Technisches Gebiet
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Die Erfindung betrifft eine
Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampe für den Gleichstrombetrieb mit einem Entladungsgefäß, das zwei
diametral gegenüberliegend angebrachte Hälse aufweist, in die eine Anode
und eine Kathode jeweils aus Wolfram gasdicht eingeschmolzen sind und
das eine Füllung aus Quecksilber und zumindest einem Edelgas enthält.
Derartige Lampen werden insbesondere für die Mikrolithographie in der
Halbleiterindustrie zur Belichtung von Wafern eingesetzt.
Stand der Technik
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Die für den Belichtungsprozess verwendeten
Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampen müssen eine hohe Lichtintensität im ultravioletten
Wellenlängenbereich - teils eingeschränkt auf wenige Nanometer
Wellenlänge - liefern, wobei die Lichterzeugung auf einen kleinen Raumbereich
eingrenzt ist.
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Die daraus abzuleitende Anforderung einer hohen Leuchtdichte kann durch
eine Gleichstrom-Gasentladung bei kurzem Elektrodenabstand erzielt
werden. Es entsteht dabei ein Plasma mit hoher Lichtemission vor der Kathode.
Durch die starke elektrische Energieeinkopplung in das Plasma werden
Elektrodentemperaturen erzeugt, die insbesondere bei der Kathode zu einer
Schädigung des Materials führen.
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Derartige Kathoden enthalten daher bisher bevorzugt eine Dotierung aus
Thoriumoxid ThO2, das während des Lampenbetriebs zu Thorium Th
reduziert wird, in dieser metallischen Form an die Kathodenoberfläche tritt und
dort zur Absenkung der Austrittsarbeit der Kathode führt.
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Mit der Absenkung der Austrittsarbeit geht eine Reduktion der
Betriebstemperatur der Kathode einher, die zu einer längeren Lebensdauer der Kathode
führt, da bei erniedrigten Temperaturen weniger Kathodenmaterial
verdampft.
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Der bisher bevorzugte Einsatz von ThO2 als Dotierstoff liegt in der Tatsache
begründet, dass die Verdampfung des Dotierstoffs relativ gering ist und
daher zu wenig störenden Niederschlägen im Lampenkolben (Schwärzung,
Beläge) führt. Die vorzügliche Eignung von ThO2 korreliert mit einem hohen
Schmelzpunkt des Oxids (3323 K) und Metalls (2028 K).
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Ein Elektrodenrückbrand lässt sich aber auch bei thorierten Kathoden nicht
vermeiden, so dass der Lampenlebensdauer durch den Kathodenrückbrand
Grenzen gesetzt sind. Dies ist insbesondere bei Lampen mit kurzen
Elektrodenabständen - wie sie hier vorliegen - nachteilig, da hier ein geringer
Elektrodenrückbrand bereits zu starken Änderungen der lichttechnischen
Eigenschaften der Lampe führt. Eine weitere Reduktion des Rückbrands bleibt
daher wünschenswert.
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Der entscheidende Nachteil der Verwendung von ThO2 ist aber seine
Radioaktivität, die Schutzvorkehrungen beim Umgang in der Vormaterial- und
Lampenherstellung erforderlich macht. Je nach Aktivität des Produkts sind
auch Auflagen bei Lagerung, Betrieb und Entsorgung der Lampen zu
beachten.
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Die Lösung des Umweltproblems ist bei Lampen mit hohen Betriebsströmen
größer 20 A, wie sie in der Mikrolithographie verwendet werden, besonders
dringend, da diese Lampen aufgrund der Elektrodengröße eine besonders
hohe Aktivität aufweisen.
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Zahlreiche Thoriumersatzstoffe sind deshalb untersucht worden. Beispiele
hierfür finden sich in "Metallurgical Transactions A, vol. 21A, Dec 1990, S.
3221-3236. Der kommerzielle Einsatz von Ersatzstoffen bei Lampen für die
Mikrolithographie ist bisher nicht gelungen, da alle Ersatzstoffe durch ihre
im Vergleich zu ThO2 leichtere Verdampfbarkeit zu ausgeprägten
Kolbenbelägen führten.
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In der Mikrolithographie hängt die Produktivität der Belichter entscheidend
von der Lichtmenge ab, die die Lampe bereitstellt. Kolbenbeläge oder
Elektrodenrückbrand reduzieren das verfügbare Nutzlicht und führen zu einem
Produktivitätsverlust der sehr teuren Anlagen aufgrund ansteigender
Belichtungszeiten.
Darstellung der Erfindung
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Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Quecksilber-Kurzbogen-
Hochdruckentladungslampe gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1
bereitzustellen, die ohne radioaktive Dotierstoffe im Elektrodenmaterial
auskommt, einen geringen Elektrodenrückbrand gewährleistet, der dem
erreichten Stand der Technik in Bezug auf den Elektrodenrückbrand nicht
nachsteht und die Belagsbildung im Lampenkolben über die
Lampenlebensdauer wenn möglich weiter reduziert.
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Diese Aufgabe wird bei einer
Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 dadurch
gelöst, dass zumindest das Material des Kathodenkopfes zusätzlich
Lanthanoxid La2O3 enthält und der Quecksilbergehalt der Lampenfüllung
höchstens 6 mg/cm3 beträgt. Der Quecksilbergehalt sollte dabei mindestens 1 mg/cm3betragen, da sich die Plasmaeigenschaften reiner Edelgaslampen
von Quecksilberbogenlampen wesentlich unterscheiden. In Abwesenheit von
relativ leicht ionisierbarem Quecksilber brennt ein Edelgasbogen wesentlich
konzentrierter.
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Untersuchungen an unterschiedlichen Dotierungsstoffen hatten ergeben,
dass La2O3 sehr günstige Ergebnisse hinsichtlich Belagsbildung und
Elektrodenrückbrand zeigen können. Der Rückbrand ist sogar geringer als bei
thorierten Materialien. Dies ist ein Vorteil, der bei kurzen Elektrodenabständen
(< 6 mm) besonders wirksam wird und ein gewisses Übermaß an
Belagsbildung sogar tolerabel machen würde. Die Dotierung des Kopfes oder der
gesamten aus Schaft und Kopf bestehenden Kathode sollte dabei zwischen 1,0
und 3,5 Gew.% des Kathodenmaterials besser zwischen 1,5 und 3,0 Gew.%
des Kathodenmaterial liegen.
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Die Kathodenbetriebstemperatur bestimmt wesentlich die Abdampfrate des
Emitters. Die Richardson-Dushman-Formel
I = A T2 exp(-eΦ/kT),
wobei I die Stromdichte in A/m2, A die Konstante 1,2 × 106 in A/m2K2, k die
Boltzmannkonstante, T die Temperatur in K und Φ die Austrittsarbeit in eV
ist, stellt einen Zusammenhang zwischen Lampenstrom,
Elektronenaustrittsfläche und Elektrodentemperatur her. Bei gegebenem Lampenstrom ist die
Elektrodentemperatur jedoch noch nicht eindeutig bestimmt. Die Größe der
Bogenansatzfläche bleibt offen und beeinflusst die Kathodentemperatur.
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Untersuchungen haben gezeigt, dass die Bogenansatzfläche und damit die
Elektrodentemperatur durch die Füllgasart, den Füllgasdruck und die
Quecksilberkonzentration beeinflusst werden.
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Ein Einfluss von Elektrodendurchmesser, Spitzenwinkel und
Elektrodenspitzendurchmesser ist zwar grundsätzlich auch vorhanden, jedoch ist der
Einfluss dieser Parameter von untergeordneter Bedeutung, da neben dem Strom
vorwiegend die Lampenplasma-Eigenschaften die Form des Bogenansatzes
bestimmen. Für die Plasmaeigenschaften sind aber Füllgasart, Füllgasdruck
und Quecksilberkonzentration wesentlich.
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Versuche haben gezeigt, dass insbesondere hohe
Quecksilberkonzentrationen in erfindungsgemäßen
Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampen eine besonders starke Erwärmung der Kathodenspitzen bewirken. So
liegt bei 4.5 mg/cm3 Hg liegt die Elektrodentemperatur beispielsweise bei
2200°C während bei 40 mg/ccm bei gleichem Strom 2600°C gemessen
werden.
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Die Emitterverdampfung nimmt in einer solchen Situation mit der
Quecksilberkonzentration zu. Die Untersuchungen zeigten, dass sich bei
Verwendung von La2O3 als Zusatz zum Wolfram des Kathodenmaterials ähnlich
geringe Verdampfungsraten wie bei Verwendung von ThO2 erreichen lassen,
solange die Quecksilbermenge 6 mg/cm3 im Entladungsgefäß als Füllung
nicht übersteigt.
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Durch die Zugabe von weiteren Oxyden oder Karbiden wurde versucht
weitere Verbesserungen zu erzielen. Dabei zeigte sich, dass durch die Zugabe
von ZrO2 und/oder HfO2 in geringen Mengen eine weitere Verbesserung der
Eigenschaften hinsichtlich der Emitterverdampfung erzielt werden kann. Die
Menge ZrO2 und/oder sollte dabei vorteilhaft jedoch bei ZrO2 1,0 Gew.%
bzw. bei HfO2 1,5 Gew.% am Kathodenmaterial nicht überschreiten, da die
günstige Beeinflussung des Lichtstroms stets mit einem erhöhten Rückbrand
der Kathode einhergeht.
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Einen ähnlichen Einfluss wie der Quecksilbergehalt hat der Füllgasdruck in
der Lampe. Mit steigendem Füllgasdruck wird die Bogenansatzstelle an der
Kathode eingeschnürt und führt zu einer erhöhten
Kathodenspitzentemperatur. Hier haben Versuche gezeigt, dass bei Verwendung von Xenon Xe als
Füllgas ein Kaltfülldruck ab 3 bar bzw. 17.7 mg/cm3 Xe bei dem
erfindungsgemäßen Lampentyp bereits zu einer merklichen Emitterverdampfung führt.
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Die Variation des Xenonfülldrucks zeigt einen deutlichen Einfluss auf den
Lichtstrom. Nach 1500 h ergeben sich bei einer erfindungsgemäßen
Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampe mit einem mit 2 Gew.% La
2O
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dotierten Kathodenmaterial des Kathodenkopfes und einem
Quecksilbergehalt der Füllung von 4.5 mg/cm
3 in Abhängigkeit vom Xe-Füllgasdruck die
folgenden Lichtstromwerte:
Xe-Fülldruck | Lichtstrom |
500 mbar | 81% |
800 mbar | 88% |
1500 mbar | 82% |
3000 mbar | 76% |
5000 mbar | 53% |
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Die beschriebenen Ergebnisse lassen zunächst vermuten, dass eine möglichst
geringe Füllung an Quecksilber und Füllgas wünschenswert sind. Weitere
Untersuchungen zeigten allerdings, dass bei sehr geringen Betriebsdrücken
der oben beschriebene Zusammenhang von Fülldruck und
Emitterverdampfung nicht mehr gilt. Vielmehr tritt ein umgekehrter Zusammenhang in
Erscheinung: die Abdampfung des Emitters nimmt mit sinkendem
Gasfülldruck wieder zu.
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Dieses Phänomen lässt sich dadurch erklären, dass der Edelgasdruck in der
Lampe sich den abdampfenden Teilchen als Diffusionsbarriere entgegen
stellt. Je dichter ein Gas ist, desto stärker hemmt es die
Emitterverdampfungsprozesse.
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Ein Mindestkaltfülldruck von 500 mbar bzw. 2,9 mg/cm3 ist bei der
Verwendung von Xenon deshalb notwendig, um eine übermäßige
Emitterverdampfung zu vermeiden.
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Der Dichtebereich 2,9 mg/ccm-16,5 mg/ccm (500 mbar-2800 mbar für Xe)
liefert die günstigsten Ergebnisse und korrespondiert zu einem Druckbereich
von 780-4370 mbar bei Kr bzw. 1640-9170 mbar bei Ar.
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Der bevorzugte Dichtebereich für den Gasdruck liegt aufgrund der
Untersuchungen somit zwischen 2,9 und 16,5 mg/cm3 und weder ein zu geringer
Gegendruck noch eine zu hohe Elektrodentemperatur führen zu
übermäßiger Emitterverdampfung.
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Durch die Angabe eines Dichtebereichs ergeben sich je nach Gas
unterschiedliche Druckbereiche, was dazu genutzt wird die verschiedenen
Füllgase oder deren Gemische in einfacher Weise zu erfassen.
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Der Vorteil des geringen Rückbrands von La2O3-dotierten Kathoden wird
nur bei kurzen Elektrodenabständen - wie bei den hier vorliegenden
Lampen - signifikant. Besonders vorteilhaft sind deshalb die Elektrodenabstände
bei den erfindungsgemäßen
Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampen kleiner gleich 6 mm.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Im folgenden soll die Erfindung anhand mehrerer Ausführungsbeispiele
näher erläutert werden. Es zeigen:
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Fig. 1 eine erfindungsgemäße
Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampe, im Schnitt
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Fig. 2 einen Detailausschnitt der Kathode
Bevorzugte Ausführung der Erfindung
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Fig. 1 zeigt im Schnitt eine erfindungsgemäße Quecksilber-Kurzbogen-
Hochdruckentladungslampe 1 mit einer Leistung von 1,75 kW. Sie hat einen
Kolben 2 aus Quarzglas, der elliptisch geformt ist. Daran schließen sich an
zwei gegenüberliegenden Seiten zwei Enden 3 an, die als Kolbenhälse 4
ausgeführt sind und die jeweils Halteteile 8 beinhalten. Die Hälse besitzen einen
vorderen konischen Teil 4a, der ein Stützröllchen 5 aus Quarzglas als
wesentliche Komponente des Halteteils enthält, und einen hinteren
zylindrischen Teil 4b, der die abdichtende Einschmelzung bildet. Der vordere Teil 4a
weist einen Einzug 6 von 5 mm Länge auf. Daran schließt sich jeweils ein
Stützröllchen 5 mit zentraler Bohrung an, das konisch geformt ist. Sein
Innendurchmesser ist 7 mm, sein Außendurchmesser am vorderen Ende ist
11 mm, der Außendurchmesser am hinteren Ende ist 15 mm. Die
Wandstärke des Kolbens 2 in diesem Bereich ist etwa 4 mm. Die axiale Länge des
Stützröllchens ist 17 mm.
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In der Bohrung des ersten Stützröllchens ist ein Schaft 10 einer Kathode 7 mit
einem Außendurchmesser von 6 mm axial geführt, der bis in das
Entladungsvolumen reicht, und dort ein integrales Kopfteil 25 trägt. Der Schaft 10
ist über das Stützröllchen 5 hinaus nach hinten verlängert und endet an
einem Teller 12, an den sich die abdichtende Einschmelzung in Form eines
zylindrischen Quarzblocks 13 anschließt. Dahinter folgt ein zweiter Teller 14,
der mittig eine Außenstromzuführung in Form eines Molybdänstabs 15 hält.
An der Außenfläche des Quarzblocks 13 sind vier Folien 16 aus Molybdän in
an sich bekannter Weise entlanggeführt und an der Wand des Kolbenhalses
gasdicht eingeschmolzen.
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In ähnlicher Weise ist die Anode 26, bestehend aus separatem Kopfteil 18
und Schaft 19, in der Bohrung des zweiten Stützröllchens 5 gehaltert.
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In Fig. 2 ist die Kathode 7 und das Halteteil 8 im Detail gezeigt. Die
Kathode 7 setzt sich aus einem kreiszylindrischen Schaft 10 von 36 mm Länge
und einem integralen Kopf 25 von 20 mm Länge zusammen, wobei der Kopf
25 wie der Schaft einen Außendurchmesser von 6 mm aufweist. Das der
Anode zugewandte Ende des Kopfes 25 ist als Spitze 11 mit einem
Spitzenwinkel β von 60° ausgebildet und besitzt ein plateauförmiges Ende 27 mit
einem Durchmesser von 0,5 mm. Das Halteteil besteht aus Stützröllchen 5 und
mehreren Folien in dessen Bohrung.
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Zur mechanischen Trennung von Stützröllchen und Schaft ist eine Folie 24
mehrmals (zwei bis vier Lagen) um den Schaft herumgewickelt. Ein Paar
schmaler Folien 23, die einander auf der gewickelten Folie 24
gegenüberliegen, dient der Fixierung des Stützröllchens. Zu diesem Zwecke stehen sie
entladungsseitig über das Stützröllchen über und sind nach außen
umgebogen. Das Material der Spitze 11 der Kathode 7 weist neben Wolfram eine
Dotierung von 2,0 Gew.% La2O3 auf.
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Die erfindungsgemäße Quecksilber-Kurzbogen-Hochdruckentladungslampe
besitzt ein Entladungsgefäß mit einem Volumen von 134 cm3, das mit 603 mg
Quecksilber sowie einem Edelgasgemisch aus Xenon und Argon in einer
Menge von 720 mg gefüllt ist.
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Der Betriebsstrom der Lampe mit einem Elektrodenabstand von 4,5 mm liegt
bei I = 60 A.