JP2000057996A - ショートアーク型放電灯 - Google Patents
ショートアーク型放電灯Info
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- JP2000057996A JP2000057996A JP10236596A JP23659698A JP2000057996A JP 2000057996 A JP2000057996 A JP 2000057996A JP 10236596 A JP10236596 A JP 10236596A JP 23659698 A JP23659698 A JP 23659698A JP 2000057996 A JP2000057996 A JP 2000057996A
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- lamp
- short arc
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 長時間点灯しても電極先端部の消耗が少な
く、長寿命で、アークの安定性の良いショートアーク型
放電灯を提供する。 【解決手段】 希土類化合物を含むタングステンを電極
材料として使用するショートアーク型放電灯の電極径
を、ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜
1000Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上
とする。トリウムタングステン電極より仕事関数が小さ
くて動作温度を低くでき、電極材がアークと接触する範
囲以外は、電極材温度を再結晶温度（1500℃）以下にす
ることができるので、電極の変形範囲が最小となる。ト
リウムタングステン電極より仕事関数が小さくて動作温
度を低くでき、電極材がアークと接触する範囲以外は、
電極材温度を再結晶温度（1500℃）以下にすることがで
きるので、電極の変形範囲が最小となり、電極先端部の
消耗が少なく、長寿命となり、また、電極先端部の変形
範囲が小さいためアークが安定する。
く、長寿命で、アークの安定性の良いショートアーク型
放電灯を提供する。 【解決手段】 希土類化合物を含むタングステンを電極
材料として使用するショートアーク型放電灯の電極径
を、ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜
1000Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上
とする。トリウムタングステン電極より仕事関数が小さ
くて動作温度を低くでき、電極材がアークと接触する範
囲以外は、電極材温度を再結晶温度（1500℃）以下にす
ることができるので、電極の変形範囲が最小となる。ト
リウムタングステン電極より仕事関数が小さくて動作温
度を低くでき、電極材がアークと接触する範囲以外は、
電極材温度を再結晶温度（1500℃）以下にすることがで
きるので、電極の変形範囲が最小となり、電極先端部の
消耗が少なく、長寿命となり、また、電極先端部の変形
範囲が小さいためアークが安定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ショートアーク型
放電灯に関し、特に、露光機や光照射機等に用いられる
ショートアーク型放電灯に関する。
放電灯に関し、特に、露光機や光照射機等に用いられる
ショートアーク型放電灯に関する。
【０００２】
【従来の技術】ショートアーク型放電灯は、発光長が短
くて、擬似的に点光源とみなせるため、集光光学系もし
くは平行光光学系を用いた露光装置や光照射装置などの
光源として用いられている。しかし、放電灯の電極は高
温で使用されるため、タングステンなどの高融点金属で
製作しても、その先端部は点灯時間に伴い気化などによ
り消耗する。その結果、発光長が長くなり、点光源に擬
似できなくなる。また、輝度の一番高い電極先端部の位
置が、元の位置より移動することにもなるため、集光光
学系においては光の利用効率が下がり、照射面照度が下
がる。
くて、擬似的に点光源とみなせるため、集光光学系もし
くは平行光光学系を用いた露光装置や光照射装置などの
光源として用いられている。しかし、放電灯の電極は高
温で使用されるため、タングステンなどの高融点金属で
製作しても、その先端部は点灯時間に伴い気化などによ
り消耗する。その結果、発光長が長くなり、点光源に擬
似できなくなる。また、輝度の一番高い電極先端部の位
置が、元の位置より移動することにもなるため、集光光
学系においては光の利用効率が下がり、照射面照度が下
がる。
【０００３】発光長の増加や照射面照度の低下を防ぐた
めには、電極の温度を下げて電極の消耗を防ぐ必要があ
る。そのために、タングステンより仕事関数が低いトリ
ウムタングステン（一般には２wt％ＴhＯ2-Ｗ）を電極
材として使用して、動作温度を低くすることが一般的に
行なわれている。トリウムが、電子を放出し易くする物
質（エミッター）として作用する。しかし、動作温度は
まだ2500℃程度と高く、電極先端部の消耗もまだ大き
い。また、トリウムは放射性元素であり、その使用量が
少ないとはいうものの、最近ではますます規制が厳しく
なりつつあり、今後は安定した供給も危ぶまれている。
めには、電極の温度を下げて電極の消耗を防ぐ必要があ
る。そのために、タングステンより仕事関数が低いトリ
ウムタングステン（一般には２wt％ＴhＯ2-Ｗ）を電極
材として使用して、動作温度を低くすることが一般的に
行なわれている。トリウムが、電子を放出し易くする物
質（エミッター）として作用する。しかし、動作温度は
まだ2500℃程度と高く、電極先端部の消耗もまだ大き
い。また、トリウムは放射性元素であり、その使用量が
少ないとはいうものの、最近ではますます規制が厳しく
なりつつあり、今後は安定した供給も危ぶまれている。
【０００４】これらの問題を解決するため、例えば、
“Effect of Rare Earth Metal OxideAdditions to Tun
gsten Electrodes" Volume 21A, December 1990, Metal
lurgical Transactions A.に記載されているように、ト
リウムに代わるものとして希土類が研究されてきた。こ
れらの物質を含むタングステンは、トリウムタングステ
ンより仕事関数が低い（２wt％ＴhＯ2-Ｗの仕事関数≒
2.6ｅＶに対して、例えば、２wt％Ｌa2Ｏ3-Ｗの仕事関
数≒2.1ｅＶ）ため、動作温度が低く、電極先端部の消
耗が少ない。
“Effect of Rare Earth Metal OxideAdditions to Tun
gsten Electrodes" Volume 21A, December 1990, Metal
lurgical Transactions A.に記載されているように、ト
リウムに代わるものとして希土類が研究されてきた。こ
れらの物質を含むタングステンは、トリウムタングステ
ンより仕事関数が低い（２wt％ＴhＯ2-Ｗの仕事関数≒
2.6ｅＶに対して、例えば、２wt％Ｌa2Ｏ3-Ｗの仕事関
数≒2.1ｅＶ）ため、動作温度が低く、電極先端部の消
耗が少ない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、希土類
化合物を0.5〜５wt％含むタングステン電極を放電管に
使用した場合、電極先端部に変形（複数の突起）が発生
し、アーク輝点が定まらず、アーク不安定となる場合が
多かった。この原因は、現在のところ解明されていない
が、希土類がタングステン化合物もしくは酸化タングス
テン化合物をつくるために、特定条件下で発生する現象
ではないかと考えられている。更に研究を進めるなか
で、この電極先端部の変形は、電極材が再結晶しない部
分では発生しないことがわかってきた。一方、トリウム
タングステンにはこの様な現象はないが、前述の様に、
電極先端部の消耗が大きいという問題がある。
化合物を0.5〜５wt％含むタングステン電極を放電管に
使用した場合、電極先端部に変形（複数の突起）が発生
し、アーク輝点が定まらず、アーク不安定となる場合が
多かった。この原因は、現在のところ解明されていない
が、希土類がタングステン化合物もしくは酸化タングス
テン化合物をつくるために、特定条件下で発生する現象
ではないかと考えられている。更に研究を進めるなか
で、この電極先端部の変形は、電極材が再結晶しない部
分では発生しないことがわかってきた。一方、トリウム
タングステンにはこの様な現象はないが、前述の様に、
電極先端部の消耗が大きいという問題がある。
【０００６】本発明は、上記の問題を解決し、長時間点
灯しても電極先端部の消耗が少なく、長寿命で、アーク
の安定性の良いショートアーク型放電灯を提供すること
を目的とする。
灯しても電極先端部の消耗が少なく、長寿命で、アーク
の安定性の良いショートアーク型放電灯を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明では、希土類化合物を含むタングステンを
電極材料として使用するショートアーク型放電灯の電極
径を、ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150
〜1000Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以
上とする構成とした。
めに、本発明では、希土類化合物を含むタングステンを
電極材料として使用するショートアーク型放電灯の電極
径を、ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150
〜1000Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以
上とする構成とした。
【０００８】このように構成したことにより、トリウム
タングステン電極より仕事関数を低くして動作温度を下
げ、電極材がアークと接触する範囲以外では、電極材温
度を再結晶温度（1500℃）以下にすることができるの
で、電極の変形範囲が最小となる。
タングステン電極より仕事関数を低くして動作温度を下
げ、電極材がアークと接触する範囲以外では、電極材温
度を再結晶温度（1500℃）以下にすることができるの
で、電極の変形範囲が最小となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載した発明
は、希土類化合物を含むタングステンを電極材料として
使用するショートアーク型放電灯において、電極径を、
ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜1000
Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上とし
たショートアーク型放電灯であり、電極材が再結晶する
（約1500℃以上の）範囲を、アーク（輝点を最大輝度10
0％とした場合、輝度５％までの範囲）と接触する範囲
内に抑えるという作用を有する。
は、希土類化合物を含むタングステンを電極材料として
使用するショートアーク型放電灯において、電極径を、
ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜1000
Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上とし
たショートアーク型放電灯であり、電極材が再結晶する
（約1500℃以上の）範囲を、アーク（輝点を最大輝度10
0％とした場合、輝度５％までの範囲）と接触する範囲
内に抑えるという作用を有する。
【００１０】以下、本発明の実施の形態について、図１
〜図５を参照しながら、詳細に説明する。
〜図５を参照しながら、詳細に説明する。
【００１１】（実施の形態）本発明の実施の形態は、希
土類化合物を含むタングステンを電極材料とし、電極径
を、ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜
1000Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上
としたショートアーク型放電灯である。
土類化合物を含むタングステンを電極材料とし、電極径
を、ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜
1000Ｗでは２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上
としたショートアーク型放電灯である。
【００１２】図１は、本発明の実施の形態の超高圧水銀
ショートアークランプの図である。図１において、口金
１は、ランプへの給電端子である。封止用金属箔２は、
放電空間部の気密を保つＭoの箔である。電極３は、２w
t％Ｌa2Ｏ3-Ｗからなる陰極である。コイル４は、放熱
用のコイルである。バルブ５は、放電空間を取り囲む石
英ガラス製バルブである。電極６は、タングステンの陽
極である。
ショートアークランプの図である。図１において、口金
１は、ランプへの給電端子である。封止用金属箔２は、
放電空間部の気密を保つＭoの箔である。電極３は、２w
t％Ｌa2Ｏ3-Ｗからなる陰極である。コイル４は、放熱
用のコイルである。バルブ５は、放電空間を取り囲む石
英ガラス製バルブである。電極６は、タングステンの陽
極である。
【００１３】放電空間を取り囲む石英ガラス製バルブ５
内に、直流点灯ランプであるため陰極３と陽極６が対向
して配置されており、電極間が２ｍｍである。陰極の材
料は２wt％Ｌa2Ｏ3-Ｗであり、陽極の材料は電子放射の
必要がないためエミッターを含まず、純Ｗとなってい
る。また、陰極径（寸法Ａ）は、φ2.2ｍｍもしくはφ
2.5ｍｍである。
内に、直流点灯ランプであるため陰極３と陽極６が対向
して配置されており、電極間が２ｍｍである。陰極の材
料は２wt％Ｌa2Ｏ3-Ｗであり、陽極の材料は電子放射の
必要がないためエミッターを含まず、純Ｗとなってい
る。また、陰極径（寸法Ａ）は、φ2.2ｍｍもしくはφ
2.5ｍｍである。
【００１４】各々の電極は、封止用金属（Ｍo）箔２に
接続されており、このＭo箔により放電空間部の気密が
保たれている。また、Ｍo箔は他端が口金１に接続され
ており、ランプへの給電端子となっている。このランプ
の安定後の電圧は初期値で約40Ｖ、電流は６Ａである。
接続されており、このＭo箔により放電空間部の気密が
保たれている。また、Ｍo箔は他端が口金１に接続され
ており、ランプへの給電端子となっている。このランプ
の安定後の電圧は初期値で約40Ｖ、電流は６Ａである。
【００１５】本発明の実施の形態のランプを集光光学系
に使用した場合の照射面照度（強度）の変化具合及び電
極（陰極）の変形具合を、以下に示す。図２は、本発明
の実施の形態のランプを集光光学系に使用した場合の照
射面強度の変化を示す図である。比較対象として、陰極
のみ２wt％ＴhＯ2-Ｗの材料を使用し、他は同仕様のラ
ンプ（但し、陰極径をφ2.2ｍｍもしくはφ2.5ｍｍにす
ると、陰極先端部温度がＴhＯ2-Ｗの場合下がり過ぎ、
熱電子放出がうまくいかずアークが安定しないため、φ
1.5ｍｍとした）のデータをのせてある。本発明の実施
の形態のランプの場合、明らかに照度低下は少なく、長
寿命となっている。
に使用した場合の照射面照度（強度）の変化具合及び電
極（陰極）の変形具合を、以下に示す。図２は、本発明
の実施の形態のランプを集光光学系に使用した場合の照
射面強度の変化を示す図である。比較対象として、陰極
のみ２wt％ＴhＯ2-Ｗの材料を使用し、他は同仕様のラ
ンプ（但し、陰極径をφ2.2ｍｍもしくはφ2.5ｍｍにす
ると、陰極先端部温度がＴhＯ2-Ｗの場合下がり過ぎ、
熱電子放出がうまくいかずアークが安定しないため、φ
1.5ｍｍとした）のデータをのせてある。本発明の実施
の形態のランプの場合、明らかに照度低下は少なく、長
寿命となっている。
【００１６】図３は、本発明の実施の形態のランプの電
極（陰極）の変形具合を示す図である。図４は、比較対
象として、陰極径のみφ1.5ｍｍとし、他は同仕様のラ
ンプの変形具合を示す図である。点灯時間はいずれも約
400時間である。本発明の実施の形態のランプの場合、
陰極先端部の再結晶化範囲、変形範囲は半分以下となっ
ている。その結果、アークの輝点の移動範囲も半分以下
となり、集光光学系の照射面の照度の変動率も半分以下
となった。
極（陰極）の変形具合を示す図である。図４は、比較対
象として、陰極径のみφ1.5ｍｍとし、他は同仕様のラ
ンプの変形具合を示す図である。点灯時間はいずれも約
400時間である。本発明の実施の形態のランプの場合、
陰極先端部の再結晶化範囲、変形範囲は半分以下となっ
ている。その結果、アークの輝点の移動範囲も半分以下
となり、集光光学系の照射面の照度の変動率も半分以下
となった。
【００１７】上記のランプの輝度分布を図５に示す。輝
度分布は、本発明の実施の形態のランプと従来のランプ
で変化はない。本発明の実施の形態のランプの場合の再
結晶化域を示す図３と比較すると、アーク（輝点を最大
輝度100％とした場合、輝度５％までの範囲）と接触す
る範囲以外は、再結晶化していないことがわかる。
度分布は、本発明の実施の形態のランプと従来のランプ
で変化はない。本発明の実施の形態のランプの場合の再
結晶化域を示す図３と比較すると、アーク（輝点を最大
輝度100％とした場合、輝度５％までの範囲）と接触す
る範囲以外は、再結晶化していないことがわかる。
【００１８】上記のように、本発明の実施の形態では、
希土類化合物を含むタングステンを電極材料とするショ
ートアーク型放電灯の電極径を、ランプ入力が50〜150
Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜1000Ｗでは２ｍｍ以上と
し、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上としたので、トリウムタ
ングステン電極より仕事関数が小さくて動作温度を低く
でき、電極材がアークと接触する範囲以外は、電極材温
度を再結晶温度（1500℃）以下にすることができるの
で、電極の変形範囲が最小となり、電極先端部の消耗が
少なく、長寿命となり、また、電極先端部の変形範囲が
小さいためアークが安定する。
希土類化合物を含むタングステンを電極材料とするショ
ートアーク型放電灯の電極径を、ランプ入力が50〜150
Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜1000Ｗでは２ｍｍ以上と
し、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上としたので、トリウムタ
ングステン電極より仕事関数が小さくて動作温度を低く
でき、電極材がアークと接触する範囲以外は、電極材温
度を再結晶温度（1500℃）以下にすることができるの
で、電極の変形範囲が最小となり、電極先端部の消耗が
少なく、長寿命となり、また、電極先端部の変形範囲が
小さいためアークが安定する。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
では、希土類化合物を含むタングステンを電極材料とし
て使用するショートアーク型放電灯の電極径を、ランプ
入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜1000Ｗでは
２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上とする構成
としたので、トリウムタングステン電極より仕事関数が
小さくて動作温度を低くでき、電極材がアークと接触す
る範囲以外は、電極材温度を再結晶温度（1500℃）以下
にすることができるので、電極の変形範囲が最小とな
り、電極先端部の消耗が少なく、長寿命となり、また、
電極先端部の変形範囲が小さいためアークが安定すると
いう効果が得られる。
では、希土類化合物を含むタングステンを電極材料とし
て使用するショートアーク型放電灯の電極径を、ランプ
入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上とし、150〜1000Ｗでは
２ｍｍ以上とし、1000Ｗ以上では５ｍｍ以上とする構成
としたので、トリウムタングステン電極より仕事関数が
小さくて動作温度を低くでき、電極材がアークと接触す
る範囲以外は、電極材温度を再結晶温度（1500℃）以下
にすることができるので、電極の変形範囲が最小とな
り、電極先端部の消耗が少なく、長寿命となり、また、
電極先端部の変形範囲が小さいためアークが安定すると
いう効果が得られる。
【図１】本発明の実施の形態の超高圧水銀ショートアー
クランプの図、
クランプの図、
【図２】本発明の実施の形態の超高圧水銀ショートアー
クランプを集光光学系に使用した場合の照射面強度の変
化を示す図、
クランプを集光光学系に使用した場合の照射面強度の変
化を示す図、
【図３】本発明の実施の形態の超高圧水銀ショートアー
クランプの電極（陰極）の変形具合を示す図、
クランプの電極（陰極）の変形具合を示す図、
【図４】本発明の実施の形態の超高圧水銀ショートアー
クランプの変形具合を示す図、
クランプの変形具合を示す図、
【図５】本発明の実施の形態の超高圧水銀ショートアー
クランプの輝度分布を示す図である。
クランプの輝度分布を示す図である。
１ 口金 ２ 封止用金属箔 ３ 電極（陰極） ４ コイル ５ バルブ ６ 電極（陽極）
Claims (1)
- 【請求項１】 希土類化合物を含むタングステンを電極
材料として使用するショートアーク型放電灯において、
電極径を、ランプ入力が50〜150Ｗでは１ｍｍ以上と
し、ランプ入力が150〜1000Ｗでは２ｍｍ以上とし、ラ
ンプ入力が1000Ｗ以上では５ｍｍ以上としたことを特徴
とするショートアーク型放電灯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10236596A JP2000057996A (ja) | 1998-08-10 | 1998-08-10 | ショートアーク型放電灯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10236596A JP2000057996A (ja) | 1998-08-10 | 1998-08-10 | ショートアーク型放電灯 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000057996A true JP2000057996A (ja) | 2000-02-25 |
Family
ID=17002995
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10236596A Pending JP2000057996A (ja) | 1998-08-10 | 1998-08-10 | ショートアーク型放電灯 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000057996A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002237589A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
| WO2003075311A1 (de) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Patent-Treuhandgesellschaft Für Elektrische Glühlampen Mbh | Quecksilber-kurzbogenlampe mit lanthanoxid-haltiger kathode |
-
1998
- 1998-08-10 JP JP10236596A patent/JP2000057996A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002237589A (ja) * | 2001-02-08 | 2002-08-23 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
| WO2003075311A1 (de) * | 2002-03-05 | 2003-09-12 | Patent-Treuhandgesellschaft Für Elektrische Glühlampen Mbh | Quecksilber-kurzbogenlampe mit lanthanoxid-haltiger kathode |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040330 |