DE10218787B3 - System und Verfahren zum Funktionstest von Halbleiterspeicherchips - Google Patents

System und Verfahren zum Funktionstest von Halbleiterspeicherchips Download PDF

Info

Publication number
DE10218787B3
DE10218787B3 DE10218787A DE10218787A DE10218787B3 DE 10218787 B3 DE10218787 B3 DE 10218787B3 DE 10218787 A DE10218787 A DE 10218787A DE 10218787 A DE10218787 A DE 10218787A DE 10218787 B3 DE10218787 B3 DE 10218787B3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
data
memory
test
dqs
clock frequency
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10218787A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Mayer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Polaris Innovations Ltd
Original Assignee
Infineon Technologies AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Infineon Technologies AG filed Critical Infineon Technologies AG
Priority to DE10218787A priority Critical patent/DE10218787B3/de
Priority to US10/424,347 priority patent/US6914834B2/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10218787B3 publication Critical patent/DE10218787B3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/56External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
    • G11C29/56012Timing aspects, clock generation, synchronisation
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/56External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor

Landscapes

  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein System und ein Verfahren zum Funktionstest schneller Halbleiterspeicherchips. Die hier vorgeschlagene Datenverschiebungsmethode beruht darauf, dass ein Low Speed Tester (2) Daten- und Datenstrobetestmuster (DQ, DQS) mit langsamer Taktfrequenz in einen Speicherblock (5A) schreibt. Anschließend wird die Verbindung zwischen Tester (2) und dem Speicherchip (5) für alle Daten- und Datenstrobeleitungen (DQ, DQS) getrennt. Dies kann durch ein Relais oder integrierte Schaltungen auf einem externen Schaltungsboard oder durch Testmodes in der Ausgangsschaltung des Speicherchips (5), das heißt chipintern, geschehen. Anschließend werden die Daten- und Datenstrobeleitungen in zwei gleichgroße Gruppen eingeteilt und miteinander verbunden. Dann wird das in den ersten Speicherblock (5A) eingeschriebene Daten- und Datenstrobetestmuster (DQ, DQS) mit hoher Taktfrequenz in einen zweiten Speicherblock (zum Beispiel 5B) verschoben, von wo aus es dann in einem weiteren Lese-Schreibzyklus mit der hohen Taktfrequenz in den ersten Speicherblock (5A) zurückverschoben wird. Anschließend kann dieses Datenmuster mit dem Low Speed Tester (2) mit langsamer Taktfrequenz ausgelesen und bewertet werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein System und ein Verfahren zum Funktionstest eines Halbleiterspeicherchips, insbesondere eines in DDR-Betrieb betreibbaren DRAM- oder SCRAM-Chips, in dem die Speicherzellen in eine Mehrzahl räumlich getrennter Speicherblöcke unterteilt sind.
  • Um mit den steigenden Anforderungen bezüglich Bandbreiten und Datenmengen in der Informationsindustrie Schritt zu halten, müssen DRRM- oder SCRAM-Speicher mit immer höheren Datenraten oder Taktfrequenzen entwickelt werden. Im Grafikbereich ist man mittlerweile bei Taktfrequenzen von 400 MHz und einer daraus resultierenden Datenrate (double data rate) von 800 MBits/s angelangt, wobei weitere Erhöhungen der Taktfrequenzen erwartet werden. Selbst modernste Testgeräte (Speichertester) haben nicht mehr die Genauigkeit und Geschwindigkeit, die mit derartig hohen Taktfrequenzen Daten einschreibende und auslesende Interfaces zukünftiger Produkte mit noch höheren Datenraten zu testen. Die Grenze der Datenrate ist in erster Linie durch die Datenpfadsynchronisation und die Grenzparameter der Ein- und Ausgangsstufen der Datenleitungen, das heißt von dem Speicherinterface bestimmt. Dagegen nimmt die Geschwindigkeit im Kern, das heißt in den Speicherzellen und den Senseverstärkern, durch die Verwendung eines höheren „Prefetch" kaum zu.
  • Im Stand der Technik wird das Interface der Speicherchips immer noch mit sehr schnellen und teueren Speichertestern vermessen. Die Kosten für derartige Testgeräte sind sehr hoch und schlagen sich immer stärker auf die Produktionskosten der Speicherchips nieder. Bei den immer höher werdenden Taktfrequenzen bewegt man sich häufig schon an der Geschwindigkeitsgrenze der Testerhardware und muss mit Yieldverlust aufgrund von Messungenauigkeiten leben. Außerdem kann der Tester bei hoher Geschwindigkeit nicht mehr alle Daten bewerten. Aufgrund dieser Beschränkungen ist ein Interfacetest, der die Bedingungen in der späteren Anwendung wiederspiegelt, nicht mehr möglich.
  • Es gibt für die kommende Generation von sehr schnellen Speichern bisher noch keine Methode, die das Testen des Interfaces bei maximaler Bausteingeschwindigkeit erlaubt.
  • Aus der US 6,169,695 B1 ist es bekannt, einen DRAM-Speicher zu testen, indem ein anfänglich in eine erste Zeile eingeschriebenes Testmuster von einer Zeile zur nächsten Zeile sequentiell so oft kopiert wird, bis das Testmuster in die letzte Zeile kopiert wurde; anschließend wird die letzte Zeile ausgelesen, und deren Inhalt wird mit dem ursprünglichen Testmuster verglichen. Ein Kopieren ganzer Speicherblöcke und eine Umkehr der Kopierrichtung ist dabei nicht vorgesehen.
  • Es ist Aufgabe der Erfindung, ein System und ein Verfahren zum Funktionstest sehr schneller Halbleiterspeicherchips anzugeben, die das Testen des Interfaces bei maximaler Bausteingeschwindigkeit ermöglichen.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein System mit den Merkmalen des Patentanspruches 1 bzw. durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruches 6 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
  • Das vorgeschlagene Verfahren beruht darauf, dass man von aussen, zum Beispiel mit einem „Low Speed Tester", Testinformationen in einen der räumlich getrennten Speicherblöcke des Speicherchips mit einer niedrigen Taktfrequenz oder Datenrate einschreibt. Anschließend wird die Verbindung zwischen dem Testgerät und Speicher für alle Daten- und Datenstrobeleitungen getrennt. Dies kann entweder extern, das heißt außerhalb des Speicherchips auf einem Load Board, oder durch Testmodes in der Ausgangsschaltung des Speichers, das heißt Chipintern, erfolgen. Die Datenleitungen und Datenstrobeleitungen werden in zwei gleichgroße Gruppen geteilt und miteinander verbunden. Diese Verbindung ist ebenfalls extern oder intern möglich. Mit Hilfe eines Testmodes werden die Daten bei maximaler Taktfrequenz von einem Speicherblock in einen anderen ge schrieben. Die Iniziierung dieses Testmodes kann auch mit Hilfe eines Low Speed Testers gemacht werden, da hierbei keine Datenbewertung nötig ist. Anschließend erfolgt ein weiterer Lese-Schreib-Zyklus mit maximaler Taktfrequenz in entgegengesetzter Richtung, so dass die Daten- und/oder Datenstrobetestmuster wieder im ersten Speicherblock stehen. Im Ergebnis wurde auf allen Daten- und Datenstrobeleitungen bei maximaler Geschwindigkeit gelesen und geschrieben.
  • Wenn nun das wieder im ersten Speicherblock gespeicherte „neue" Datenmuster mit einen Low Speed Tester bei niedriger Taktfrequenz bzw. Datenrate wieder ausgelesen wird, lässt sich mit der Vorraussetzung eines geeigneten Datenmusters und Adressoffsets die Funktionalität des Speicherinterfaces prüfen.
  • Somit ermöglicht das Funktionstestsystem und -Verfahren dieser Erfindung eine genaue und applikationsnahe Messung von im Double Data Rate Modus betriebenen Speicherinterfaces unter den Bedingungen der hohen Taktfrequenz bzw. hohen Datenrate, indem sich der Speicher in erster Linie selbst testet. Dadurch lassen sich die Testkosten deutlich reduzieren, und außerdem gibt es für dieses Verfahren keinerlei Obergrenze der Taktfrequenz bzw. der Datenrate, so dass es auch noch für weitaus schnellere Interfaces verwendet werden kann.
  • In der nachfolgenden Beschreibung wird bezugnehmend auf die Zeichnung ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Systems und Verfahrens beschrieben.
  • 1 zeigt ein schematisches Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Systems zum Funktionstest schneller Halbleiterspeicherchips, und
  • 2 zeigt Signalzeitdiagramme, die einzelne Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens veranschaulichen.
  • In dem schematischen Blockdiagramm der 1 sind erste und zweite Schaltungsmittel des erfindungsgemäßen Funktionstestsystems allgemein mit 1, eine durch Pads und Leitungszüge dargestellte Schnittstelle des Speicherchips 5 nach außen mit den Ziffern 3 und 4 und ein äußeres Testgerät mit 2 bezeichnet. Mit einer Doppellinie sind beispielhaft zwei einzelne Speicherblöcke 5A und 5B des Speicherchips 5 hervorgehoben. Ein Testmodusblock 10 ist zur Umschaltung der Speicherblöcke 5A und 5B unabhängig von äußeren Write- und Readsignalen und zur Steuerung der Verzögerung der Datenleitung und Datenstrobeleitungen vorgesehen. Ein Block 11 ist ein Datenpfad für aus dem Speicherblock A ausgelesene Daten und enthält Synchronisations- und Treiberschaltungen. Ein Block 12 ist ein Datenpfad für einzuschreibende Daten und enthält Synchronisations- und Empfängerschaltungen.
  • Ein Block 13 symbolisiert eine variable und einstellbare Verzögerungsschaltung für Datenstrobesignale DQS (unverzögert) und DQSY (verzögert). In ähnlicher Weise enthält der Bolck 14 variable und einstellbare Verzögerungsschaltungen für Datensignale DQX (unverzögert) und DQY (verzögert). Die Verzögerung der durch die Blöcke 13 und 14 dargestellten Verzögerungsschaltungen für die Datenstrobesignale und die Datensignale ist von dem Testmodusblock 10 über Leitungen 23 und 24 einstellbar bzw. programmierbar.
  • Leitungszüge 25 und 26 sind jeweils Datenleitungen vom Speicherblock A und zum Speicherblock B. Über Leitungen 21 und 22 induziert der Testmodusblock 10 Lese- und Schreibanforderun gen. Leitungen 27 und 29 veranschaulichen jeweils ankommende und abgehende Leitungszüge für unverzögerte Datensignale DQX und unverzögerte Datenstrobesignale DQSX, während Leitungszüge 28 und 30 jeweils ankommende und abgehende verzögerte Daten- und Datenstrobesignale DQY und DQSY leiten.
  • 1 stellt beispielhaft eine Verbindung der Datenleitungen im Chip für jeweils einen DQ aus den zwei verschiedenen Speicherblöcken 5A und 5B dar. In diesem Beispiel werden zuerst vom äußeren Testgerät 2 in den ersten Speicherblock 5A mit einem zweckmäßigen Adressenoffset Daten- und Datenstrobetestmuster eingeschrieben. Die eingeschriebenen Testmuster werden über DQX und DQSX ausgelesen und über den Datenpfad 11 und die Verzögerungsschaltungen 13, 14 und den Datenpfad 12 mit der höchsten Taktfrequenz in den zweiten Speicherblock 5B geschrieben. Anschließend wird dieser Vorgang umgekehrt, wobei mit der hohen Taktfrequenz die in den zweiten Speicherblock 5B eingespeicherten Daten- und Datenstrobetestmuster in einem zweiten Lese-Schreibzyklus über die Blöcke 12, 14 und/oder 13 und 11 wieder in den ersten Speicherblock 5A zurückverschoben werden. Obwohl in 1 beispielhaft lediglich zwei Speicherblöcke 5A und 5B gezeigt sind, ist es unmittelbar verständlich, dass die Prozedur mit mehr als 2, zum Beispiel mit 4, 8 oder 16 Speicherblöcken ausführbar ist. Zu erwähnen ist, dass alle Daten- und Datenstrobeleitungen 4 zwischen dem Testgerät 2 und dem zu testenden Speicherchip während der mit der hohen Taktfrequenz erfolgenden Verschiebung der Daten- und Datenstrobetestmuster vom Speicherblock 5A zum Speicherblock 5B (und umgekehrt) aufgetrennt sind. Dies kann zum Beispiel durch Relais oder integrierte Schaltungen auf einem externen Load Board oder auch durch Testmodes in der Ausgangsschaltung des Speicherchips selbst, das heißt intern geschehen.
  • Die Daten- und Datenstrobeleitungen des Chips werden in zwei gleichgroße Gruppen geteilt und miteinander verbunden. Diese Verbindung kann extern oder intern auf dem Chip realisiert sein. Für ein SGRAM das im DDR-Modus betreibbar ist, kann folgende Anordnung getroffen sein:
    DQ0 wird mit DQ8,
    DQ2 mit DQ9,......
    DQ7 mit DQ15,
    DQS0 mit DQS1 (+ Verzögerung),
    DQ16 mit DQ24,
    DQ23 mit DQ31 und
    DQS2 mit DQS3 (+ Verzögerung)
    verbunden.
  • Den einschlägigen Fachleuten ist deutlich geworden, dass der in 1 dargestellte Aufbau lediglich beispielhaft ist. Das mit 2 symbolisierte Testgerät kann selbstverständlich auch ein speziell für diesen Zweck gestaltetes Testboard oder ein Testchip sein, zum Beispiel nach Art eines sogenannten Built-Outside-Testers.
  • Das erfindungsgemäße Funktionstestsystem zum Test schneller Halbleiterchips ist demnach gekennzeichnet durch:
    • – Testmusterlademittel 24, 11, 12, einschließlich der Leitungssysteme 2530, um von außen, das heißt vom Testgerät 2 in den Speicherchip, zum Beispiel in den Speicherblock 5A ein ausgewähltes Testmuster für Daten- und/oder Datenstrobesignale DQ, DQS mit einer langsamen Taktfrequenz bzw. Datenrate und einem gewählten Adressenoffset zu laden und anschließend die Verbindung der Datenleitungen und Datenstrobeleitungen zwischen Testgerät 2 und Speicherchip zu trennen;
    • – erste Schaltungsmittel 10, 11, 12, 13, 14, die auf die Aktivierung eines Funktionstestmodus die Datenleitungen 25, 26, 27, 28 und/oder die Datenstrobeleitungen 29, 30 zwischen jeweils zwei Speicherblöcken, zum Beispiel 5A und 5B, des Speicherchips in zwei gleichgroße Gruppen teilen und miteinander verbinden;
    • – zweite Schaltungsmittel 10, 11, 12, 13, 14 die durch einen ersten Lese-Schreibzyklus die zuvor in den ersten Speicherblock, zum Beispiel 5A, eingeschriebenen bzw. eingegebenen Daten- und/oder Datenstrobetestmuster in den nun mit ihm verbundenen anderen Speicherblock, zum Beispiel 5B, mit hoher Taktfrequenz bzw. Datenrate verschieben und anschließend durch einen zweiten Lese-Schreibzyklus die soeben in den zweiten Speicherblock, zum Beispiel 5B, eingeschriebenen bzw. eingegebenen Daten- und/oder Datenstrobetestmuster mit der hohen Taktfrequenz bzw. Datenrate in der entgegengesetzten Richtung wieder in den ersten Speicherblock, zum Beispiel 5A, zurückverschieben, und
    • – Testmusterauslesemittel, nämlich der Datenpfad 11 und die angeschlossenen Leitungen 25, 27 und 29 und die externen Leitungen 4, die die in den ersten Speicherblock, zum Beispiel 5A, zurückverschobenen Daten- und/oder Datenstrobetestmuster mit langsamem Takt auslesen und dem Testgerät 2 zur Bewertung zuführen.
  • Die zweiten Schaltungsmittel enthalten, wie schon erwähnt, einstellbar variable Verzögerungsschaltungen 13 und 14 zur programmierbaren Zeitsteuerung der Verschiebevorgänge für die Daten- und Datenstrobetestmustersignale. Durch diese variabel einstellbaren Verzögerungen lassen sich die Setup- und Holdzeit messen.
  • Die ersten und zweiten Schaltungsmittel lassen sich entweder außerhalb des Speicherchips anordnen, oder sie können alter nativ in der Ausgangsschaltung des Speicherchips integriert sein.
  • Das oben beschriebene erfindungsgemäße Funktionstestsystem führt die folgenden Verfahrensschritte in dieser Reihenfolge aus:
  • Schritt A: Zuerst werden ausgewählte Daten- und/oder Datenstrobemuster in einen der Speicherblöcke, zum Beispiel 5A, mit einem ausgewählten Adressenoffset mit langsamer Taktfrequenz eingeschrieben bzw. eingegeben. Der Schritt A ist in den ersten beiden Zeilen des in 2 dargestellten Signalzeitdiagramms veranschaulicht.
  • Schritte B und C: Die Daten- und/oder Datenstrobeleitungen zwischen dem einen Speicherblock, zum Beispiel Block A, und dem anderen Speicherblock, zum Beispiel Block B, werden dann in zwei gleichgroße Gruppen eingeteilt und die beiden Gruppen der Daten- und/oder Datenstrobeleitungen zwischen den beiden Speicherblöcken verbunden. Dabei sind die von außen, das heißt vom Testgerät 2 kommenden und die nach außen gehenden Daten- und Datenstrobeleitungen 4 unterbrochen.
  • Schritt D: Mit dem Hochfrequenztakt werden die zuvor in den ersten Speicherblock, zum Beispiel 5A, eingeschriebenen Daten- und/oder Datenstrobetestmuster in den nun mit ihm verbundenen anderen Speicherblock, zum Beispiel 5B verschoben. Dieser Schritt D ist in der dritten und vierten Zeile des Signalzeitdiagramms der 2 veranschaulicht. Dabei können die Daten- und Datenstrobetestmuster einer durch die Blöcke 14 und 13 bewirkten einstellbaren Verzögerung unterworfen werden.
  • Schritt E: Anschließend werden die im zweiten Speicherblock, zum Beispiel 5B, eingespeicherten Daten- und/oder Datenstrobetestmuster mit der hohen Taktfrequenz bzw. Datenrate wieder in den ersten Speicherblock, zum Beispiel 5A, zurückverschoben, wobei durch die Verzögerungsschaltungen 13 und 14 auch hier eine programmierbare bzw. einstellbare Verzögerung für die zurückzuschiebenden Daten- und Datenstrobetestmuster bewirkt werden kann. Die fünfte und sechste Zeile des Signalzeitdiagramms veranschaulichen den eben geschilderten Schritt E.
  • Schritt F: Schließlich werden die in den ersten Speicherblock, zum Beispiel 5A, zurückverschobenen Daten- und/oder Datenstrobetestmuster mit der langsamen Taktfrequenz bzw. Datenrate über den Datenpfad 11 die Leitungen 27, 29, die Pads 3 und das Leitungssystem 4, das nun wieder mit dem zu testenden Speicherchip verbunden ist, vom Testgerät 2 ausgelesen, um dort einer Bewertung unterworfen zu werden. Der Auslesevorgang des Schritts F ist in den beiden letzten Zeilen des Signalzeitdiagramms der 2 veranschaulicht.
  • Das erfindungsgemäße Funktionstestsystem und das Funktionstestverfahren ermöglichen einen kostengünstigen Funktionstest, der auch für die nächste Generation von High Speed Speichern, die mit noch höheren Taktfrequenzen arbeiten, anwendbar ist, da es für diese Methode keine Geschwindigkeitsgrenze gibt, so dass sie auch noch für weitaus schnellere Speicherinterfaces verwendet werden kann. Der vorgeschlagene Funktionstest von Double-Data-Rate-Speicherinterfaces unter High Speed Bedingungen braucht keine teueren externen High-Speed-Tester, da sich der Speicher in erster Linie selbst testet.
  • 1
    Testsystem
    2
    externes Testgerät
    3, 4
    Schnittstelle zum externen Testgerät
    5A, 5B
    Speicherblöcke
    10
    Testmodusblock
    11, 12
    Datenpfad
    13, 14
    variable einstellbare Verzögerungsschaltungen
    21 – 30
    Daten-, Datenstrobe- und Steuerleitungen

Claims (10)

  1. System zum Funktionstest eines Halbleiterspeicherchips (5), insbesondere eines im DDR-Betrieb betreibbaren DRAM- oder SGRAM-Chips, in dem die Speicherzellen in eine Mehrzahl räumlich getrennter Speicherblöcke (5A, 5B) unterteilt sind, gekennzeichnet durch: – Testmusterlademittel (24, 11, 12), die zuvor ein von außen an den Chip (5) angelegtes ausgewähltes Testmuster für die Daten- und/oder Datenstrobesignale (DQ, DQS) mit einer langsamen Taktfrequenz bzw. Datenrate und einem gewählten Adressenoffset in einen der beiden Speicherblöcke (zum Beispiel 5A) laden und anschließend die dazu verwendete Verbindung zum Speicherchip (5) trennen; – erste Schaltungsmittel (1014) die auf Aktivierung eines Funktionstestmodus die Daten- und/oder Datenstrobeleitungen (DQ, DQS) zwischen jeweils zwei Speicherblöcken (5a, 5b) des Speicherchips (5) in zwei gleichgroße Gruppen teilen und miteinander verbinden; – zweite Schaltungsmittel (1014), die durch einen ersten Lese-Schreibzyklus die zuvor in den ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A) geladenen Daten- und/oder Datenstrobetestmuster (DQ, DQS) in den mit ihm verbundenen anderen Speicherblock (zum Beispiel 5B) mit hoher Taktfrequenz bzw. Datenrate verschieben und anschließend durch einen zweiten Lese-Schreibzyklus die in dem anderen Speicherblock (5b) eingespeicherten Daten- und/oder Datenstrobetestmuster mit der hohen Taktfrequenz bzw. Datenrate in entgegengesetzter Richtung wieder in den ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A) zurückverschieben; und – Testmusterauslesemittel (24, 11, 12), die die in den ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A) zurückverschobenen Daten- und/oder Datenstrobetestmuster (DQ, DQS) auslesen und einer Bewertung zuführen.
  2. Funktionstestsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Schaltungsmittel (1014) einstellbar variable Verzögerungsmittel (13, 14) zur programmierbaren Zeitsteuerung der mit hoher Taktfrequenz bzw. Datenrate eingeschriebenen und ausgelesenen Daten- und/oder Datenstroketestmuster (DQ, DQS) aufweisen.
  3. Funktionstestsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Schaltungsmittel einen Testmodusblock (10) aufweisen, der die Speicherblöcke (5a, 5b) auf die Zufuhr des Funktionstestmodus – Aktiviersignals von dem externen Testgerät (2) unabhängig jeweils auf Schreib- und Lesebetrieb schaltet und die Verzögerung der Verzögerungsmittel (13, 14) für die Daten- und/oder Datenstrobetestmuster (DQ, DQS) einstellt.
  4. Funktionstestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Schaltungsmittel außerhalb des Speicherchips (5) angeordnet sind.
  5. Funktionstestsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten und zweiten Schaltungsmittel auf dem Speicherchip (5) angeordnet sind.
  6. Verfahren zum Funktionstest eines Halbleiterspeicherchips (5), insbesondere eines im DDR-Betrieb betreibbaren DRRM- oder SGRAM-Chips, in dem die Speicherzellen in eine Mehrzahl räumlich getrennter Speicherblöcke (5A, 5B) unterteilt sind, gekennzeichnet durch folgende Schritte: A Einschreiben bzw. Eingabe von ausgewählten Daten- und/oder Datenstrobetestmustersignalen in einen der Speicherblöcke (zum Beispiel 5A mit einem ausgewählten Adressenoffset und mit langsamer Taktfrequenz bzw. Datenrate; B Einteilen der Daten- und/oder Datenstrobeleitungen zwischen dem ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A) und einem anderen Speicherblock (zum Beispiel 5B) in zwei gleich große Gruppen; C Verbinden der beiden Daten- und/oder Datenstrobeleitungsgruppen zwischen den beiden Speicherblöcken (5A, 5B); D Verschieben des zuvor in den ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A) eingeschriebenen Daten- und/oder Datenstroketestmusters (DQ, DQS) mit hoher Taktfrequenz bzw. Datenrate in den mit ihm verbundenen anderen Speicherblock (zum Beispiel 5B), E Anschließendes Zurückschieben des im zweiten Speicherblock (zum Beispiel 5B) gespeicherten Daten- und/oder Datenstrobetestmusters (DQ, DQS) mit hoher Taktfrequenz bzw. Datenrate in den ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A), und F Auslesen des in den ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A) zurückverschobenen Daten- und/oder Datenstrobetestmusters (DQ, DQS) mit langsamer Taktfrequenz bzw. Datenrate (DQ, DQS) aus dem ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A).
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das aus dem ersten Speicherblock (zum Beispiel 5A) ausgelesene Daten- und/oder Datenstrobetestmuster (DQ, DQS) einer externen Bewertung unterworfen wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass in den Schritten D und E die Daten- und/oder Datenstrobetestmuster (DQ, DQS) während ihrer Verschiebung einer je weils bestimmten Zeitverzögerung unterworfen werden, um eine Setup-Zeit und Hold-Zeit für die Testmuster zu testen.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Verzögerungszeit für die verschobenen Datentestmuster (DQ) und die für die verschobenen Datenstrobetestmuster (DQS) jeweils getrennt einstellbar ist.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Verschiebung der Daten- und/oder Datenstrobetestmuster mit der höchstmöglichen Taktfrequenz bzw. Datenrate des Speicherchips durchgeführt wird.
DE10218787A 2002-04-26 2002-04-26 System und Verfahren zum Funktionstest von Halbleiterspeicherchips Expired - Fee Related DE10218787B3 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10218787A DE10218787B3 (de) 2002-04-26 2002-04-26 System und Verfahren zum Funktionstest von Halbleiterspeicherchips
US10/424,347 US6914834B2 (en) 2002-04-26 2003-04-28 System and method for the functional testing of semiconductor memory chips

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10218787A DE10218787B3 (de) 2002-04-26 2002-04-26 System und Verfahren zum Funktionstest von Halbleiterspeicherchips

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10218787B3 true DE10218787B3 (de) 2004-01-29

Family

ID=29795797

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10218787A Expired - Fee Related DE10218787B3 (de) 2002-04-26 2002-04-26 System und Verfahren zum Funktionstest von Halbleiterspeicherchips

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6914834B2 (de)
DE (1) DE10218787B3 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100550796B1 (ko) * 2003-12-11 2006-02-08 주식회사 하이닉스반도체 반도체 메모리 소자의 데이터 전송 장치 및 그 제어 방법
DE102004007239B4 (de) * 2004-02-13 2005-12-29 Infineon Technologies Ag Schnittstellenvorrichtung und Verfahren zur Datenrückgewinnung und Synchronisation
US6972571B2 (en) 2004-03-22 2005-12-06 Freescale Semiconductor, Inc. Load board with embedded relay tracker
TWI327732B (en) * 2007-03-03 2010-07-21 Nanya Technology Corp Memory device and related testing method
US10248520B2 (en) 2015-09-25 2019-04-02 Oracle International Corporation High speed functional test vectors in low power test conditions of a digital integrated circuit
US10242750B2 (en) * 2017-05-31 2019-03-26 Sandisk Technologies Llc High-speed data path testing techniques for non-volatile memory
US10930364B2 (en) 2018-11-16 2021-02-23 International Business Machines Corporation Iterative functional test exerciser reload and execution

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6169695B1 (en) * 1997-02-28 2001-01-02 Micron Technology Inc. Method and apparatus for rapidly testing memory devices

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100222046B1 (ko) * 1996-12-20 1999-10-01 윤종용 자기 테스트회로를 가진 반도체 메모리장치
US6161206A (en) * 1998-04-30 2000-12-12 Credence Systems Corporation Pattern generator for a semiconductor integrated circuit tester

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6169695B1 (en) * 1997-02-28 2001-01-02 Micron Technology Inc. Method and apparatus for rapidly testing memory devices

Also Published As

Publication number Publication date
US6914834B2 (en) 2005-07-05
US20040015314A1 (en) 2004-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69422120T2 (de) Synchroner dynamischer Speicher mit wahlfreiem Zugriff
DE69631013T2 (de) Halbleiterspeicher
DE10223178B4 (de) Schaltungsanordnung mit einer Ablaufsteuerung, integrierter Speicher sowie Testanordnung mit einer derartigen Schaltungsanordnung
DE10116914A1 (de) Schaltungsanordnung mit einem Speicherfeld
DE19639972B4 (de) Hochgeschwindigkeitstestschaltkreis für eine Halbleiterspeichervorrichtung
DE10034899C1 (de) System zum Test schneller synchroner Halbleiterschaltungen
DE4003673C2 (de)
DE10218787B3 (de) System und Verfahren zum Funktionstest von Halbleiterspeicherchips
DE19756929B4 (de) Zellenarray und Leseverstärkerstruktur mit verbesserten Rauscheigenschaften und verringerter Größe
DE19963689A1 (de) Schaltungsanordnung eines integrierten Halbleiterspeichers zum Speichern von Adressen fehlerhafter Speicherzellen
DE4312086C2 (de) Halbleiterspeichereinrichtung und Betriebsverfahren dafür
DE102007053502A1 (de) Steuersignalabstimmung
DE19808664C2 (de) Integrierte Schaltung und Verfahren zu ihrer Prüfung
EP0283908A1 (de) Mehrstufige integrierte Dekodereinrichtung
DE10146149B4 (de) Schaltungsanordnung zum Empfang eines Datensignals
DE102004060644B4 (de) Direktzugriffsspeicher, Speichersteuerung und Verfahren unter Verwendung von Vorladezeitgebern in einem Testmodus
DE10205693A1 (de) Halbleiterspeicherbauelement und zugehöriges Signalleitungsanordnungsverfahren
DE10323237A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Optimierung der Funktionsweise von DRAM-Speicherelementen
DE4442638B4 (de) Digitaler Videospeicher
DE10139724A1 (de) Integrierter Speicher mit Speicherzellen in mehreren Speicherzellenblöcken und Verfahren zum Betrieb eines solchen Speichers
DE10117614B4 (de) Verfahren zum Betreiben eines Halbleiterspeichers mit doppelter Datenübertragungsrate und Halbleiterspeicher
DE19933539B4 (de) Integrierter Speicher
DE10245713A1 (de) Testsystem und Verfahren zum Testen von Speicherschaltungen
DE10139725B4 (de) Integrierter dynamischer Speicher sowie Verfahren zum Betrieb eines integrierten dynamischen Speichers
DE4021600C2 (de) Verfahren zum Betriebsartwechsel einer Speichervorrichtung mit zwei Anschlüssen

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of the examined application without publication of unexamined application
8364 No opposition during term of opposition
8325 Change of the main classification

Ipc: G11C 29/00 AFI20020426BHDE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: INFINEON TECHNOLOGIES AG, DE

Free format text: FORMER OWNER: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE

Owner name: POLARIS INNOVATIONS LTD., IE

Free format text: FORMER OWNER: QIMONDA AG, 81739 MUENCHEN, DE

R081 Change of applicant/patentee

Owner name: POLARIS INNOVATIONS LTD., IE

Free format text: FORMER OWNER: INFINEON TECHNOLOGIES AG, 85579 NEUBIBERG, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee