DE2100507A1

DE2100507A1 - Optisches Meßverfahren

Info

Publication number: DE2100507A1
Application number: DE19712100507
Authority: DE
Inventors: Kazuya Yokohama Kana gawa Matsumoto (Japan)
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1970-01-07
Filing date: 1971-01-07
Publication date: 1971-07-15
Also published as: US3726595A; DE2166683A1

Description

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha, No. 30-2. 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku, Tokio, Japan

Optisches Meßverfahren

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum optischen Nachweis und/oder zur Messung der Bewegung eines Beugungsgitters.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein sehr genaues Verfahren zum optischen Nachweis und zur Messung der Bewegung eines Objekts, insbesondere eines Beugungsgitters anzugeben, wobei eine einfache Messung der Exzentrizität des zu messenden Objekts und eine Messung von Schwingungen oder Winkelabweichungen in einer Ebene eines sich linear verschiebenden Objekts erfolgen kann.

Ein Verfahren zum optischen Nachweis und/oder zur Messung der Bewegung eines Beugungsgitters ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß die vertikale Bewegung des Beugungsgitters im Vergleich zu einem parallelen Bezugsbündel nachgewiesen wird, mit Hilfe einer Änderung von Interferenzstreifen, welche durch gebeugte Wellen von dem Gitter erzeugt werden, welches sich in den parallelen Lichtbündeln bewegt.

Dieses Verfahren ist einfach auf die Messung der Exzentrizität eines zu messenden Objekts anwendbar sowie auf die Messung von Welligkeit ,oder Winkelabweichungen in einer Ebene eines sich linear verschiebenden Objekts, welche in Bezug auf die

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parallelen Bezugsbündel gemessen werden sollen, welche Schwingungen oder Winkelabweichungen bisher nicht mit zufriedenstellender Genauigkeit gemessen werden konnten. Dieses Verfahren ist auch für die Einjustierung koinzidiai angeordneter mechanischer Körper und einer optischen Achse mit großer Genauigkeit geeignet, weil es die Erfindung ermöglicht, die Bewegung des Gitters durch das Gitter selbst nachzuweisen, basierend auf den parallelen Bezugsbündeln.

Die der ^Erfindung zugrundeliegenden Erkenntnisse sollen speziell für den Fall einer rechteckförmigen Verteilung der Durchläßigkeit des Gitters erläutert werden. Die Durchläßigkeit- oder Reflektion sverteilung des Gitters wird allgemein durch die folgende Fourrier-Reihe dargestellt:

T(x) = -22— am cos (2JQnNx) 1

wobei T(x) die Durchläßigkeit des Beugungsgitters, X eine Koordinate in der Oberfläche des Beugungsgitters, N die Zahl der Gitterlinien pro Millimeter in der Richtung X (effektive Gitterkonstante), m eine ganze Zahl ist.

Wenn das Beugungsgitter um die Strecke Δ X in der Richtung X bewegt wird und durch eine parallele Wellenfront beleuchtet wird, ist die gebeugte Welle U von χ gegeben durch die folgende Gleichung:

exp Li2KmN(X -

am

In dem eingesetzt wird

am expfi sin Θ ^# (Χ-ΔχΠ 3

Λ ^m J

wobei .X die Wellenlänge des das Gitter beleuchtenden Lichts ist, ergibt sich für die Gleichung 2:

1 OO

nm f»vrw ι _J1M ^

Aus der Gleichung 3

am expl i —f^— sin Qm · (X - /IX) I

ergibt sich die ebene Welle, die zu Qm = sin " (mN-A) gerichtet ist, und die ebene

2 τ

Welle hat eine Phasenverzögerung von — sin Qm*

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Go zeigt die Richtung des Beugungsspektrums O. Ordnung, dessen Richtungcjeich derjenigen der beleuchtenden Welle ist. Die Intensitätsverteilung F, (p,q)-for die gebeugte Welle p, Ordnung und derjenigen der q. Ordnung ist durch die folgende Gleichung gegeben:

(p,q) = 1 + cos ²^- (p-q)NAX

In der Gleichung 4 wird für Ip - ql = 1

F₁(R^q : Ip -ql = 1) = 1 + cos N/>X)

Die durch die Gleichung 5 gegebene Intensitätsverteilung ist äquivalent derjenigen üblicher Moire-Beugungsmuster.

Im Gegensatz dazu ist die Intensitätsverteilung für Wellen unterschiedlicher Ordnung ^

durch die folgende Gleichung gegeben, wenn Ip - ql =li\jndL·^ 1:

F₁(P^ : Ip - ql ^ I) = I +cos ( ^L _A N^X) 6

Ein Vergleich der Gleichung 5 mit der Gleichung 6 zeigt, daß der Betrag der Bewegung des Beugungsmuster in der Gleichung 6 das ttfache derjenigen in der Gleichung 5 für denselben Betrag der Bewegung ^X beträgt. Wenn beispielsweise ρ = 5 und q = -5, also ju, = 10, steigt die Nachweisempfindlichkeit um das zehnfache im Vergleich zu derjenigen des üblichen Moir§-Verfahrens.

Wie aus den obigen Ausführungen hervorgeht, hat die Bewegung des Beugungsgitters in Richtung auf das leuchtende Licht keinen Einfluß auf das Meßergebnis. f

Wenn zwei leuchtende Lichtbündel so gerichtet sind, daß die gebeugten Wellen p.*Ordnung und q.Ordnung dieselbe Richtung haben, wenn also Gp =vQ und Oq = 0, ergibt sich eine Intensitätsverteilung F- (p,q) entsprechend der folgenden Gleichung, welche ähnlich der Gleichung 4 ist:

F₂(p,q) = ι + cos (p-q)N(X-4X) + 6p-£q 7

wobei Ep und £q die Phasenänderung zeigen, die in den gebeugten Wellen o.Ordnung und q.Ordnung auftritt, wenn das Beugungsgitter entlang einem Abstand d entlang dem Bezugsbuhdel aus seiner Bezugslage bewegt wird. Die Phasenänderung der gebeugten Welle m.Ordnung ist durch folgende Beziehung gegeben:

£_ffl=JL_(pN)²d 8

^λ 109829/1256

Wenn ρ = -q, wenn also die gebeugten Wellen symmetrisch zueinander sind, ist 6p-6q=O.

F₂(p,q:p = -q) = T + cos -1^L _pN(X-ΔΧ)

Auch in diesem Falle ist die Intensitätsverteilung für die symmetrischen gebeugten Wellen durch die Gleichung 9 gegeben. Die Bewegung des Gitters in einer Richtung der Beleuchtung hat keinen Einfluß auf das Meßergebenis. Die vertikale Bewegung um einen Betrag von ΔX des Gitters hat dagegen einen Einfluß auf das Meßergebcrisi

Mit dem Verfahren gemäß der Erfindung ist es ferner möglich, die Nachweisempfindlichkeit zu ändern, indem die Wellenlänge des beleuchtenden Lichts geändert wird, oder indem die effektive Gif terkonstante N durch die Rotation des Gitters oder durch den Abstand der Gitterlinien geändert wird. Deshalb kann zum Beispiel der Nachweisbereich selbst bei einer einzigen Meßeinrichtung vergrößert werden.

Anhand der Zeichnung soll die Erfindung näher erläutert werden. Es zeigen:

Figur T und 2 schematische Darstellungen von Meßeinrichtungen für übliche optische Messungen;

Figur 3 einen Siemens-Stern für ein übliches Rotationsmeßgerät; Figur 4-1 das Grundprinzip der Erfindung;

Figur 4-2 ein Beugungsmuster, das bei der Anordnung gemäß Figur 4-1 erhalten wird; Figur 5 die optische Anordnung eines ersten Beispiels eines Rotationsmeßgeräts gemäß der Erfindung;

Figur 6-1 eine abgewandelte Ausführungsfsorm des Beugungsgitters in Figur 5; Figur 6-2 ein Beugungsmuster entsprechend dem Gitter in Figur 6-1; Figur 7 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel des Beugungsgitters in Figur 5; Figur 8-1 eine schematische Ansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels gemäß der Erfindungk

Figur 8-2 eine Einrichtung zum Ausblenden von Lichtbündeln bei dem zweiten Ausführungsbeispiel in Figur 8-1; und

Figur 9 bis 13 abgewandelte Ausführungsformen des zweiten Ausführungsbeispiels in Figur 8-1.

Figur 1 zeigt eine bekannte Einrichtung mit einem automatisch kollimierten Bündel RoI und Ro2. Wie aus der Darstellung ersichtlich ist, werden die Bündel RoI von einer Bezugslinie SbI durch eine Kollimatorlinse CoI parallel gemacht. Ein sich bewegender Spiegel Mol ist in dem Strahlengang der parallelen Bezugsbündel angeordnet, welcher

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Spiegel Mol sich in Berührung mit einer Ebene eines zu messenden Objekts ToT bewegt, das gleitend verschiebbar ist, wodurch der Spiegel Mol gekippt werden kann, um die Welligkeit der Ebene des sich verschiebenden Objekts ToI festzustellen. Die Kippbewegung des Spiegel bewirkt eine Bewegung eines Bilds Pol der Bezugslinie Sol, welches Bild durch einen Strahlenteiler BoI erzeugt wird. Aufgrund der Bildbewegung wird die Welligkeit der Ebene des sich verschiebenden Objekts ToI nachgewiesen und gemessen. Diese bekannte Verfahren ermöglicht den Nachweis der Welligkeit der Ebene eines sich verschiebenden Objekts, oder eines Verkippungsfehlers, ermöglicht aber nicht den Nachweis einer gleichförmigen Winkelabweichung der Ebene des gleitenden Objekts relativ- zu den parallelen Lichtbündeln.

Für die Messung einer gleichförmigen Winkelabweichung der Ebene des gleitenden Objekts relativ zu .einer optischen Achse findet eine Linse mit den in Figur 2-1 ange- ä

deuteten Eigenschaften Verwendung, oder ein Laserbündel entsprechend Figur 2-2, um die gleichförmige Winkelabweichung entsprechend einer seitlichen Verschiebung des Laserbündels zu messen» Diese beiden Meßverfahren sind jedoch nicht für eine genaue Messung geeignet. Zur M ssung der Drehzahl oder Umfangsgeschwindigkeit eines ro-

tierenden Objekts war es bisher üblich, einen Siemens-Stern, der in Figur 3 dargestellten Art an dem rotierenden Objekt zu befestigen. Bei diesem bekannten Meßverfahren ist es jedoch erforderlich, das rotierende Zentrum des rotierenden Objekts mit dem Zentrum des Sterns auszurichten, wobei Fehlausrichtußgen aufgrund einer ungenauen Anjustierung Meßfehler bedingen können .

Das in Figur 5 dargestellte erste Ausführungsbeispiel zeighnet sich dadurch aus, daß eine Einjustierung der Ausrichtung des Rotationszentrums und des Zentrums der '

Meßskala nicht erforderlich ist, weshalb die Einrichtung vereinfacht ist und trotzdem die Vermeidung von Fehlern aufgrund einer FehIausrichtung ermöglicht.

Allgemein hat ein Fraunhofersches Beugungsmuster eines Objekts die folgenden Eigenschaften;

1. Das Beugungsmuster ist veränderlich unabhängig von den Bewegungen in seitlicher Richtung, in Längsrichtung, sowie in Richtungen von und zu dem Objekt.

2. Das Beugungsmuster rotiert in Abhängigkeit von der Rotation des rotierenden Objekts.

, Das erste Ausfuhrungsbeispiel beruht auf den obigen Eigenschaften und betrifft ein DrehsahImeßgerat für ein rotierendes Objekt.

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Es sei -angenommen, das das Objekt ein Gitter ist unaSein Beugungsmuster durch die optische Anordnung in Figur 4-1 erzeugt wird. Ein paralleles Lichtbündel RoI von einer Lichtquelle So durch eine Kollimatorlinse Co beleuchtet das Gitter Go. Die von dem Gitter Go gebeugien Wellen Ro2 gelangen zu einer Linse Lo, die hinter dem Gitter Go angeordnet ist, um ein Fraunhofersches Beugungsmuster in der Brennebene Fo der Linse Lo zu bilden. Das Beugungsmuster ist aus einer Anzahl von Punkten auf einer geraden Linie zusammengesetzt, wie in Figur 2 dargestellt ist. Bei dieser Anordnung ist das in der Brennebene auftretende Beugungsmuster invariabel aufgrund der Eigenschaft 1, selbst wenn das Beugungsgitter Go sich in seitlicher Richtung, in Längsrichtung oder vorwärts und zurück bewegt.

Wenn jedoch das Beugungsgitter gedreht wird, rotiert das Beugungsmuster um einen Bildpunkt O, welcher einem Punkt entspricht, wo das Licht bei fehlender Anordnung eines Beugungsgitters des Beugungsspektrums O.Ordnung fokusiert wird, unabhängig von dem Drehzentrum des Gitters.

In diesem Falle wird nur eine Rotationskomponente ausgeblendet und beobachtet, selbst wenn das Rotationszentrum wegen der Eigenschaft T nicht einjustiert ist.

Bei dem in Figur 5 dargestellten ersten Ausführungsbeispiel ist das Gitter Gl an einer rotierenden Antriebswelle DI eines rotierenden Gegenstands befestigt, der beispielsweise ein Motor sein kann. Eine Beleuchtung erfolgt durch ein Bündel RIl von einem Laser SI, um ein Beugungsmuster in einer Brennebene El eine Linse LI zuerzeugen. In dieser Brennebene El ist eine Lochblende Al für eine Beobachtung oder einen Nachweis vorgesehen, und eine Fotozelle Pl ist hinter der Lochblende Al angeordnet. Wenn das Gitter rotiert, rotiert auch das Beugungsmuster um einen Bildpunkt O des Beugungsspektrums 0. Ordnung, sodaß das gebeugte Bündel R 12 durch die Linse Ll intermittierend auf die Lochblende Al auftrifft. Dadurch wird durch die Fotozelle ein Impulszug nachgewiesen, sodaß die Drehzahl gemessen werden kann.

Zur Erhöhung der Meßgenauigkeit können mehrere Gitterteile so angeordnet werden, daßdie Beugungsrichtungen der Gitterteile sich voneinander unterscheiden, sodaß sich eine Gitterstruktur der in Figur 6-1 dargestellten Art ergibt. Figur 6-2 zeigt ein Fraunhofersches Beugungsmuster dieser Gittertet Le, falls das beleuchtende Lichtbündel RIl alle Gitterteile überstr.eicht.

Durch die Verwendung des in Figur 6-1 dargestellten Gitters wird die Genauigkeit

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IF

der Drehzahlmessung auf das vierfache erhöht.

Selbst wenn das in Figur 6-1 dargestellte Gitter anstelle des Gitters Gl bei dem Ausführungsbeispiel in Figur 5 verwendet wird, wenn also das Gitter nicht vollständig beleuchtet wird, steigt die Genauigkeit der Messung auf das vierfache an, weil das gebeugte Bündel zu der Lochblende Al auch bei der teilweisen Beleuchtung gelangt.

Die Anordnung der Gitterteile in Figur 7 dient ferner zur Erhöhung der Genauigkeit der Messung, wenn die Gitterteile nicht nur in Umfangsrichtung sondern auch in radialer Richtung unterteilt sind.

Die optische Anordnung zur Durchführung eines Verfahrens gemäß der Erfindung ist nicht auf die in Figur 5 dargestellte Anordnung beschränkt, da jede Anordnung verwendet werden kann, die zu einem Fraunhoferschen Beugungsmuster führt, wobei das Jj Beugungsgitter ein Reflektionsgitter oder ein Transmissionsgitter sein kann. Das zweite in Figur 8-1 dargestellte Ausführungsbeispiel dient zur Messung der geradliniegen Ausbildung eines Meßobjekts 12. Ein sich entalng der Oberfläche des Objekts T2 bewegendes Gitter G2 wird durch ein paralleles Lichtbündel R21 von einer punktförmigen Lichtquelle S2 über eine Kollimator linse C2 beleuchtet. Unter den vielen von diesem Gitter G2 gebrochenen Wellen wtrden zwei zueinander symmetrische Lichtbündel mit Spiegel M21 und M22 abgelenkt, um eine gleiche Ausbreitungsrichtung zu erzielen.

Die ausgerichteten Bündel R22 gelangen auf eine Platte E2 mit einem Lochblende A2, die auch in Figur 8-2 dargestellt ist, um den Durchtritt nur dieser beiden Lichtbündel von den vielen gebeugten Wellen zu ermöglichen, und zwar mit Hilfe der Linse L2, welche nur die beiden Lichtbündel auf die Lochblende A2 fokusiert. |

Des; Beugungsmuster wird hinter der Lochblende A2 beobachtet. Dieses Beugungsmuster ist unveränderlich, wenn sich das Gitter G2 in der selben Richtung wie das parallele Bündel R21 bewegt, ändert aber die Intensitätsverteilung, wenn das Gitter sich in einer Richtung senkrecht zu dem parallelen Bündel R21 bewegt, entsprechend dem Betrag der Bewegung. Deshalb wird die ebene Ausbildung der Oberfläche des Meßobjekts T2 durch die Änderung der Intensität des Beugungsmusters nachgewiesen und gemessen.

Anstelle der Anordnung zum Ablenken von zwei Lichtbündeln, die von dem Gitter gebeugt wurden und symmetrisch zueinander verlaufen, können neben der in Figur 8-1 dargestellten Anordnung Anordnungen der in Figur 9 und 10 dargestellten Art Verwendung finden.

Wie aus der Gleichung 9 ersichtlich ist, ist die Genauigkeit der Messung um so

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größer, je größer die Ordnung ρ der Beugungsspektren ist.

Die Anordnungen in den Figuren 8-1, 9 und 10 ermöglichen, eine absolute Abweichung von dem parallelen Bezugsbündel eines Gitters durch das Gitter selbst zu erzielen, um eine hohe Genauigkeit zu gewähr leisten_a Im Gegensatz zu den bekannten Meßverfahren, bei welchen die Geradlinigkeit durch die Welligkeitsmessung der zu messenden Oberfläche gestört wird, ermöglicht die Erfindung den Nachweis tind die Messung des Abweichungswinkels zwischen dem parallelen Bezugsbündel und der linearen Ebene eines gleitenden Objekts, was den Verlauf der Gitterkante bedeutet. Es war bisher sehr schwierig, den genannten Abweichungswinkel mit hoher Genauigkeit zu messen.

In Rgur:-9 ist R31 eine beleuchtende parallele Welle, M31 und M32 sind Spiegel, B3 ist ein Strahlenteiler, GA ist eine Gitter, welches auf einem Prüfobjekt T3 gleitet, L3 ist eine Abbildungslinse, A3 eine Lochblende in einer auch zum Ausblenden dienenden Platte E3, wäshrend R32 zwei ausgerichtete und von dem Gitter G3 gebeugte Wellen bezeichnet, welches durch zwei Bündel beleuchtet wird.

Bei dem Ausführungsbeispiel in Figur 10 finden zwei Gitter G4 und B4 Verwendung„ Von einer punktförmigen Lichtquelle S4 wird durch eine Kollimatorlinse C4 zu parallelen Lichtbündeln R41 gebrochen, welche das Gitter G4 beleuchten, welches sich in Berührung mit einem Meßobjekt T4 bewegt, so daß eine Beugung durch das Gitter GA erfolgt.

Für die Ausblendung von zwei gebeugten Lichtbündeln treten die gebeugten Wellen durch eine Linse L4 und gelangen zu einer Platte E4 mit Lcchblenden A41 und A42. Zur darauf folgenden Überlagerung der beiden ausgeblendeten Lichtbündel finden eine Linse L4 und ein iGitter B4 Verwendung, weiches den gleichen Gitterabstand wie das Gitter G4 hat. Hinter dem Gitter B4 treten deshalb beobachtbare Beugungsmuster auf.

Die in den Figuren 11 bis 13 dargestellten Ausführungsbeispiele sind selbst ohne Verwendung eines Lasers gut dazu geeignet, in einer Meßeinrichtung Verwendung zu finden, die eine entsprechende Genauigkeit wie Meßeinrichtungen hat, bei denen ein Laser vorgesehen ist. Dabei kann eine komplizierte Konstruktion und eine Einjustierung wie im Falle der Meßeinrichtung vermieden,werden, in der ein Laser vorgesehen ist.

Wie aus Figur 11 ersichtlich ist, wird das Gitter G5 durch ein paralleles Lichtbündel R51 beleuchtet ., so daß eine Beugung in dem Gitter G5 erfolgt. Die Spiegel

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M51 und M52 und ein Strahlenteiler B5 überlagern die gebeugten Bündel p. Ordnung (mit einem Beugungswinkel Θρ) und q. Ordnung (mit einem Beugung winke I Gq). Wenn das Gitter G5 eine große effektive Gitterkonstante N hat, können die objekttvseitigen Lichtbündel R52 Seht von den gebeugten Bündeln selbst in der Überlagerungslage getrennt werden, spdaß das Beugungsmuster, welches sich in Abhängigkeit von der Bewegung des Gitters ändert, genau in der Überlagerungs lage beobachtet werden kann. Wenn jedoch das Gitter G5 eine kleine effektive Gitterkonstante hat, sollte eine Ausblendeinrichtung vorgesehen werden, um die Bündel R52 auszublenden.

In Figur 11 finden für die Ausblendung eine Linse L5 undeine Platte E5 in der Brennebene der Linse L5 Verwendung, in welcher Platte eine Lochblende A5 zum Zwecke der Ausblendung vorgesehen ist. Die Platte F,- kann ein Film oder eine zum Beobachten dienende Mattscheibe sein. Die in Figur 11 dargestellte Anordnung hat eine Genauigkeit, welche Ip -ql mal größer als diejenige bei dem üblichen Morie-Verfahren ist.

Zur Überlagerung der Bündel kann ein Gitter B61 anstelle der Spiegel M51 und M52 und des Strahlenteilers B5 Verwendung finden, wie in Figur 12 dargestellt ist. Ein die Bewegung nachweisendes Gitter G6 wird durch ein paralleles Bündel Ro 1 beleuchtet, und eine Anzahl von Bündeln von dem Gitter G6 treten durch eine Linse C6, und die beiden interessierenden Bündel treten durch kleine Lochblenden A61 und A62 in der Platt E6 hindurch, sodaß das ausgeblendete Paar von Bündeln durch eine Linse L6 hindurch tritt. Da diese beiden parallelen Lichtbündeln eine unterschiedliche Richtung haben, werden die Bündel durch das Gitter Β6Ί überlagert. Dieses Gitter B61 beugt auch eine Anzahl von gebeugten Wellen, weshalb eine Linse B62 und eine Lochblende B63 für die Ausblendung der interessierenden Bündel vorgesehen sind. Die Beugungsmuster werden hinter der Lochblende B63 beobachtet.

Zur Verbesserung des Kontrasfs des Beugungsmus ters sind interessierende Bündel wünschenswert, die symmetrisch zueinander verlaufen.

Bei dem in Figur 13 dargestellten Ausführungsbeispiel wird ein Gitter G7 für die Messung durch zwei parallele Lichtbündel beleuchtet, die durch einen Strahlenteiler B7 und Spiegel M71 und M72 erzeugt werden. Die Beleuchtungwinkel sollten so ausgebildet werden, daß die gebeugten interessierenden Bündel zu einem parallelen Bünde! R72 überlagert werden. Die überlagerten Bündel R72 werden mit Hilfe der Linse L7 und einer Platte E7 mit einer Lochblende A7 ausgeblendet, um beobachten« ßeugungsmuster zu erhalten» R71 ist ein paralleles Bündel für die Beleuchtung.

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Auch durch die Steuerung der Intensität der beiden beleuchtenden Bündel kann eine Verbesserung des Kontrasts des Beugungsmusters erzielt werden. Die Bezeichnung Gitter ist im Sinne der Beschreibung nicht auf Beugungsgitter beschränkt, sondern umfaßt auch periodische räumliche Konstruktionen mit geeigneten optischen Weglängen,

Patentansprüche

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Claims

Patentansprüche

J Verfahren zum optischen Nachweis und/oder zur Messung der Bewegung eines Beu- J

gungsgitters, dadurch gekennzeichnet, daß die vertikale Bewegung des Beugungsgitters relativ zu einem parallelen Bezugsbündel aufgrund einer

t
Änderung der Beugungsmuster nachgewiesen wird, die durch gebeugte Wellen von

dem Gitter erzeugt werden, welches sich in dem parallelen Bezugsbündel bewegt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurchgekennzeichnet, daß die von dem Gitter gebeugten Wellen eine Ordnung haben, deren Differenz nicht gleich 1 ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die von

dem Gitter gebeugten We Ilen symmetrisch zueinander verlaufen. ™
4. Verfahren nach Anspruch 1 zum Nachweis und/oder zur Messung einer Drehbewegung eines Beugungsgitters, dadurch gekennzeichnet, daß die vertikale Drehbewegung des Beugungsgitters in Bezug auf ein paralleles Vergleichsbündel aufgrund einer Rotation eines Fraunhoferschen Beugungsmusters nachgewiesen wird, das durch das Gitter gebeugte Wellen erzeugt wird, und das das Gitter in dem parallelen Bezugsbündel gedreht wird.
5. Verfahren nach Anspruchs, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter eine Mehrzahl von Gitterteilen aufweist, die einen unterschiedlichen Beugungswinkel haben.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das " parallele Bezugsbündel nur durch einen Teil des Gitters hindurchtritt.

109829/1256 okg.nal .nspectid