DE1082332B - Verfahren zur Herstellung von Widerstandsschichten mit nach einer vorgegebenen Funktion verlaufendem Flaechenwiderstand - Google Patents

Description

DEUTSCHES

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Widerstandsschichten mit in der wirksamen Widerstandsschicht nach einer vorgegebenen Funktion verlaufendem Flächenwiderstand. Es ist bekannt, daß Widerstandsschichten mit örtlich sich änderndem Flächenwiderstand durch abgestufte Schichten mit unterschiedlicher Leitfähigkeit oder Schichtdicke hergestellt werden können. Bei diesen Widerstandsschichten ist es nicht möglich, den Flächenwiderstand stetig sich ändern zu lassen. Es ist auch möglich, z. B. im Spritzverfahren Schichten mit unterschiedlicher Leitfähigkeit nebeneinander so aufzubringen, daß in den Übergangszonen der Flächenwiderstand zwar schnell, aber stetig übergeht. Die Verfahren zur Herstellung solcher Schichten sind mit großem Aufwand verbunden. Allgemein ist die Änderung des Flächenwiderstandes bei den bekannten Verfahren nur in begrenztem Maße möglich.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Verlauf des Flächenwiderstandes nach einer vorgegebenen Funktion dadurch zu erreichen, daß die Widerstandsschicht in ihrer Schichtdicke und/oder Schichtstruktur sich örtlich ändert. Dieses Ändern des Flächenwiderstandes soll z. B. zwischen den Anschlußklemmen des als Widerstand zu benutzenden Körpers erfolgen. Hierbei ist nicht allein an den direkten Weg zwischen diesen Anschlußklemmen gedacht, sondern z. B. auch daran, daß sich der Flächenwiderstand über eine z. B. quadratische Platte so verteilen kann, daß trotz punktförmiger Anschlußklemmen über die gesamte Fläche eine konstante elektrische Leistung pro Flächeneinheit auftritt. Bei zylindrischen Stäben, die mit einer Widerstandsschicht versehen und als Dämpfungswiderstände in elektromagnetischen Feldern verwendet werden, soll der Flächenwiderstand des Widerstandsstabes in Fortpflanzungsrichtung der elektromagnetischen Wellen nach einer gewünschten Funktion verlaufen. Andererseits kann aber auch bei Widerständen mit z. B. großen geometrischen Abmessungen eine Widerstandsschicht mit exakt konstantem Flächenwiderstand gefordert werden. Bei dem Niederschlagsvorgang ist es infolge der geometrischen Größe des Widerstandes meist nicht möglich, einen konstanten Zustand z. B. bezüglich der Temperatur des Niederschlagsmittels über die Länge des Widerstandes zu erreichen. Auch zur Überwindung solcher Schwierigkeiten findet das vorliegende Verfahren Anwendung. Erfindungsgemäß erreicht man den vorgegebenen Verlauf des Flächenwiderstandes dadurch, daß man unter Verwendung der bekannten Verfahren zur Herstellung von Widerstandsschichten, z. B. nach dem Metallbedampfungs-, Kathodenzerstäubungsverfahren oder durch thermische Zersetzung von Kohlenwasserstoffen im Vakuum, beim Niederschlagen der die Verfahren zur Herstellung

von Widerstandsschichten

mit nach einer vorgegebenen Funktion

verlaufendem Flächenwiderstand

Anmelder:

Siemens & Halske Aktiengesellschaft,

Berlin und München,
München 2, Wittelsbacherplatz 2

Dr. Carl Zapf und Dipl.-Ing. Adolf Debel, Heidenheim, sind als Erfinder genannt worden

Widerstandsschicht bildenden Stoffe den zu überziehenden Körper, dessen gesamte zu überziehende Oberfläche dem Niederschlag ausgesetzt ist, mit Leitkörpern zur gesteuerten Verteilung des Niederschlages umgibt.

Je nach Ausbildung dieses Leitkörpers, z. B. in Form eines Exponentialtrichters oder als siebartige Verkleidung mit sich ändernder Maschenweite, wird das Niederschlagsmittel sich in unterschiedlicher Stärke auf dem zu überziehenden Körper anlagern. Wird der Leitkörper z. B. auf der einen Seite des zu überziehenden Körpers mit diesem dicht verbunden, so entsteht an dieser Stelle ein Pufferraum und somit eine Stauung des Stromes, des Niederschlagsmittels, was eine veränderte Anlagerung zur Folge hat.

Der große Vorteil eines solchen Verfahrens besteht darin, daß keine individuelle Behandlung jedes Tragkörpers erforderlich ist, vielmehr dient der einmal hergestellte Leitkörper gleichsam als Schablone, die eine Massenfertigung von Widerständen immer gleicher Art zuläßt.

Ändert man das Absorptionsvermögen des Leitkörpers, so wird damit ebenfalls eine unterschiedliche

4-5 Anlagerungsfähigkeit auf dem Widerstandskörper erreicht. Die Erzeugung des unterschiedlichen Absorptionsvermögens ist weiter möglich durch Verwendung unterschiedlichen Materials. Auch kann die Oberfläche des Leitkörpers durch verschiedene Aufrauhgrade ein unterschiedliches Absorptionsvermögen erhalten. Eine weitere günstige Möglichkeit zur Änderung des Absorptionsvermögens ist durch Erzeugung einer bestimmten Temperaturverteilung auf dem Leitkörper gegeben.

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Auch ist es möglich, eine unterschiedliche Schichtanhäufung dadurch zu erreichen, daß der zu überziehende Körper relativ zum Niederschlagsraum und zum Leitkörper bewegt wird. Natürlich kann auch der Leitkörper relativ zum Niederschlagsraum und zu dem zu überziehenden Körper bewegt werden.

Es ist zwar auch die Verwendung von Schablonen bekannt. Durch diese werden aber Teile der mit dem Niederschlag zu versehenden Körper völlig abgedeckt und bleiben somit von Niederschlagsstoffen frei. Dagegen dienen die Leitkörper nach dem Verfahren gemäß der Erfindung der gesteuerten Verteilung des Niederschlages über die gesamte mit dem Niederschlag zu versehende Oberfläche des Widerstandes.

Ein bevorzugtes Beispiel ist im Prinzip in der Figur aufgezeichnet. Der Niederschlagsraum 1 ist von den Wänden 2 umgeben. Das Niederschlagsmittel wird durch den Einlaßstutzen 3 in den Niederschlagsraum eingeführt und durch den Auslaßstutzen 4 aus dem Niederschlagsraum herausgepumpt. Der mit einer Widerstandsschicht zu überziehende zylindrische Stab 5 ist hier z. B. von zwei trompetenartigen Leitkörpern 6 und 7 umgeben. Diese Anordnung der Leitkörper wird an den Enden des Widerstandsstabes zu einer starken Verarmung des Niederschlagsmittels führen, so daß der Stab an seinen Enden einen viel geringeren Flächenwiderstand aufweisen wird als in der Mitte des Stabes. Die Leitkörper werden von den Stützen 8 und 9 in gewünschter Lage im Niederschlagsraum gehalten. Mit einer so ausgeführten Einrichtung wird man z. B. Widerstandsstäbe mit gewünschtem Flächenwiderstand nach dem Vakuumverfahren herstellen.

Die nach diesem Verfahren hergestellten Widerstände zeigen einen Flächenwiderstand, der nach einer beliebig gewünschten Funktion, sei sie stetig oder unstetig oder auch konstant, verläuft. Es ergeben sich für diese Widerstände die mannigfaltigsten Verwendungsmöglichkeiten, z. B. als Regel widerstände (Potentiometer), Dämpfungswiderstände, Abschlußwiderstände, Hochspannungswiderstände und auch als Kondensatorbelegungen mit veränderlichem Flächenwiderstand.

Claims (5)

PATENTANSPRÜCHE:

1. Verfahren zur Herstellung von Widerstandsschichten mit in der wirksamen Widerstandsschicht nach einer vorgegebenen Funktion verlaufendem Flächenwiderstand, dadurch gekennzeichnet, daß beim Niederschlagen der die Widerstandsschicht bildenden Stoffe den zu überziehenden Körper, dessen gesamte zu überziehende Oberfläche dem Niederschlag ausgesetzt ist, umgebende Leitkörper zur gesteuerten Verteilung des Niederschlages verwendet werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Leitkörper aus örtlich verschiedenen Materialien verwendet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Leitkörper mit örtlich verschiedenem Absorptionsvermögen verwendet wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Leitkörper eine örtlich unterschiedliche Temperaturverteilung erzeugt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Leitkörper ein siebartiges Leitblech, gegebenenfalls mit sich ändernder Maschenweite, verwendet wird.

In Betracht gezogene Druckschriften:

Deutsche Patentschriften Nr. 672 840, 634 209,
325;

deutsche Patentanmeldung S 3134 VIIId/21c (bekanntgemacht am 11. 9. 1952);

schweizerische Patentschrift Nr. 241 761;

USA.-Patentschrift Nr. 2061107.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

© 005 527/255 5.60-