittansicht entlang der Linien 3-3 von 2 in Nebeneinanderstellung mit einer bruchstückhaften Querschnittsansicht eines in einer Testplatte sitzenden DUT.
  • 4 ist eine bildhafte Ansicht der Testplatte der Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile des Standes der Technik von 1.
  • 5A ist eine isometrische bruchstückhafte Ansicht von Test- und Vakuumplatten, wobei Teile weggebrochen sind, um ein DUT in der Position zwischen oberen und unteren Kontakten zu zeigen, um es einer Testmessung zu unterziehen. 5B ist eine vergrößerte, bruchstückhafte Seitenaufrissansicht, die teilweise im Querschnitt den unteren Kontakt zeigt, der am DUT angeordnet ist, das der in 5A dargestellten Testmessung unterzogen wird. 5C ist eine vergrößerte, bruchstückhafte, isometrische Ansicht des DUT in der Position zwischen den oberen und unteren Kontakten, um es der in 5A dargestellten Testmessung zu unterziehen.
  • 6 ist eine bruchstückhafte Seitenaufrissansicht, die teilweise im Querschnitt die Anordnung der Test- und Vakuumplatten und Bauteile des unteren Kontakts zeigt, wie dieser und ein oberer Kontakt vom Rollentyp ein DUT in der Position in einem Testplattensitz halten.
  • 7A ist eine isometrische Ansicht eines doppelseitigen, elastischen unteren Kontakts, der gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung konfiguriert ist, und 7B ist eine Schnittansicht entlang der Linien 7B-7B von 7A.
  • 8 ist eine isometrische Ansicht eines doppelseitigen, unelastischen unteren Kontakts, der gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung konfiguriert ist.
  • 9A und 9B sind ein inneres Detail offenbarende isometrische Ansichten eines durchgezogenen Modells bzw. einer Durchsichtlinie eines geschlitzten, ausfahrbaren Kontaktelements, das in ein Gehäuse eines unteren Kontakts einer einteiligen Konstruktion eingesetzt ist.
  • 10A, 10B und 10C sind isometrische Ansichten eines oberen Teils in auseinandergezogener Anordnung, zusammengefügt bzw. vergrößert, von einem Gehäuse eines unteren Kontakts mit mehrteiliger Konstruktion.
  • 11A, 11B und 11C sind isometrische Ansichten in durchgezogenem Modell, eines vergrößerten Abschnitts bzw. teilweise aufgeschnitten von einem Ausführungsbeispiel eines unteren Kontakts zur Verwendung bei Kelvin-Verbindungs-Messungen mit vier Anschlüssen.
  • 12 ist eine isometrische Ansicht eines gemeinsamen Gehäuses für mehrere Kontaktelemente.
  • 13A und 13B sind bruchstückhafte isometrische Ansichten, wobei Teile weggeschnitten sind, welche jeweils eine Vakuumplatte und ein Basiselement mit einer nach oben vorstehenden Wand zeigen, die zum Aufnehmen des gemeinsamen Gehäuses von 12 modifiziert ist.
  • 14A und 14B sind bruchstückhafte isometrische Ansichten eines unteren Kontakts ähnlich zu jenem von 8, der zwischen Komponenten eines optischen Kontaktverschleißsensors mit einem Kontaktelement mit nominaler Betriebslänge bzw. verkürzter Länge, die sich durch übermäßigen Verschleiß ergibt, angeordnet ist.
  • Ausführliche Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen
  • Ein selbstreinigender unterer Kontakt 100, der gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung konstruiert ist, kann verwendet werden, um elektrische Messungen von elektrischen Miniatur-Schaltungsbauteilen oder getesteten Bauelementen (DUTs) 14 in einem Hochgeschwindigkeits-Messsystem, wie z.B. einem Multifunktionstester des Modells 3340, der von Electro Scientific Industries, Inc., in Portland, Oregon, hergestellt wird, durchzuführen. 5A, 5B, 5C und 6 zeigen die allgemeine Konstruktion des unteren Kontakts 100 und seine Funktionsbeziehung zu einem oberen Kontakt 102. Der untere Kontakt 100 ist auf einen entsprechenden oberen Kontakt 102 räumlich ausgerichtet. DUTs 14 werden in die Testplatte 5 abgesetzt, die zwischen dem unteren Kontakt 100 und dem oberen Kontakt 102 angeordnet ist. Der untere Kontakt 100 ist aus einem elektrisch isolierenden zylindrischen Gehäuse 104 mit einer im Wesentlichen planaren oberen Stirnfläche 106 und einer im Wesentlichen planaren unteren Stirnfläche 108 gebildet. Ein ausfahrbares Kontaktelement 110 ist in einer inneren Öffnung 112 des Gehäuses 104 und aus der oberen Oberfläche 106 heraus beweglich. Die innere Öffnung 112 ist vorzugsweise ein zentral angeordneter Schlitz mit im Allgemeinen rechteckigem Querschnitt, der sich entlang der gesamten Länge des Gehäuses 104 erstreckt. Das Kontaktelement 110 besitzt einen Endabschnitt 114, der in einer Kontaktspitze 116 endet, die einen Anschluss 118 des DUT 14 kontaktiert, wenn es einem Testprozess unterzogen wird. Die Innenwände, die den Längsschlitz 112 innerhalb des Gehäuses 104 festlegen, sehen Lagerflächen für den Endabschnitt 114 vor, an denen er sich bewegt, um eine geradlinige Bewegung des Kontaktelements 110 entlang einer Längsachse 120 des Gehäuses 104 zu unterstützen.
  • Ein Vorspannungsmechanismus 130 mit beispielsweise einem federbelasteten Stift ("Pogo-Stift") 44 bringt eine Kraft auf das Ende des Kontaktelements 110 auf, das weiter vom Anschluss 118 des DUT 14 entfernt angeordnet ist. Der Vorspannungsmechanismus 130 drückt die Kontaktspitze 116 gegen den Anschluss 118 des DUT 14, wenn es dem Testprozess unterzogen wird, und gegen eine untere Oberfläche 134 der Testplatte 5, wenn sie das DUT 14 zu und von verschiedenen entsprechenden Paaren von oberen und unteren Kontakten 116 und 118 transportiert. Der obere Kontakt 102 besteht aus einem elastischen, flachen, freitragenden Metallarm 136, wobei ein Ende an einem Stützmodul (nicht dargestellt) befestigt ist und das entgegengesetzte Ende in einem durch eine Feder vorgespannten Rollenkontakt 140 endet, der einen Anschluss 138 des DUT 14 kontaktiert. Der obere Kontakt 116 ist von einem Rollradtyp, der im US-Patent Nr. 6 040 705 beschrieben ist, das auf den Anmelder dieser Patentanmeldung übertragen wurde.
  • Wenn sich die Testplatte 5 vorwärts bewegt, um das DUT 14 mit der Kontaktspitze 116 des unteren Kontakts 100 in physikalischen Kontakt zu bringen, gleitet die untere Oberfläche 134 der Testplatte 5 über zumindest einen Teil der Kontaktspitze 116, wobei sie herabgedrückt wird, so dass sie mit der oberen Oberfläche 106 des Gehäuses 104 bündig ist. Die Aufwärtskraft hält die Kontaktspitze 116 mit der unteren Oberfläche 134 der Testplatte 5 und dem Anschluss 118 des DUT 14 während des Testens in physikalischem Kontakt. Wenn das Testen vollendet ist, wird die Position der Testplatte 5 vorgeschoben (um das nächste DUT 14 dem unteren und dem oberen Kontakt 100 und 102 zum Testen zu präsentieren) und die Aufwärtskraft bewirkt, dass die Kontaktspitze 116 an der unteren Oberfläche 134 der Testplatte 5 reibt. Folglich werden Verunreinigungen oder Oxide von der Kontaktspitze 116 abgerieben, so dass sie während des Betriebs der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile selbstgereinigt wird, wodurch der Bedarf für ein kostspieliges und zeitaufwändiges Abschalten der Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile zum Reinigen des unteren Kontakts 100 beseitigt wird.
  • Die Kontaktspitze 116 wird einer Verschleißentfernung von Kontaktspitzenmaterial unterzogen, was zu einer fortschreitenden Verkürzung des Kontaktelements 110 führt, wenn die Testplatte 5 das DUT transportiert. Der Endabschnitt 114 des Kontaktelements 110 liegt vorzugsweise in Form einer flachen Klinge vor und die Kontaktspitze 116 kann durch automatisiertes Stanzen eines photochemischen oder sehr leitenden Materials, wie z.B. festen Münzensilbers (90 Gew.-% Ag, 10 Gew.-% Cu) oder unlegierten weichen Kupfers, ausgebildet werden. Das Kontaktelement 110 und die Kontaktspitze 116 werden vorzugsweise aus demselben Material hergestellt, aber die Kontaktspitze 116 könnte durch Abscheiden von Material mit geeigneten Verschleißeigenschaften auf dem Endabschnitt 114 aus einem anderen Material ausgebildet werden. Die Kontaktspitze 116 besitzt eine brauchbare Tiefe von etwa 3,8 mm (0,15 In) und besitzt eine abgeschrägte Vorderkante 144, um sicherzustellen, dass sich der Anschluss 118 des DUT 14 nicht an der Kontaktspitze 116 verfängt, wenn die Testplatte 5 das DUT 14 in seine Messposition zwischen dem unteren und dem oberen Kontakt 100 und 102 vorwärts befördert. Eine leitende Beschichtung wie z.B. Gold, Silber oder Rhodium kann auf die Kontaktspitze 116 aufgebracht werden, um ihre Beständigkeit gegen Oxidation während der Lagerung zu erhöhen.
  • Um zu verhindern, dass die Aufwärtskraft das DUT 14 aus der Testplatte 5 auswirft, kann eine Abwärtskraft, die größer ist als die Aufwärtskraft, gleichzeitig auf oder durch die Testplatte 5 gegen den unteren Kontakt 100 ausgeübt werden. Die Abwärtskraft kann beispielsweise durch eine Vakuumplatte 32, eine Plattenhalterolle 146 oder beide von ihnen ausgeübt werden. Ferner ist die Kontaktspitze 116 vorzugsweise breiter als die Sitze 4 in der Testplatte 5, so dass die gegen den unteren Kontakt 100 aufgebrachte Aufwärtskraft das DUT 14 nicht nach oben und aus seinem Sitz 4 auswirft.
  • 6 zeigt das Gehäuse 104 des unteren Kontakts 100, das sich durch ein Loch in der Vakuumplatte 32 erstreckt, so dass das Gehäuse 104 benachbart zur unteren Oberfläche 134 der Testplatte 5 angeordnet ist. Eine bevorzugte Vakuumplatte 32 liegt in Form eines scheibenartigen Rings vor und umfasst Vakuumkanäle, die konzentrisch zu den Sitzringen 3 benachbart sind. Die Vakuumkanäle 34 sind mit einer teilweisen Vakuumdruckquelle (nicht dargestellt) verbunden und verbinden den teilweisen Vakuumdruck mit den Sitzen 4 von jedem Ring 3 durch Verbinden der Kanäle durch die Dickenabmessung der Testplatte 5 an den Sitzen 4. Der durch die Vakuumplatte 32 erzeugte teilweise Vakuumdruck hält sie benachbart zur unteren Oberfläche 134 der Testplatte 5 und zum DUT 14. Diese Positionierung führt dazu, dass die Kontaktspitze 116 gleichzeitig mit dem DUT 14 und der unteren Oberfläche 134 der Testplatte 5 während eines Testzyklus in Kontakt steht. Der teilweise Vakuumdruck saugt durch die Vakuumkanäle 34 Kontaktspitzenmaterialstaub, der durch den Verschleiß der Kontaktspitze 116 erzeugt wird. Restliche Mengen des Staubs sammeln sich an der unteren Oberfläche der Testplatte 5 an, die periodisch gereinigt wird, um den Staub zu entfernen.
  • Jüngere technologische Fortschritte in der Bauteilminiaturisierung haben zur Bildung von DUTs 14 mit Längen- und Breitenabmessungen von etwa 0,016 × 0,008 × 0,008 (0402 "metrische" Bauteile) und 0,024 × 0,012 × 0,12 (0201 "metrische" Bauteile) geführt. Aufgrund ihrer kleinen Größe sind diese DUTs außerstande, große Lücken, Leisten oder Unterbrechungen in der Oberflächengeometrie oder Kanälen, entlang derer sie während des Testprozesses transportiert werden, zu tolerieren. Wenn sie auf Lücken, Leisten oder Unterbrechungen treffen, können die DUTs 14 leicht beschädigt werden, da ihre Anschluss- (Elektroden-) Enden häufig mit einer weichen Zinnplattierung beschichtet sind. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Handhabungsvorrichtung 2 für elektrische Bauteile läuft das DUT 14 folglich nur über einen sehr kleinen Abstandsspalt. In einem bevorzugten Ausführungsbeispiel ist die Kontaktspitze 116 beispielsweise breiter als die Bauelementaufnahmesitze 4 in der Testplatte 5. Diese Geometrie verhindert auch, dass die Kante der Kontaktspitze 116 eine Seitenwand von einem der Bauelementaufnahmesitze 4 in der Testplatte 5 stört.
  • Das elektrisch isolierende Gehäuse 104 ist vorzugsweise aus einem verschleißbeständigen Material auf entweder Keramik- oder Kunststoffbasis konstruiert. Kunststoffmaterial umfasst Polycarbonat oder Polyphenylensulfid (PPS) und Keramikmaterial umfasst überganggehärtete Zirkondioxid-Keramik oder Aluminiumoxid. Das Gehäuse 104 ist vorzugsweise so entworfen, dass es während der periodischen Maschinenwartung leicht entfernt wird und das Wechseln der Vakuumplatte 32 erleichtert ist. Das elektrisch isolierende Gehäuse 104 ist vorzugsweise relativ zu den konzentrischen Ringen 3 der Bauteilsitze 4 derart ausgerichtet, dass die obere Oberfläche 106 dem Weg des Vorschubs des DUT 14 nachläuft. Diese Ausrichtung kann durch Integrieren von Ausrichtungsmerkmalen am elektrisch isolierenden Gehäuse 104, unter Verwendung eines Ausrichtungswerkzeugs oder durch eine Kombination davon erreicht werden.
  • Verschiedene Ausführungsbeispiele des unteren Kontakts 100 liegen in Form von Anordnungen mit mehreren Komponenten vor und werden nachstehend beschrieben und in den Zeichnungsfiguren, die ihren Beschreibungen zugeordnet sind, gezeigt.
  • 7A zeigt einen unteren Kontakt 100 mit einem Gehäuse 104 mit einteiliger Konstruktion aus einem geformten oder gegossenen elektrisch isolierenden Material. 7B und 8 zeigen verschiedene Ausführungsbeispiele eines doppelseitigen Kontaktelements 110, das in den Schlitz 112 des Gehäuses 104 mit einteiliger Konstruktion eingesetzt ist. Das doppelseitige Kontaktelement 110 ist vorteilhaft, da die Anwesenheit von zwei Kontaktspitzen 116 seine Nutzlebensdauer verlängert. Das doppelseitige Kontaktelement 116 besitzt zwei Endabschnitte 114, die jeweils in einer Kontaktspitze 116 enden. in dem Ausführungsbeispiel von 7B sind die Endabschnitte 114 auf entgegengesetzten Seiten durch einen gekrümmten elastischen Kontaktkörperteil 150 verbunden, der die inneren Gehäusewände, die den Schlitz 112 festlegen, nicht berührt. Der elastische Kontaktkörperteil 150 besteht aus Phosphorbronze oder Berylliumkupfer wegen der Elastizität. Die Endabschnitte 114 und die Kontaktspitzen 116 können auch aus diesen Materialien bestehen, um ein einteiliges elastisches Kontaktelement 110 vorzusehen. Die Endabschnittsoberflächen 152 bewegen sich entlang Lagerflächen 154 der inneren Gehäusewände, die den Schlitz 112 festlegen, in Reaktion auf eine Kraft, die durch den Vorspannungsmechanismus 130 aufgebracht wird. In dem Ausführungsbeispiel von 7B sieht der elastische Körperteil 150 die Elastizität in der Vorspannungskraft vor und bildet daher einen Teil des Vorspannungsmechanismus 130. In dem Ausführungsbeispiel von 8 bilden die Endabschnitte 114 entgegengesetzte distale Enden eines einheitlichen Kontaktkörperabschnitts 156 mit im Allgemeinen rechteckigem Querschnitt, dessen Stirnflächen 152 sich entlang der Länge des Kontaktelements 110 erstrecken und dadurch die Lagerflächen 154 kontinuierlich berühren. Das Kontaktelement 110 besitzt eine Länge, die als Abstand, gemessen zwischen den Kontaktspitzen 116 entlang der Längsachse 120, definiert ist, und das Gehäuse 104 besitzt eine Länge, die als Abstand zwischen der oberen Oberfläche 106 und der unteren Oberfläche 108 definiert ist. Die Länge des Kontaktelements 110 (das über die Zeit mit dem Verschließ fortschreitend kürzer wird) ist größer als die Länge des Gehäuses 104, um zu ermöglichen, dass die Kontaktspitze 116 in proximaler Position zu einem DUT 14 seine Elektrode kontaktiert, und um zu ermöglichen, dass der Vorspannungsmechanismus 130 mit der Kontaktspitze 116 in proximaler Position zu ihrem Ende 132 in Eingriff kommt.
  • 9A und 9B zeigen das Gehäuse 104 mit einteiliger Konstruktion, in dem sich ein Kontaktelement 110 mit im Allgemeinen rechteckigem Querschnitt, wie z.B. das in 8 gezeigte, jedoch mit einem Schlitz 170 entlang der Länge des Kontaktelements 110 erstreckt. Das Gehäuse 104 weist ein Loch 172 auf, durch das eine Schraube 174 oder eine andere geeignete Befestigungsvorrichtung verläuft, um das Kontaktelement 110 an der Stelle zu befestigen, und die geeignet angeordnet ist, um die Bewegung des Kontaktelements 110 auf die Schlitzlänge zu begrenzen.
  • 10A, 10B und 10C zeigen das Gehäuse 104 mit mehrteiliger Konstruktion aus elektrisch isolierendem Material, das aus zwei Körperkomponenten in Form von im Allgemeinen zylindrischen Segmenten 176 und 178 besteht. Die zylindrischen Segmente 176 und 178 besitzen komplementäre zusammenpassende Oberflächen, die zusammenpassen, um den Schlitz 112 zu bilden. In einem Ausführungsbeispiel weisen die zylindrischen Segmente 176 und 178 axial ausgerichtete Öffnungen auf, durch die eine Schraube 174 verläuft, um das Gehäuse 104 zusammenzufügen und das geschlitzte Kontaktelement 110 in derselben Weise wie der in 9A und 9B für das Gehäuse 104 mit einteiliger Konstruktion gezeigten an der Stelle zu halten. In einem weiteren Ausführungsbeispiel sind die zylindrischen Segmente 176 und 178 zusammengeklebt. In beiden dieser Ausführungsbeispiele fungieren die gegenüberliegenden Innenwände der zylindrischen Segmente 176 und 178, die den Schlitz 112 festlegen, als Lagerflächen 154, entlang derer das Kontaktelement 110 gleitet.
  • Fachleute werden aus den vorangehenden Beschreibungen erkennen, dass das Gehäuse 104 mit entweder einteiliger oder mehrteiliger Konstruktion ein geschlitztes oder ein nicht-geschlitztes Kontaktelement 110, ein Kontaktelement 110 mit einer einseitigen oder doppelseitigen Kontaktspitze 116 oder innere Lagerflächen, die durch ein Auskleidungsmaterial für den Schlitz 112 oder die den Schlitz festlegenden inneren Oberflächen des Gehäuses 104 selbst vorgesehen sind, umfassen kann.
  • 9A und 9B und 10A, 10B und 10C zeigen eine Abschrägung 180, die in der oberen Oberfläche 106 des Gehäuses 104 mit einteiliger Konstruktion bzw. mehrteiliger Konstruktion ausgebildet ist. Die Abschrägung 180 sieht für ein DUT 14 eine Gleitrampe mit positiver Steigung vor, wenn die Testplatte 5 das DUT 14 bei der Beendung einer Testmessung vom unteren Kontakt 100 weg bewegt. Dies stellt sicher, dass das DUT 14 sich nicht an einer Kante des Schlitzes 112 verfängt, wenn das DUT 14 vom unteren Kontakt 100 weg bewegt wird.
  • 11A, 11B und 11C zeigen ein Ausführungsbeispiel des unteren Kontakts 100 zur Verwendung bei Kelvin-Verbindungs-Messungen mit vier Anschlüssen. Das Kelvin-Kontakt-Ausführungsbeispiel des unteren Anschlusses 100 umfasst zwei untere Anschlusskontaktelemente 1101 und 1102 , die innerhalb des Gehäuses 104 durch einen elektrischen Isolator 190 getrennt sind. Die Anschlusskontaktelemente 1101 und 1102 sind innerhalb des Gehäuses 104 relativ zur Längsachse 120 in einem Winkel geneigt, so dass ihre jeweiligen Kontaktspitzen 1161 und 1162 an der oberen Oberfläche 106 des Gehäuses 104 zueinander laufen. Für das Gehäuse 104 mit einteiliger Konstruktion ist der Isolator 190 ein integraler Teil des Inneren des Gehäuses 104, in dem sich die Anschlusskontaktelemente 1101 und 1102 entlang in einem Winkel geneigter Schlitze bewegen, die im Gehäuse 104 ausgebildet sind. Für das Gehäuse 104 mit mehrteiliger Konstruktion könnte der Isolator 190 entweder eine separate innere Abstandhalterkomponente, die zwischen den Anschlusskontaktelementen 1101 und 1102 angeordnet ist, wenn das Gehäuse 104 zusammengefügt ist, oder ein integraler Teil von einer der Gehäusekörperkomponenten sein. Der Vorspannungsmechanismus 130 umfasst separate federbelastete Stift- (Pogo-Stift-) Kontakte 441 und 442 , die eine Kraft gegen die jeweiligen Enden der Anschlusskontaktelemente 1101 und 1102 proximal zur unteren Oberfläche 108 des Gehäuses 104 aufbringen, um die Kontaktspitzen 1161 und 1162 gegen verschiedene Bereiche des Anschlusses 118 des DUT 14 zu drücken.
  • 12 zeigt ein einteiliges gemeinsames Gehäuse 104m in Form eines Rechtecks mit abgerundeten Ecken und vier Schlitzen 112, die beabstandet sind, um mehrere separate Kontaktelemente 110 aufzunehmen. Die Kontaktelemente 110 können entweder vom einseitigen oder doppelseitigen Typ sein. Die innere Konstruktion der Schlitze 112 ist ähnlich zu jener des Gehäuses 104, das in 7A, 7B und 8 gezeigt ist.
  • 13A zeigt eine Vakuumplatte 32m, die eine Vakuumplatte 32 ist, die modifiziert ist, um das gemeinsame Gehäuse 104m aufzunehmen. Die Vakuumplatte 32m wird durch Entfernen des Materials, das die Löcher 30 trennt, gebildet, um einen länglichen Schlitz 30m zu bilden, der zum Aufnehmen des Gehäuses 104m bemessen ist. 13B zeigt ein Basiselement 36m, das ein Basiselement 36 ist, das modifiziert ist, um das gemeinsame Gehäuse 104m zwischen der nach oben vorstehenden Wand 38 und dem lösbaren Klemmmechanismus 42 festzuklemmen. Das Basiselement 36m wird durch Entfernen der bogenförmigen Ausschnittsegmente 40 des Basiselements 36 gebildet, um eine Aussparung 40m mit glatter Oberfläche zu bilden, in die das gemeinsame Gehäuse 104m sicher passen kann, wenn es festgeklemmt wird.
  • 14A und 14B zeigen einen optischen Kontaktverschleißsensor 200, der erfasst, wenn die Kontaktspitze 116 verschlissen ist und daher das Kontaktelement 110 entweder einen Austausch benötigt oder, wenn es doppelseitig ist, wobei eine unbenutzte Seite zur Verfügung steht, in der Bewegungsrichtung des Gehäuses 104 umgedreht werden muss. Der Kontaktverschleißsensor 200 umfasst einen Lichtemitter 202 und einen Lichtdetektor 204, die auf beiden Seiten des Kontaktelements 110 angeordnet sind, welches von der unteren Oberfläche 108 des Gehäuses 104 hervorragt, und angeordnet sind, um einen Lichtausbreitungsweg in direkter Sichtlinie vorzusehen. Wie in 14A gezeigt, unterbricht, sobald auf der Kontaktspitze 116 ausreichend Elektrodenmaterial verbleibt, das Kontaktelement 110 den Lichtausbreitungsweg zwischen dem Lichtemitter 202 und dem Lichtdetektor 204. Wie in 14B gezeigt, erreicht, sobald die Kontaktspitze 116 einer Menge an Elektrodenmaterialentfernung unterzogen wurde, die die Länge des Kontaktelements 110 um eine vorbestimmte Menge verkürzt, das Licht, das sich vom Lichtemitter 202 ausbreitet, den Lichtdetektor 204, um ein Signal zu erzeugen, das auf einen übermäßigen Verschleiß der Kontaktspitze 116 hinweist.
  • Ein Kontaktkopf, der gemäß der vorliegenden Erfindung konstruiert ist, wurde in einem Multifunktionstester des Modells 3300B getestet. Die Testbedingungen waren folgendermaßen: das DUT war ein Kondensator mit 100 pF, die Testfrequenz wurde auf 1 MHz gesetzt, die obere Grenze für den Dekontaminierungsfaktor (DF) wurde auf 0,0007 festgelegt und der tatsächliche DF des DUT wurde auf zwischen etwa 0,0002 und etwa 0,0003 festgelegt. Die Ergebnisse des Tests waren folgendermaßen: von den 113257 DUTs, die getestet wurden, wurden nur 0,51% von ihnen fälschlich verworfen. Im Vergleich zu der falschen Verwerfungsrate von 5,89% von Kontaktköpfen des Standes der Technik ist dies eine signifikante Verringerung der falschen Verwerfungen. Diese Verringerung der falschen Verwerfung führt zu einer daraus folgenden Steigerung der Produktivität und des Maschinendurchsatzes.
  • Für Fachleute ist es offensichtlich, dass viele Änderungen an den Einzelheiten der vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele vorgenommen werden können, ohne von den zugrunde liegenden Prinzipien der Erfindung abzuweichen. Bevorzugte Ausführungsbeispiele des Kontaktkopfs der vorliegenden Erfindung umfassen beispielsweise eine Vielzahl von unteren Kontakten zum gleichzeitigen Testen von mehr als einem DUT, können jedoch auch einen einzelnen unteren Kontakt umfassen. Der Schutzbereich der vorliegenden Erfindung sollte daher nur durch die folgenden Ansprüche bestimmt werden.
  • Zusammenfassung
  • Eine Handhabungsvorrichtung (2) für elektrische Bauteile, die elektrische Schaltungsbauteile testet und einen selbstreinigenden unteren Kontakt (100) umfasst, bietet einen verringerten Ausbeuteverlust und eine verringerte mittlere Zeit zwischen Unterstützungen. Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Handhabungsvorrichtung (2) für elektrische Bauteile umfasst mehrere Sätze von oberen und unteren Kontakten (102, 100), von denen jeder Satz räumlich ausgerichtet ist, um ein einzelnes getestetes Bauelement (DUT) (14) elektrisch zu kontaktieren. Jedes DUT (14) wird in eine Testplatte (5) abgesetzt, die das DUT (14) zu und von einer Testmessposition zwischen dem oberen und dem unteren Kontakt (102, 100) transportiert. Der untere Kontakt (100) umfasst eine Kontaktspitze (116), die ein Vorspannungsmechanismus (130) gegen das elektrische Bauteil drückt, wenn es einem Testprozess unterzogen wird, und gegen eine Oberfläche der Testplatte (5) drückt, wenn sie das elektrische Bauteil transportiert. Der untere Kontakt (100) reibt an der Testplatte (5), wodurch zur Entfernung von Verunreinigungsmaterial, das von der Kontaktspitze (116) während des Betriebs der Bauteilhandhabungsvorrichtung aufgenommen wird, beigetragen wird.

Claims (32)

  1. In einer Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile, die einen ersten und einen zweiten Kontakt umfasst, die räumlich ausgerichtet sind, um während eines Testprozesses ein elektrisches Bauteil elektrisch zu kontaktieren, das durch eine Testplatte übergeben wird, die das elektrische Bauteil zu und von einem Bauteilhandhabungsvorrichtungs-Testbereich transportiert, wobei die Testplatte eine Oberfläche aufweist, die benachbart zum ersten Kontakt angeordnet ist, die Verbesserung, die umfasst: den ersten Kontakt mit einem Gehäuse und einem ausfahrbaren Kontaktelement, das aus dem Gehäuse heraus beweglich ist, wobei das ausfahrbare Kontaktelement einen Endabschnitt umfasst, der in einer Kontaktspitze endet; und einen Vorspannungsmechanismus, der eine Kraft auf die Kontaktspitze aufbringt, um die Kontaktspitze gegen das elektrische Bauteil zu drücken, wenn es dem Testprozess unterzogen wird, und gegen die erste Oberfläche der Testplatte zu drücken, wenn sie das elektrische Bauteil transportiert, wobei das Drücken der Kontaktspitze gegen die erste Oberfläche zur Entfernung von Verunreinigungsmaterial, das von der Kontaktspitze während des Bauteilhandhabungsvorrichtungs-Betriebs aufgenommen wird, beiträgt.
  2. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das ausfahrbare Kontaktelement eine Länge aufweist und wobei die Kontaktspitze einer Entfernung von Kontaktspitzenmaterial unterzogen wird, was zu einer fortschreitenden Verkürzung des ausfahrbaren Kontaktelements führt, wenn die Testplatte das elektrische Bauteil transportiert.
  3. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Endabschnitt und die Kontaktspitze einen ersten Endabschnitt bzw. eine erste Kontaktspitze bilden, und ferner mit einem zweiten Endabschnitt, der in einer zweiten Kontaktspitze endet, wobei der erste und der zweite Endabschnitt an entgegengesetzten Enden des ausfahrbaren Kontaktelements angeordnet sind, wodurch ein doppelseitiges ausfahrbares Kontaktelement bereitgestellt wird, um seine Nutzlebensdauer zu verlängern.
  4. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Kontaktspitze eine abgeschrägte Kante aufweist, die eine Gleitrampe für das elektrische Bauteil vorsieht, wenn die Testplatte das elektrische Bauteil transportiert.
  5. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, welche ferner eine Vakuumdruck-Liefervorrichtung und eine Liefervorrichtung für eine elastische Kraft umfasst, die an verschiedenen der ersten und der zweiten Oberfläche der Testplatte arbeiten, um die erste Oberfläche der Platte gegen das Gehäuse zu drücken.
  6. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse ein offenes Inneres aufweist, in dem sich das ausfahrbare Kontaktelement bewegt, wobei das offene Innere Innenwände umfasst, die Lagerflächen bilden, entlang derer sich der Endabschnitt bewegt, um eine geradlinige Bewegung des ausfahrbaren Kontaktelements zu unterstützen.
  7. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse ein offenes Inneres, in das sich das ausfahrbare Kontaktelement bewegt, und eine Stirnfläche, in der eine Abschrägung benachbart zu einer Kante einer Seite des offenen Inneren ausgebildet ist, aufweist, wobei die Abschrägung eine Rampe bereitstellt, entlang derer ein elektrisches Bauteil von der Kante der Seite des offenen Inneren weggleiten und sich nicht an dieser verfangen kann.
  8. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse als einteiliger einheitlicher Gegenstand mit einer inneren Öffnung ausgebildet ist, in der sich das ausfahrbare Kontaktelement bewegt.
  9. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 8, wobei das ausfahrbare Kontaktelement einen Schlitz mit einer Schlitzlänge umfasst, der sich entlang der Länge des ausfahrbaren Kontaktelements erstreckt, wobei das Gehäuse eine Länge aufweist, und das Gehäuse eine Öffnung aufweist, die sich quer zur Öffnung erstreckt; und ferner mit einer Befestigungsvorrichtung, die durch den Schlitz und die Öffnung verläuft, um für das ausfahrbare Kontaktelement eine Bewegungsgrenze vorzusehen, die durch die Schlitzlänge festgelegt ist.
  10. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse in mehreren Stücken ausgebildet ist, die als einheitlicher Gegenstand mit einer inneren Öffnung, in der sich das ausfahrbare Kontaktelement bewegt, zusammengefügt sind.
  11. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 10, wobei: die mehreren Stücke des Gehäuses erste und zweite Komponententeile mit zusammenpassenden Oberflächen mit komplementärer Form umfassen, um die innere Öffnung zu bilden; das Gehäuse eine Länge aufweist; und das ausfahrbare Kontaktelement einen im Allgemeinen rechteckigen Querschnitt aufweist und eine Länge aufweist, die größer ist als die Länge des Gehäuses.
  12. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 11, wobei der erste und der zweite Komponententeil in den Formen von im Allgemeinen zylindrischen Segmenten vorliegen.
  13. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 11, wobei das ausfahrbare Kontaktelement einen Schlitz mit einer Schlitzlänge, der sich entlang der Länge des ausfahrbaren Kontaktelements erstreckt, umfasst, und wobei der erste und der zweite Komponententeil jeweilige erste und zweite axial ausgerichtete Öffnungen aufweisen; und ferner, wenn das Gehäuse zusammengefügt ist, mit einer Befestigungsvorrichtung, die durch den Schlitz und in die erste und die zweite Öffnung verläuft, um für das ausfahrbare Kontaktelement eine Bewegungsgrenze vorzusehen, die durch die Schlitzlänge festgelegt ist.
  14. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 13, wobei der erste und der zweite Komponententeil in den Formen von im Allgemeinen zylindrischen Segmenten vorliegen.
  15. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Gehäuse mehrere innere Öffnungen aufweist, in denen sich verschiedene von mehreren ausfahrbaren Kontaktelementen bewegen.
  16. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei: das ausfahrbare Kontaktelement, der Endabschnitt und die Kontaktspitze ein erstes ausfahrbares Kontaktelement, einen ersten Endabschnitt und eine erste Kontaktspitze bilden; der erste Kontakt ferner ein zweites ausfahrbares Kontaktelement umfasst, das vom ersten ausfahrbaren Kontaktelement elektrisch isoliert ist, wobei das zweite ausfahrbare Kontaktelement einen zweiten Endabschnitt umfasst, der in einer zweiten Kontaktspitze endet; und der Vorspannungsmechanismus ferner eine erste und eine zweite Kraftaufbringungsvorrichtung umfasst, die die jeweilige erste und zweite Kontaktspitze gegen das elektrische Bauteil drücken.
  17. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der zweite Kontakt eine längliche Kontaktzuleitung mit einem ersten und einem zweiten Endabschnitt umfasst, wobei der zweite Endabschnitt in einem Rollenkontakt endet.
  18. Bauteilhandhabungsvorrichtung nach Anspruch 17, wobei der erste Endabschnitt der Kontaktzuleitung an einer Montagevorrichtung befestigt ist und der Rollenkontakt mit einem elastischen Element zusammenwirkt, um den Rollenkontakt gegen das elektrische Bauteil zu drücken, wenn es dem Testprozess unterzogen wird, und die zweite Oberfläche der Testplatte zu drücken, wenn sie das elektrische Bauteil transportiert.
  19. Kontaktanordnung, die zur Verwendung in einer Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile konfiguriert ist, die einen elektrischen Kontakt mit einem elektrischen Bauteil herstellt, um eine elektrische Messung durchzuführen, umfassend: ein Gehäuse mit einer Länge und einem inneren Schlitz, der entlang der Länge des Gehäuses ausgebildet ist, wobei der Schlitz durch Innenwände festgelegt ist, die Lagerflächen bilden; ein Kontaktelement, das so bemessen ist, dass es in den Schlitz passt und der Länge nach im Gehäuse entlang der Lagerflächen gleitet, wobei das Kontaktelement entgegengesetzte Enden umfasst, von denen eines in einer Kontaktspitze endet; und wobei die Kontaktspitze aus einem Material ausgebildet ist, das einer Entfernung unterzogen wird, und dadurch zu einer fortschreitenden Verkürzung des Kontaktelements während des Betriebs der Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile führt.
  20. Kontaktanordnung nach Anspruch 19, wobei die Kontaktspitze eine abgeschrägte Kante aufweist, die eine Gleitrampe für das elektrische Bauteil bereitstellt.
  21. Kontaktanordnung nach Anspruch 19, wobei das andere der Enden des Kontaktelements in einer Kontaktspitze endet, die aus einem Material ausgebildet ist, das einer Entfernung unterzogen wird, und dadurch zu einer fortschreitenden Verkürzung des Kontaktelements während des Betriebs der Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile führt.
  22. Kontaktanordnung nach Anspruch 19, wobei das Kontaktelement eine Länge aufweist und einen Schlitz mit einer Schlitzlänge umfasst, der sich entlang der Länge des Kontaktelements erstreckt, wobei die Schlitzlänge eine Bewegungsgrenze für das Kontaktelement festlegt, wenn es im Gehäuse angeordnet ist.
  23. Kontaktanordnung nach Anspruch 19, wobei das Gehäuse eine Stirnfläche aufweist, in der eine Abschrägung benachbart zu einer Kante des inneren Schlitzes ausgebildet ist, wobei die Abschrägung eine Rampe bereitstellt, entlang derer ein elektrisches Bauteil von der Kante des inneren Schlitzes weg gleiten und sich nicht an dieser verfangen kann.
  24. Kontaktanordnung nach Anspruch 19, wobei das Gehäuse als einteiliger einheitlicher Gegenstand ausgebildet ist.
  25. Kontaktanordnung nach Anspruch 19, wobei das Gehäuse einen ersten und einen zweiten Komponententeil mit komplementärerer Form umfasst, die, wenn sie als einheitlicher Gegenstand zusammengefügt sind, den inneren Schlitz bilden.
  26. Kontaktanordnung nach Anspruch 25, wobei der erste und der zweite Komponententeil in den Formen von im Allgemeinen zylindrischen Segmenten vorliegen.
  27. Kontaktanordnung nach Anspruch 19, wobei das Gehäuse mehrere innere Schlitze umfasst, die entlang der Länge des Gehäuses ausgebildet sind, wobei jeder der mehreren Schlitze zum Aufnehmen eines separaten Kontaktelements bemessen ist.
  28. Doppelseitiges Kontaktelement, das zur Anordnung in einer Kontaktanordnung einer Handhabungsvorrichtung für elektrische Bauteile konfiguriert ist, mit: einem Körper mit einem ersten und einem zweiten entgegengesetzten Endabschnitt, die in jeweiligen ersten und zweiten Kontaktspitzen enden, wobei der erste und der zweite Endabschnitt einen im Allgemeinen rechteckigen Querschnitt aufweisen, und jede der ersten und zweiten Kontaktspitzen aus einem elektrisch leitenden Material ausgebildet ist, das sich mit dem Verschleiß entfernt.
  29. Kontaktelement nach Anspruch 28, wobei jede der ersten und zweiten Kontaktspitzen eine abgeschrägte Kante aufweist, die eine Gleitrampe für ein elektrisches Bauteil bereitstellt.
  30. Kontaktelement nach Anspruch 28, wobei der Körper eine Länge aufweist und einen Schlitz mit einer Schlitzlänge umfasst, der sich entlang der Länge des Körpers erstreckt, wobei die Schlitzlänge eine Bewegungsgrenze für das Kontaktelement festlegt, wenn es in einem Gehäuse angeordnet ist.
  31. Kontaktelement nach Anspruch 28, wobei der Körper einen elastischen Körperteil umfasst, der zwischen dem ersten und dem zweiten Endabschnitt angeordnet ist.
  32. Kontaktelement nach Anspruch 28, wobei der erste und der zweite Endabschnitt entgegengesetzte distale Enden eines einheitlichen Körperteils mit im Allgemeinen rechteckigem Querschnitt bilden.
DE112005001928T 2004-08-09 2005-08-08 Selbstreinigender unterer Kontakt Withdrawn DE112005001928T5 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/916,063 US7402994B2 (en) 2004-08-09 2004-08-09 Self-cleaning lower contact
US10/916,063 2004-08-09
PCT/US2005/028160 WO2006020578A2 (en) 2004-08-09 2005-08-08 Self-cleaning lower contact

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE112005001928T5 true DE112005001928T5 (de) 2007-07-12

Family

ID=35756796

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112005001928T Withdrawn DE112005001928T5 (de) 2004-08-09 2005-08-08 Selbstreinigender unterer Kontakt

Country Status (9)

Country Link
US (2) US7402994B2 (de)
JP (1) JP5393029B2 (de)
KR (1) KR101176776B1 (de)
CN (1) CN101023528B (de)
DE (1) DE112005001928T5 (de)
GB (1) GB2431057B (de)
SG (1) SG155199A1 (de)
TW (1) TWI358330B (de)
WO (1) WO2006020578A2 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7905471B2 (en) * 2004-11-22 2011-03-15 Electro Scientific Industries, Inc. Vacuum ring designs for electrical contacting improvement
US7819235B2 (en) * 2007-01-29 2010-10-26 Electro Scientific Industries, Inc. Venturi vacuum generator on an electric component handler
KR101451499B1 (ko) * 2013-02-07 2014-10-17 삼성전기주식회사 전자부품 검사장치
CN104914374B (zh) * 2013-07-23 2018-04-27 苏州固锝电子股份有限公司 用于加速度传感器电性能检测的装置
JP6206587B2 (ja) * 2014-06-04 2017-10-04 株式会社村田製作所 搬送装置
DE202014105151U1 (de) * 2014-10-28 2016-01-29 Ptr Messtechnik Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft Federkontaktvorrichtung
JP6459882B2 (ja) * 2015-10-06 2019-01-30 株式会社村田製作所 通電装置
JP7107589B2 (ja) 2020-08-28 2022-07-27 株式会社ヒューモラボラトリー チップ電子部品検査用のローラ電極接触子を備えた装置
TWI805218B (zh) * 2022-02-10 2023-06-11 萬潤科技股份有限公司 電子零件測試裝置及其測試板構造、測試板製造方法
TWI800405B (zh) * 2022-06-14 2023-04-21 國巨股份有限公司 測試探針與測試探針固定裝置

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3340727A (en) * 1962-03-30 1967-09-12 Emedio M Bracalente Ablation probe
US3915850A (en) * 1973-11-14 1975-10-28 Gti Corp Component handler and method and apparatus utilizing same
JPS6242377Y2 (de) * 1980-12-27 1987-10-30
US4574236A (en) * 1983-10-27 1986-03-04 At&T Technologies, Inc. High frequency test fixture
DE3604717A1 (de) * 1986-02-14 1987-08-27 Nixdorf Computer Ag Kontaktstiftanordnung
EP0256541A3 (de) * 1986-08-19 1990-03-14 Feinmetall Gesellschaft mit beschrÀ¤nkter Haftung Kontaktiervorrichtung
US5034749A (en) * 1988-10-06 1991-07-23 Electro Scientific Industries, Inc. Sliding contact test apparatus
EP0418454A3 (en) 1989-09-21 1992-11-04 Electro Scientific Industries, Inc. Sliding contact test apparatus
US5172473A (en) * 1990-05-07 1992-12-22 International Business Machines Corporation Method of making cone electrical contact
US5118299A (en) * 1990-05-07 1992-06-02 International Business Machines Corporation Cone electrical contact
US5936421A (en) * 1994-10-11 1999-08-10 Virginia Panel Corporation Coaxial double-headed spring contact probe assembly and coaxial surface contact for engagement therewith
US5842579A (en) * 1995-11-16 1998-12-01 Electro Scientific Industries, Inc. Electrical circuit component handler
DE19718637A1 (de) * 1997-05-02 1998-11-05 Atg Test Systems Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Prüfen von Leiterplatten
US5764072A (en) * 1996-12-20 1998-06-09 Probe Technology Dual contact probe assembly for testing integrated circuits
US6118289A (en) * 1997-03-10 2000-09-12 Canon Kabushiki Kaisha Cleaning method and cleaning device and cleaning tool for board electrical-test probes, and board electrical-test device and method
TW377482B (en) * 1997-04-08 1999-12-21 Tokyo Electron Ltd Cleaner with protuberances for inspection, inspection apparatus and inspection method for integrated circuits
US6040705A (en) * 1997-08-20 2000-03-21 Electro Scientific Industries, Inc. Rolling electrical contactor
JP3557887B2 (ja) * 1998-01-14 2004-08-25 日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社 Icデバイスのコンタクト装置
JP2000338156A (ja) * 1999-05-31 2000-12-08 Nitto Kogyo Co Ltd チップの測定端子
JP2003014779A (ja) 2001-07-02 2003-01-15 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子
US6714028B2 (en) * 2001-11-14 2004-03-30 Electro Scientific Industries, Inc. Roller contact with conductive brushes
US6710611B2 (en) * 2002-04-19 2004-03-23 Ceramic Component Technologies, Inc. Test plate for ceramic surface mount devices and other electronic components
TWI223084B (en) * 2002-04-25 2004-11-01 Murata Manufacturing Co Electronic component characteristic measuring device
US6677772B1 (en) * 2002-08-21 2004-01-13 Micron Technology, Inc. Contactor with isolated spring tips

Also Published As

Publication number Publication date
US20060028224A1 (en) 2006-02-09
GB2431057A (en) 2007-04-11
KR20070048721A (ko) 2007-05-09
GB0702152D0 (en) 2007-03-14
CN101023528B (zh) 2010-12-29
US7402994B2 (en) 2008-07-22
TW200605969A (en) 2006-02-16
GB2431057A8 (de) 2008-08-20
WO2006020578A2 (en) 2006-02-23
SG155199A1 (en) 2009-09-30
JP5393029B2 (ja) 2014-01-22
CN101023528A (zh) 2007-08-22
JP2008509423A (ja) 2008-03-27
US20080252315A1 (en) 2008-10-16
KR101176776B1 (ko) 2012-08-23
TWI358330B (en) 2012-02-21
GB2431057B (en) 2009-04-08
WO2006020578A3 (en) 2006-08-24
US7592823B2 (en) 2009-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112005001928T5 (de) Selbstreinigender unterer Kontakt
EP0915342B1 (de) Prüfkopf für Mikrostrukturen mit Schnittstelle
DE19837138B4 (de) Prüfkarte zum Prüfen von Chips mit integrierten Schaltungen
EP2210115B1 (de) Vollrasterkassette für einen paralleltester zum testen einer unbestückten leiterplatte, federkontaktstift für eine solche vollrasterkassette sowie adapter für einen paralleltester zum testen einer unbestückten leiterplatte
DE102007054187B4 (de) Kontaktiervorrichtung zum Kontaktieren eines zu prüfenden elektrischen Prüflings sowie entsprechendes Kontaktierverfahren
DE19515154A1 (de) Tastkopf-Meßhantiergerät, Verfahren zum Prüfen integrierter Schaltungen und integrierter Schaltungsbaustein
DE112005002862T5 (de) Vakuumringkonstruktionen zur Verbesserung der elektrischen Kontaktierung
DE19700523A1 (de) Prüfvorrichtung für mehrpolige, integrierte Schaltungen
DE10297410B4 (de) Rollenkontakt mit leitenden Bürsten
DE19618717C1 (de) Elektrische Verbindungseinrichtung
DE102014103262B3 (de) Vorrichtung zum Prüfen von elektronischen Bauteilen
DE19526961C2 (de) Anpaßverbinder für eine Testeinrichtung für elektronische Schaltungen
DE202012104416U1 (de) Testsockel mit hakenartiger Pinkontaktkante
DE19638402C2 (de) Prüfvorrichtung für einen Mehrkontakt-Chip
DE102016124704A1 (de) Prüfstiftkonfiguration für eine Prüfvorrichtung zum Prüfen von Prüflingen
DE102009016181A1 (de) Kontaktierungseinheit für eine Testvorrichtung zum Testen von Leiterplatten
DE19931278B4 (de) Prüfkarte und IC-Prüfgerät
WO2006042633A1 (de) Vorrichtung zur optischen prüfung von elektronischen bauteilen
DE19748823B4 (de) Servicefreundliche Kontaktiervorrichtung
DE10343526A1 (de) Halbleitervorrichtung mit Anschlußfläche
DE3832410C2 (de) Kontaktvorrichtung
DE3722485C2 (de)
DE10116406A1 (de) Vorrichtung zum Herstellen und Testen von Elektronik-Baugruppen
DE102015117354B4 (de) Kragarmkontaktfeder und Verfahren zur Herstellung einer Kragarmkontaktfeder
DE19847244A1 (de) Prüfkopf für Mikrostrukturen mit Schnittstelle

Legal Events

Date Code Title Description
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination

Effective date: 20120809