DE1027425B - Optisches Geraet zur Herstellung von Interferenzstreifen, insbesondere Mess- oder Pruefgeraet - Google Patents

Optisches Geraet zur Herstellung von Interferenzstreifen, insbesondere Mess- oder Pruefgeraet

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DE1027425B DEK17529A DEK0017529A DE1027425B DE 1027425 B DE1027425 B DE 1027425B DE K17529 A DEK17529 A DE K17529A DE K0017529 A DEK0017529 A DE K0017529A DE 1027425 B DE1027425 B DE 1027425B
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Description

  • Optisches Gerät zur Herstellung von Interferenzstreifen, insbesondere Meß- oder Prüfgerät Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Vorrichtung zur Herstellung von Interferenzstreifen und auf optische Geräte, die diese Vorrichtung enthalten.
  • Bekanntlich kann man ein räumlich verteiltes System von Interferenzstreifen durch ein Paar paralleler enger Schlitze erhalten, die von einem symmetrisch hinter diesem Paar angeordneten schmalen Schlitz aus so beleuchtet werden, daß von einander entspregehenden Punkten der zwei Schlitze kommende Strahlen an den Schlitzen gleichphasig miteinander sind und in Interferenz miteinander treten; dabei wird, von irgendeinem in der Symmetrieebene und vor den Schlitzen gelegenen Punkt aus gesehen, ein -System von parallelen geraden Interferenzstreifen sichtbar.
  • Die bekannte Vorrichtung zur Erzeugung solcher Interferenzstreifen besitzt jedoch eine für viele praktische Anwendungsfälle störende Länge; es wurde daher vorgeschlagen, die bekannte Vorrichtung dadurch kürzer zu gestalten, daß man zwischen den beleuchteten Schlitz und das Paar paralleler Schlitze eine geeignete Linse einschaltet. Auch mit dem bekannten Fresnelschen Biprisma läßt sich ein System räumlicher, gerader, paralleler Interferenzstreifen erzeugen.
  • Demgegenüber bezweckt die Erfindung, in erster Linie ein verbessertes Gerät zur Erzeugung eines räumlich verteilten Systems von Streifen zu schaffen, und zwar ein Gerät, das ohne die Anwendung einer zusätzlichen Linse kürzer als die bekannte Vorrichtung und für die praktische Verwendung besser geeignet als diese ist und das sich in einem weiteren Bereich von Anwendungsfällen als die bekannte Vor richtung gebrauchen läßt; die erweiterte Anwendungsmöglichkeit ergibt sich dadurch, daß das erfindungsgemäße Gerät kreisförmige Streifen bzw.
  • Ringe statt paralleler gerader Streifen erzeugt.
  • Das Gerät gemäß der Erfindung weist ein axialsymmetrisches, brechendes oder reflektierendes Organ C auf, das eine konische oder annähernd konische Oberfläche C2 besitzt, die von einem genauen Kegel nur um - das Ausmaß abweicht, das zur Gewährleistung einer Aberrations-Korrektur ausreicht; das Organ C- entwirft ein - ringförmiges virtuelles Bild einer beleuchteten Lochblende mit sehr kleiner Öffnung B, wobei die von diesem ausgehenden Strahlen miteinander in Interferenz treten und bei Betrachtung voII irgendeinem Punkte der Achse des Kegels C2 aus ein System von konzentrischen kreisförmigen Interferenzringen erscheinen lassen.
  • Von den bekannten Geräten, bei denen konzentrische kreisförmige Interferenzstreifen in einer einzigen Ebene erzeugt werden, unterscheidet sich das Gerät nach der Erfindung dadurch, daß es ein System von räumlich verteilten konzentrischen kreisförmigen Interferenzstreifen liefert.
  • Das optische Organ kann, wie gesagt, als konisches, reflektierendes Organ ausgebildet sein. In diesem Fall wird es gewöhnlich empfehlenswert sein, einen teilweise transparenten Reflektor mit geneigter Ebene zwischen die Lochblende und das konische reflektierende Organ einzuschalten, um zu verhindern, daß die Lochblende und die Beleuchtungsmittel den Strahlengang bei der Erzeugung der Streifen stören. Im allgemeinen wird es jedoch zweckmäßiger sein, das optische Organ als ein brechendes Organ auszubilden, das das ringförmige virtuelle Bild annähernd in der Ebene erzeugt, die durch die Blendenöffnung im rechten Winkel zur Kegelachse hindurchgeht.
  • Das Gerät gemäß der Erfindung kann für unterschiedliche Zwecke verwendet werden, am besten aber bei optischen Meß- oder Prüfgeräten, wobei ein geeignetes optisches Beobachtungssystem zur Betrachtung der Streifen vorgesehen wird. Es ist ersichtlich, daß der Vorteil der Anwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung bei einem Gerät dieser Art darin liegt, daß die Streifen von jedem beliebigen Punkt längs der Kegel achse aus beobachtet werden können und es demzufolge überflüssig ist, eine sehr genaue Sammlung des Strahlenganges auf einen Punkt bzw. einen Brennpunkt vorzusehen, wie es sonst häufig bei dem häufig bei dem Beobachtungssystem des Meß-oder Prüfgerätes erforderlich ist.
  • Bei einem Anwendungsbeispiel eines solchen Gerätes dient dieses zur Prüfung der Parallelität zwischen der Kegelachse der optischen Vorrichtung und der optischen Achse des Beobachtungssystems.
  • In diesem Fall kann das Beobachtungssystem aus einem Fern roh robj ektiv, einem Fadenkreuzträger od. dgl. in oder in der Nähe der Brennebene des Obj ektivs und einem Okular zur Beobachtung des Streifenbildes bestehen, das auf dem Fadenkreuzträger entworfen wird (der Fadenkreuzträger od. dgl. kann eine mehr oder weniger lichtdurchlässige Platte, z. B. Strichplatte mit Strichmarkierung oder sonstiger Markierung, oder ein mit der Markierung bzw. mit dem Fadenkreuz versehener Schirm sein und wird nachstehend kurz als Schirm bezeichnet).
  • Ein anderes Beispiel ist die Anwendung des Gerätes zur Prüfung der Übereinstimmung bzw. Fluchtung der Kegelachse mit der Richtung der Achse des Beobachtungssystems; in diesem Fall kann das Beobachtungssystem aus einem Schirm und einem optischen System bestehen, dessen Brennebene in der Ebene des Schirmes liegt und das es gestattet, die Markierungen auf dem Schirm mit den in der Schirmebene gebildeten Streifen zu vergleichen.
  • Diese beiden Anwendungsfälle können in einem einzigen Gerät miteinander vereint werden, wobei die Gesamteinrichtung als eine Verbesserung des Gerätes zu betrachten ist, das gewöhnlich als Fernrohr zur Prüfung der Richtungsübereinstimmung bezeichnet wird. Gegenüber den bekannten Bauarten dieses Gerätes bietet die Erfindung den Vorteil, daß sie die sonst unbedingt erforderliche hohe Genauigkeit in der Einstellung der beweglichen Teile überflüssig macht. Man kann dieses kombinierte Gerät dadurch herstellen, daß man dem erstgenannten Gerät zur Prüfung der Parallelität einen zweiten Schirm gegenüber dem Fernrohrobjektiv und Organe zusätzlich zuordnet, die das optische System so ändern oder einstellen, daß seine Brennebene mit der Ebene des zweiten Schirmes zusammenfällt. Die Abänderung des optischen Systems, mit der es von der Einstellung für den einen Prüfvorgang in diejenige für den anderen Prüfvorgang umgewandelt wird, kann dadurch bewerkstelligt werden, daß man eine zusätzliche Linse in der Achse des Beobachtungssystems einschaltet oder ausschaltet.
  • Eine zweckmäßige Ausführungsform der Schirmmarkierungen besteht bei jeder dieser Anordnungen aus konzentrischen kreisförmigen Markierungslinien, die genau auf die Achse des Beobachtungssystems zentriert sind. Im Fall des kombinierten Gerätes -wird es jedoch für gewöhnlich erwünscht sein, daß die beiden Schirme unterschiedliche Markierungen aufweisen.
  • Ein anderes Beispiel der Anwendung der optischen Vorrichtung gemäß der Erfindung ist bei einem Gerät gegeben, das zur Prüfung der Zentrierung eines optischen Gliedes auf einer drehbaren Welle oder Spindel dient. In diesem Fall befindet sich die Kegelachse der optischen Vorrichtung annähernd in Verlängerung der Spindelachse und ist das Beobachtungssystem so eingerichtet, daß man das Bild der Streifen betrachtet, das von dem zu prüfenden optischen Glied entworfen wird. Auf diese Weise kann man jegliche Bewegung dieses Bildes beobachten, die von der Drehbewegung der Spindel oder Welle und des auf ihr sitzenden Gliedes herrührt. Zweckmäßig wird ein teilweise durchsichtiger Reflektor zwischen die optische Vorrichtung und das zu prüfende Glied eingeschaltet, wobei das Beobachtungssystem so eingerichtet wird, daß man das Bild oder die Bilder der Streifen beobachtet, das bzw. die von der Oberfläche bzw. den Oberflächen des Gliedes reflektiert und nochmals durch den teilweise transparenten Reflektor reflektiert werden.
  • Die Erfindung kann auf verschiedene Weise praktisch ausgeführt werden. Nachstehend werden einige zweckmäßige, wahlweise in Betracht kommende Ausführungsformen der optischen Vorrichtung zur Erzeugung der Streifen und der Anwendung einer derartigen Vorrichtung bei optischen Meß- oder Prüfgeräten an Hand der Zeichnungen beispielsweise beschrieben, und zwar zeigt Fig. 1, teilweise schematisch, eine bevorzugteAusführungsform der Vorrichtung zur Erzeugung der Streifen, Fig. 2 eine andere Ausführungsform der Vorrichtung zur Erzeugung der Streifen, Fig. 3, 4 und 5 jeweils eine Abänderung eines Teils der Ausführungsformen nach den Fig. 1 und 2, Fig. 6 ein Beobachtungssystem, das in Verbindung mit der Vorrichtung zur Erzeugung von Streifen ein Gerät zur Prüfung der Parallelität von zwei Achsen bildet, Fig. 7 eine Ausführungsform eines Schirmes, der zur Anwendung bei dem Beobachtungssystem nach Fig. 6 geeignet ist, Fig. 8 und 9 je eine Ausführungsfonn des Beobachtungssystems, die in Verbindung mit der Vorrichtung zur Streifenerzeugung ein Gerät zur Richtungs- bzw. Fluchtungsprüfung bilden, Fig. 10 ein Fernrohrsystem zur Richtungs- bzw.
  • Fluchtungsprüfung, das die Aufgaben der Beobachtungssysteme nach Fig. 6 und 9 gemeinsam erfüllt, Fig. 11 eine selbsttätige Kollimatoreinrichtung und Fig. 12 und 13 je eine Ausführungsform eines Linsenzentriergerätes, das die Vorrichtung zur Streifenerzeugung enthält.
  • Die in Fig. 1 gezeigte bevorzugte optischeVorrichtung zur Streifenerzeugung besitzt eine LichtquelleA, die für manche Zwecke monochromatisches Licht aussenden kann, für gewöhnlich aber weißes Licht liefern soll. Sie weist ferner ein Kondensorsystem A1 auf, das das Licht der Lichtquelle auf eine sehr kleine Blendenöffnung B konzentriert, welche sich in einer Blende Bl befindet. Ferner enthält die Vorrichtung ein konisches brechendes Organ C, das in beträchtlichem Abstand von der Blendenöffnung B so angeordnet ist, daß die Öffnung in der Kegelachse liegt. Das konische Organ C besitzt eine ebene Oberfläche C1, die der Blendenöffnung B zugekehrt ist, und seine Kegelfläche C2 bildet mit der Achse einen Winkel, der nur wenig kleiner als ein rechter Winkel ist, so daß die Kegelfläche nahezu senkrecht zur Achse verläuft, wobei die in axialer Richtung gemessene Dicke des Organs klein im Verhältnis zum Abstand des Organs von der Lochblende ist.
  • Dieses konische Organ C entwirft in einer zur Kegel achse senkrechten, durch die Blendenöffnung B gehenden Ebene ein virtuelles Bild Q der Öffnung in der Form eines dünnen, das Loch konzentrisch umgebenden Ringes. Die gesamte Vorrichtung ist somit als eine zweckentsprechende Einrichtung zur Erzeugung eines kreisförmigen Lichtringes zu betrachten, und zwar mit der Maßgabe, daß die Strahlen an jedem Punkt des Kreisringes genau gleichphasig miteinander sind, so daß die von den Punkten des Kreises ausgehenden Strahlen in Interferenz miteinander treten und kreisförmige, mit der Kegelachse konzentrische Interferenzstreifen bzw. -ringe bilden.
  • Diese Streifen sind räumlich längs der Kegelachse vor der Vorderseite des Kegels C derart verteilt, daß bei Betrachtung von irgendeinem Punkt der Achse aus ein System von kreisförmigen Interferenzstreifen bzw. -ringen erscheint. Die Größe des innersten Ringes wächst um so mehr, je mehr sich das Auge längs der Achse vom Kegel fortbewegt, und diese Größe ist proportional zum Abstand des Auges vom Ringbild D der Blendenöffnung. Im Fall der Anwendung monochromatischen Lichtes erscheinen die kreisförmigen Ringe, von irgendeinem Punkt der Achse aus betrachtet, abwechselnd hell und dunkel.
  • Bei Verwendung weißen Lichtes erscheinen die Streifen jedoch in den Spektralfarben. Für den praktischen Gebrauch erweist sich die Verwendung von weißem Licht gewöhnlich als besser, weil man sich leicht auf einen dünnen Kreisring einer bestimmten Farbe in dem Ringsystem konzentrieren kann.
  • Die gesamte Vorrichtung wird in einem zylindrischen Gehäuse E oder in einem Gehäuse untergebracht, das zylindrische, genau auf die Achse des Kegels zentrierte Teile aufweist, so daß man das Gehäuse leicht auf V-förmigen Blöcken oder sonstigen genau eingestellten Trägern anbringen kann.
  • Fig. 2 zeigt eine andere Ausführungsform der Vorrichtung, bei der ein reflektierender Kegel F an Stelle des brechenden Kegelgliedes C verwendet wird. Um in diesem Fall eine Störung der Interferenzringe durch die Nadellochblende und die Lichtquelle zu vermeiden. wird ein halbdurchlässiger Reflektor Pl in einer zur optischen Achse des Gehäuses E geneigten Ebene zwischen den Kegel F und die Lochblende B1 eingeschaltet, so daß die Lochblende Bt, die Lichtquelle A und das hinter der Lochblende liegende Kondensorsystem Al seitlich zur optischen Achse angeordnet werden können. Der konische Reflektor F liefert ein ringförmiges virtuelles Bild des Nadelloches B bei D, von dem aus sich die Interferenzstreifen bzw. -ringe ergeben.
  • Diese Einrichtungen können in verschiedener Weise abgeändert werden. So ist es z. B. nicht wesentlich, daß der stumpfe Winkel des Kegels C2 oder des Kegels F mit der Achse einen Winkel bildet, der nur wenig kleiner als 900 ist, oder daß das brechende konische Organ C dünn ist oder daß das virtuelle Bild D bei der mit Brechung arbeitenden Vorrichtung genau in der durch die Lochblende B1 gehenden Qùereb,ene liegt. Es kann ferner in manchen Fällen erwünscht sein, die Einfallsfläche C1 des hrecllenden konischen Organs etwas gekrümmt statt eben auszubilden (wie dies Fig. 3 zeigt) oder den Erzeugenden der Kegelfläche eine leichte Krümmung zu geben (wie dies beispielsweise in Fig. 4 für den reflektierenden Kegel F gezeigt ist), um eine Korrektur für die sphärische Aberration zu bewirken und hierdurch die genaue Erzeugung des virtuellen Bildes D zu verbessern. Ferner kann, obgleich dies in der Regel nicht erforderlich sein wird, eine Linse G (Fig. 5) zwischen die Lochblende B1 und das konische Organ C eingeschaltet werden, um die Länge der Vorrichtung in axialer Richtung herabzusetzen.
  • Die optische Vorrichtung kann bei verschiedenen Arten von optischen ÄIeß- oder Prüfgeräten an- gewendet werden. Eine wichtige derartige Anwelldung ist diejenige bei einem Fluchtungsprüffernrohr zur Prüfung der Parallelität oder der Übereinstimmung der Richtung von zwei im Abstand voneinander verlaufenden Achsen, z. B. bei Prüfmaschinenständern oder -fundamenten oder bei der Lagerung von Lehren. Bei einer Ausfiihrungsform eines solchen Gerätes zur Prüfung von Parallelität wird die oben beschriebene optische Vorrichtung genau -auf dem einen der zwei zu prüfenden Teile angebracht, während der andere Teil in genauer Anordnung ein Fernrohr trägt, das gemäß Fig. 6 ausgebildet sein kann. Dieses Fernrohr besitzt ein Objektiv H und ein Okular J sowie einen Schirm K, der zwischen Objektiv und Okular annähernd in der Brennebene des Objektivs angeordnet ist. Hieraus ergibt sich, daß dem Beobachter bei genauer Anordnung des Schirmes K in der Brennebene des Objektivs H die Interferenzstreifen bzw. -ringe im Unendlichen erscheinen, da diese durch das Objektiv in der Brennebene auf dem Schirm gesammelt werden. In der Praxis kann man jede beliebige zweckmäßige Einstellung auf einen anderen Abstand als Unendlich wählen, wobei der Schirm K etwas aus der Brennebene des Objektivs H in geeignetem Maße herausgedrückt wird.
  • Wenn die zwei zu prüfenden Achsen nicht ganz parallel miteinander sind, so erscheint der Fehler als eine seitliche Verschiebung der Interferenzringe gegenüber ihrer sonst mit der Schirmachse konzentrischen Lage. Um eine schnelle und genaue Prüfung zu erleichtern, wird der Schirm vorzugsweise mit einer Anzahl kreisförmiger Markierungen versehen, die genau zentrisch zur Achse des Fernrohres verlaufen (wie sie z. B. in Fig. 7 gezeigt sind); selbst eine sehr kleine Abweichung aus genauer Parallelität erscheint sofort bei Vergleich eines derartigen Markierungsringes mit den auftretenden Interferenzringen. Der Schirm K kann auch mit Skalen versehen sein, wenn eine genaue Messung der seitlichen Verschiebung der Interferenzringe erwünscht ist.
  • Das Gehäuse L des Fernrohres ist so gestaltet, daß es genau auf V-förmigen Blöcken oder sonstigen Trägern gelagert werden kann, die selbst von dem Teil getragen werden, dessen Parallelität mit dem anderen, gegebenenfalls entfernt liegenden Teil zu prüfen ist, welcher die die Interferenzringe erzeugende optische Vorrichtung trägt.
  • Zur Prüfung der Fluchtung von zwei Richtungen zwischen zwei Teilen dient wieder einer dieser Teile als Träger der die Interferenzringe erzeugenden Vorrichtung; es ist aber eine andere Anordnung des von dem anderen Teil getragenen Beobachtungssystems erforderlich. Fig. 8 und 9 zeigen zwei unterschiedliche Ausführungsformen für eine derartige Einrichtung. Bei der Ausführungsform nach Fig. 8 besitzt das Beobachtungssystem einen am Vorderende des Gehän-ses L angebrachten Schirm M und ein verstellbares Okular L1 mit einer Vergrößerungslinse N. Diese Vergrcßerungslinse :\' dient dazu, ein Bild des Schirmes;tl in einer zur Betrachtung geeigneten Stellung zu entwerfen, so daß der Betrachter die in der Ebene des Schirmes 3j entworfenen Interferenzringe in Überlagerung mit den Markierungen des Schirmes sieht.
  • Wie zuvor, besteht der Prüfvorgang darin zu beobachten, ob die Interferenzringe genau zentrisch zur Achse des Schirmes erscheinen oder nicht. Die Markierungen des Schirmes bestehen wieder aus kreisringförmigen Markicrungslinien, die genau zentrisch verlaufen, z. B. nach der in Fig. 7 gezeigten Art, um einen Vergleich mit den Interferenzringen zu erleichtern, wobei für Meßzwecke zugleich Skalen vorgesehen sein können. Eine Feldlinse 0 kann, wenn erwünscht, in der Nähe des Schirmes M gemäß Fig. 9 vorgesehen sein.
  • In der Praxis ist es häufig zweckmäßig, das zur Prüfung der Parallelität dienende Beobachtungssystem und das zur Prüfung der Richtungsübereinstimmung bzw. -fluchtung dienende Beobachtungssystem in einem Gerät zu vereinen, das als Fernrohr zur Fluchtungs- oder Richtungsprüfung bekannt ist.
  • Fig. 10 zeigt eine zweckmäßige Ausführungsform eines derartigen Gerätes, das - allgemein gesprochen - die Systeme nach Fig. 8 und 9 vereint.-Demgemäß besitzt das in Fig. 10 gezeigte Gerät ein festes, in der Nähe des Vorderendes des Gehäuses L angebrachtes Hauptobjektiv H, ein einstellbares Okular L1 mit einer Linse J, zwei Schirme K und M, von denen K zwischen dem Objektiv und dem Okular und M am Vorderende des Gehäuses L angebracht ist. Ferner weist das Gerät ein bewegliches Hilfsobj ektiv P auf, das in die gezeichnete Stellung in die Achse des Gehäuses geschoben oder aus dieser herausgezogen werden kann. Für die Prüfung der Parallelität wird dieses Hilfsobjektiv P herausgezogen, und es arbeiten das-Hauptobjektiv H, der erste Schirm K und die Okularlinse J. in der bei Fig. 6 und 7 beschriebenen Weise zusammen. Es ist zu bemerken, daß der zweite Schirm M sich während der Parallelitätsprüfung weit außerhalb der Brennebene befindet und daher durch das Okular nicht gesehen wird.
  • Zur Fluchtungsprüfung wird der zweite Schirm-i und auch das bewegliche Hilfsobjektiv P verwendet, das'in diesem Fall in seine Stellung in die Achse des Fernrohrs eingerückt ist. Befindet sich das Hilfsobjektiv P in dieser Stellung, so arbeitet es mit dem Hauptobjektiv als Vergrößerungseinrichtuiig zusammen, die ein Bild des zweiten Schirmes M in einer zur Betrachtung durch das Okular geeigneten Stellung entwirft; diese Bildstellung ist jedoch hinreichend entfernt von der Stellung des ersten Schirmes K, so daß der erste Schirm Kj wenn das Okular auf die Betrachtung des Bildes des zweiten Schirmes IC eingestellt worden ist, sich so weit außerhalb des Brennpunktes befindet, daß er unsichtbar ist Auf diese Weise wird es überflüssig, besondere Organe vorzusehen, um den ersten Schirm K aus seiner Normalstellung herauszuschieben, in der - er zur Achse mit hochgradiger Genauigkeit zentriert ist.
  • Da die Vereinigung des Hauptobjektivs H mit dem Hilfsobjektiv P nur eine Vergrößerungswirkung ergibt, ist keine Höchstgenauigkeit beim Zentrieren des Hilfsobjektivs erforderlich und kann jeder kleine Fehler in der Einstellung leicht durch Verstellen des Okulars oder durch Anpassung des Auges ausgeglichen werden. Ein derartiger Fehler beeinflußt die Genauigkeit der Zentrierung des Bildes der Markierungen des zweiten Schirmes M zur Achse nicht. Man kann eine beliebige Vorrichtung verwenden, um das Hilfsobjektiv P in seine Stellung oder aus dieser heraus zu bringen. In dem gezeichneten Beispiel ist das Hilfsobjektiv auf einem Schlitten pl gelagert, der längs fester Führungen p2 aus seiner Arbeitsstellung herausgezogen und in diese zurückgeschoben werden kann; die Führungen besitzen eine in axialer Richtung durchgehende Bohrung für den Lichtdurchgang, wenn der Schlitten aus seiner Arbeitsstellung herausgezogen wird.
  • Selbstverständlich ist es erwünscht, daß die beiden Schirme K und M unterschiedliche Markierungen aufweisen, um zu gewährleisten, daß der Betrachter sie leicht voneinander unterscheiden kann.
  • Jeglicher Mangel an Parallelität zwischen den zwei Achsen wird bei der Fluchtungsprüfung in Form einer etwas elliptischen Gestaltung der Interferenzringe sichtbar; jedoch zeigt die oben beschriebene gesonderte Prüfung auf Parallelität eine Abweichung in der Parallelität deutlicher und genauer an, als sie sich aus der elliptischen Verzerrung ergibt. In gleicher Weise erscheint bei der Parallelitätsprüfung jeglicher Fehler in der Fluchtung der Achsen in Form einer Änderung der Intensität der Interferenzringe; indessen ist in der Praxis die gesonderte Prüfung auf Fluchtung notwendig, um ein genaues Ergebnis zu erhalten. Es ist insbesondere zu bemerken, daß bei dem Fernrohr diejenigen Teile, welche mit hoher Genauigkeit eingestellt werden müssen, fest angeordnet sind, während die beweglichen Teile diejenigen - sind, die nicht mit höchster Genauigkeit gelagert zu werden brauchen.
  • Das Fernrohr für die Fluchtungsprüfung und die optische Vorrichtung zur Erzeugung der Interferenzstreifen können, wenn erwünscht, miteinander vereinigt werden um ein Gerät zu schaffen, .das einem Autokollimationsgerät gleichwertig ist. Dieses kombinierte Gerät, das gemäß Fig. 11 ausgebildet sein kann, wird auf einem der beiden Teileangebracht, deren Parallelität oder Fluchtung zu prüfen ist, und arbeitet mit einem vom anderen reil getragenen ebenen Spiegel zusammen.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 11 ist die Vorrichtung zur Streifenerzeugung wie büi - Fig. 1 ausgebildet (wobei die gleichen Bezugszeichen verwendet sind)r Das Gehäuse E ist an der Vorderseite des konischen Elementes C verlängert und nimmt hier einen geneigten ebenen halbdurchlässigen Reflektor Q auf; ferner ist ein seitlicher Ansatz Ei vorgesehen, und zwar in der abgelenkten optischen Ac-hse des einen oder des anderen Beohachtungssystems nach den Fig. 8 bis 10. Demgemäß gehen die die Interferenzringe erzeugenden Strahlen von der Erzeugungsvorrichtung durch- den halbdurchlässigen Reflektor Q und werden von dem entfernt angebrachten ebenen Spiegel zurückgeworfen und wieder von dem halbdurchlässigen Reflektor Q aufgenommen und hiernach von ihm in das Beobachtungssystem abgelenkt..
  • Fig. 12 zeigt die Anwendung eines Gerätes, das im allgemeinen deinj enigen nach Fig. 11 ähnlich ist und zur Prüfung der Zentrierung eines optischen Gliedes auf einer drehbaren Welle oder Spindel dient. Es ist z. B. üblich, eine Linse auf eine Welle mittels z. B. eines bituminösen erhärtenden Klebers anzubringen; dabei wird die Zentrierung bewerkr stelligt, während der Kleber sich noch im plastischen Zustand befindet, so daß dies linse nach der Erhärtung des Klebers genau zentriert ist und z. B. dafür bereit steht, daß ihre I(anten geschliffen werden.
  • Um diese Zentrierung durchzuführen, wird die optische Vorrichtung so gelagert, daß ihre Achse genau in der Verlängerung der Achse der drehbaren Welle R liegt, und wird ein teildurchlässiger Reflektor Q in einem Winkel von z. B. 450 zu der gemeinsamen Achse zwischen die Vorrichtung und die Welle eingeschaltet. Die von der optischen Vorrichtung ausgehenden Strahlen gehen dann durch den teildurchlässigen Reflektor Q zur LinseS und werden von einer Oberfläche der Linse auf den Reflektor Q zurückgeworfen und dann von diesem zum Beobachtungssystem hin abgelenkt. Eine genaue Zentrierung des Beobachtungssystems auf die Ablenkachse ist nicht wesentlich, da es keine Rolle spielt, ob die Interferenzringe konzentrisch zur Achse des Beobachtungssystems verlaufen oder nicht. Die Prüfung wird dann durchgeführt, indem man die Welle R dreht und beobachtet, ob das Bild der Ringe sich infolge der Drehbewegung bewegt oder nicht. Die Linse S wird auf ihrem Kleber eingestellt, bis die beobachteten Ringe während der Drehung der Welle genau feststehend in ihrer Lage verbleiben.
  • Das Gerät kann auch dazu dienen, zu prüfen, ob die beiden Flächen der Linse S genau koaxial zueinander verlaufen, und zwar dadurch, daß man die Bilder der durch die Ablenkung von den einzelnen Flächen erhaltenen Interferenzringe miteinander vergleicht. Vorzugsweise kann das Gerät, wie in Fig. 13 gezeigt, dadurch abgeändert werden, daß man eine hohle Welle R1 verwendet und die Strahlen durch die Linse S und durch die Welle zum Beobachtungssystem am Ende der Welle durchtreten läßt.
  • Selbstverständlich sind die vorgenannten Einrichtungen nur als Beispiele beschrieben und können im Rahmen des Erfindungsgedankens in verschiedener Weise abgeändert werden. Zum Beispiel können, wenn erwünscht, ebene Spiegel in die Bahn der Strahlen eingeschaltet werden, um die Möglichkeit zu schaffen, Teile des Gerätes in zweckmäßigeren Stellungen anzubringen; in diesem Fall beziehen sich die vorstehenden Ausdrücke »Parallelität« und »Fluchtung« der Achsen auf die reflektierten Achsen und nicht auf die Achsen selbst.
  • PrENTANspiitcn£: 1. Optische Vorrichtung zur Herstellung von Interferenzstreifen, dadurch gekennzeichnet, daß ein axialsymmetrisches, brechendes oder reflektierendes Organ, das eine konische oder annähernd konische Oberfläche (C2) besitzt, die von einem genauen Kegel nur um das Ausmaß abweicht, das zur Gewährleistung einer Aberrations-Korrektur ausreicht, ein ringförmiges virtuelles Bild einer beleuchteten Lochblende mit sehr kleiner Öffnung (B) entwirft, wobei die von diesen ausgehenden Strahlen miteinander in Interferenz treten und bei Betrachtung von irgendeinem Punkt der Achse des Kegels (C2) aus ein System von konzentrischen kreisförmigen Interferenzringen erscheinen lassen.

Claims (1)

  1. 2. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das konische Organ (C) ein brechendes Organ ist und das ringförmige virtuelle Bild ungefähr in einer rechtwinklig zur Kegelachse durch die Lochblende (B) hindurchgehenden Ebene entwirft.
    3. Optische Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie in Verhindung mit einem optischen Beobachtungssystem zur Beobachtung der Interferenzringe als Meß-oder Prüfgerät verwendbar ist.
    4. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach Anspruch 3 zur Prüfung der Parallelititt der Kegel achse der optischen Vorrichtung mit der optischen Achse des Beobachtungssystems oder eines Teils dieses Systems, dadurch gekennzeichnet, daß das Beobachtungssystem aus einem Fernrohrobj ektiv (H), einem Fadenkreuzträger (K) oder einem sonstigen, als Schirm bezeichne- ten, vorzugsweise mit Markierungen versehenen, mehr oder weniger lichtdurchlässigen Träger, der in oder in der Nähe der Brennebene des Objektivs angeordnet ist, besteht und aus einem Okular (J) zur Beobachtung des auf dem Schirm (K) aufgefangenen Bildes der Interferenzringe.
    5. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach Anspruch 3 zur Prüfung der Fluchtung der Kegel achse der optischen Vorrichtung mit der optischen Achse des Beobachtungssystems, dadurch gekennzeichnet, daß das Beobachtungssystem aus einem Fadenkreuzträger bzw. einem Schirm (K) od. dgl. gemäß Anspruch 4 und einem optischen System besteht, das auf dem Schirm scharf eingestellt ist, so daß die Markierungen des Schirmes mit den in der Schirmebene entworfenen Interferenzringen verglichen werden können.
    6. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Beobachtungssystem so ausgebildet und angeordnet ist, daß es wahlweise auch die Prüfung auf Fluchtung der beiden Achsen miteinander gestattet, und zwar mittels eines zweiten Schirmes (,;1f) vor dem Fernrohrolejektir (H) und durch Mittel zur Veränderung oder Einstellung des optischen Systems in der Weise, daß der zweite Schirm (M) in die Brennebene gelangt und seine Markierungen mit den in seiner Ebene entworfenen Interferenzringen verglichen werden können.
    7. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Veränderung des optischen Systems bei seiner Umstellung von dem einen Prüfvorgang auf den anderen mittels einer zusätzlichen Linse (P) bewirkt wird, die in die Achse des Beobachtungssystems einschiebbar und aus dieser Stellung entfernbar ist.
    8. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet. daß clie zwei Schirme (S l/) mit unterschiedlichen Markierungen versehen sind.
    9. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Schirm oder einer der Schirme (Is, M) mit zentrischen, kreisförmigen Markierungslinien versehen ist, die genau auf die Achse des B e oliachtuiigssystenis zentriert sind.
    10. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach Anspruch 3 zur Prüfung der Einstellung einer reflektierenden Oberfläche in bezug auf die Achse der optischen Vorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß ein geneigter, teildurchlässiger Reflektor (Q) zwischen die optische Vorrichtung und die reflektierende Oberfläche eingeschaltet ist und daß das Beobacbtungssystem so angeordnet und ausgebildet ist, daß das Bild der Interferenzringe beobachtet wird, welches von der reflektierenden OT>erfläche abgelenkt und erneut von dem teildurchlässigen Reflektor (Q) reflektiert worden ist.
    11. Optische Vorrichtung als Meß- oder Prüfgerät nach Anspruch 3 oder 10 zur Prüfung der Zentrierung eines optischen Gliedes auf einer drehbaren Welle, dadurch gekennzeichnet, daß die Kegelachse der optischen Vorrichtung ungefähr mit der Achse der Welle fluchtet und das Beobachtungssystem so angeordnet und ausgebildet ist. daß das Bild der Interferenzringe beohachtet wird, die von dem zu prüfenden optischen Glied entworfen werden, und jegliche, aus einer Drehbewegung der Welle (R,R') und des optischen Gliedes herrührende Bewegung dieses Bildes sichtbar wird.
    In Betracht gezogene Druckschriften: USA.-Patentschrift Nr. 2 571 937; Grimsehl. Lehrbuch der Physik, Bd. II. 10. Auflage, 1942, S. 757 und 758.
DEK17529A 1952-04-21 1953-03-24 Optisches Geraet zur Herstellung von Interferenzstreifen, insbesondere Mess- oder Pruefgeraet Pending DE1027425B (de)

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