DE102019109003A1 - Laservorrichtung mit wärmeübertragungsvorrichtung zur abgabe von wärme im inneren eines gehäuses nach aussen - Google Patents

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Abstract

Eine Laservorrichtung umfasst Kühlrippen, deren Temperatur niedriger als jene eines Wärmeabstrahlungsmantels ist, und eine Wärmeübertragungsvorrichtung, die einen Kühlventilator aufweist. Eine Steuervorrichtung nimmt dann, wenn eine durch einen Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als ein Temperaturreferenzwert ist sowie eine durch einen Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als ein Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass der Kühlventilator angehalten wird. Die Steuervorrichtung nimmt dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass der Kühlventilator angetrieben wird.

Description

  • Allgemeiner Stand der Technik
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laservorrichtung, die mit einer Wärmeübertragungsvorrichtung zur Abgabe von Wärme im Inneren des Gehäuses nach außen versehen ist.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Im Inneren des Gehäuses einer Laservorrichtung sind unter anderem ein Laserresonator und eine Laserstromquelle, die dem Laserresonator Strom liefert, angeordnet. Im Inneren des Gehäuses kann es zu einer Kondensatbildung an den Geräten, die in der Laservorrichtung enthalten sind, kommen. Zum Beispiel steigt die Temperatur im Inneren des Gehäuses durch die von wärmeerzeugenden Geräten abgestrahlte Wärme an. Daher wird ein Kühlmechanismus eingerichtet, der die Geräte im Inneren des Gehäuses kühlt. Wenn Luft mit einer hohen Temperatur mit dem Bereich, in dem die Temperatur durch die Kühlung mittels des Kühlmechanismus abgenommen hat, in Kontakt gelangt, entstehen durch eine Kondensatbildung Wassertropfen. Es kommt vor, dass die in der Laservorrichtung enthaltenen Geräte durch solche Wassertropfen beschädigt werden.
  • Zum Beispiel kommt es bei einer Laservorrichtung, die eine optische Faser umfasst, vor, dass die optische Faser durch die Kondensatbildung beschädigt wird. Wenn bei einer Laservorrichtung, die als Leuchtquelle eine Laserdiode einsetzt, Wassertropfen an den Elektroden der Laserdiode anhaften, kommt es zu einem Kurzschluss und kann die Laserdiode beschädigt werden. Bei einem Kohlendioxidlaser wird zur Laseroszillation eine hohe Spannung angelegt. Daher entstehen beim Auftreten einer Kondensatbildung im Inneren der Laservorrichtung Funken und können die Elektroden beschädigt werden. Daneben kommt es beim Anhaften von Wassertropfen an Geräten, die in der Laservorrichtung enthalten sind, zu einer Verschmutzung oder einer Korrosion, wodurch die Geräte beschädigt werden können.
  • Nach dem Stand der Technik ist eine Laservorrichtung bekannt, bei der das Auftreten einer Kondensatbildung in dem Raum im Inneren des Gehäuses vorhergesagt wird und das Auftreten der Kondensatbildung durch Steuern der Lieferung von Kühlwasser verhindert wird (siehe zum Beispiel die Patentoffenlegungsschrift 2016-219456). Außerdem ist eine Laservorrichtung bekannt, bei der die Luft im Inneren des Gehäuses entfeuchtet wird (siehe zum Beispiel die Patentoffenlegungsschrift 2002-22332, die Patentoffenlegungsschrift 2008-141089 und die Patentoffenlegungsschrift Hei-3-43739).
  • Kurzdarstellung der Erfindung
  • Es kann vorkommen, dass eine Laservorrichtung dann, wenn die Feuchtigkeit im Inneren des Gehäuses hoch ist, zur Unterdrückung einer Kondensatbildung einen Alarm ausgibt und anhält. Außerdem kann es vorkommen, dass Geräte beschädigt werden, wenn die Temperatur des Raums im Inneren des Gehäuses hoch wird. Daher kommt es vor, dass eine Laservorrichtung dann, wenn die Temperatur im Inneren des Gehäuses hoch ist, zur Unterdrückung einer Beschädigung der Geräte einen Alarm ausgibt und anhält.
  • Das Anordnen einer Vorrichtung zur Regulierung der Feuchtigkeit, damit die Feuchtigkeit in dem Raum im Inneren einer Laservorrichtung nicht zu hoch wird, ist bekannt. Die Vorrichtung zur Regulierung der Feuchtigkeit weist einen Niedrigtemperaturabschnitt auf, in dem die Temperatur zum Beispiel durch ein Peltier-Element abnimmt. Die Vorrichtung zur Regulierung der Feuchtigkeit kann die Feuchtigkeit im Inneren des Gehäuses durch Verursachen einer Kondensatbildung in dem Niedrigtemperaturabschnitt senken.
  • Andererseits wird bei Betrieb der Vorrichtung zur Regulierung der Feuchtigkeit die Luft im Inneren des Gehäuses gekühlt, da die Temperatur des Niedrigtemperaturabschnitts abnimmt. Das heißt, die Vorrichtung zur Regulierung der Feuchtigkeit weist die Funktion zur Vornahme einer Feuchtigkeitsbeseitigung und die Funktion zum Senken der Temperatur auf. Daher ist es günstig, die Vorrichtung so zu steuern, dass die Feuchtigkeitsbeseitigung und die Kühlung der Luft effizient vorgenommen werden.
  • Außerdem kann bei einer Laservorrichtung neben der Vorrichtung zur Regulierung der Temperatur oder der Feuchtigkeit ein Ventilator, der die Luft im Inneren des Gehäuses rührt, oder eine Wasserausstoßvorrichtung, die durch eine Kondensatbildung entstandenes Wasser beseitigt, angeordnet sein. Auch für den Ventilator und die Wasserausstoßvorrichtung ist eine derartige Steuerung günstig, dass die Regulierung der Temperatur oder der Feuchtigkeit im Inneren des Gehäuses effizient vorgenommen werden kann.
  • Daher ist es günstig, wenn die Laservorrichtung die in der Laservorrichtung enthaltenen Geräte so steuert, dass die Temperatur und die Feuchtigkeit des Raums im Inneren des Gehäuses in einen passenden Bereich gelangen.
  • Eine Laservorrichtung einer ersten Form der vorliegenden Offenbarung umfasst einen Laserresonator, der Laserlicht oszilliert, und ein Gehäuse, das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt. Die Laservorrichtung umfasst einen Temperatursensor, der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert, und einen Feuchtigkeitssensor, der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert. Die Laservorrichtung umfasst eine Wärmeübertragungsvorrichtung, die einen Hochtemperaturabschnitt, einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt, in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, und einen Kühlventilator, der in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt. Die Laservorrichtung umfasst eine Steuervorrichtung, die eine Betriebssteuereinheit, welche den Kühlventilator steuert, und eine Speichereinheit, welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist. Die Speichereinheit speichert einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur und einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit, um den Kühlventilator zu steuern. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass der Kühlventilator angehalten wird. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass der Kühlventilator angetrieben wird.
  • Eine Laservorrichtung einer zweiten Form der vorliegenden Offenbarung umfasst einen Laserresonator, der Laserlicht oszilliert, und ein Gehäuse, das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt. Die Laservorrichtung umfasst einen Temperatursensor, der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert, und einen Feuchtigkeitssensor, der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert. Die Laservorrichtung umfasst eine Wärmeübertragungsvorrichtung, die einen Hochtemperaturabschnitt, einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt, in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, und einen Kühlventilator, der in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt. Die Laservorrichtung umfasst eine Steuervorrichtung, die eine Betriebssteuereinheit, welche den Kühlventilator steuert, und eine Speichereinheit, welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist. Die Speichereinheit speichert einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur und einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit, um den Kühlventilator zu steuern. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert sowie und die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass die Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn wenigstens eines aus dem Umstand, dass die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist, und dem Umstand, dass die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, besteht, eine derartige Steuerung vor, dass die Steuerung, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, angehalten wird.
  • Eine Laservorrichtung einer dritten Form der vorliegenden Offenbarung umfasst einen Laserresonator, der Laserlicht ozilliert, und ein Gehäuse, das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt. Die Laservorrichtung umfasst einen Temperatursensor, der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert, und einen Feuchtigkeitssensor, der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert. Die Laservorrichtung umfasst wenigstens einen Ventilator, der die Luft im Inneren des Gehäuses rührt. Die Laservorrichtung umfasst eine Wärmeübertragungsvorrichtung, die einen Hochtemperaturabschnitt und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt, in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt. Die Laservorrichtung umfasst eine Steuervorrichtung, die eine Betriebssteuereinheit, welche den Ventilator steuert, und eine Speichereinheit, welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist. Der Ventilator weist wenigstens eines aus einem Rührventilator, der an einer von der Wärmeübertragungsvorrichtung entfernten Position angeordnet ist, und einem Kühlventilator, der in der Wärmeübertragungsvorrichtung angeordnet ist und in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, auf. Die Speichereinheit speichert einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur und einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit, um den Kühlventilator zu steuern. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass die Umdrehungsrichtung des Flügelrads wenigstens eines Ventilators aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn wenigstens eines aus dem Umstand, dass die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist, und dem Umstand, dass die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenz ist, besteht, eine derartige Steuerung vor, dass die Steuerung, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads wenigstens eines Ventilators aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, angehalten wird.
  • Eine Laservorrichtung einer vierten Form der vorliegenden Offenbarung umfasst einen Laserresonator, der Laserlicht oszilliert, und ein Gehäuse, das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt. Die Laservorrichtung umfasst einen Temperatursensor, der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert, und einen Feuchtigkeitssensor, der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert. Die Laservorrichtung umfasst eine Wärmeübertragungsvorrichtung, die einen Hochtemperaturabschnitt und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt, in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt. Die Laservorrichtung umfasst einen Wasserspeicherabschnitt, der durch eine Kondensatbildung in dem Niedrigtemperaturabschnitt entstandenes Wasser sammelt, einen Speicherwassersensor, der die Menge des in dem Wasserspeicherabschnitt gesammelten Wassers detektiert, und eine Wasserausstoßvorrichtung, die das in dem Wasserspeicherabschnitt gesammelte Wasser nach außerhalb des Gehäuses ausstößt. Die Laservorrichtung umfasst eine Steuervorrichtung, die eine Betriebssteuereinheit, welche die Wasserausstoßvorrichtung steuert, und eine Speichereinheit, welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist. Die Speichereinheit speichert einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur, einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit und einen Speicherwassermengenreferenzwert bezüglich der Menge des in der Wasserspeichereinheit gesammelten Wassers, um die Wasserausstoßvorrichtung zu steuern. Die Betriebssteuereinheit steuert die Wasserausstoßvorrichtung dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, so, dass das Wasser der Wasserspeichereinheit mit einer vorab festgelegten Periode ausgestoßen wird. Die Betriebssteuereinheit steuert die Wasserausstoßvorrichtung dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist und die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, so, dass das Wasser der Wasserspeichereinheit ausgestoßen wird, wenn die Menge des Wassers der Wasserspeichereinheit den Speicherwassermengenreferenzwert überstiegen hat.
  • Eine Laservorrichtung einer fünften Form der vorliegenden Offenbarung umfasst einen Laserresonator, der Laserlicht oszilliert, ein Gehäuse, das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt, und mehrere Temperatursensoren, die die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektieren. Die Laservorrichtung umfasst wenigstens einen Ventilator, der die Luft im Inneren des Gehäuses rührt. Die Laservorrichtung umfasst eine Wärmeübertragungsvorrichtung, die einen Hochtemperaturabschnitt und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt, in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt. Die Laservorrichtung umfasst eine Steuervorrichtung, die eine Betriebssteuereinheit, welche den Ventilator steuert, und eine Speichereinheit, welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist. Der Ventilator weist wenigstens eines aus einem Rührventilator, der an einer von der Wärmeübertragungsvorrichtung entfernten Position angeordnet ist, und einem Kühlventilator, der in der Wärmeübertragungsvorrichtung angeordnet ist und in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, auf. Die mehreren Temperatursensoren sind im Inneren des Gehäuses an voneinander entfernten Positionen angeordnet. Die Speichereinheit speichert einen Temperaturverteilungsreferenzwert einer Variablen bezüglich der Temperaturverteilung im Inneren des Gehäuses. Die Betriebssteuereinheit berechnet auf Basis der durch die mehreren Temperatursensoren detektierten Temperaturen eine Variable bezüglich der Temperaturverteilung. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung größer als der Temperaturverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator betrieben wird. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung kleiner als der Temperaturverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator angehalten wird.
  • Eine Laservorrichtung einer sechsten Form der vorliegenden Offenbarung umfasst einen Laserresonator, der Laserlicht oszilliert, ein Gehäuse, das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt, und mehrere Feuchtigkeitssensoren, die die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektieren. Die Laservorrichtung umfasst wenigstens einen Ventilator, der die Luft im Inneren des Gehäuses rührt. Die Laservorrichtung umfasst eine Wärmeübertragungsvorrichtung, die einen Hochtemperaturabschnitt und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt, in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt. Die Laservorrichtung umfasst eine Steuervorrichtung, die eine Betriebssteuereinheit, welche den Ventilator steuert, und eine Speichereinheit, welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist. Der Ventilator weist wenigstens eines aus einem Rührventilator, der an einer von der Wärmeübertragungsvorrichtung entfernten Position angeordnet ist, und einem Kühlventilator, der in der Wärmeübertragungsvorrichtung angeordnet ist und in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, auf. Die mehreren Feuchtigkeitssensoren sind im Inneren des Gehäuses an voneinander entfernten Positionen angeordnet. Die Speichereinheit speichert einen Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert einer Variablen bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung im Inneren des Gehäuses. Die Betriebssteuereinheit berechnet auf Basis der durch die mehreren Feuchtigkeitssensoren detektierten Feuchtigkeiten eine Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung größer als der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator betrieben wird. Die Betriebssteuereinheit nimmt dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung kleiner als der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vor, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator angehalten wird.
  • Figurenliste
    • 1 ist eine schematische Ansicht einer Laservorrichtung nach Ausführungsform 1.
    • 2 ist eine vergrößerte schematische Ansicht einer Wärmeübertragungsvorrichtung bei der Ausführungsform.
    • 3 ist ein Blockdiagramm einer Steuervorrichtung bei der Ausführungsform.
    • 4 ist eine Ansicht, die Bereiche, in denen eine Steuerung der Laservorrichtung vorgenommen wird, erklärt.
    • 5 ist ein Diagramm, das eine zweite Steuerung der Laservorrichtung bei Ausführungsform 1 erklärt.
    • 6 ist ein Diagramm, das eine dritte Steuerung der Laservorrichtung bei Ausführungsform 1 erklärt.
    • 7 ist eine schematische Ansicht einer Laservorrichtung nach Ausführungsform 2.
    • 8 ist eine schematische Ansicht einer Laservorrichtung nach Ausführungsform 3.
    • 9 ist eine schematische Ansicht einer Laservorrichtung nach Ausführungsform 4.
  • Ausführliche Erklärung
  • Ausführungsform 1
  • Unter Bezugnahme auf 1 bis 6 wird eine Laservorrichtung nach Ausführungsform 1 erklärt. Bei der Ausführungsform wird von den verschiedenen Arten von Laservorrichtungen beispielhaft ein Faserlaser, der Licht durch eine optische Faser erregt, erklärt.
  • 1 zeigt den schematischen Aufbau der Laservorrichtung bei der vorliegenden Ausführungsform. Die Laservorrichtung 1 umfasst einen Laserresonator 11, der Laserlicht oszilliert. Der Laserresonator 11 der vorliegenden Ausführungsform umfasst als Medium, das Licht verstärkt, eine optische Faser. Die Laservorrichtung 1 ist mit einem Gehäuse 6 versehen. Das Gehäuse 6 weist einen dicht verschlossenen Aufbau auf, um einen Raum, in dem Geräte wie der Laserresonator 11 usw. angeordnet werden, dicht zu verschließen. Beispielsweise sind zwischen den einzelnen plattenförmigen Elementen, die das Gehäuse 6 bilden, aus Gummi gebildete Dichtungselemente angeordnet. Durch das dichte Verschließen des Gehäuses 6 wird es möglich, die Temperatur und die Feuchtigkeit des Raums im Inneren des Gehäuses 6 zu steuern.
  • Die Laservorrichtung 1 umfasst eine Laserstromquelle 12, die der Leuchtquelle des Laserresonators 11 Strom liefert. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird einer Wärmeübertragungsvorrichtung 8 und einem Rührventilator 14 Strom von einer anderen Stromquelle geliefert. Die Laservorrichtung 1 umfasst die Wärmeübertragungsvorrichtung 8, um die Wärme der Luft im Inneren des Gehäuses 6 nach außerhalb des Gehäuses 6 abzugeben. Die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 der vorliegenden Ausführungsform wirkt als Entfeuchter, der die Luft im Inneren des Gehäuses 6 entfeuchtet. Außerdem wirkt die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 als Kühler, der die Luft im Inneren des Gehäuses 6 kühlt. Die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 der vorliegenden Ausführungsform ist an dem Gehäuse 6 fixiert. Noch genauer ist die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 der vorliegenden Ausführungsform in einem in dem Gehäuse 6 gebildeten Öffnungsbereich angeordnet.
  • 2 zeigt eine vergrößerte schematische Schnittansicht der Wärmeübertragungsvorrichtung bei der vorliegenden Ausführungsform. Unter Bezugnahme auf 1 und 2 ist die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 der vorliegenden Ausführungsform ein elektronischer Kühler. Die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 enthält ein Peltier-Element 21. Das Peltier-Element 21 umfasst eine Niedrigtemperaturplatte 21a, deren Temperatur durch eine Lieferung von Strom abnimmt, und eine Hochtemperaturplatte 21b, deren Temperatur höher als jene der Niedrigtemperaturplatte 21a wird. Zwischen der Niedrigtemperaturplatte 21a und der Hochtemperaturplatte 21b ist ein thermoelektrischer Halbleiter angeordnet. Durch Antreiben des Peltier-Elements 21 bewegt sich die Wärme durch die Wirkung des thermoelektrischen Halbleiters von der Niedrigtemperaturplatte 21a zu der Hochtemperaturplatte 21b.
  • An der Hochtemperaturplatte 21b ist ein Wärmeabstrahlungsmantel 23, der als Hochtemperaturabschnitt wirkt, fixiert. Der Wärmeabstrahlungsmantel 23 ist außerhalb des Gehäuses 6 angeordnet. An die Niedrigtemperaturplatte 21a sind Kühlrippen 22, die als Niedrigtemperaturabschnitt mit einer niedrigeren Temperatur als jener des Hochtemperaturabschnitts wirken, angeschlossen. Die Kühlrippen sind im Inneren des Gehäuses 6 angeordnet.
  • Der Wärmeabstrahlungsmantel 23 ist ein durch Kühlwasser gekühlter Wärmeaustauscher. An den Wärmeabstrahlungsmantel 23 sind Kühlwasserleitungen 24, 25, die Kühlwasser liefern, angeschlossen. Kühlwasser wird wie mit dem Pfeil 91 gezeigt durch die Kühlwasserleitung 24 geliefert. Durch das Innere des Wärmeabstrahlungsmantels 23 ist eine Leitung geführt, in der das Kühlwasser fließt. Das Kühlwasser, das im Inneren des Wärmeabstrahlungsmantels 23 einen Wärmeaustausch erfahren hat, wird wie mit dem Pfeil 92 gezeigt durch die Kühlwasserleitung 25 abgeführt.
  • Die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 enthält einen Kühlventilator 13, um in den Kühlrippen 22 Luft fließen zu lassen. Der Kühlventilator 13 umfasst ein Flügelrad 13b und einen Ventilatormotor 13a, der das Flügelrad 13b dreht. Durch Antreiben des Kühlventilators 13 wird wie mit dem Pfeil 93 gezeigt ein Luftstrom in den Kühlrippen 22 erzeugt. Durch Antreiben des Peltier-Elements 21 bewegt sich die Wärme der Kühlrippen 22 zu dem Wärmeabstrahlungsmantel 23. Daher nimmt die Temperatur der Kühlrippen 22 ab. Durch Kondensieren von Luft an der Oberfläche der Kühlrippen 22 kann die Luft im Inneren des Gehäuses 6 entfeuchtet werden. Die Laservorrichtung 1 umfasst einen Wasserspeichertank 61 als Wasserspeichereinheit, die das durch die Kondensatbildung an den Kühlrippen 22 gebildete Wasser sammelt. An den Kühlrippen 22 anhaftende Wassertropfen tropfen ab und werden in dem Wasserspeichertank 61 gesammelt. Die in dem Wasserspeichertank 61 gesammelten Wassertropfen werden nach außerhalb des Gehäuses 6 ausgestoßen.
  • Außerdem kann durch Antreiben des Kühlventilators 13 im Inneren des Gehäuses 6 ein Luftstrom erzeugt werden. Daher weist der Kühlventilator 13 auch die Funktion zum Rühren der Luft im Inneren des Gehäuses 6 auf.
  • Da sich die Wärme von dem Niedrigtemperaturabschnitt zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt, kann die Wärmeübertragungsvorrichtung eine beliebige Vorrichtung einsetzen, die die Wärme im Inneren des Gehäuses nach außerhalb des Gehäuses bewegen kann. Zum Beispiel kann die Wärmeübertragungsvorrichtung einen Wärmepumpenkühler mit einem Kompressor und einem Expansionsventil aufweisen. Der außerhalb des Gehäuses angeordnete Wärmeabstrahlungsmantel kann an den im Inneren des Gehäuses angeordneten Kühlrippen fixiert werden. Dann können die Kühlrippen durch Liefern eines Kühlmediums, dessen Temperatur abgenommen hat, zu dem Wärmeabstrahlungsmantel gekühlt werden. Außerdem ist der Hochtemperaturabschnitt bei der vorliegenden Ausführungsform außerhalb des Gehäuses angeordnet, doch besteht keine Beschränkung auf diese Form. Der Hochtemperaturabschnitt kann auch im Inneren des Gehäuses angeordnet sein. In diesem Fall kann der Hochtemperaturabschnitt zum Beispiel durch Kühlwasser gekühlt werden. Das Kühlwasser, das den Hochtemperaturabschnitt gekühlt hat, kann durch einen außerhalb des Gehäuses angeordneten Wärmeaustauscher oder dergleichen gekühlt werden. Das heißt, die Wärme des Hochtemperaturabschnitts kann sich durch Kühlwasser oder dergleichen nach außerhalb des Gehäuses bewegen.
  • Unter Bezugnahme auf 1 ist die Laservorrichtung 1 mit einem Rührventilator 14 versehen, der die Luft im Inneren des Gehäuses 6 rührt. Der Rührventilator 14 umfasst ein Flügelrad 14b und einen Ventilatormotor 14a, der das Flügelrad 14b dreht. Der Rührventilator 14 ist im Inneren des Gehäuses 6 angeordnet. Der Rührventilator 14 ist an einer von der Wärmeübertragungsvorrichtung 8 entfernten Position angeordnet. Außerdem ist der Rührventilator 14 bei der vorliegenden Ausführungsform größer als der Kühlventilator 13 der Wärmeübertragungsvorrichtung 8. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist im Inneren des Gehäuses ein Rührventilator 14 angeordnet, doch besteht keine Beschränkung auf diese Form und können im Inneren des Gehäuses auch mehrere Kühlventilatoren angeordnet sein.
  • Die Laservorrichtung 1 umfasst eine Steuervorrichtung 7. Die Steuervorrichtung 7 der vorliegenden Ausführungsform ist durch eine Rechenverarbeitungsvorrichtung (einen Rechner), die eine CPU (zentrale Verarbeitungseinheit) und einen RAM (Direktzugriffsspeicher) usw. aufweist, gebildet. Die Steuervorrichtung 7 steuert die Laserstromquelle 12 und den Laserresonator 11. Außerdem steuert die Steuervorrichtung 7 die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 und den Rührventilator 14. Insbesondere steuert die Steuervorrichtung 7 den Kühlventilator 13 und das Peltier-Element 21 der Wärmeübertragungsvorrichtung 8.
  • Die Laservorrichtung 1 umfasst einen ersten Temperatursensor 31, der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 detektiert. Die Laservorrichtung 1 umfasst einen ersten Feuchtigkeitssensor 41, der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 detektiert. Der erste Temperatursensor 31 und der erste Feuchtigkeitssensor 41 sind im Inneren des Gehäuses 6 angeordnet. Die Steuervorrichtung 7 erhält ein Signal hinsichtlich der durch den Temperatursensor 31 detektierten Temperatur und ein Signal hinsichtlich der durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierten Feuchtigkeit.
  • Die in der Laservorrichtung 1 enthaltenen Geräte wie die Wärmeübertragungsvorrichtung 8, der Laserresonator 11, die Laserstromquelle 12 und der Rührventilator 14 usw. sind im Inneren des Gehäuses 6 angeordnet. Diese in der Laservorrichtung 1 enthaltenen Geräte erzeugen durch ihren Betrieb Wärme. Als Folge steigt die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 an. Die Steuervorrichtung 7 der vorliegenden Ausführungsform ist außerhalb des Gehäuses 6 angeordnet, doch besteht keine Beschränkung auf diese Form. Die Steuervorrichtung 7 kann auch innerhalb des Gehäuses 6 angeordnet sein.
  • 3 zeigt ein Blockdiagramm der Steuervorrichtung bei der vorliegenden Ausführungsform. Die Steuervorrichtung 7 umfasst eine Betriebssteuereinheit 71, die Betriebsbefehle an die in der Laservorrichtung 1 enthaltenen Geräte sendet. Die Betriebssteuereinheit 71 steuert die Laserstromquelle 12 und den Laserresonator 11. Außerdem steuert die Betriebssteuereinheit 71 die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 und den Rührventilator 14. Die Steuervorrichtung 7 umfasst eine Speichereinheit 72, die vorab festgelegte Informationen wie Betriebsprogramme, Referenzwerte und dergleichen speichert. Die Betriebssteuereinheit 71 steuert die jeweiligen Geräte auf Basis der in der Speichereinheit 72 gesammelten Informationen. Außerdem steuert die Betriebssteuereinheit 71 die jeweiligen Geräte auf Basis der durch den ersten Temperatursensor 31 detektierten Temperatur und der durch den ersten Feuchtigkeitssensor 41 detektierten Feuchtigkeit.
  • 4 zeigt ein Diagramm, das die Bereiche zur Steuerung der Laservorrichtung bei der vorliegenden Ausführungsform erklärt. Für die Laservorrichtung 1 ist vorab ein oberer Feuchtigkeitsgrenzwert für ein automatisches Anhalten der Laservorrichtung 1 festgelegt. Außerdem ist vorab ein oberer Temperaturgrenzwert für das automatische Anhalten der Laservorrichtung 1 festgelegt. Der obere Feuchtigkeitsgrenzwert und der obere Temperaturgrenzwert sind in der Speichereinheit 72 gespeichert. Die Steuervorrichtung 7 erlangt von dem Feuchtigkeitssensor 41 die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6. Die Steuervorrichtung 7 erlangt von dem Temperatursensor 31 die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6. Die Steuervorrichtung 7 vergleicht die erlangte Temperatur und die erlangte Feuchtigkeit mit den oberen Grenzwerten. Wenn wenigstens eines aus dem Umstand, dass die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 den oberen Grenzwert überschritten hat, und dem Umstand, dass die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 den oberen Grenzwert überschritten hat, besteht, nimmt die Steuervorrichtung 7 eine derartige Steuerung vor, dass die Laservorrichtung 1 angehalten wird. Das heißt, der Bereich, in dem die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 höchstens den oberen Temperaturgrenzwert beträgt und die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 höchstens den oberen Feuchtigkeitsgrenzwert beträgt, stellt einen Bereich dar, in dem ein Betrieb der Laservorrichtung 1 möglich ist.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform sind vorab ein Temperaturreferenzwert und ein Feuchtigkeitsreferenzwert festgelegt, um wenigstens eines aus dem Kühlventilator 13 der Wärmeübertragungsvorrichtung 8 und dem Rührventilator 14 zu steuern. Der Temperaturreferenzwert und der Feuchtigkeitsreferenzwert sind in der Speichereinheit 72 gespeichert.
  • Der Feuchtigkeitsreferenzwert wird auf weniger als eine Feuchtigkeit, bei der die Gefahr einer Beschädigung der in der Laservorrichtung 1 enthaltenen Geräte besteht, festgelegt. Beispielsweise wird eine Feuchtigkeit gewählt, die geringer als eine Feuchtigkeit ist, bei der die in den Geräten enthaltenen elektronischen Komponenten beschädigt werden. Außerdem ist der Feuchtigkeitsreferenzwert so festgelegt, dass er niedriger als der obere Feuchtigkeitsgrenzwert wird. Wie der Feuchtigkeitsreferenzwert wird auch der Temperaturreferenzwert auf weniger als eine Temperatur, bei der die Gefahr einer Beschädigung der in der Laservorrichtung 1 enthaltenen Geräte besteht, festgelegt. Außerdem ist der Temperaturreferenzwert so festgelegt, dass er niedriger als der obere Temperaturgrenzwert wird.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform wird der Betriebsbereich, in dem die Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist und die Feuchtigkeit wenigstens den Feuchtigkeitsreferenzwert beträgt, als Entfeuchtungsprioritätsbereich bezeichnet. Der Entfeuchtungsprioritätsbereich ist ein Bereich, in dem die Temperatur niedrig und die Feuchtigkeit hoch ist. Der Entfeuchtungsprioritätsbereich ist ein Bereich, der nahe an einer Feuchtigkeit liegt, bei der die in der Laservorrichtung 1 enthaltenen Geräte beschädigt werden. Daher wird bei einer ersten Steuerung der Laservorrichtung 1 in dem Entfeuchtungsprioritätsbereich eine Steuerung vorgenommen, die der Entfeuchtung der Luft im Inneren des Gehäuses 6 gegenüber einer Kühlung Priorität einräumt.
  • Ferner wird ein Bereich, in dem die Temperatur wenigstens den oberen Temperaturreferenzwert beträgt und die Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, als Kühlungsprioritätsbereich bezeichnet. Der Kühlungsprioritätsbereich ist ein Bereich, in dem die Feuchtigkeit niedrig ist und die Temperatur hoch ist. Der Kühlungsprioritätsbereich ist ein Bereich, der nahe an einer Temperatur liegt, bei der die in der Laservorrichtung 1 enthaltenen Geräte beschädigt werden. Daher wird bei einer ersten Steuerung der Laservorrichtung 1 in dem Kühlungsprioritätsbereich eine Steuerung vorgenommen, die der Kühlung der Luft im Inneren des Gehäuses 6 gegenüber einer Entfeuchtung Priorität einräumt.
  • Unter Bezugnahme auf 1 bis 4 erlangt die Betriebssteuereinheit 71 der Steuervorrichtung 7 von dem Temperatursensor 31 die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6. Außerdem erlangt die Betriebssteuereinheit 71 von dem Feuchtigkeitssensor 41 die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6. Die Betriebssteuereinheit 71 vergleicht die von dem Temperatursensor 31 erlangte Temperatur mit dem Temperaturreferenzwert. Ferner vergleicht die Betriebssteuereinheit 71 die von dem Feuchtigkeitssensor 41 erlangte Feuchtigkeit mit dem Feuchtigkeitsreferenzwert. Wenn die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist und die durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierte Feuchtigkeit wenigstens den Feuchtigkeitsreferenzwert beträgt, nimmt die Betriebssteuereinheit 71 eine derartige Steuerung vor, dass der Kühlventilator 13 der Wärmeübertragungsvorrichtung 8 angehalten wird.
  • Durch Antreiben der Wärmeübertragungsvorrichtung 8 nimmt die Temperatur der Kühlrippen 22 ab. Durch Antreiben des Kühlventilators 13 strömt wie mit dem Pfeil 93 gezeigt Luft an den Kühlrippen 22 und wird der Wärmeaustausch gefördert. Durch Anhalten des Kühlventilators 13 kann vermieden werden, dass die Luft im Inneren des Gehäuses 6 fortlaufend auf die Kühlrippen 22 trifft. Daher kann die Temperatur der Kühlrippen 22 weiter als zur Zeit des Antriebs des Kühlventilators 13 gesenkt werden. Da das Auftreten einer Kondensatbildung an den Kühlrippen 22 gefördert werden kann, kann auch eine Entfeuchtung der Luft im Inneren des Gehäuses 6 gefördert werden. Somit wird dann, wenn sich der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses 6 im Entfeuchtungsprioritätsbereich befindet, eine Steuerung vorgenommen, bei der der Kühlventilator 13 angehalten wird und die Entfeuchtung gefördert wird. Die Betriebssteuereinheit 71 kann die Entfeuchtung auch durch Verringern der Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators 13 fördern.
  • Wenn andererseits die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur wenigstens den Temperaturreferenzwert beträgt und die durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, nimmt die Betriebssteuereinheit 71 eine derartige Steuerung vor, dass der Kühlventilator 13 angetrieben wird. Zum Beispiel kann der Kühlventilator 13 mit der maximalen Geschwindigkeit angetrieben werden. Wenn der Kühlventilator 13 angetrieben wird, wird wie mit dem Pfeil 93 gezeigt gekühlte Luft in das Innere des Gehäuses 6 zurückgeführt. Daher nimmt die Temperatur im Inneren des Gehäuses 6 ab. Die Wärmeübertragungsvorrichtung 8 weist neben der Funktion zum Entfeuchten der Luft im Inneren des Gehäuses 6 auch eine Funktion zum Kühlen der Luft im Inneren des Gehäuses 6 auf. Durch Antreiben des Kühlventilators 13 trifft die Luft im Inneren des Gehäuses 6 fortlaufend auf die Kühlrippen 22. An den Kühlrippen 22 kann der Wärmeaustausch gefördert werden. Somit wird dann, wenn sich der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses 6 im Kühlungsprioritätsbereich befindet, eine Steuerung vorgenommen, bei der der Kühlventilator 13 angetrieben wird und die Kühlung gefördert wird. Oder wenn der Kühlventilator 13 angetrieben wird, kann die Kühlung auch durch Erhöhen der Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators 13 gefördert werden.
  • Die Laservorrichtung 1 der vorliegenden Ausführungsform kann automatisch zwischen der Steuerung, die der Kühlung Priorität einräumt, und der Steuerung, die der Entfeuchtung Priorität einräumt, umschalten. Die Steuervorrichtung 7 kann den Kühlventilator 13 so steuern, dass die Temperatur und die Feuchtigkeit des Raums im Inneren des Gehäuses 6 in einen passenden Bereich gelangen. Daher kann eine Beschädigung der Geräte, die in der Laservorrichtung 1 enthalten sind, aufgrund der Temperatur oder der Feuchtigkeit unterdrückt werden. Außerdem kann verhindert werden, dass die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 den oberen Feuchtigkeitsgrenzwert erreicht. Daher kann ein automatisches Anhalten der Laservorrichtung 1 aufgrund einer hohen Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 unterdrückt werden. Außerdem kann verhindert werden, dass die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 den oberen Temperaturgrenzwert erreicht. Daher kann ein automatisches Anhalten der Laservorrichtung 1 aufgrund einer hohen Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 unterdrückt werden.
  • Unter Bezugnahme auf 4 kann in den anderen Bereichen A und B als dem Entfeuchtungsprioritätsbereich und dem Kühlungsprioritätsbereich eine beliebige Steuerung vorgenommen werden. Zum Beispiel kann in dem Bereich A und in dem Bereich B die gleiche Steuerung wie in dem Entfeuchtungsprioritätsbereich oder die gleiche Steuerung wie in dem Kühlungsprioritätsbereich gewählt werden. Oder es ist auch möglich, die gleiche Steuerung wie in dem Entfeuchtungsprioritätsbereich und die gleiche Steuerung wie in dem Kühlungsprioritätsbereich unter Umschalten zu bestimmten Zeiten vorzunehmen. Ferner kann in dem Bereich A und in dem Bereich B auch eine andere Steuerung als die Steuerung in dem Entfeuchtungsprioritätsbereich und die Steuerung in dem Kühlungsprioritätsbereich vorgenommen werden. Zum Beispiel wird bei der oben beschriebenen ersten Steuerung der Kühlventilator 13 in dem Kühlungsprioritätsbereich mit der maximalen Geschwindigkeit angetrieben, während der Kühlventilator 13 in dem Entfeuchtungsprioritätsbereich angehalten wird. In Gegensatz dazu kann der Kühlventilator 13 in dem Bereich A und in dem Bereich B fortlaufend mit einer vorab festgelegten mittleren Geschwindigkeit angetrieben werden.
  • Als nächstes wird eine zweite Steuerung der Laservorrichtung 1 bei der vorliegenden Ausführungsform erklärt. Die zweite Steuerung wird vorgenommen, wenn der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses 6 im Entfeuchtungsprioritätsbereich liegt.
  • 5 zeigt ein Diagramm zur Erklärung der zweiten Steuerung der Laservorrichtung bei der vorliegenden Ausführungsform. Die waagerechte Achse ist die Zeit, und die senkrechte Achse ist die Drehzahl (Umdrehungsgeschwindigkeit) des Kühlventilators 13 der Wärmeübertragungsvorrichtung 8. Bei der zweiten Steuerung wird eine Steuerung vorgenommen, bei der dann, wenn der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses in dem Entfeuchtungsprioritätsbereich liegt, die Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators 13 mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird. Die Betriebssteuereinheit 71 hält den Kühlventilator 13 bis zu dem Zeitpunkt t1 an. Zu dem Zeitpunkt t1 treibt die Betriebssteuereinheit 71 den Kühlventilator 13 so an, dass seine Umdrehungsgeschwindigkeit die maximale Umdrehungsgeschwindigkeit wird. Nachdem der Kühlventilator 13 für eine vorab festgelegte Zeit angetrieben wurde, wird er angehalten. Zu dem Zeitpunkt t2 gibt die Betriebssteuereinheit 71 einen Befehl zum Anhalten des Kühlventilators 13 aus. Die Drehzahl des Kühlventilators 13 erreicht null. Danach steht der Kühlventilator 13 bis zu dem Zeitpunkt t3 für eine bestimmte Zeit still. Ab dem Zeitpunkt t3 wird diese Steuerung wiederholt. Bei der zweiten Steuerung wird ein solches Antreiben und Anhalten des Kühlventilators 13 wiederholt vorgenommen.
  • Wassertropfen, die durch eine Kondensatbildung entstanden sind, haften an den Kühlrippen 22 an. Durch das Wiederholen des Antreibens und Anhaltens des Kühlventilators 13 kann das an den Kühlrippen 22 anhaftende Wasser in den Wasserspeichertank 61 beseitigt werden. Dann kann an den Kühlrippen 22 die Kondensatbildung gefördert werden.
  • Die Länge der Zeit, für die der Kühlventilator 13 angetrieben wird, und die Länge der Zeit, für die er angehalten ist, können beliebig festgelegt werden. Zum Beispiel kann die Länge der Zeit, für die der Kühlventilator 13 angehalten ist (zum Beispiel die Länge der Zeit von dem Zeitpunkt t2 bis zu dem Zeitpunkt t3), länger als die Länge der Zeit, für die der Kühlventilator 13 angetrieben wird (zum Beispiel die Länge der Zeit von dem Zeitpunkt t1 bis zu dem Zeitpunkt t2) gestaltet werden. Es ist günstig, wenn die Länge der Zeit, für die der Kühlventilator 13 angehalten ist, nicht zu lang ist. Zum Beispiel ist es günstig, wenn die Zeit, für die der Kühlventilator 13 stillsteht, längstens etwa 10 Minuten beträgt. Außerdem ist es auch möglich, während des Zeitraums, in dem die oben beschriebene erste Steuerung vorgenommen wird und der Kühlventilator 13 angehalten ist, jeweils zu vorab festgelegten Zeiten die zweite Steuerung vorzunehmen.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform wiederholt die Betriebssteuereinheit 71 die Steuerung, bei der der Kühlventilator 13 angetrieben wird, und die Steuerung, bei der der Kühlventilator 13 angetrieben wird. Durch diese Steuerung kann die Veränderung der Menge der Luft, die von dem Kühlventilator 13 ausgeht, groß gestaltet werden und können letztendlich Wassertropfen, die an den Kühlrippen 22 anhaften, zum Abtropfen gebracht werden. Die Steuerung, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit geändert wird, ist jedoch nicht auf diese Form beschränkt, es kann ein beliebiges Verfahren zur Veränderung der Umdrehungsgeschwindigkeit angewendet werden.
  • Auf diese Weise kann die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist und die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit wenigstens den Feuchtigkeitsreferenzwert beträgt, eine Steuerung vornehmen, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators 13 mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird. Andererseits hält die Betriebssteuereinheit 71 die Steuerung, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit geändert wird, an, wenn die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur wenigstens den Temperaturreferenzwert beträgt. Außerdem hält die Betriebssteuereinheit 71 die Steuerung, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit geändert wird, an, wenn die durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsschwellenwert ist. Das heißt, die Betriebssteuerreinheit 31 kann die Steuerung, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, in Bereichen außerhalb des Entfeuchtungsprioritätsbereichs anhalten. Da die sonstige Steuerung der ersten Steuerung der Laservorrichtung 1 gleich ist, wird die Erklärung hier nicht wiederholt.
  • Als nächstes wird eine dritte Steuerung der Laservorrichtung 1 bei der vorliegenden Ausführungsform erklärt. Bei der dritten Steuerung steuert die Betriebssteuereinheit 71 wenigstens eines aus der Umdrehungsrichtung des Rührventilators 14 und der Umdrehungsrichtung des Kühlventilators 13. Zunächst wird die Steuerung der Umdrehungsrichtung des Rührventilators 14 erklärt. Unter Bezugnahme auf 1 weist der Rührventilator 14 die Funktion zum Rühren der Luft im Inneren des Gehäuses 6 auf. Bei der dritten Steuerung nimmt die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses 6 in dem Kühlprioritätsbereich liegt, eine Steuerung vor, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 14b des Rührventilators mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird.
  • 6 zeigt ein Zeitdiagramm der dritten Steuerung der Laservorrichtung bei der vorliegenden Ausführungsform. Bis zu dem Zeitpunkt t1 dreht die Betriebssteuereinheit 71 das Flügelrad 14b des Rührventilators 14 in eine Richtung (im Uhrzeigersinn). Die Betriebssteuereinheit 71 detektiert, dass sich der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses 6 im Kühlungsprioritätszustand befindet. Zu dem Zeitpunkt t1 nimmt die Betriebssteuereinheit 71 eine derartige Steuerung vor, dass die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 14a die andere Richtung (gegen den Uhrzeigersinn) wird. Das heißt, das Flügelrad 14b wird entgegengesetzt gedreht, damit die Richtung der Luft von dem Rührventilator 14 umgekehrt wird. Nachdem der Betrieb während einer vorab festgelegten Zeit fortgeführt wurde, bringt die Betriebssteuereinheit 71 die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 14b zu dem Zeitpunkt t2 zu der ersten Richtung zurück. Auf diese Weise nimmt die Betriebssteuereinheit 71 wiederholt eine Steuerung, bei der das Flügelrad 14b in die Vorwärtsrichtung gedreht wird, und eine Steuerung, bei der das Flügelrad in die entgegengesetzte Richtung gedreht wird, vor. In anderen Bereichen als dem Kühlungsprioritätsbereich hält die Betriebssteuereinheit 71 die Steuerung, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 14a mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, an.
  • Durch Vornehmen der Steuerung, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 14a geändert wird, in dem Kühlungsprioritätsbereich kann die Richtung der Luft, die von dem Rührventilator 14 geblasen wird, periodisch geändert werden. Daher kann die Luft im Inneren des Gehäuses 6 effektiv gerührt werden und kann die Effizienz der Kühlung erhöht werden.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform wiederholt die Betriebssteuereinheit 71 die Steuerung, bei der ein Antrieb mit der maximalen Geschwindigkeit in eine Richtung erfolgt, und die Steuerung, bei der ein Antrieb mit der maximalen Geschwindigkeit in die andere Richtung erfolgt. Das heißt, der Rührventilator 14 wird zur Zeit des Antriebs mit der maximalen Geschwindigkeit angetrieben. Durch Vornehmen dieser Steuerung kann die Menge der von dem Rührventilator 14 geblasenen Luft groß gestaltet werden und folglich die Luft im Inneren des Gehäuses 6 gerührt werden. Die Geschwindigkeit, mit der der Rührventilator 14 angetrieben wird, braucht nicht die maximale Geschwindigkeit zu sein. Außerdem kann die Steuerung, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 14b mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, fortlaufend vorgenommen werden. Oder die Steuerung, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 14b mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, kann auch in vorab festgelegten Zeitabständen intermittierend vorgenommen werden.
  • Bei der obigen Erklärung wurde beispielhaft die Steuerung des Rührventilators 14 gezeigt, doch weist auch der Kühlventilator 13 der Wärmeübertragungsvorrichtung 8 wie oben beschrieben die Funktion zum Rühren der Luft im Inneren des Gehäuses 6 auf. Die Laservorrichtung 1 der vorliegenden Ausführungsform umfasst wenigstens einen Ventilator, der die Luft im Inneren des Gehäuses 6 rührt. Für den Ventilator, der die Luft im Inneren des Gehäuses 6 rührt, können beispielhaft der Kühlventilator 13 der Wärmeübertragungsvorrichtung 8 und der Rührventilator 14 gezeigt werden. Die gleiche Steuerung wie bei dem Rührventilator 14 kann auch in Bezug auf den Kühlventilator 13 vorgenommen werden. Das heißt, auch bei dem Kühlventilator 13 kann in dem Kühlungsprioritätsbereich eine Steuerung vorgenommen werden, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads 13b mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird.
  • Die Betriebssteuereinheit 71 kann die Steuerung des Kühlventilators 13 und die Steuerung des Rührventilators 14 gleichzeitig vornehmen. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann wenigstens eine Steuerung aus der Steuerung des Kühlventilators 13 und der Steuerung des Rührventilators 14 vornehmen.
  • Auf diese Weise kann die Betriebssteuereinheit 71 bei der dritten Steuerung dann, wenn die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur wenigstens den Temperaturreferenzwert beträgt und die durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine Steuerung vornehmen, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird.
  • Wenn wenigstens eines aus dem Umstand, dass die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist, und dem Umstand, dass die durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierte Feuchtigkeit wenigstens den Feuchtigkeitsreferenzwert beträgt, besteht, kann die Steuerung, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, angehalten werden. Da die sonstige Steuerung der ersten Steuerung der Laservorrichtung 1 gleich ist, wird die Erklärung hier nicht wiederholt.
  • Ausführungsform 2
  • Unter Bezugnahme auf 7 wird eine Laservorrichtung nach Ausführungsform 2 erklärt. 7 zeigt eine schematische Ansicht der Laservorrichtung nach der vorliegenden Ausführungsform. Die Laservorrichtung 2 umfasst eine Wasserausstoßvorrichtung 65, die Wasser, das in dem Wasserspeichertank 61 als Wasserspeicherabschnitt gesammelt wurde, nach außerhalb des Gehäuses 6 ausstößt. Die Wasserausstoßvorrichtung 65 bei der vorliegenden Ausführungsform umfasst eine an den Wasserspeichertank 61 angeschlossene Wasserausstoßleitung 62 und ein im Verlauf der Wasserausstoßleitung 62 angeordnetes Wasserausstoßventil 63. Die Steuervorrichtung 7 steuert die Wasserausstoßvorrichtung 65. Das Wasserausstoßventil 63 wird durch die Betriebssteuereinheit 71 der Steuervorrichtung 7 gesteuert.
  • Die Laservorrichtung 2 umfasst einen Speicherwassersensor 64, der die Menge des in dem Wasserspeichertank 61 gesammelten Wassers detektiert. Als Speicherwassersensor 64 kann ein Sensor, der den Wasserdruck detektiert, oder ein Sensor, der den Wasserstand detektiert, oder dergleichen angewendet werden. Das Signal der durch den Speicherwassersensor 64 detektierten Wassermenge wird an die Steuervorrichtung 7 gesendet.
  • Die Speichereinheit 72 der Steuervorrichtung 72 speichert einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur, einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit und einen Speicherwassermengenreferenzwert bezüglich der Menge des in dem Wasserspeichertank 61 gesammelten Wassers, um die Wasserausstoßvorrichtung 65 zu steuern. Der Temperaturreferenzwert und der Feuchtigkeitsreferenzwert bei der Laservorrichtung 2 der vorliegenden Ausführungsform sind dem Temperaturreferenzwert und dem Feuchtigkeitsreferenzwert bei der Laservorrichtung 1 von Ausführungsform 1 gleich (siehe 4). Der Temperaturreferenzwert und der Feuchtigkeitsreferenzwert sind jedoch nicht auf diese Form beschränkt, es können beliebige Werte zur Steuerung der Wasserausstoßvorrichtung angewendet werden. Als Speicherwassermengenreferenzwert kann eine solche Wassermenge angewendet werden, dass das Wasser nicht über den Wasserspeichertank 61 überläuft. Das heißt, es wird ein Wert angewendet, der kleiner als die maximale Speichermenge des Wasserspeichertanks 61 ist.
  • Unter Bezugnahme auf 4 und 7 steuert die Betriebssteuereinheit 71 die Wasserausstoßvorrichtung 65 dann, wenn sich der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses 6 in dem Entfeuchtungsprioritätsbereich befindet, so, dass das Wasser des Wasserspeichertanks 61 mit einer vorab festgelegten Periode ausgestoßen wird. Die Betriebssteuereinheit 71 nimmt eine Steuerung vor, bei der das Wasser unabhängig von der Menge des Wassers in dem Wasserspeichertank 61 periodisch ausgestoßen wird. Die Betriebssteuereinheit 71 kann das in dem Wasserspeichertank 61 gesammelte Wasser durch Öffnen des Wasserausstoßventils 63 nach außerhalb des Gehäuses 6 ausstoßen. Auf diese Weise steuert die Betriebssteuereinheit 71 die Wasserausstoßvorrichtung 65 dann, wenn die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierte Feuchtigkeit wenigstens den Feuchtigkeitsreferenzwert beträgt, so, dass das Wasser in dem Wasserspeichertank 61 mit einer vorab festgelegten Periode ausgestoßen wird. Ein Betreiber kann zum Beispiel eine Periode wählen, bei der sich nur wenig Wasser in dem Wasserspeichertank 61 sammelt.
  • Der Entfeuchtungsprioritätsbereich ist ein Bereich, in dem die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 hoch ist. Die Betriebssteuereinheit 71 kann durch das periodische Ausstoßen des Wassers des Wasserspeichertanks 61 verhindern, dass in dem Wasserspeichertank 61 viel Wasser zurückbleibt. Dadurch kann verhindert werden, dass das in dem Wasserspeichertank 61 gesammelte Wasser verdampft und die Feuchtigkeit ansteigt.
  • Wenn sich der Zustand der Luft im Inneren des Gehäuses 6 andererseits im Kühlungsprioritätsbereich befindet, steuert die Betriebssteuereinheit 71 die Wasserausstoßvorrichtung 65 so, dass der Wasserspeichertank 61 geleert wird, wenn die Menge des Wassers des Wasserspeichertanks 61 den Speicherwassermengenreferenzwert überstiegen hat. Das heißt, nachdem die Betriebssteuereinheit 71 darauf gewartet hat, dass die Menge des Wassers des Wasserspeichertanks 61 groß geworden ist, nimmt sie eine Steuerung vor, um das Wasserausstoßventil 63 zu öffnen. Somit detektiert die Betriebssteuereinheit 71, dass die durch den Temperatursensor 31 detektierte Temperatur wenigstens den Temperaturreferenzwert beträgt sowie die durch den Feuchtigkeitssensor 41 detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist. Dann steuert die Betriebssteuereinheit 71 die Wasserausstoßvorrichtung 65 so, dass das Wasser des Wasserspeichertanks 61 ausgestoßen wird, wenn die Menge des Wassers des Wasserspeichertanks 61 den Speicherwassermengenreferenzwert überstiegen hat.
  • Wenn die Menge des Wassers des Wasserspeichertanks 61 gering geworden ist, kann es sein, dass die Wasserausstoßleitung 62 das Innere des Gehäuses 6 und die Außenseite verbindet, wenn das Wasserausstoßventil 63 geöffnet wird. Daher besteht die Gefahr, dass Luft an der Außenseite des Gehäuses 6 in das Innere des Gehäuses 6 eindringt und die Temperatur im Inneren des Gehäuses 6 ansteigt. Durch Vornehmen einer Steuerung, bei der das Wasserausstoßventil 63 geöffnet wird, wenn die Menge des Wassers des Wasserspeichertanks 61 den Speicherwassermengenreferenzwert überstiegen hat, kann das Eindringen von Luft an der Außenseite des Gehäuses 6 in das Innere des Gehäuses 6 unterdrückt werden. Als Folge kann ein Anstieg der Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 unterdrückt werden.
  • Die Wasserausstoßvorrichtung 65 bei der vorliegenden Ausführungsform umfasst die Wasserausstoßleitung 62 und das Wasserausstoßventil 63, doch besteht keine Beschränkung auf diese Form. Die Wasserausstoßvorrichtung kann einen beliebigen Aufbau einsetzen, der in einem Wasserspeicherabschnitt gesammeltes Wasser nach außerhalb des Gehäuses ausstoßen kann. Zum Beispiel kann in dem Gehäuse auch eine Tür, die sich öffnen und schließt, in Verbindung mit dem Wasserspeichertank angeordnet sein. Oder die Wasserausstoßvorrichtung kann auch eine Pumpe umfassen, die das in dem Wasserspeichertank gesammelte Wasser ausstößt.
  • Da der weitere Aufbau, die Wirkungen und die Resultate der Laservorrichtung jenen bei Ausführungsform 1 gleich sind, wird die Erklärung hier nicht wiederholt.
  • Ausführungsform 3
  • Unter Bezugnahme auf 8 wird eine Laservorrichtung nach Ausführungsform 3 erklärt. 8 zeigt eine schematische Ansicht der Laservorrichtung nach der vorliegenden Ausführungsform. Die Laservorrichtung 3 nach der vorliegenden Ausführungsform umfasst eine Kühlvorrichtung, die die im Inneren des Gehäuses 6 angeordneten Geräte kühlt. Hier wird für die im Inneren des Gehäuses 6 angeordneten Geräte beispielhaft der Laserresonator 11 erklärt. Die Laservorrichtung 3 umfasst eine Kühlwasserliefervorrichtung 67, die dem Laserresonator 11 Kühlwasser liefert. Die Kühlwasserliefervorrichtung 67 liefert dem Laserresonator 11 wie mit dem Pfeil 94 gezeigt Kühlwasser über eine Zufuhrleitung 68. Das Kühlwasser kehrt wie mit dem Pfeil 95 gezeigt über eine Rückkehrleitung 69 zu der Kühlwasserliefervorrichtung 67 zurück. Die Kühlwasserliefervorrichtung 67 wird durch die Betriebssteuereinheit 71 der Steuervorrichtung 7 gesteuert.
  • Die Laservorrichtung 3 umfasst einen Kühlwassertemperatursensor 51, der die Temperatur des Kühlwassers, das dem Laserresonator 11 geliefert wird, detektiert. Der Kühlwassertemperatursensor 51 der vorliegenden Ausführungsform ist so angeordnet, dass er die Temperatur des Wassers, das in der Zufuhrleitung 68 fließt, detektiert. Der Kühlwassertemperatursensor, der die Temperatur des Kühlwassers detektiert, kann auch so angeordnet sein, dass er die Temperatur des Wassers, das in der Rückkehrleitung fließt, detektiert.
  • Die Temperatur der Komponenten, die in dem Laserresonator 11 angeordnet sind, hängt von der Temperatur des Kühlwassers ab. Das heißt, da auch die Temperatur der Komponenten umso mehr sinkt, je niedriger die Temperatur des Kühlwassers ist, kommt es in der Umgebung der Leitungen des Kühlwassers leicht zu einer Kondensatbildung. Außerdem kommt es in der Umgebung der Leitungen des Kühlwassers umso leichter zu einer Kondensatbildung, je niedriger die Temperatur des Kühlwassers wird. Die Betriebssteuereinheit 71 kann auf Basis der durch den ersten Temperatursensor 31 detektierten Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 und der durch den Kühlwassertemperatursensor 51 detektierten Temperatur des Kühlwassers die Feuchtigkeit, die im Inneren des Gehäuses 6 eine Kondensatbildung hervorruft, berechnen. Die Betriebssteuereinheit 71 kann eine niedrigere Feuchtigkeit als die Feuchtigkeit, die eine Kondensatbildung hervorruft, als Feuchtigkeitsreferenzwert festlegen. Zum Beispiel kann die Betriebssteuereinheit 71 einen Wert, für den ein vorab festgelegter Spielraumwert von der Feuchtigkeit, die eine Kondensatbildung hervorruft, subtrahiert wurde, als Feuchtigkeitsreferenzwert festlegen. Die Speichereinheit 72 speichert den festgelegten Feuchtigkeitsreferenzwert. Dann kann die Steuervorrichtung 7 unter Verwendung dieses Feuchtigkeitsreferenzwerts die erste und die zweite Steuerung der Ausführungsformen vornehmen.
  • Bei der Laservorrichtung 3 der vorliegenden Ausführungsform kann der Feuchtigkeitsreferenzwert gemäß der tatsächlichen Temperatur des Kühlwassers festgelegt werden. Die Betriebssteuereinheit 71 kann den Feuchtigkeitsreferenzwert umso niedriger festlegen, je niedriger die Temperatur des Kühlwassers wird. Durch diese Steuerung kann ein idealer Feuchtigkeitsreferenzwert festgelegt werden. Wenn der Feuchtigkeitsreferenzwert durch einen Betreiber festgelegt wird, ist es nötig, den Feuchtigkeitsreferenzwert so festzulegen, dass er eine große Spielraumbreite enthält. Daher kann es vorkommen, dass der Feuchtigkeitsreferenzwert auf einen niedrigen Wert festgelegt wird. Da der Feuchtigkeitsreferenzwert im Gegensatz dazu bei der Laservorrichtung 3 gemäß der tatsächlichen Temperatur des Kühlwassers festgelegt wird, kann die oben genannte Spielraumbreite klein gestaltet werden. Als Folge wird der Entfeuchtungsprioritätsbereich klein und kann der Kühlungsprioritätsbereich vergrö-βert werden.
  • Bei der Laservorrichtung 3 der vorliegenden Ausführungsform kann eine Steuerung vorgenommen werden, die der Kühlung Priorität einräumt und im Fall der Möglichkeit des Auftretens einer Kondensatbildung der Entfeuchtung Priorität einräumt. Das heißt, es kann eine Steuerung vorgenommen werden, die der Entfeuchtung nur dann Priorität einräumt, wenn die Möglichkeit des Auftretens einer Kondensatbildung besteht. Als Folge kann die Kühlung der Luft effektiv vorgenommen werden.
  • Da der weitere Aufbau, die Wirkungen und die Resultate der Laservorrichtung jenen bei Ausführungsform 1 und 2 gleich sind, wird die Erklärung hier nicht wiederholt.
  • Ausführungsform 4
  • Unter Bezugnahme auf 9 wird eine Laservorrichtung nach Ausführungsform 4 erklärt. 9 zeigt eine schematische Ansicht der Laservorrichtung nach der vorliegenden Ausführungsform. Die Laservorrichtung 4 der vorliegenden Ausführungsform umfasst wenigstens einen Ventilator, der die Luft im Inneren des Gehäuses 6 rührt. Bei der vorliegenden Ausführungsform weisen der Kühlventilator 13 und der Rührventilator 14 eine Funktion zur Kühlung der Luft im Inneren des Gehäuses 6 auf. Die Laservorrichtung 4 umfasst mehrere Temperatursensoren 31, 32, 33, die die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 detektieren, und mehrere Feuchtigkeitssensoren 41, 42, 43, die die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 detektieren. Das heißt, die Laservorrichtung 4 umfasst zusätzlich zu dem ersten Temperatursensor 31 einen zweiten Temperatursensor 32 und einen dritten Temperatursensor 33. Außerdem umfasst die Laservorrichtung 4 zusätzlich zu dem ersten Feuchtigkeitssensor 41 einen zweiten Feuchtigkeitssensor 42 und einen dritten Feuchtigkeitssensor 43.
  • Die mehreren Temperatursensoren 31, 32, 33 sind im Inneren des Gehäuses 6 an voneinander entfernten Positionen angeordnet. Außerdem sind die mehreren Feuchtigkeitssensoren 41, 42, 43 im Inneren des Gehäuses an voneinander entfernten Positionen angeordnet. Die Temperatursensoren und die Feuchtigkeitssensoren werden vorzugsweise so angeordnet, dass die Abstände der Temperatursensoren untereinander oder die Abstände der Feuchtigkeitssensoren untereinander groß werden.
  • Es kann sein, dass die Temperatur im Inneren des Gehäuses 6 nicht gleichförmig wird und eine Temperaturverteilung entsteht. Wenn die Temperatur der Luft nicht gleichförmig ist, ist es möglich, dass keine genaue Steuerung, die auf der Temperatur beruht, vorgenommen werden kann. Oder es kann sein, dass keine effiziente Kühlung der Luft vorgenommen werden kann.
  • Bei der ersten Steuerung der Laservorrichtung 4 der vorliegenden Ausführungsform detektiert die Steuervorrichtung 7 den Umfang der Verteilung der Temperatur im Inneren des Gehäuses 6. Wenn der Umfang der Verteilung der Temperatur groß ist, nimmt die Steuervorrichtung 7 eine Steuerung vor, die das Rühren der Luft im Inneren des Gehäuses 6 fördert.
  • Ein Betreiber legt einen Temperaturverteilungsreferenzwert einer Variablen bezüglich der Temperaturverteilung im Inneren des Gehäuses 6 fest. Der Temperaturverteilungsreferenzwert wird in der Speichereinheit 72 gespeichert. Als Variable bezüglich der Temperaturverteilung kann der Unterschied zwischen dem größten Wert und dem kleinsten Wert der durch die mehreren Temperatursensoren 31, 32, 33 detektierten mehreren Temperaturen (Tmax - Tmin) angewendet werden. Oder es ist möglich, die Standardabweichung der mehreren Temperaturen als Variable bezüglich der Temperaturverteilung anzuwenden.
  • Die Variable bezüglich der Temperaturverteilung ist nicht auf diese Form beschränkt. Als Variable bezüglich der Temperaturverteilung kann eine beliebige Variable, wodurch der Zustand des Auftretens einer Unausgewogenheit der Temperatur bestimmt werden kann, angewendet werden. Beispielsweise wird aus den mehreren Temperatursensoren ein Temperatursensor, der einen Standard darstellt, gewählt. Dann kann der größte Wert unter den Unterschieden zwischen der Temperatur, die durch diesen den Standard darstellenden Temperatursensor detektiert wird, und den durch die anderen Temperatursensoren detektierten Temperaturen angewendet werden.
  • Die Betriebssteuereinheit 71 der Steuervorrichtung 7 erlangt von den mehreren Temperatursensoren 31, 32, 33 Temperaturen. Die Betriebssteuereinheit 71 berechnet auf Basis der durch die mehreren Temperatursensoren 31, 32, 33 detektierten mehreren Temperaturen eine Variable bezüglich der Temperaturverteilung. Die Betriebssteuereinheit 71 vergleicht die Variable bezüglich der Temperaturverteilung und den Temperaturverteilungsreferenzwert. Wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung wenigstens den Temperaturverteilungsreferenzwert beträgt, nimmt sie eine derartige Steuerung vor, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 betrieben wird.
  • Zum Beispiel kann die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 13 angehalten sind, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 antreiben. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 14 angehalten sind, nur einen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 antreiben. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann jenen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13, der angehalten ist, antreiben.
  • Oder der Betreiber kann zusätzlich zu dem Temperaturverteilungsreferenzwert vorab einen ersten Beurteilungswert für die Variable bezüglich der Temperaturverteilung festlegen. Der erste Beurteilungswert der Temperatur kann auf einen größeren Wert als den Temperaturverteilungsreferenzwert festgelegt werden. Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung größer als der erste Beurteilungswert ist, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 antreiben. Wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung wenigstens den Temperaturverteilungsreferenzwert beträgt sowie kleiner als der erste Beurteilungswert ist, kann die Betriebssteuereinheit 71 andererseits eine Steuerung vornehmen, bei der nur ein Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angetrieben wird.
  • Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung wenigstens den Temperaturverteilungsreferenzwert beträgt, auch eine Steuerung vornehmen, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 erhöht wird.
  • Als nächstes nimmt die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung kleiner als der Temperaturverteilungsreferenzwert ist, eine Steuerung vor, bei der wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angehalten wird. Zum Beispiel kann die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 13 angetrieben werden, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 anhalten. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 13 angetrieben werden, nur einen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 anhalten. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann den angetriebenen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 anhalten.
  • Oder der Betreiber kann zusätzlich zu dem Temperaturverteilungsreferenzwert vorab einen zweiten Beurteilungswert für die Variable bezüglich der Temperaturverteilung festlegen. Der zweite Beurteilungswert der Temperatur kann auf einen kleineren Werts als den Temperaturverteilungsreferenzwert festgelegt werden. Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung kleiner als der zweite Beurteilungswert ist, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 anhalten. Wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung größer als der zweite Beurteilungswert ist sowie kleiner als der Temperaturverteilungsreferenzwert ist, kann die Betriebssteuereinheit 71 andererseits eine Steuerung vornehmen, bei der nur ein Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angehalten wird.
  • Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung kleiner als der Temperaturverteilungsreferenzwert ist, auch eine Steuerung vornehmen, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit nur eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 verringert wird.
  • Bei der ersten Steuerung der Laservorrichtung der vorliegenden Ausführungsform kann die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses 6 gleichmäßig gestaltet werden, wenn die Temperaturverteilung im Inneren des Gehäuses 6 groß ist. Daher kann die Kühlung effizient vorgenommen werden. Wenn die Temperaturverteilung im Inneren des Gehäuses 6 gering ist, kann wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angehalten werden. Durch diese Steuerung kann ein unnötiger Antrieb von Ventilatoren vermieden werden. Das heißt, es kann auf eine Steigerung der Effizienz des Antriebs der Ventilatoren abgezielt werden.
  • Bei der Laservorrichtung 4 der vorliegenden Ausführungsform kann durch das gleiche Verfahren wie bei der Steuerung der Temperatur auch eine Steuerung der Feuchtigkeit vorgenommen werden. Es kann sein, dass die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 nicht gleichförmig wird und eine Feuchtigkeitsverteilung entsteht. Wenn die Feuchtigkeit der Luft nicht gleichförmig ist, ist es möglich, dass keine genaue Steuerung, die auf der Feuchtigkeit beruht, vorgenommen werden kann. Oder es kann sein, dass keine effiziente Entfeuchtung der Luft vorgenommen werden kann.
  • Bei der zweiten Steuerung der Laservorrichtung 4 der vorliegenden Ausführungsform detektiert die Steuervorrichtung 7 den Umfang der Verteilung der Feuchtigkeit im Inneren des Gehäuses 6. Wenn der Umfang der Verteilung der Feuchtigkeit groß ist, nimmt die Steuervorrichtung 7 eine Steuerung vor, die das Rühren der Luft im Inneren des Gehäuses 6 fördert.
  • Ein Betreiber legt einen Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert für eine Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung im Inneren des Gehäuses 6 fest. Der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert wird in der Speichereinheit 72 gespeichert. Als Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung kann der Unterschied zwischen dem größten Wert und dem kleinsten Wert der durch die mehreren Feuchtigkeitssensoren 41, 42, 43 detektierten mehreren Feuchtigkeiten (Hmax - Hmin) angewendet werden. Oder es ist möglich, die Standardabweichung der mehreren Feuchtigkeiten als Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung anzuwenden.
  • Die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung ist nicht auf diese Form beschränkt. Als Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung kann eine beliebige Variable, wodurch der Zustand des Auftretens einer Unausgewogenheit der Feuchtigkeit bestimmt werden kann, angewendet werden. Beispielsweise wird aus den mehreren Feuchtigkeitssensoren ein Feuchtigkeitssensor, der einen Standard darstellt, gewählt. Dann kann der größte Wert unter den Unterschieden zwischen der Feuchtigkeit, die durch diesen den Standard darstellenden Feuchtigkeitssensor detektiert wird, und den durch die anderen Feuchtigkeitssensoren detektierten Feuchtigkeiten angewendet werden.
  • Die Betriebssteuereinheit 71 der Steuervorrichtung 7 erlangt von den mehreren Feuchtigkeitssensoren 41, 42, 43 Feuchtigkeiten. Die Betriebssteuereinheit 71 berechnet auf Basis der durch die mehreren Feuchtigkeitssensoren 41, 42, 43 detektierten mehreren Feuchtigkeiten eine Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung. Die Betriebssteuereinheit 71 vergleicht die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung und den Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert. Wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung wenigstens den Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert beträgt, nimmt sie eine derartige Steuerung vor, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 betrieben wird.
  • Zum Beispiel kann die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 13 angehalten sind, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 antreiben. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 14 angehalten sind, nur einen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 antreiben. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann jenen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13, der angehalten ist, antreiben.
  • Oder der Betreiber kann zusätzlich zu dem Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert vorab einen ersten Beurteilungswert für die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung festlegen. Der erste Beurteilungswert der Feuchtigkeit kann auf einen größeren Wert als den Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert festgelegt werden. Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung größer als der erste Beurteilungswert ist, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 antreiben. Wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung wenigstens den Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert beträgt sowie kleiner als der erste Beurteilungswert ist, kann die Betriebssteuereinheit 71 andererseits eine Steuerung vornehmen, bei der nur ein Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angetrieben wird.
  • Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung wenigstens den Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert beträgt, auch eine Steuerung vornehmen, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 erhöht wird.
  • Als nächstes nimmt die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung kleiner als der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert ist, eine Steuerung vor, bei der wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angehalten wird. Zum Beispiel kann die Betriebssteuereinheit 71 dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 13 angetrieben werden, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 anhalten. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn der Rührventilator 14 und der Kühlventilator 13 angetrieben werden, nur einen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 anhalten. Oder die Betriebssteuereinheit 71 kann den angetriebenen Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 anhalten.
  • Oder der Betreiber kann zusätzlich zu dem Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert vorab einen zweiten Beurteilungswert für die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung festlegen. Der zweite Beurteilungswert der Feuchtigkeit kann auf einen kleineren Werts als den Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert festgelegt werden. Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung kleiner als der zweite Beurteilungswert ist, sowohl den Rührventilator 14 als auch den Kühlventilator 13 anhalten. Wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung größer als der zweite Beurteilungswert ist sowie kleiner als der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert ist, kann die Betriebssteuereinheit 71 andererseits eine Steuerung vornehmen, bei der nur ein Ventilator aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angehalten wird.
  • Die Betriebssteuereinheit 71 kann dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung kleiner als der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert ist, auch eine Steuerung vornehmen, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit nur eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 verringert wird.
  • Bei der zweiten Steuerung der Laservorrichtung der vorliegenden Ausführungsform kann die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses 6 gleichmäßig gestaltet werden, wenn die Feuchtigkeitsverteilung im Inneren des Gehäuses 6 groß ist. Daher kann die Entfeuchtung effizient vorgenommen werden. Wenn die Feuchtigkeitsverteilung im Inneren des Gehäuses 6 gering ist, kann wenigstens eines aus dem Rührventilator 14 und dem Kühlventilator 13 angehalten werden. Durch diese Steuerung kann ein unnötiger Antrieb von Ventilatoren vermieden werden. Das heißt, es kann auf eine Steigerung der Effizienz des Antriebs der Ventilatoren abgezielt werden.
  • Auf diese Weise kann bei der Laservorrichtung 4 der vorliegenden Ausführungsform die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses gleichmäßig gestaltet werden und die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses gleichmäßig gestaltet werden, während ein exzessiver Antrieb der Ventilatoren vermieden wird. Dann kann die Laservorrichtung 4 eine Steuerung auf Basis der Temperatur oder eine Steuerung auf Basis der Feuchtigkeit genau vornehmen.
  • Da der weitere Aufbau, die Wirkungen und die Resultate der Laservorrichtung jenen bei den Ausführungsformen 1 bis 3 gleich sind, wird die Erklärung hier nicht wiederholt.
  • Die bei den obigen Ausführungsformen 1 bis beschriebenen Laservorrichtungen sind Faserlaservorrichtungen, doch besteht keine Beschränkung auf diese Form, sondern können Laservorrichtungen, die mit beliebigen Laserresonatoren versehen sind, zur Anwendung kommen. Beispielsweise kann ein Halbleiterlaser, der als Leuchtquelle eine Laserdiode aufweist, oder ein Kohlendioxidlaser, der mit einer Entladungsröhre, in die Kohlendioxid eingebracht ist, versehen ist, oder dergleichen eingesetzt werden.
  • Die Laservorrichtung einer Form der vorliegenden Offenbarung kann die in der Laservorrichtung enthaltenen Geräte so steuern, dass die Temperatur und die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses in einen passenden Bereich gelangt.
  • Die oben beschriebenen Ausführungsformen können beliebig kombiniert werden. In den einzelnen oben beschriebenen Zeichnungen sind gleiche oder entsprechende Teile mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die obigen Ausführungsformen sind beispielhaft und beschränken die Erfindung nicht. Außerdem umfassen Ausführungen auch Änderungen der in den Ansprüchen gezeigten Ausführungsformen.

Claims (11)

  1. Laservorrichtung (1), dadurch gekennzeichnet, dass die Laservorrichtung einen Laserresonator (11), der Laserlicht oszilliert; ein Gehäuse (6), das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt; einen Temperatursensor (31), der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; einen Feuchtigkeitssensor (41), der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; eine Wärmeübertragungsvorrichtung (8), die einen Hochtemperaturabschnitt (23), einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt (22), in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, und einen Kühlventilator (13), der in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt; und eine Steuervorrichtung (7), die eine Betriebssteuereinheit (71), welche den Kühlventilator steuert, und eine Speichereinheit (72), welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist, umfasst, wobei die Speichereinheit einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur und einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit, um den Kühlventilator zu steuern, speichert, wobei die Betriebssteuereinheit dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass der Kühlventilator angehalten wird, und dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass der Kühlventilator angetrieben wird.
  2. Laservorrichtung (1), umfassend: einen Laserresonator (11), der Laserlicht oszilliert; ein Gehäuse (6), das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt; einen Temperatursensor (31), der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; einen Feuchtigkeitssensor (41), der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; eine Wärmeübertragungsvorrichtung (8), die einen Hochtemperaturabschnitt (23), einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt (22), in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, und einen Kühlventilator (13), der in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt; und eine Steuervorrichtung (7), die eine Betriebssteuereinheit (71), welche den Kühlventilator steuert, und eine Speichereinheit (72), welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist, wobei die Speichereinheit einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur und einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit, um den Kühlventilator zu steuern, speichert, wobei die Betriebssteuereinheit dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass die Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, und dann, wenn wenigstens eines aus dem Umstand, dass die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist, und dem Umstand, dass die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, besteht, eine derartige Steuerung vornimmt, dass die Steuerung, bei der die Umdrehungsgeschwindigkeit des Kühlventilators mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, angehalten wird.
  3. Laservorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Betriebssteuereinheit für die Steuerung, bei der eine Änderung mit einer vorab festgelegten Periode erfolgt, eine Steuerung, bei der der Kühlventilator angehalten wird, und eine Steuerung, bei der der Kühlventilator mit der maximalen Umdrehungsgeschwindigkeit angetrieben wird, wiederholt.
  4. Laservorrichtung (1), umfassend: einen Laserresonator (11), der Laserlicht oszilliert; ein Gehäuse (6), das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt; einen Temperatursensor (31), der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; einen Feuchtigkeitssensor (41), der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; wenigstens einen Ventilator (13, 14), der die Luft im Inneren des Gehäuses rührt; eine Wärmeübertragungsvorrichtung (8), die einen Hochtemperaturabschnitt (23), und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt (22), in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt; und eine Steuervorrichtung (7), die eine Betriebssteuereinheit (71), welche den Ventilator steuert, und eine Speichereinheit (72), welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist, wobei der Ventilator wenigstens eines aus einem Rührventilator (14), der an einer von der Wärmeübertragungsvorrichtung entfernten Position angeordnet ist, und einem Kühlventilator (13), der in der Wärmeübertragungsvorrichtung angeordnet ist und in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, aufweist, wobei die Speichereinheit einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur und einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit, um den Kühlventilator zu steuern, speichert, und wobei die Betriebssteuereinheit dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass die Umdrehungsrichtung des Flügelrads (13b) wenigstens eines Ventilators aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, und dann, wenn wenigstens eines aus dem Umstand, dass die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist, und dem Umstand, dass die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenz ist, besteht, eine derartige Steuerung vornimmt, dass die Steuerung, bei der die Umdrehungsrichtung des Flügelrads wenigstens eines Ventilators aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator mit einer vorab festgelegten Periode geändert wird, angehalten wird.
  5. Laservorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Betriebssteuereinheit für die Steuerung, bei der eine Änderung der Umdrehungsrichtung des Flügelrads mit einer vorab festgelegten Periode erfolgt, eine Steuerung, bei der das Flügelrad mit der maximalen Geschwindigkeit in eine Richtung angetrieben wird, und eine Steuerung, bei der das Flügelrad mit der maximalen Geschwindigkeit in die andere Richtung angetrieben wird, wiederholt.
  6. Laservorrichtung (2), umfassend: einen Laserresonator (11), der Laserlicht oszilliert; ein Gehäuse (6), das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt; einen Temperatursensor (31), der die Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; einen Feuchtigkeitssensor (41), der die Feuchtigkeit der Luft im Inneren des Gehäuses detektiert; eine Wärmeübertragungsvorrichtung (8), die einen Hochtemperaturabschnitt (23), und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt (22), in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt; einen Wasserspeicherabschnitt (61), der durch eine Kondensatbildung in dem Niedrigtemperaturabschnitt entstandenes Wasser sammelt; einen Speicherwassersensor (64), der die Menge des in dem Wasserspeicherabschnitt gesammelten Wassers detektiert; eine Wasserausstoßvorrichtung (65), die das in dem Wasserspeicherabschnitt gesammelte Wasser nach außerhalb des Gehäuses ausstößt; und eine Steuervorrichtung (7), die eine Betriebssteuereinheit (71), welche die Wasserausstoßvorrichtung steuert, und eine Speichereinheit (72), welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist, wobei die Speichereinheit einen Temperaturreferenzwert bezüglich der Temperatur, einen Feuchtigkeitsreferenzwert bezüglich der Feuchtigkeit und einen Speicherwassermengenreferenzwert bezüglich der Menge des in der Wasserspeichereinheit gesammelten Wassers, um den Kühlventilator zu steuern, speichert, und wobei die Betriebssteuereinheit die Wasserausstoßvorrichtung dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur niedriger als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit höher als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, so steuert, dass das Wasser der Wasserspeichereinheit mit einer vorab festgelegten Periode ausgestoßen wird, und die Wasserausstoßvorrichtung dann, wenn die durch den Temperatursensor detektierte Temperatur höher als der Temperaturreferenzwert ist sowie die durch den Feuchtigkeitssensor detektierte Feuchtigkeit niedriger als der Feuchtigkeitsreferenzwert ist, so steuert, dass das Wasser der Wasserspeichereinheit ausgestoßen wird, wenn die Menge des Wassers der Wasserspeichereinheit den Speicherwassermengenreferenzwert überstiegen hat.
  7. Laservorrichtung (3) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, umfassend: eine Kühlwasserliefervorrichtung (67), die Wasser zur Kühlung der im Inneren des Gehäuses angeordneten Geräte (11) liefert; und einen Kühlwassertemperatursensor (51), der die Temperatur des Kühlwassers detektiert, wobei die Betriebssteuereinheit den Feuchtigkeitsreferenzwert auf Basis der durch den Temperatursensor detektierten Temperatur der Luft im Inneren des Gehäuses und der durch den Kühlwassersensor detektierten Temperatur des Kühlwassers festlegt, und die Speichereinheit den festgelegten Feuchtigkeitsreferenzwert speichert.
  8. Laservorrichtung (4), umfassend: einen Laserresonator (11), der Laserlicht oszilliert; ein Gehäuse (6), das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt; mehrere Temperatursensoren (31, 32, 33), die die Temperatur im Inneren des Gehäuses detektieren; wenigstens einen Ventilator (13, 14), der die Luft im Inneren des Gehäuses rührt; eine Wärmeübertragungsvorrichtung (8), die einen Hochtemperaturabschnitt (23) und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt (22), in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt; und eine Steuervorrichtung (7), die eine Betriebssteuereinheit (71), welche den Ventilator steuert, und eine Speichereinheit (72), welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist, wobei der Ventilator wenigstens eines aus einem Rührventilator (14), der an einer von der Wärmeübertragungsvorrichtung entfernten Position angeordnet ist, und einem Kühlventilator (13), der in der Wärmeübertragungsvorrichtung angeordnet ist und in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, aufweist, wobei die mehreren Temperatursensoren im Inneren des Gehäuses an voneinander entfernten Positionen angeordnet sind, wobei die Speichereinheit einen Temperaturverteilungsreferenzwert einer Variablen bezüglich der Temperaturverteilung im Inneren des Gehäuses speichert, und wobei die Betriebssteuereinheit auf Basis der durch die mehreren Temperatursensoren detektierten Temperaturen eine Variable bezüglich der Temperaturverteilung berechnet, dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung größer als der Temperaturverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator betrieben wird, und dann, wenn die Variable bezüglich der Temperaturverteilung kleiner als der Temperaturverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator angehalten wird.
  9. Laservorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Variable der Unterschied zwischen dem größten Wert und dem kleinsten Wert der mehreren durch die mehreren Temperatursensoren detektierten Temperaturen, oder die Standardabweichung der mehreren Temperaturen ist.
  10. Laservorrichtung (4), umfassend: einen Laserresonator (11), der Laserlicht oszilliert; ein Gehäuse (6), das einen Raum, in dem der Laserresonator angeordnet ist, dicht verschließt; mehrere Feuchtigkeitssensoren (41, 42, 43), die die Temperatur im Inneren des Gehäuses detektieren; wenigstens einen Ventilator (13, 14), der die Luft im Inneren des Gehäuses rührt; eine Wärmeübertragungsvorrichtung (8), die einen Hochtemperaturabschnitt (23) und einen im Inneren des Gehäuses angeordneten Niedrigtemperaturabschnitt (22), in dem die Temperatur niedriger als jene des Hochtemperaturabschnitts ist, aufweist und in der sich die Wärme des Niedrigtemperaturabschnitts zu dem Hochtemperaturabschnitt bewegt; und eine Steuervorrichtung (7), die eine Betriebssteuereinheit (71), welche den Ventilator steuert, und eine Speichereinheit (72), welche vorab festgelegte Informationen speichert, aufweist, wobei der Ventilator wenigstens eines aus einem Rührventilator (14), der an einer von der Wärmeübertragungsvorrichtung entfernten Position angeordnet ist, und einem Kühlventilator (13), der in der Wärmeübertragungsvorrichtung angeordnet ist und in dem Niedrigtemperaturabschnitt einen Strom von Luft erzeugt, aufweist, wobei die mehreren Feuchtigkeitssensoren im Inneren des Gehäuses an voneinander entfernten Positionen angeordnet sind, wobei die Speichereinheit einen Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert einer Variablen bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung im Inneren des Gehäuses speichert, und wobei die Betriebssteuereinheit auf Basis der durch die mehreren Feuchtigkeitssensoren detektierten Feuchtigkeiten eine Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung berechnet, dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung größer als der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator betrieben wird, und dann, wenn die Variable bezüglich der Feuchtigkeitsverteilung kleiner als der Feuchtigkeitsverteilungsreferenzwert ist, eine derartige Steuerung vornimmt, dass wenigstens eines aus dem Rührventilator und dem Kühlventilator angehalten wird.
  11. Laservorrichtung nach Anspruch 10, wobei die Variable der Unterschied zwischen dem größten Wert und dem kleinsten Wert der mehreren durch die mehreren Feuchtigkeitssensoren detektierten Feuchtigkeiten, oder die Standardabweichung der mehreren Feuchtigkeiten ist.
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