DE1085743B - Verdampfungstiegel aus elektrisch leitenden chemischen Verbindungen - Google Patents
Verdampfungstiegel aus elektrisch leitenden chemischen VerbindungenInfo
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- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
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- C04B35/5805—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on borides
- C04B35/58064—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on borides based on refractory borides
- C04B35/58078—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on borides based on refractory borides based on zirconium or hafnium borides
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
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Description
Zur Verdampfung von Metallen im Vakuum wurden früher ausschließlich Drahtanordnungen oder Tiegel
aus hochschmelzenden Metallen benutzt. Solche Tiegel zeigten aber bei technisch interessierenden Metallen
wie Aluminium eine unerwünschte Legierungsbildung oder reagierten in anderen Fällen mit dem Verdampfungsgut.
Ferner war meist eine Ungleichmäßigkeit der Temperaturverteilung zu beobachten, die zu einer
schnellen Zerstörung des Verdampfers führte.
Teilweise Abhilfe schufen die dann vorgeschlagenen Tiegel aus Kohlenstoff, die nicht durch ungleichmäßige
Erhitzung zerstört wurden, gute Temperaturwechselbeständigkeit haben und auch bei der fortlaufenden
Bedampfung breiter Bänder ihre Vorteile besitzen. Die Verdampfung von Aluminium und einiger anderer
Stoffe erfordert aber besondere Vorkehrungen gegen die Bildung von störenden Karbiden, und außerdem
geben solche Tiegel beim anfänglichen Erhitzen große Gasmengen ins Vakuum ab.
Man hat darum auch schon vorgeschlagen, gesinterte Tiegel aus bestimmten hochtemperaturbeständigen,
schwer verdampfbaren und elektrisch leitenden Verbindungen gewisser Elemente, beispielsweise aus
Siliziumkarbid, zu benutzen. Diese Tiegel zeigen zwar in vielen Fällen ausreichende chemische Beständigkeit,
lassen aber in bezug auf mechanische und thermische Eigenschaften noch gewisse Wünsche offen. Sie können
unter gewissen Bedingungen auch zum Mitverdampfen von Verunreinigungen oder Zusatzstoffen Anlaß geben.
Es kommt vor, daß schon von der Fabrikation her Risse ini Körper vorgebildet sind, so daß die Lebensdauer
durch Sprünge dann stark herabgesetzt wird.
Die Erfindung vermeidet alle diese Nachteile dadurch, daß der Verdampfungstiegel, insbesondere für
die Verdampfung von Aluminium, aus einer hochtemperaturbeständigen, schwer verdampfbaren, chemisch
widerstandsfähigen und elektrisch leitenden chemischen Verbindung, insbesondere von Boriden,
mittels eines Schmelzprozesses hergestellt ist. Besonders bewährt hat sich dabei Zirkonborid, das eine
lange Lebensdauer besitzt. Das Schmelzen erfolgt zweckmäßigerweise im elektrischen Lichtbogen in
Edelgasatmosphäre oder im Dampf des zu schmelzenden Materials, durch Hochfrequenzerhitzung im
Vakuum oder durch Elektronenbombardement.
Im Gegensatz zu den bisher üblichen Sinterwerkstoffen besitzen die erfindungsgemäßen Tiegel durch
ihre Herstellung eine geschmolzene, d. h. eine sehr glatte und darum leicht in ihrer ganzen Ausdehnung
benetzbare Oberfläche. Sie ist frei von Rissen und Poren. Dadurch wird erreicht, daß die Schmelze nicht
in das Innere des Körpers eindringen kann, wo sie durch ihren hohen Dampfdruck den Körper sprengen
würde. Der Wärmeübergang zum Verdampfungsgut Verdampfungstiegel
aus elektrisch leitenden
chemischen Verbindungen
Anmelder:
W. C. Heraeus
W. C. Heraeus
Gesellschaft mit beschränkter Haftung,
Hanau/M.
Hanau/M.
Dr. Walter Reichelt, Hanau/M.,
ist als Erfinder genannt worden
ist als Erfinder genannt worden
ist an allen Stellen dieser Oberfläche gut und gleichmäßig, so daß eine sehr gleichmäßige Verdampfung
gewährleistet ist.
Solche Tiegel sind thermisch außerordentlich widerstandsfähig, neigen nicht zur Bildung störender Legierungen
und bestehen aus einem bindemittelfreien einheitlichen Stoff, der das Verdampfungsgut nicht
verunreinigt. Sie haben sich insbesondere bei der Vakuummetallisierung mit Aluminium hervorragend
bewährt und sind hinsichtlich der Lebensdauer allen zur Zeit bekannten Materialien weitaus überlegen.
In der Abbildung ist ein Verdampfer nach der Erfindung dargestellt. Er besteht aus dem Körper \, der
eine Vertiefung 2 zur Aufnahme des Verdampfungsgutes enthält. Der Körper wird an den Enden in der
Stromzuführungs-Anschlußklemme 3 befestigt und durch direkten Stromdurchgang erhitzt. Der Körper 1
besteht nach der Erfindung aus einem einheitlichen porenfreien Material, insbesondere geschmolzenem
Zirkonborid.
Claims (5)
1. Verdampfungstiegel mit großer Lebensdauer, insbesondere zur Verdampfung von Aluminium,
der aus einer hochtemperaturbeständigen, schwer verdampfbaren, chemisch widerstandsfähigen und
elektrisch leitenden chemischen Verbindung besteht, dadurch gekennzeichnet, daß er aus der Verbindung,
insbesondere Boriden, mittels eines Schmelzprozesses hergestellt ist.
2. Verdampfungstiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er aus Zirkonborid besteht.
3. Verdampfungstiegel nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß er oder das Material
009 567/195
zu seiner Herstellung mittels eines Schmelzprozesses im elektrischen Lichtbogen unter reduziertem
Druck einer inerten Atmosphäre oder des eigenen Dampfes hergestellt ist,
4. Verdampfungstiegel nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß er oder das Material
zu seiner Herstellung mittels eines Schmelzprozesses unter Verwendung von Elektronenbombardement
hergestellt ist.
5. Verdampfungstiegel nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß er oder das Material
zu seiner Herstellung mittels eines Schmelzprcfeesses
unter Verwendung von Induktionsheizung hergestellt ist.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschrift Nr. 802 304.
Deutsche Patentschrift Nr. 802 304.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEH28859A DE1085743B (de) | 1956-12-19 | 1956-12-19 | Verdampfungstiegel aus elektrisch leitenden chemischen Verbindungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEH28859A DE1085743B (de) | 1956-12-19 | 1956-12-19 | Verdampfungstiegel aus elektrisch leitenden chemischen Verbindungen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1085743B true DE1085743B (de) | 1960-07-21 |
Family
ID=7150980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEH28859A Pending DE1085743B (de) | 1956-12-19 | 1956-12-19 | Verdampfungstiegel aus elektrisch leitenden chemischen Verbindungen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1085743B (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1280019B (de) * | 1960-07-25 | 1968-10-10 | Union Carbide Corp | Tiegel zum Aufdampfen von Aluminiumschichten bei unteratmosphaerischem Druck |
EP0960956A1 (de) * | 1998-05-14 | 1999-12-01 | Elektroschmelzwerk Kempten GmbH | Keramische Verdampferschiffchen |
US6645572B2 (en) | 1998-05-14 | 2003-11-11 | Wacker-Chemie Gmbh | Process for producing a ceramic evaporation boat having an improved initial wetting performance |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE802304C (de) * | 1948-10-02 | 1951-02-08 | Siemens & Halske Akt Ges | Verdampfer fuer thermische Verdampfung von Aluminium oder aehnlich hochsiedenden Stoffen |
-
1956
- 1956-12-19 DE DEH28859A patent/DE1085743B/de active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE802304C (de) * | 1948-10-02 | 1951-02-08 | Siemens & Halske Akt Ges | Verdampfer fuer thermische Verdampfung von Aluminium oder aehnlich hochsiedenden Stoffen |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1280019B (de) * | 1960-07-25 | 1968-10-10 | Union Carbide Corp | Tiegel zum Aufdampfen von Aluminiumschichten bei unteratmosphaerischem Druck |
EP0960956A1 (de) * | 1998-05-14 | 1999-12-01 | Elektroschmelzwerk Kempten GmbH | Keramische Verdampferschiffchen |
US6645572B2 (en) | 1998-05-14 | 2003-11-11 | Wacker-Chemie Gmbh | Process for producing a ceramic evaporation boat having an improved initial wetting performance |
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