DE1028244B - Verfahren und Einrichtung zur Erzeugung einer Elektronen-gluehemission bei Elektronenstrahlgeraeten - Google Patents

Description

DEUTSCHES

In vielen Elektronenstrahlgeräten wird zur Erzeugung des Elektronenstrahles eine aus einem haarnadelförmig gebogenen Wolframdraht bestehende Glühkathode verwendet, die durch einen galvanischen Heizstrom zum Glühen gebracht wird. Die Temperaturverteilung über den Glühdraht hängt im wesentlichen, abgesehen von den Zuleitungsenden, von der Verteilung der Temperaturabstrahlung ab. Wie leicht einzusehen ist, ist die Temperatur der Innenflächen der Haarnadelschenkel am höchsten, da diese sich die Wärmeenergie gegenseitig zustrahlen. Am geringsten ist die Temperatur des Glühdrahtes an den beiden Zuführungen sowie an der zur Elektronenemission verwendeten Haarnadelspitze. Um diese Haarnadelspitze selbst auf ausreichende Emissionstemperatur zu bringen, werden daher wesentliche Teile des Drahtes höher erhitzt, als es für die eigentliche Emission erforderlich wäre. Dieser Umstand trägt sehr zur Verringerung der Lebensdauer der Glühkathoden bei.

Es ist bekannt, in Röntgenröhren Glühkathoden zu verwenden, die als vollwandiges Blech ausgebildet sind und die durch auf ihre Rückseite gerichtete Elektronenstrahlen zum Glühen gebracht werden. Dieses Verfahren zur Erzeugung einer Elektronenglühemission hat jedoch den Nachteil, daß die Vorderseite der Glühkathode, die zur Abgabe von Elektronen bestimmt ist, durch Wärmeleitung erhitzt werden muß, so daß der Wirkungsgrad dieser Kathode nicht gut ist.

Es ist ferner bekannt, daß beim Auftreffen von positiven Ionen auf eine Metallplatte aus dieser Elektronen ausgelöst werden können. Dieser Effekt ist unter anderem auf die entstehende starke Temperaturerhöhung an der Auftreffstelle der Ionen zurückzuführen. In einer bekanntgewordenen elektrischen Leuchtröhre werden die elektronenemittierenden Hauptelektroden mit Metallhülsen umgeben, welche als Hilfselektroden dienen. Beim Einschalten der Leuchtröhre wird eine elektrische Spannung zwischen diese Hilfselektroden und die Hauptelektroden gelegt. Da die Leuchtröhre mit Gas eines bestimmten Druckes gefüllt ist, bilden sich positive Ionen, die die Hauptelektroden über ihre gesamte Oberfläche erhitzen und zur Glühemission von Elektronen anregen.

Eine derartige Anordnung kann in Elektronenstrahlgeräten zur Erzeugung einer Elektronenglühemission nicht verwendet werden, da in diesen Geräten ein sehr gutes Vakuum aufrechterhalten werden muß. Der vorhandene Gasdruck reicht also nicht zur Bildung von positiven Ionen aus.

In einer anderen bekannten Vorrichtung werden positive Ionen zum Ausschlagen von Elektronen aus einer kalten Kathode verwendet. Die Ionen werden in einem hinter dieser Kathode gelegenen Entladungsraum erzeugt und treten von der negativen Seite her Verfahren und Einrichtung

zur Erzeugung einer Elektronen-

glühemission bei Elektronenstrahlgeräten

Anmelder:
Fa. Carl Zeiss, Heidenheim/Brenz

Dipl.-Phys. Karl Heinz Steigerwald,

Heidenheim/Brenz,
ist als Erfinder genannt worden

in den Raum zwischen Kathode und Anode ein. Dort werden die Ionen zur Richtungsumkehr gezwungen

.--ο und zugleich gebündelt. Die gebündelten Ionen treffen auf die Kathode auf und schlagen dabei aus dieser Elektronen aus. Der Energieinhalt des Ionenstrahles ist jedoch zu klein, um die Kathode auf eine zur Elektronenemission genügende Temperatur aufheizen zu können. Da ferner die aus der kalten Kathode ausgeschlagenen Elektronen eine hohe und untereinander sehr verschiedene Geschwindigkeit haben, ist es schwer, einen scharf gebündelten Elektronenstrahl genügender Intensität zu erzeugen.

Bei dem Verfahren nach der Erfindung wird eine Elektronenglühemission von einem definierten Kathodenfleck, bei Elektronenstrahlgeräten durch Beschüß der Kathode, mit in einer Hilfsentladung erzeugten positiven Ladungsträgern erzeugt, wobei diese Ladungsträger erfindungsgemäß in das zwischen Kathode und Anode des Elektronenstrahlerzeugungssystems bestehende und zur Beschleunigung der aus der Glühemission der Kathode stammenden Elektronen dienende elektrische Feld von der positiven Seite her etwa in Richtung auf die Kathode eingeschossen und durch dieses Feld in Richtung auf die Kathode beschleunigt und auf diese fokussiert werden. Das Verfahren nach der Erfindung gestattet es, tatsächlich nur den Teil der Kathode zu erhitzen, der zur Elektronenglühemission herangezogen wird. Durch das Einschießen der Ionen in das zwischen Kathode und Anode des Strahlerzeugungssystems bestehende elektrische Feld von der positiven Seite her wird erreicht, daß die Ionen auf die Kathode fokussiert und während ihre gesamten Weges beschleunigt werden. Der Energieinhalt des Ionenstrahles ist deshalb sehr groß und reicht ohne weiteres zur Aufheizung der getroffenen Kathodenstelle auf solche Temperaturen aus, bei denen eine Elektronenglühemission eintritt. Die

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aus dieser Glühemission stammenden langsamen Elek- schleunigungsgehäuse 12 hineingeschossen. Der Ionentronen werden durch das zwischen Anode und Kathode strahl wird von dem elektrischen Beschleunigungsfeld des Strahlerzeugungssystems aufgebaute elektrische erfaßt und nach den Elektroden 14 und 15 hin beFeld gebündelt und beschleunigt. Der entstehende schleunigt. Damit der Ionenstrahl die Spitze 18 des Elektronenstrahl ist scharf gebündelt und weist eine 5 Wolframdrahtes 16 trifft, sind Mittel vorgesehen, um ausreichende Intensität auf. die Ionenquelle und damit den Ionenstrahl durch Eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens Kippung mechanisch justieren zu können. Es kommt nach der Erfindung besteht aus einem an sich be- im wesentlichen auf die Richtung an, mit welcher der kannten Elektronenstrahlerzeugungssystem, bei dem Ionenstrahl in das Beschleunigungsfeld hineingejedoch an Stelle des als Kathode verwendeten Glüh- io schössen wird. Die durch die Form der Elektroden drahtes vorteilhaft ein Metallstift verwendet wird. Es 14 und 15 sowie eine Anodenblende 19 bestimmte ist ferner eine Ionenquelle vorgesehen, deren zum Verteilung des Beschleunigungsfeldes sorgt bei geAustritt der Ionen dienende Öffnung etwa auf die eigneter Wahl des Ionenstrahles für eine Bündelung Kathode des Strahlerzeugungssystems gerichtet ist der Ionen derart, daß diese sich am günstigsten un- und die mit an sich bekannten Mitteln, z. B. Well- i₅ mittelbar auf die Spitze 18 fokussieren. Um eventuelle rohren und Schrauben, mechanisch justierbar mit Bündelungsfehler auszugleichen, kann an der Ausder Wandung des das Strahlerzeugungssystem ent- trittsstelle der Ionen aus der Ionenquelle ein zusätzhaltenden Hochvakuumgefäßes verbunden ist. liches Linsensystem vorgesehen werden. Im allge-

Eine weitere Ausgestaltung einer Einrichtung nach meinen wird dies jedoch nicht erforderlich sein.

der Erfindung wird im folgenden an Hand der Aus- ₂o Um eine Justierung des Ionemstrahls bequem her-

führungsbeispiele darstellenden Fig. 1 bis 3 näher er- beiführen zu können, ist ein Spiegel 40 vorgesehen.

läutert. Dabei zeigt Durch ein Fenster 41 hindurch kann man so die Spitze

Fig. 1 die bekannte Ausführungsform einer haar- 18 beobachten. Im allgemeinen wird man die Auftreff-

nadelförmig gebogenen Wolframkathode, teilweise im stelle des Ionenstrahles zunächst durch ein schwaches

Schnitt gezeichnet, 25 Leuchten erkennen können, bei richtiger Justierung

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer Einrichtung glüht dann der Draht. Zusätzlich kann man die Be-

zur Erzeugung einer Elektronenglühemission nach obachtung durch Einschalten von Strommeßgeräten

der vorliegenden Erfindung, im Schnitt gezeichnet, in die Zuleitungen von der Hochspannungsanlage zu

Fig. 3 eine Kathode des Strahlerzeugungssystems der Elektrode 15 und der Kathode 16 verbessern.

in vergrößerter Darstellung, im Schnitt gezeichnet. ₃₀ Unter Umständen kann es zweckmäßig sein, an den

Bei der in Fig. 1 dargestellten bekannten Kathode Oberflächen der Elektroden 15 und 16 Spuren von

sind zwei Haltestifte 1 und 2 in Buchsen 3 und 4 ge- Mitteln vorzusehen, die durch die Ionen zum Leuchten

haltert. Diese Stifte sind in eine keramische Platte 5 angeregt werden können und nach der Justierung

eingenietet und besitzen an ihrem unteren Ende flache, leicht zu beseitigen sind, z. B. durch Verflüchtigen bei

einander zugeneigte Verbreiterungen 6 und 7. Auf 35 Temperaturerhöhung.

diesen Verbreiterungen ist ein Wolframdraht 8 durch Als Gasentladungskammer zur Erzeugung von Punktschweißung befestigt. Dieser Kathodendraht Ionen kann eine der üblichen Anordnungen zur Erwird durch Anlegen eines galvanischen Heizstromes zeugung von Ionenstrahlen verwendet werden. Das zur Glühemission gebracht, wobei mit den Ziffern 10 in der Fig. 2 gezeigte Beispiel besitzt eine Anode 20 und 11 die Stellen höchster Temperatur bezeichnet ₄₀ mit tiefer zylinderischer Bohrung 21. Die zugehörige sind, während im wesentlichen nur eine kleine Fläche Kathode besteht aus einer starken Metallplatte 22, der Haarnadelspitze 9 emittieren soll. Wie weiter beispielsweise Stahl, welche eine zentrische Bohrung oben bereits erwähnt, sind die Stellen höchster Er- 23 besitzt. An die Anode wird eine positive Gleichwärmung des Drahtes bei 10 und 11. An diesen spannung von einigen kV gelegt, während die Stellen tritt daher ein Durchschmelzen auf, und zwar 45 Kathodenplatte 22 geerdet wird. Hinter der Kathode bereits nach relativ kurzer Brenndauer, je nach der befindet sich ein kleiner Zwischenvakuum-Pumpraum erforderlichen Emissionsstärke, z. B. für Elektronen- 24, welcher z. B. zweckmäßig über eine nicht darstrahlröhren mit hoher Strahlstromstärke nach etwa gestellte Vakuumleitung mit dem Vorvakuum der 10 Stunden. zum Evakuieren der gesamten Apparatur verwendeten In Fig. 2 und 3 ist das Prinzip der Erfindung an 50 Diffusionspumpe in Verbindung steht. Eine darauf-Hand einer Einrichtung im Schnitt schematisch dar- folgende Blende 25 besitzt als Auslaß für den Ionengestellt. In einem Vakuumgehäuse 12 ist eine Elek- strahl eine röhrenförmige Bohrung 26 mit einem mögtrodenanordnung auf einem Isolator 13 montiert. Die liehst hohen Strömungswiderstand für den Luftdurch-Elektrodenanordnung besteht aus einer trichter- tritt zwischen dem Hochvakuum im Elektronengefäß förmigen Elektrode 14 und einer großen zylinder- 55 12 und der Zwischenvakuumkammer 24. förmigen Elektrode 15. Aus der Bohrung der trichter- Die Ionenstrahlquelle wird zweckmäßig über ein förmigen Elektrode ragt die Spitze eines Wolfram- elastisches Zwischenstück, z. B. Wellrohre 30, 31 und drahtes 16 heraus, welcher von einer Führung 17 ge- geeignete mechanische Lagerungen und Justiervorhalten wird. Diese Spitze wird nicht durch einen sie richtungen, z. B. Schrauben 28 und 29, an das durchfließenden Strom geheizt, sondern durch Be- 60 Vakuumgefäß angeflanscht. In dem in Fig. 2 darschuß mit positiven Ionen erhitzt. Ein derartiges Ver- gestellten Beispiel sind die Wellrohre 30, 31 und fahren ist zunächst etwas komplizierter als eine Schrauben 28, 29 in einem schräg in das Gehäuse 42 Heizung durch Heizstrom, es bringt jedoch eine An- eingesetzten Stutzen 43 angebracht. Weitere Justierzahl wesentlicher Vorteile mit sich. Wie in Fig. 2 an- vorrichtungen, z. B. zur Parallelverschiebung der gedeutet, ist unterhalb der aus den Elektroden 14 und 65 Ionenquelle oder Verschiebung entlang der Längssowie dem auf Anodenpotential liegenden Gehäuse achse, können mit bekannten Mitteln vorgesehen werbestehenden Elektronenbeschleunigungsanordnung den. Sie sind nicht besonders dargestellt, eine Ionenquelle angebracht. Ein aus ihr heraus- Zum Gaseinlaß in die Gasentladungskammer ist ein geschossener Strahl positiver Ionen wird von unten Nadelventil 44 vorgesehen, welches mit einem geschräg durch eine Anodenbohrung 19 in das Be- 70 wünschten Gas oder mit Luft beschickt werden kann.

Unter Umständen reicht auch der Anschluß an das Vorvakuum durch den Kanal 23 aus, um eine ergiebige Gasentladung zu zünden. Wenn besonders hohe Ströme erzielt werden sollen, kann eine Kühlung von Teilen der Gasentladungskammer durch Luft oder Flüssigkeit in bekannter Weise vorgesehen werden.

In Fig. 3 ist der Aufbau des eigentlichen Kathodensystems zur Elektronenstrahlerzeugung näher dargestellt. Die Vorrichtung stellt eine Glühkathode dar, welche eine für den Bedarf normaler Anwendungen bei einigen Milliampere Strahlstromstärke praktisch unbegrenzte Lebensdauer aufweist. Der Wolframdraht 16 ist auf einem Spulenkörper 50 aufgespult, während ein Ende des Drahtes zwischen Walzen 52 und 53 mit einer konischen Führungsrille 61 hindurch in eine rohrförmige Verlängerung 17 der Büchse 51 geführt ist. Die Spitze 18 des Wolframdrahtes· ragt etwa 0,5 bis 2 mm, je nach Drahtdurchmesser, aus einem konischen Abschlußstück 60 des Rohres 17 heraus. Eine Spitze 60 ist aus einem Material mit geeigneten thermischen Eigenschaften, insbesondere mit hohem Schmelzpunkt, hergestellt. Seine Spitze ist ähnlich wie bei einem Füllbleistift geschlitzt, damit es den Draht 16 federnd leicht umfaßt. Das Teil 51,17 ist mit einer Mutter 59 auf einer Isolierplatte 58 befestigt. Diese Platte 58 ist ihrerseits fest mit der Elektrode 14 verbunden. Die Elektrode 14 wird mit Hilfe der Elektrode 15 als Überwurfmutter auf einem Trägerrohr 57 befestigt, das gleichzeitig als elektrische Zuleitung für die Elektroden 14 und 15 dient, die in dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel auf gleichem Potential liegen.

Die Büchse 51 erhält ihre elektrische Verbindung mit dem Kathodenanschluß der Hochspannungsanlage durch eine nicht dargestellte gesonderte Zuleitung. Der Kontakt mit dem Wolframdraht 16 ist durch die Führung in 60, 17 sowie die Walzen 52, 53 und ihre Lagerung in der Büchse 51 einwandfrei gesichert. Der Vorschub des Drahtes kann von Hand über die in Fig. 2 gezeigte Vorrichtung 61, deren Anschlußstück 56 in Fig. 3 dargestellt ist, betätigt werden. Das Anschlußstück 56 treibt eine Achse 55 an, welche in der Büchse 51 gelagert ist und an ihrem unteren Ende eine Schnecke 54 trägt, die in eine Zahnung der Walze 53 eingreift. Durch die Drehung der Walze 53 wird der zwischen ihr und der Walze 52 eingeklemmte Draht transportiert. Eine der beiden Walzen 52 und 53 kann zweckmäßig federnd gelagert sein, jedoch ist eine solche federnde Lagerung der Einfachheit halber nicht dargestellt.

Die Verkürzung des Wolframdrahtes 16 an seiner Spitze 18 geschieht durch Kathodenzerstäubung sowie Verdampfung. Der Verbrauch des Drahtes ist so gering, daß sich in der Praxis die Verkürzung des Drahtes erst nach etwa 20 Betriebsstunden bemerkbar machen wird. Sie wird am sichersten durch die Erhöhung der negativen Sperrspannung an den Elektroden 14, 15 feststellbar. Durch Messung dieser Sperrspannung kann somit der Vorschub des Drahtes genau eingestellt werden.

Der Vorgang der Elektronenemission unterscheidet sich bei der Heizung des emittierenden Drahtes durch Ionenbombardement wesentlich von dem Fall der Heizung mit Stromdurchfluß.

Betrachtet man die Heizleistung, so benötigt eine normale Wolframglühkathode, z. B. eines Elektronenmikroskops mit einem Drahtdurchmeser von 0,1 bis 0,2 mm, etwa 5 bis 10 Watt, um auf ausreichende Emissionstemperatur geheizt zu werden. Bei einer Stiftkathode, wie sie in Fig. 2 gezeigt ist, liegen die Verhältnisse wesentlich günstiger. Es sind bei richtiger Fokussierung des Ionenstrahles und einem Drahtdurchmesser von 0,1 bis 0,2 mm etwa 2 bis 4 Watt zur Heizung der Spitze 18 ausreichend. Dies bedeutet bei einer Beschleunigungsspannung von 50 kV einen Ionenstrom von etwa 40 bis 80 μΑ, welcher mit einfachen Gasentladungsstrecken leicht zu erzielen ist.

Der auf die Kathode auftreffende Ionenstrom bedeutet natürlich eine zusätzliche Belastung für die zum Betrieb des Ladungsträgerstrahlgerätes verwendete Hochspannungsanlage. Da die Ionenströme jedoch, wie oben erwähnt, in der Gößenordnung von 100 μΑ liegen, ist dies im allgemeinen mit den üblichen Anlagen zu bewältigen.

Bei einer Betrachtung der elektronen- bzw. ionenoptischen Verhältnisse vor der Kathodenspitze 18 ist zu beachten, daß die hier eintreffenden Ionen bereits durch das von ihnen durchflogene Beschleunigungsfeld praktisch die volle durch das Feld erzielbare Geschwindigkeit angenommen haben. Die Wirkung der Feldformen, welche durch die Elektroden 14,15 zusammen mit der Kathodenspitze 18 erzeugt werden, ist daher viel zu schwach, um einen merklichen Einfluß auf den Bahnverlauf der Ionen zu haben. Die aus der Spitze 18 emittierten Elektronen haben dagegen nur ihre geringe Anlaufgeschwindigkeit und reagieren daher in der bekannten Weise auf den Verlauf der Potentialflächen in der Nähe der Kathode.

Eine besondere Wirkung der durch die Ionen dargestellten positiven Raumladung auf den Feldverlauf in der Nähe der Kathode ist nicht zu erwarten, da diese noch zu gering ist. Lediglich das Einschießen der Ionen in die vor der Kathodenspitze vorhandene, durch die Elektronen gebildete negative Raumladungswolke dürfte einen merklichen Einfluß auf die aus der Raumladung austretende Elektronenemission haben.

Durch das Ionenbombardement entsteht neben der Glühemission auch noch eine sekundäre Emission von Elektronen höherer Geschwindigkeiten, als diese bei Glühemission auftreten. Dieser Effekt wird sich im allgemeinen nicht störend bemerkbar machen, da der Anteil dieser Elektronen an der Gesamtemission gering ist. Außerdem werden diese Elektronen zum größten Teil unter sehr großen Winkeln austreten, so daß sie keinen eigentlichen Anteil des von der Strahlquelle erzeugten Elektronenstrahles bilden. Sie können auf einfache Weise mit verhältnismäßig großen Blenden ausgeblendet werden.

Die besonderen Vorteile des beschriebenen Verfahrens sind folgende: Wegfall besonderer Stromquellen für den Heizstrom sowie von Regelorganen auf Kathodenpotential; Möglichkeit einer einmaligen Dauer justierung des Elektronenstrahles; Wegfall sämtlicher Betriebsstörungen bei Durchbrennen einer Kathode infolge normalen Ablaufs der Lebensdauer, oder zu hohen Heizstrom oder Lufteinbruch; Erhöhung der Kathodenstromdichte und somit des Richtstrahlwertes im Elektronenstrahl, da jetzt die heißeste Stelle des Wolframdrahtes ausgenutzt werden kann.

Claims (10)

PATENTANSPRÜCHE:

1. Verfahren zur Erzeugung einer Elektronenglühemission von einem definierten Kathodenfleck bei Elektronenstrahlgeräten durch Beschüß der Kathode mit in einer Hilfsentladung erzeugten positiven Ladungsträgern, dadurch gekennzeichnet, daß diese Ladungsträger in das zwischen

Kathode und Anode des Elektronenstrahlerzeugungssystems bestehende und zur Beschleunigung der aus der Glühemission der Kathode stammenden Elektronen dienende elektrische Feld von der positiven Seite her, etwa in Richtung auf die g Kathode, eingeschossen und durch dieses Feld in Richtung auf die Kathode beschleunigt und auf diese fokussiert werden.

2. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch _ϊ0 eine Ionenquelle (20, 22, 25), deren zum Austritt der Ionen dienende öffnung etwa auf die Kathode des Strahlerzeugungssystems weist und die mit an sich bekannten Mitteln, z. B. Wellrohren (30, 31) und Schrauben (28,29), mechanisch justierbar mit der Wandung des Hochvakuumgefäßes verbunden ist.

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Öffnung (23) zum Austritt der Ionen aus der Ionenquelle (20, 22, 25) eine über eine Vakuumleitung mit dem Vorvakuum der zum Evakuieren des gesamten Elektronenstrahlgerätes verwendeten Diffusionspumpe verbundene Zwischenpumpkammer (24) vorgeschaltet ist.

4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasentladungsraum (21) der Ionenquelle mit der Vorvakuumpumpe der für das Elektronenstrahlgerät vorhandenen Pumpanlage verbunden ist.

5. Einrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenquelle ein regelbares Gaseinlaßventil (44) enthält.

6. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kontrolle der Justierung des Ionenstrahles ein Spiegel (40) vorgesehen ist, über welchen durch ein Fenster (41) hindurch die Auftreffzone des Ionenstrahles beobachtet werden kann.

7. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Kathode des Elektrotienstrahlerzeugungssystems ein Draht, z. B. Wolframdraht (16), vorgesehen ist, der in einer Kanüle (17, 60) geführt wird und mit seiner Spitze (17) aus dieser Kanüle herausragt.

8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein längeres Stück des Drahtes« in einer Speichervorrichtung (50) gespeichert ist und daß Mittel (53, 54, 55, 56) vorgesehen sind, um den Draht durch die Kanüle hindurch vorzuschieben.

9. Einrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kontrolle des Vorschubs des Kathodendrahtes an sich bekannte Mittel zur Messung der negativen Sperrspannung des Strahl-· •erzeugungssystems (12, 14, 15, 16) vorgesehen sind. :

10. Einrichtung nach Anspruch 7, 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß in die elektrischen Zuleitungen der Kathode und ihrer negativen Steuerelektroden (14, 15) zur Kontrolle der durch auf die Elektroden auftreffende Ionen entstehenden Ströme Strommeßgeräte eingeschaltet sind.

In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 688 089; österreichische Patentschrift Nr. 127 133; Dosse-Mierdel: »Der elektrische Strom Hochvakuum und in Gasen«, 1943, S. 84 bis 87.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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