DE3780675T2 - Vorrichtung, insbesondere duoplasmatron, zur ionisierung eines gases und verfahren zur benutzung dieser vorrichtung. - Google Patents

Vorrichtung, insbesondere duoplasmatron, zur ionisierung eines gases und verfahren zur benutzung dieser vorrichtung.

Info

Publication number
DE3780675T2
DE3780675T2 DE8787400738T DE3780675T DE3780675T2 DE 3780675 T2 DE3780675 T2 DE 3780675T2 DE 8787400738 T DE8787400738 T DE 8787400738T DE 3780675 T DE3780675 T DE 3780675T DE 3780675 T2 DE3780675 T2 DE 3780675T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
duoplasmatron
ionizing
gas
especially duoplasmatron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE8787400738T
Other languages
English (en)
Other versions
DE3780675D1 (de
Inventor
Bruno Blanchard
Pierre Juliet
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Original Assignee
Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Commissariat a lEnergie Atomique CEA filed Critical Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Application granted granted Critical
Publication of DE3780675D1 publication Critical patent/DE3780675D1/de
Publication of DE3780675T2 publication Critical patent/DE3780675T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/022—Details
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
    • H01J27/10—Duoplasmatrons ; Duopigatrons
DE8787400738T 1986-04-09 1987-04-03 Vorrichtung, insbesondere duoplasmatron, zur ionisierung eines gases und verfahren zur benutzung dieser vorrichtung. Expired - Fee Related DE3780675T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8605064A FR2597286B1 (fr) 1986-04-09 1986-04-09 Dispositif et notamment duoplasmatron utilisable pour ioniser un gaz comprenant une cathode servant de cathode chaude ou froide et procede d'utilisation de ce dispositif

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3780675D1 DE3780675D1 (de) 1992-09-03
DE3780675T2 true DE3780675T2 (de) 1993-02-04

Family

ID=9334059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8787400738T Expired - Fee Related DE3780675T2 (de) 1986-04-09 1987-04-03 Vorrichtung, insbesondere duoplasmatron, zur ionisierung eines gases und verfahren zur benutzung dieser vorrichtung.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4752667A (de)
EP (1) EP0241362B1 (de)
DE (1) DE3780675T2 (de)
FR (1) FR2597286B1 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5257500A (en) * 1992-07-27 1993-11-02 General Electric Company Aircraft engine ignition system
DE102006027853B4 (de) * 2006-06-16 2012-06-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas sowie Verwendung derselben
US7550741B2 (en) * 2006-10-18 2009-06-23 Sanns Jr Frank Inertial electrostatic confinement fusion
CA2836816C (en) * 2011-05-23 2018-02-20 Schmor Particle Accelerator Consulting Inc. Particle accelerator and method of reducing beam divergence in the particle accelerator
WO2014201285A1 (en) 2013-06-12 2014-12-18 General Plasma, Inc. Linear duoplasmatron

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3164739A (en) * 1960-07-20 1965-01-05 Vakutronik Veb Ion source of a duo-plasmatron
US3513351A (en) * 1968-06-26 1970-05-19 Atomic Energy Commission Duoplasmatron-type ion source including a gas reservoir
GB1243483A (en) * 1969-06-12 1971-08-18 Hughes Aircraft Co An ion source
US3705998A (en) * 1972-01-27 1972-12-12 Us Army Negative ion generator
US4596945A (en) * 1984-05-14 1986-06-24 Hughes Aircraft Company Modulator switch with low voltage control
US4659899A (en) * 1984-10-24 1987-04-21 The Perkin-Elmer Corporation Vacuum-compatible air-cooled plasma device

Also Published As

Publication number Publication date
EP0241362B1 (de) 1992-07-29
FR2597286B1 (fr) 1988-06-10
DE3780675D1 (de) 1992-09-03
US4752667A (en) 1988-06-21
EP0241362A1 (de) 1987-10-14
FR2597286A1 (fr) 1987-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3750808D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ionenätzung.
DE3789268D1 (de) Vorrichtung zur Unterbrechung eines Gasflusses.
DE3583819D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines lauflaengenbegrenzten kodes.
DE69021659T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur reihenweisen Parallelprogrammfehlersuche.
DE3585204D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur entdeckung eines objekts.
DE3683958D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur guetepruefung von masken.
DE68907891D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur kuehlung eines plasmabogens.
DE3577687D1 (de) Verfahren zum bereiten eines ozongases und vorrichtung dafuer.
DE3862699D1 (de) Vorrichtung zur behandlung eines prozessgases.
DE3751060D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Eichung eines Gases.
DE68917870D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur chemischen Gasphasenabscheidung.
DE68916616T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Gruppenlochen.
DE3861354D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur trennung von gasen.
DE58902049D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ladedruckregelung.
DE3879015D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ueberfruefung von lochmaskenplatten.
DE3763362D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum vakuum-verdampfen eines komponentengemisches.
DE58902492D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur sanierung kontaminierter standorte.
DE3770728D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur impulsechomessung.
DE3854271D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur reinigung von gasen.
DE3678194D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines duennen gegenstandes.
DE3761796D1 (de) Vorrichtung zur gasentstaubung.
DE3585881D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur abtrennung von wasserstoff aus einem stoffgemisch, insbesondere einer gasmischung.
DE3780675D1 (de) Vorrichtung, insbesondere duoplasmatron, zur ionisierung eines gases und verfahren zur benutzung dieser vorrichtung.
DE69021546D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Photodetektion.
DE3789071D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Einstellung eines Kopiergerätes.

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee