DE1075574B - Verfahren zum Reinigen von Silan - Google Patents

Verfahren zum Reinigen von Silan

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DE1075574B DE1958I0015377 DEI0015377A DE1075574B DE 1075574 B DE1075574 B DE 1075574B DE 1958I0015377 DE1958I0015377 DE 1958I0015377 DE I0015377 A DEI0015377 A DE I0015377A DE 1075574 B DE1075574 B DE 1075574B
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silane
water vapor
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silane gas
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Pending
Application number
DE1958I0015377
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German (de)
English (en)
Inventor
London Eric Langley Bush
Original Assignee
International Standard Electric Corporation, New York, N. Y. (V.St.A.)
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Publication date
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    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/04Hydrides of silicon
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C01B33/043Monosilane

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