DE102017121289B4 - Verfahren und Package mit einer Ablöseschicht als Trennschicht - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 166
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 88
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 88
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 165
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 120
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 120
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 22
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 21
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 15
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 12
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 12
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 9
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 8
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 claims description 6
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 25
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 10
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 9
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 6
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 3
- 101100008645 Caenorhabditis elegans daf-38 gene Proteins 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000009969 flowable effect Effects 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 1
- 239000002365 multiple layer Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000010200 validation analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
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- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
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- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
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- H01L2224/922—Connecting different surfaces of the semiconductor or solid-state body with connectors of different types
- H01L2224/9222—Sequential connecting processes
- H01L2224/92242—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector
- H01L2224/92244—Sequential connecting processes the first connecting process involving a layer connector the second connecting process involving a build-up interconnect
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- H01L2224/97—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being connected to a common substrate, e.g. interposer, said common substrate being separable into individual assemblies after connecting
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- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
- H01L2225/065—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/06503—Stacked arrangements of devices
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- H01L2225/03—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
- H01L2225/04—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
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- H01L2225/06555—Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking
- H01L2225/06568—Geometry of the stack, e.g. form of the devices, geometry to facilitate stacking the devices decreasing in size, e.g. pyramidical stack
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- H01L2225/10—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
- H01L2225/1005—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/1011—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
- H01L2225/1017—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support
- H01L2225/1035—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement the lowermost container comprising a device support the device being entirely enclosed by the support, e.g. high-density interconnect [HDI]
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- H01L2225/10—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers
- H01L2225/1005—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L2225/1011—All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the containers being in a stacked arrangement
- H01L2225/1047—Details of electrical connections between containers
- H01L2225/1058—Bump or bump-like electrical connections, e.g. balls, pillars, posts
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
- H01L23/49816—Spherical bumps on the substrate for external connection, e.g. ball grid arrays [BGA]
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
- H01L23/5384—Conductive vias through the substrate with or without pins, e.g. buried coaxial conductors
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- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/538—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
- H01L23/5389—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates the chips being integrally enclosed by the interconnect and support structures
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/91—Methods for connecting semiconductor or solid state bodies including different methods provided for in two or more of groups H01L24/80 - H01L24/90
- H01L24/92—Specific sequence of method steps
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/065—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
- H01L25/0657—Stacked arrangements of devices
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- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
- H01L2924/143—Digital devices
- H01L2924/1431—Logic devices
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- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
- H01L2924/143—Digital devices
- H01L2924/1432—Central processing unit [CPU]
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- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
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- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
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Abstract
Verfahren mit den folgenden Schritten:Herstellen einer Ablöseschicht (22) über einem Träger (20);Herstellen einer Metallsäule (32) auf der Ablöseschicht (22);Verkapseln der Metallsäule (32) in einem Verkapselungsmaterial (48);Durchführen einer Planarisierung an dem Verkapselungsmaterial (48), um die Metallsäule (32) freizulegen;Herstellen einer Umverteilungsstruktur (54; 58; 64) über dem Verkapselungsmaterial (48) und der Metallsäule (32);Zersetzen eines ersten Teils der Ablöseschicht (22), um einen zweiten Teil der Ablöseschicht (22) von dem Träger (20) zu trennen, wobei der erste Teil der Ablöseschicht (22) und der zweite Teil der Ablöseschicht (22) aus einem LTHC-Material bestehen; undHerstellen einer Öffnung (72) in der Ablöseschicht (22), um die Metallsäule (32) freizulegen.
Description
- Hintergrund
-
US 2017/0032977 A1 - Die
US 2017/0084543 A1 - Mit der Entwicklung von Halbleiter-Technologien werden Halbleiter-Chips/-Dies immer kleiner. Inzwischen müssen mehr Funktionen in die Halbleiter-Dies integriert werden. Daher müssen die Halbleiter-Dies immer größere Anzahlen von E/A-Pads haben, die in kleinere Flächen gepackt werden, und die Dichte der E/A-Pads nimmt im Laufe der Zeit schnell zu. Dadurch wird die Verkappung der Halbleiter-Dies schwieriger, was die Ausbeute der Verkappung beeinträchtigt.
- Herkömmliche Verkappungstechnologien können in zwei Kategorien unterteilt werden. In der ersten Kategorie werden Dies auf einem Wafer verkappt, bevor sie zersägt werden. Diese Verkappungstechnologie hat einige Vorzüge, wie etwa einen größeren Durchsatz und niedrigere Kosten. Außerdem wird weniger Unterfüllungs- oder Formmasse benötigt. Diese Verkappungstechnologie hat aber auch Nachteile. Da die Größen der Dies immer kleiner werden, können die jeweiligen Packages nur Fan-in-Packages sein, bei denen die E/A-Pads jedes Dies auf einen Bereich direkt über der Oberfläche des jeweiligen Dies begrenzt sind. Bei den begrenzten Flächen der Dies ist die Anzahl der E/A-Pads auf Grund der Begrenzung des Abstands der E/A-Pads begrenzt. Wenn der Abstand der Pads verkleinert werden soll, können Lötbrücken entstehen. Und wenn die Kugeln eine feste Größe haben müssen, wird wiederum die Anzahl der Lotkugeln begrenzt, die auf der Oberfläche eines Dies verkappt werden können.
- In der anderen Verkappungskategorie werden die Dies von den Wafern abgesägt, bevor sie verkappt werden. Ein Vorzug dieser Verkappungstechnologie ist die Möglichkeit, Fan-out-Packages herzustellen, was bedeutet, dass die E/A-Pads auf einem Die auf eine größere Fläche als die des Dies umverteilt werden können, und somit die Anzahl von E/A-Pads, die auf der Oberfläche der Dies verkappt werden, erhöht werden kann. Ein weiterer Vorzug dieser Verkappungstechnologie ist, dass erwiesenermaßen gute Dies verkappt werden und fehlerhafte Dies verworfen werden und daher Kosten und Aufwand nicht für die fehlerhaften Dies verschwendet werden.
- Die Erfindung sieht ein Verfahren gemäß Anspruch 1, ein Verfahren gemäß Anspruch 8 und ein Package gemäß Anspruch 15 vor. Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
- Figurenliste
- Aspekte der vorliegenden Erfindung lassen sich am besten anhand der nachstehenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen verstehen. Es ist zu beachten, dass entsprechend der üblichen Praxis in der Branche verschiedene Elemente nicht maßstabsgetreu gezeichnet sind. Vielmehr können der Übersichtlichkeit der Erörterung halber die Abmessungen der verschiedenen Elemente beliebig vergrößert oder verkleinert sein.
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1 bis18 zeigen Schnittansichten von Zwischenstufen bei der Herstellung eines Packages gemäß einigen Ausführungsformen. - Die
19A und19B zeigen eine Draufsicht bzw. eine Schnittansicht eines Teils einer Ablöseschicht in einem Package gemäß einigen Ausführungsformen. -
19C zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Teils der Ablöseschicht gemäß einigen Ausführungsformen. -
20 zeigt einen Prozessablauf für die Herstellung eines Packages gemäß einigen Ausführungsformen. - Detaillierte Beschreibung
- Die nachstehende Beschreibung liefert viele verschiedene Ausführungsformen oder Beispiele zum Implementieren verschiedener Merkmale der Erfindung. Nachstehend werden spezielle Beispiele für Komponenten und Anordnungen beschrieben, um die vorliegende Erfindung zu vereinfachen. Diese sind natürlich lediglich Beispiele und sollen nicht beschränkend sein. Zum Beispiel kann die Herstellung eines ersten Elements über oder auf einem zweiten Element in der nachstehenden Beschreibung Ausführungsformen umfassen, bei denen das erste und das zweite Element in direktem Kontakt ausgebildet werden, und sie kann auch Ausführungsformen umfassen, bei denen zusätzliche Elemente zwischen dem ersten und dem zweiten Element so ausgebildet werden können, dass das erste und das zweite Element nicht in direktem Kontakt sind. Darüber hinaus können in der vorliegenden Erfindung Bezugszahlen und/oder -buchstaben in den verschiedenen Beispielen wiederholt werden. Diese Wiederholung dient der Einfachheit und Übersichtlichkeit und schreibt an sich keine Beziehung zwischen den verschiedenen erörterten Ausführungsformen und/oder Konfigurationen vor.
- Darüber hinaus können hier räumlich relative Begriffe, wie etwa „darunter befindlich“, „unter“, „untere(r)“/„unteres“, „darüber befindlich“, „obere(r)“/„oberes“ und dergleichen, zur einfachen Beschreibung der Beziehung eines Elements oder einer Struktur zu einem oder mehreren anderen Elementen oder Strukturen verwendet werden, die in den Figuren dargestellt sind. Die räumlich relativen Begriffe sollen zusätzlich zu der in den Figuren dargestellten Orientierung andere Orientierungen des in Gebrauch oder in Betrieb befindlichen Bauelements umfassen. Die Vorrichtung kann anders ausgerichtet werden (um 90 Grad gedreht oder in einer anderen Orientierung), und die räumlich relativen Deskriptoren, die hier verwendet werden, können ebenso entsprechend interpretiert werden.
- Es werden ein integriertes Fan-out-Package (InFO-Package) und ein Verfahren zu dessen Herstellung gemäß verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen bereitgestellt. Bei einigen Ausführungsformen werden die Zwischenstufen bei der Herstellung des InFO-Packages erläutert. Es werden einige Abwandlungen einiger Ausführungsformen erörtert. In allen verschiedenen Darstellungen und erläuternden Ausführungsformen werden ähnliche Bezugssymbole zum Bezeichnen von ähnlichen Elementen verwendet.
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1 bis18 zeigen Schnittansichten von Zwischenstufen bei der Herstellung eines Packages gemäß einigen Ausführungsformen. Die in den1 bis18 gezeigten Schritte sind auch in einem Prozessablauf400 schematisch angegeben, der in20 gezeigt ist. - In
1 wird ein Träger20 bereitgestellt, und auf den Träger20 wird eine Ablöseschicht22 aufgebracht. Der entsprechende Schritt ist als Schritt402 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Der Träger20 besteht aus einem transparenten Material und kann ein Glasträger, ein Keramikträger, ein organischer Träger oder dergleichen sein. Der Träger20 kann in der Draufsicht eine runde Form haben und kann die Größe eines Siliziumwafers haben. Der Träger20 kann zum Beispiel einen Durchmesser von8 in.,12 in. oder dergleichen haben. Die Ablöseschicht22 ist in physischem Kontakt mit der Oberseite des Trägers20 . Die Ablöseschicht22 kann aus einem LTHC-Beschichtungsmaterial (LTHC: Licht-Wärme-Umwandlung) bestehen. Die Ablöseschicht22 kann durch Beschichtung auf den Träger20 aufgebracht werden. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann das LTHC-Beschichtungsmaterial durch die Wärme von Licht oder einer Bestrahlung (wie etwa mit einem Laser) zersetzt werden, und dadurch kann der Träger20 von der darauf hergestellten Struktur abgelöst werden. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung umfasst das LTHC-Beschichtungsmaterial22 Carbon-Black (Kohlenstoffteilchen), ein Lösungsmittel, einen Silizium-Füllstoff und/oder ein Epoxidharz. Das Epoxidharz kann ein Polyimid oder ein anderes Polymer, wie etwa Acrylharz, sein. Das in dem LTHC-Beschichtungsmaterial enthaltene Polyimid ist von dem üblichen Polyimid verschieden, das für die Fotolithografie verwendet wird, da es nicht mehr lichtempfindlich ist und nicht durch Belichtung und Entwicklung entfernt werden kann. Die Dicke des LTHC-Beschichtungsmaterials22 kann bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung in dem Bereich von etwa 1 µm bis etwa 2 µm liegen. Es dürfte wohlverstanden sein, dass die Werte, die in der gesamten Beschreibung der vorliegenden Erfindung angegeben sind, nur Beispiele sind und zu anderen Werten geändert werden können. Das LTHC-Beschichtungsmaterial22 kann in einer fließfähigen Form aufgebracht werden und dann zum Beispiel bei UV-Licht gehärtet werden. Das LTHC-Beschichtungsmaterial22 ist ein homogenes Material, und das gesamte LTHC-Beschichtungsmaterial22 hat die gleiche Zusammensetzung. - Die
2 bis4 zeigen die Herstellung von Metallsäulen32 . Der entsprechende Schritt ist als Schritt404 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. In der gesamten Beschreibung werden die Metallsäulen32 alternativ als Durchkontaktierungen32 bezeichnet, da die Metallsäulen32 durch das später aufgebrachte Verkapselungsmaterial hindurchgehen. - In
2 wird eine Metall-Seed-Schicht24 zum Beispiel durch physikalische Aufdampfung (PVD) hergestellt. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird keine dielektrische Schicht zwischen dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 und der Metall-Seed-Schicht24 hergestellt, und daher ist die Metall-Seed-Schicht24 in physischem Kontakt mit dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 . Zum Beispiel befindet sich keine Polymerschicht, wie etwa eine Polyimidschicht, eine Polybenzoxazol(PBO)-Schicht oder eine Benzocyclobuten(BCB)-Schicht, zwischen der Metall-Seed-Schicht24 und dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 . Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung umfasst die Metall-Seed-Schicht24 eine Titanschicht und eine Kupferschicht über der Titanschicht. Bei alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung umfasst die Metall-Seed-Schicht24 eine Kupferschicht, die das LTHC-Beschichtungsmaterial22 kontaktiert. - Wie außerdem in
2 gezeigt ist, wird ein Fotoresist26 über der Metall-Seed-Schicht24 hergestellt. Dann wird das Fotoresist26 unter Verwendung einer fotolithografischen Maske (nicht dargestellt) belichtet. Durch eine nachfolgende Entwicklung entstehen Öffnungen28 in dem Fotoresist26 . Einige Teile der Metall-Seed-Schicht24 werden durch die Öffnungen28 freigelegt. - Wie in
3 gezeigt ist, werden dann die Metallsäulen32 durch Plattieren eines Metallmaterials in den Öffnungen28 hergestellt. Die Metallsäulen32 werden alternativ als Durchkontaktierungen oder Form-Durchkontaktierungen bezeichnet, da sie durch das später hergestellte Verkapselungsmaterial (das eine Formmasse sein kann) in dem fertigen Package hindurchgehen. Das plattierte Metallmaterial kann Kupfer oder eine Kupferlegierung sein. Die Oberseiten der Metallsäulen32 sind niedriger als die Oberseite des Fotoresists26 , sodass die Formen der Metallsäulen32 von den Öffnungen28 begrenzt werden. Die Metallsäulen32 können im Wesentlichen vertikale und gerade Kanten haben. Alternativ können die Metallsäulen32 in einer Schnittansicht die Form einer Sanduhr haben, wobei die mittleren Teile der Metallsäulen32 schmaler als die jeweiligen oberen und unteren Teile sind. - In nachfolgenden Schritten wird das Fotoresist
26 entfernt, und dadurch werden die darunter befindlichen Teile der Metall-Seed-Schicht24 freigelegt. Dann werden die freigelegten Teile der Metall-Seed-Schicht24 in einem Ätzschritt, zum Beispiel in einem anisotropen oder einem isotropen Ätzschritt, entfernt. Die Ränder der verbliebenen Metall-Seed-Schicht24 enden dadurch mit den jeweiligen darüber befindlichen Teilen der Metallsäulen32 . Die resultierenden Metallsäulen32 sind in4 gezeigt. In der gesamten Beschreibung werden die verbliebenen Teile der Metall-Seed-Schicht24 als Teile der Metallsäulen32 angesehen, und sie werden nicht getrennt dargestellt. Die Draufsicht-Formen der Metallsäulen32 umfassen unter anderem Kreise, Rechtecke, Sechsecke, Achtecke und dergleichen. Nach der Herstellung der Metallsäulen32 kann das LTHC-Beschichtungsmaterial22 freiliegen. -
5 zeigt die Platzierung/Befestigung eines Bauelement-Dies36 . Der entsprechende Schritt ist als Schritt406 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Der Bauelement-Die36 wird an dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 mit einer Die-Befestigungsschicht (die attach film; DAF) 38 befestigt, die eine Haftschicht ist, die an dem Bauelement-Die36 befestigt wird, bevor der Bauelement-Die36 auf dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 platziert wird. Daher bilden die DAF38 und der Bauelement-Die36 zusammen eine Einheit, bevor sie an dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 angebracht werden. Der Bauelement-Die36 kann ein Halbleitersubstrat umfassen, das eine Rückseite (die nach unten zeigende Seite) hat, die in physischem Kontakt mit der DAF38 ist. Der Bauelement-Die36 kann integrierte Schaltkreiselemente (wie etwa aktive Bauelemente, die zum Beispiel Transistoren umfassen; nicht dargestellt) auf der Vorderseite (der nach oben zeigenden Seite) des Halbleitersubstrats haben. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist der Bauelement-Die36 ein Logik-Die, der ein CPU-Die (CPU: zentrale Verarbeitungseinheit), ein GPU-Die (GPU: grafische Verarbeitungseinheit, ein Mobilanwendungs-Die, ein MCU-Die (MCU: Microcontroller-Einheit), ein Eingabe-Ausgabe(EA)-Die, ein Baseband(BB)-Die oder ein Anwendungsprozessor(AP)-Die sein kann. Da der Träger20 auf dem Wafer-Niveau ist, werden mehrere identische Bauelement-Dies36 über dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 platziert, obwohl nur ein Bauelement-Die36 dargestellt ist, und sie können in einer Matrix aus mehreren Zeilen und mehreren Spalten angeordnet werden. - Bei einigen beispielhaften Ausführungsformen werden Metallsäulen
42 (wie etwa Kupfersäulen) als Teile des Bauelement-Dies36 vorgefertigt, und die Metallsäulen42 werden mit den integrierten Schaltkreiselementen, wie etwa Transistoren (nicht dargestellt), in dem Bauelement-Die36 elektrisch verbunden. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung füllt ein dielektrisches Material, wie etwa ein Polymer, die Spalte zwischen benachbarten Metallsäulen42 , sodass eine obere dielektrische Schicht44 entsteht. Die obere dielektrische Schicht44 kann auch einen Teil umfassen, der die Metallsäulen42 bedeckt und schützt. Die Polymerschicht44 kann bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung aus PBO oder Polyimid bestehen. - Dann werden der Bauelement-Die
36 und die Metallsäulen32 in einem Verkapselungsmaterial48 eingekapselt, wie in6 gezeigt ist. Der entsprechende Schritt ist als Schritt408 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Das Verkapselungsmaterial48 füllt die Spalte zwischen benachbarten Durchkontaktierungen32 und die Spalte zwischen den Durchkontaktierungen32 und dem Bauelement-Die36 . Das Verkapselungsmaterial48 kann eine Formmasse, eine Formunterfüllung, ein Epoxidharz und/oder ein Harz sein. Die Oberseite des Verkapselungsmaterials48 ist höher als die oberen Enden der Metallsäulen42 . Wenn das Verkapselungsmaterial48 aus einer Formmasse besteht, kann es ein Grundmaterial, das ein Polymer, ein Harz, ein Epoxidharz oder dergleichen sein kann, und Füllstoffteilchen (nicht dargestellt, siehe19C) in dem Grundmaterial umfassen. Die Füllstoffteilchen können dielektrische Teilchen aus SiO2, Al2O3, Siliziumdioxid oder dergleichen sein, und sie können kugelförmig sein. Außerdem können die kugelförmigen Füllstoffteilchen mehrere unterschiedliche Durchmesser haben. Die Füllstoffteilchen und das Grundmaterial in der Formmasse können in physischem Kontakt mit dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 sein, wie ebenfalls schematisch in19C dargestellt ist. - In einem nachfolgenden Schritt, der in
7 gezeigt ist, wird ein Planarisierungsprozess, wie etwa eine chemisch-mechanische Polierung (CMP) oder ein mechanischer Schleifprozess, durchgeführt, um das Verkapselungsmaterial48 und die dielektrische Schicht44 zu dünnen, bis die Durchkontaktierungen32 und die Metallsäulen42 vollständig freiliegen. Der entsprechende Schritt ist ebenfalls als Schritt408 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Durch den Planarisierungsprozess sind die oberen Enden der Durchkontaktierungen32 im Wesentlichen auf gleicher Höhe (koplanar) mit den Oberseiten der Metallsäulen42 und im Wesentlichen koplanar mit der Oberseite des Verkapselungsmaterials48 . - Die
8 bis12 zeigen die Herstellung einer vorderseitigen Umverteilungsstruktur. Die8 und9 zeigen die Herstellung einer ersten Schicht von Umverteilungsleitungen (redistribution lines; RDLs) und die jeweilige dielektrische Schicht. In8 wird eine dielektrische Schicht50 hergestellt. Der entsprechende Schritt ist als Schritt410 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung besteht die dielektrische Schicht50 aus einem Polymer, wie etwa PBO, Polyimid oder dergleichen. Das Herstellungsverfahren umfasst das Aufbringen der dielektrischen Schicht50 in einer fließfähigen Form und das anschließende Härten der dielektrischen Schicht50 . Bei alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung besteht die dielektrische Schicht50 aus einem anorganischen dielektrischen Material, wie etwa Siliziumnitrid, Siliziumoxid oder dergleichen. Das Herstellungsverfahren kann chemische Aufdampfung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD), Plasma-unterstützte chemische Aufdampfung (PECVD) oder andere geeignete Abscheidungsverfahren umfassen. Dann werden Öffnungen52 zum Beispiel mit einem fotolithografischen Prozess hergestellt. Bei einigen Ausführungsformen, bei denen die dielektrische Schicht50 aus einem lichtempfindlichen Material, wie etwa PBO oder Polyimid, besteht, umfasst die Herstellung der Öffnungen52 eine Belichtung unter Verwendung einer lithografischen Maske (nicht dargestellt) und einen Entwicklungsprozess. Die Durchkontaktierungen32 und die Metallsäulen42 werden durch die Öffnungen52 freigelegt. - Dann werden in
9 RDLs54 über der dielektrischen Schicht50 hergestellt. Der entsprechende Schritt ist als Schritt412 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Die RDLs54 umfassen Durchkontaktierungen54A , die in der dielektrischen Schicht50 zum Verbinden mit den Metallsäulen42 und den Durchkontaktierungen32 hergestellt werden, und Metallleiterbahnen (Metallleitungen)54B über der dielektrischen Schicht50 . Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden die RDLs54 (die54A und54B umfassen) in einem Plattierungsprozess hergestellt, der das Abscheiden einer Metall-Seed-Schicht (nicht dargestellt), das Herstellen und Strukturieren eines Fotoresists (nicht dargestellt) über der Metall-Seed-Schicht und das Plattieren eines Metallmaterials, wie etwa Kupfer und/oder Aluminium, über der Metall-Seed-Schicht umfasst. Die Metall-Seed-Schicht und das plattierte Metallmaterial können aus dem gleichen Material oder aus verschiedenen Materialien bestehen. Das strukturierte Fotoresist wird dann entfernt, und anschließend werden die Teile der Metall-Seed-Schicht entfernt, die zuvor von dem strukturierten Fotoresist bedeckt gewesen sind. Obwohl es nicht dargestellt ist, können die Oberseiten der Teile der RDLs54 , die aus den Öffnungen52 aufgewachsen wurden, tiefer als der Teil der RDLs54 ausgespart werden, der sich direkt über der dielektrischen Schicht50 befindet. - In
10 wird bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung eine dielektrische Schicht60 über der in9 gezeigten Struktur hergestellt, und anschließend werden Öffnungen in der dielektrischen Schicht60 hergestellt. Einige Teile der RDLs54 werden somit durch die Öffnungen freigelegt. Die dielektrische Schicht60 kann unter Verwendung der gleichen Gruppe von in Frage kommenden Materialien wie für die dielektrische Schicht50 hergestellt werden, die PBO, Polyimid, BCB oder andere organische oder anorganische Materialien umfassen können. Dann werden RDLs58 hergestellt. Der entsprechende Schritt ist als Schritt414 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Die RDLs58 umfassen ebenfalls Durchkontaktierungsteile, die in die Öffnungen in der dielektrischen Schicht60 hinein reichen, um die RDLs54 zu kontaktieren, und Metallleitungsteile direkt über der dielektrischen Schicht60 . Die Herstellung der RDLs58 kann in der gleichen Weise wie die Herstellung der RDLs54 erfolgen und umfasst das Herstellen einer Seed-Schicht, das Herstellen einer strukturierten Maske, das Plattieren der RDLs58 und das anschließende Entfernen der strukturierten Maske und unerwünschter Teile der Seed-Schicht. -
11 zeigt die Herstellung einer dielektrischen Schicht62 und von RDLs64 über der dielektrischen Schicht60 und den RDLs58 . Der entsprechende Schritt ist als Schritt416 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Die dielektrische Schicht62 kann unter Verwendung der gleichen Gruppe von in Frage kommenden Materialien wie für die Herstellung der dielektrischen Schichten50 und60 hergestellt werden. Die RDLs64 können aus einem Metall oder einer Metalllegierung hergestellt werden, wie etwa Aluminium, Kupfer, Wolfram oder Legierungen davon. Bei den dargestellten beispielhaften Ausführungsformen werden zwar drei Schichten von RDLs (54 ,58 und64 ) hergestellt, aber es dürfte wohlverstanden sein, dass das Package jede Anzahl von RDL-Schichten, wie etwa eine Schicht, zwei Schichten oder mehr als drei Schichten, haben kann. -
12 zeigt die Herstellung einer dielektrischen Schicht66 , von Metallisierungen unter dem Kontakthügel (UBMs)68 und von elektrischen Verbindungselementen70 gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen. Die dielektrische Schicht66 kann unter Verwendung der gleichen Gruppe von in Frage kommenden Materialien wie für die Herstellung der dielektrischen Schichten50 ,60 ,62 und66 hergestellt werden. Zum Beispiel kann die dielektrische Schicht66 unter Verwendung von PBO, Polyimid oder PCB hergestellt werden. In der dielektrischen Schicht66 werden Öffnungen hergestellt, um die darunter befindlichen Metallpads freizulegen, die bei den erläuternden beispielhaften Ausführungsformen Teile der RDLs64 sind. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden die UBMs68 so hergestellt, dass sie in die Öffnungen in der dielektrischen Schicht66 hinein reichen, um die Metallpads in den RDLs64 zu kontaktieren. Die UBMs68 können aus Nickel, Kupfer, Titan oder Mehrfachschichten davon bestehen. Bei einigen beispielhaften Ausführungsformen umfassen die UBMs68 eine Titanschicht und eine Kupferschicht über der Titanschicht. - Dann werden die elektrischen Verbindungselemente
70 hergestellt. Der entsprechende Schritt ist als Schritt418 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Die Herstellung der elektrischen Verbindungselemente70 kann das Platzieren von Lotkugeln auf den freigelegten Teilen der UBMs68 und das anschließende Aufschmelzen der Lotkugeln umfassen, und somit sind die elektrischen Verbindungselemente70 Lötbereiche. Bei alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung umfasst die Herstellung der elektrischen Verbindungselemente70 das Durchführen einer Plattierung, um Lötschichten über den UBMs68 herzustellen, und das anschließende Aufschmelzen der Lötschichten. Die elektrischen Verbindungselemente70 können auch lotfreie Metallsäulen, oder Metallsäulen und Lotkappen über den lotfreien Metallsäulen umfassen, die ebenfalls durch Plattierung hergestellt werden können. In der gesamten Beschreibung werden die Struktur, die die Ablöseschicht22 umfasst, und die darüber befindliche Struktur gemeinsam als Package100 bezeichnet, das ein Verbundwafer ist (und nachstehend auch als Verbundwafer100 bezeichnet wird), der eine Vielzahl von Bauelement-Dies36 umfasst. - In
13 wird dann der Verbundwafer100 auf einem Band74 platziert, das an einem Rahmen76 befestigt ist. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind die elektrischen Verbindungselemente70 in Kontakt mit dem Band74 . Dann wird Licht78 (oder eine andere Art von Strahlungsquelle, die Wärme überträgt) auf das LTHC-Beschichtungsmaterial22 projiziert, und das Licht78 geht durch den transparenten Träger20 hindurch. Bei einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist das Licht78 ein Laserstrahl, mit dem eine Vorwärts- und Rückwärts-Abtastung an dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 durchgeführt werden kann, wobei jede Abtastung an einem nicht-abgetasteten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials22 durchgeführt wird. Bei alternativen Ausführungsformen wird das gesamte LTHC-Beschichtungsmaterial22 gleichzeitig nur einmal belichtet, statt es vorwärts und rückwärts abzutasten. In Abhängigkeit von dem Material, aus dem das LTHC-Beschichtungsmaterial22 besteht, kann auch UV-Licht zum Projizieren auf das LTHC-Beschichtungsmaterial22 verwendet werden. - Durch die Belichtung (wie etwa die Laserabtastung) kann der Träger
20 von dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 abgehoben werden, und somit wird der Verbundwafer100 von dem Träger20 abgelöst (demontiert). Der entsprechende Schritt ist als Schritt420 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Der resultierende Verbundwafer100 ist in14 gezeigt. Während der Belichtung wird ein oberer Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials22 in Reaktion auf die Wärme zersetzt, die durch die Belichtung eingebracht wird. Der zersetzte Teil ist in14 durch Strichlinien dargestellt. Der zersetzte Teil ist der Teil (der dargestellte obere Teil), der zuvor in Kontakt mit dem Träger20 war und der Wärme des Lichts ausgesetzt wird. Der untere Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials22 erhält hingegen kein Licht, oder die Wärme des empfangenen Lichts ist nicht ausreichend. Daher wird der untere Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials22 nicht zersetzt und er bleibt zurück, nachdem der Träger20 abgehoben worden ist. Bei einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung liegt eine GesamtdickeT1 des LTHC-Beschichtungsmaterials22 vor der Zersetzung in dem Bereich von etwa 1 µm bis etwa 2 µm. Eine DickeT2 des zersetzten Teils des LTHC-Beschichtungsmaterials22 kann bei einigen beispielhaften Ausführungsformen in dem Bereich von etwa 0,3 µm bis etwa 1µm liegen. Außerdem kann das Verhältnis der DickeT2 des zersetzten Teils zu der GesamtdickeT1 des LTHC-Beschichtungsmaterials22 in dem Bereich von etwa 0,3 bis etwa 0,5 liegen. - Die Dicke
T2 des zersetzten Teils des LTHC-Beschichtungsmaterials22 wird von dem Energieniveau des Lichts78 , der Dauer der Belichtung und der Frequenz des Lichts beeinflusst. Je höher die Energie des Lichts78 ist, umso größer ist die DickeT2 . Die Energie des Lichts78 kann entsprechend eingestellt werden. Bei der gewählten Energie wird der obere Teil des gesamten LTHC-Beschichtungsmaterials22 zersetzt, und es bleibt kein Teil des Trägers20 an dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 durch einen nicht-zersetzten Teil haften. Der verbliebene nicht-zersetzte Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials22 kann jedoch eine Schutzschicht ohne eine Öffnung zum Freilegen der darunter befindlichen Durchkontaktierungen32 , des Verkapselungsmaterials48 und der DAF38 sein. Bei einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung hat das verbliebene LTHC-Beschichtungsmaterial22 eine DickeT3 , die in dem Bereich von etwa 0,7 µm bis etwa 1,7 µm liegen kann. - Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung kann die Oberseite des LTHC-Beschichtungsmaterials
22 koplanar sein, um die Spezifikation des Herstellungsprozesses für das Package einzuhalten. Daher wird keine Planarisierung der Oberseite des LTHC-Beschichtungsmaterials22 durchgeführt. Wenn jedoch nach dem Abheben des Trägers20 das LTHC-Beschichtungsmaterial22 eine Rauheit hat, die höher als die maximal zulässige Rauheit ist, die in der Spezifikation festgelegt ist, und die hohe Rauheit zu einem Ausbeuteverlust führen kann, kann eine chemisch-mechanische Polierung (CMP) oder ein mechanischer Schleifprozess durchgeführt werden, um die Oberseite des LTHC-Beschichtungsmaterials22 zu ebnen. Durch die Planarisierung wird ein Oberseitenteil des LTHC-Beschichtungsmaterials22 entfernt, während ein unterer Schutzteil intakt bleibt. - In
15 werden Öffnungen72 in dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 hergestellt, und dadurch werden die Durchkontaktierungen32 freigelegt. Der entsprechende Schritt ist als Schritt422 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden die Öffnungen72 durch Laserbohren hergestellt, und dabei werden einige Teile des LTHC-Beschichtungsmaterials22 direkt über den Durchkontaktierungen32 durch den Laser verbrannt und zersetzt. Bei alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden die Öffnungen72 durch Ätzen in einem lithografischen Prozess hergestellt. - Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung liegen die Titanschichten
24A nach dem Laserbohren frei. Die Titanschichten24A sind die verbliebenen Teile der Metall-Seed-Schicht24 , die in3 gezeigt ist. Anschließend wird eine Ätzung durchgeführt, um die Titanschichten zu entfernen, die in15 als Schichten24A dargestellt sind. Da Titan einen höheren elektrischen Widerstand als Kupfer hat, werden durch die Entfernung der Titanschichten die Kupferteile der Durchkontaktierungen32 freigelegt, die einen niedrigeren Widerstand als die Titanschichten haben. Somit kann eine elektrische Verbindung mit den Durchkontaktierungen32 mit einem niedrigeren Widerstand hergestellt werden. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird die Ätzung der Titanschicht durch Nassätzung unter Verwendung von Fluorwasserstoffsäure(HF)-Lösung, Phosphorsäure oder eines Gemisches aus HF und Phosphorsäure durchgeführt. Die Ätzung kann auch durch Trockenätzung erfolgen. - Bei der Ätzung der Titanschichten
24A wird das LTHC-Beschichtungsmaterial22 nicht geätzt. Daher werden das Material für das LTHC-Beschichtungsmaterial22 und das Ätzmittel für die Titanschichten24A so gewählt, dass das Ätzmittel zwar die Titanschichten24A ätzen kann, aber nicht das LTHC-Beschichtungsmaterial22 angreift. - Der Verbundwafer
100 umfasst eine Vielzahl von Packages100' (siehe16 ), die miteinander identisch sind, wobei die Packages100' jeweils eine Vielzahl von Durchkontaktierungen32 und einen Bauelement-Die36 aufweisen. Das LTHC-Beschichtungsmaterial22 erstreckt sich über das gesamte Package100 auf Waferebene.16 zeigt das Bonden einer Vielzahl von Packages200 (wobei nur ein Package200 dargestellt ist) an das Package100' , sodass eine Vielzahl von identischen Package-auf-Package(PoP)-Strukturen/-Packages 300 entsteht. Der entsprechende Schritt ist als Schritt424 in dem Prozessablauf angegeben, der in20 gezeigt ist. Die Bondung wird durch Lötbereiche80 durchgeführt, die die Durchkontaktierungen32 mit Metallpads206 in dem darüber befindlichen Package200 verbinden. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung umfasst das Package200 ein Package-Substrat204 und einen oder mehrere Bauelement-Dies202 , die Speicher-Dies sein können, wie etwa SRAM-Dies (SRAM: statischer Direktzugriffsspeicher), DRAM-Dies (DRAM: dynamischer Direktzugriffsspeicher) oder dergleichen. In dem Spalt zwischen den Packages200 und den darunter befindlichen Packages100' wird eine Unterfüllung208 abgeschieden und gehärtet. - Bei alternativen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden rückseitige RDLs (nicht dargestellt) hergestellt, und das Package
200 wird über die rückseitigen RDLs in der rückseitigen Umverteilungsstruktur gebondet, statt das Package200 an den Verbundwafer100 direkt durch die Öffnungen72 (15 ) zu bonden. Die rückseitigen RDLs umfassen somit Durchkontaktierungen (nicht dargestellt), die in das LTHC-Beschichtungsmaterial22 hinein reichen, und Metallleitungen (nicht dargestellt) über dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 . Die rückseitigen RDLs werden so bezeichnet, weil sie auf der Rückseite des Bauelement-Dies36 hergestellt werden. Um die rückseitigen RDLs herzustellen, kann statt eines Bands ein Träger unter dem Verbundwafer100 als eine Unterlage bei der Herstellung der rückseitigen RDLs platziert werden. Dadurch werden bei der Herstellung der rückseitigen RDLs die elektrischen Verbindungselemente70 über eine Haftschicht (nicht dargestellt) an den Träger angeklebt. - In
17 wird dann ein Vereinzelungsprozess (Die-Zersägungsprozess) durchgeführt, um den Verbundwafer100 in einzelne Packages300 zu zertrennen, die miteinander identisch sind. Die Vereinzelung kann auf dem Band74 erfolgen. Die Vereinzelung kann dadurch erfolgen, dass ein Messer verwendet wird, oder dass ein Laser zum Vornuten verwendet wird, sodass Nuten entstehen, und der Wafer dann mit einem Messer an den Nuten durchtrennt wird. -
18 zeigt das Bonden der vereinzelten Packages300 an eine Package-Komponente86 durch Lötbereiche70 . Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist die Package-Komponente86 ein Package-Substrat, das ein kernloses Substrat oder ein Substrat mit einem Kern sein kann. Bei anderen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist die Package-Komponente86 eine Leiterplatte oder ein Package. Die Lötbereiche70 können an Bondpads88 in der Package-Komponente86 gebondet werden. -
19A zeigt eine Draufsicht einiger Teile eines beispielhaften Packages300 , wobei nur die Durchkontaktierungen32 , das LTHC-Beschichtungsmaterial22 und der Bauelement-Die36 dargestellt sind, während andere Strukturelemente der Einfachheit halber nicht dargestellt sind. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung erfolgt die Zersetzung des LTHC-Beschichtungsmaterials22 durch einen Laser, der die Form eines Laserstrahls hat. Der Laserstrahl ist schmaler als das Package300 und nimmt eine Vielzahl von Laserstrahl-Abtastwegen, um das gesamte Package300 (und den in13 gezeigten Verbundwafer100 ) zu überstreichen. Die Abtastwege des Laserstrahls können sich geringfügig überdecken, um eine vollständige Überstreichung des LTHC-Beschichtungsmaterials22 sicherzustellen, ohne dass unerwünscht einige Teile nicht abgetastet werden. Die sich überdeckenden Teile werden gegenüber den sich nicht überdeckenden Teilen doppelt abgetastet. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist die Dicke des zersetzten LTHC-Beschichtungsmaterials22 in den doppelt abgetasteten Bereichen größer als die Dicke des zersetzten LTHC-Beschichtungsmaterials22 in den einfach abgetasteten Bereichen. Das führt dazu, dass die Oberseite des LTHC-Beschichtungsmaterials22 einige Teile hat, die tiefer als andere Teile ausgespart sind. Zum Beispiel zeigt19A schematisch Teile22A und Teile22B , die tiefer als die Teile22A ausgespart sind. Die Teile22A und22B sind abwechselnd angeordnet, wobei die Teile22A einfach abgetastete Teile sind und die Teile22B doppelt abgetastete Teile sind. Darüber hinaus können die Teile22A und22B in der Draufsicht im Wesentlichen gerade sein. -
19B zeigt eine Schnittansicht des LTHC-Beschichtungsmaterials22 gemäß einigen beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung. Die Schnittansicht wird von der Ebene erhalten, die die Linie19B -19B von19A enthält. Die Teile22A und22B sind ebenfalls dargestellt. Auch DickenT3A der Teile22A undT3B der Teile22B sind dargestellt. Die DickeT3A ist größer als die DickeT3B . Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist die Differenz (T3A -T3B ) größer als etwa 0,1 µm, und sie kann in dem Bereich von etwa 0,1 µm bis etwa 0,5 µm liegen. Somit hat bei dem Package300 das LTHC-Beschichtungsmaterial22 Teile mit abwechselnden Dicken. Die Teile22A können eine im Wesentlichen gleichbleibende Breite haben, und die Teile22B können ebenfalls eine im Wesentlichen gleichbleibende Breite haben, wobei die Breite der Teile22A größer als die Breite der Teile22B sein kann. - Die Teile
22B (und gegebenenfalls auch die Teile22A) können in der Schnittansicht gekümpelt sein, wobei der mittlere Bereich eines Teils22B (oder eines Teils22A) tiefer als die Randbereiche des Teils22B bzw.22A ausgespart ist. Außerdem können die gekümpelten Formen gekrümmt sein. -
19C zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Bereichs84 von17 . Wie in19C gezeigt ist, umfasst das Verkapselungsmaterial48 ein Grundmaterial48A und Füllstoffteilchen48B in dem Grundmaterial48A . Da das Verkapselungsmaterial48 auf dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 (das in6 gezeigt ist) verkapselt wird und an dem Teil des Verkapselungsmaterials48 , der das LTHC-Beschichtungsmaterial22 kontaktiert, keine Planarisierung durchgeführt wird, werden die kugelförmigen Teilchen48B , die in Kontakt mit dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 sind, abgerundet, wobei die abgerundeten Oberflächen in Kontakt mit dem LTHC-Beschichtungsmaterial22 sind. Darüber hinaus werden an dieser Grenzfläche die kugelförmigen Teilchen48B nicht teilweise entfernt, sodass sie planare Oberflächen haben, die mit der dargestellten Oberseite des Grundmaterials48A koplanar sind. Im Gegensatz dazu sind die Teile des Verkapselungsmaterials48 , die in Kontakt mit der dielektrischen Schicht50 sind, in dem in7 gezeigten Schritt planarisiert worden. Daher werden die kugelförmigen Teilchen48B , die in Kontakt mit der dielektrischen Schicht50 sind, bei der Planarisierung teilweise zertrennt, und sie haben somit im Wesentlichen planare Unterseiten (statt abgerundete Unterseiten), die in Kontakt mit der dielektrischen Schicht50 sind. - Bei den vorstehend erläuterten beispielhaften Ausführungsformen sind einige beispielhafte Verfahren und Strukturelemente gemäß einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung erörtert worden. Es können auch andere Verfahren und Strukturelemente verwendet werden. Zum Beispiel können Prüfstrukturen verwendet werden, um die Verifikationsprüfung der 3D-Verkappung oder von 3DIC-Bauelementen zu unterstützen. Die Prüfstrukturen können zum Beispiel in einer Umverteilungsschicht oder auf einem Substrat hergestellte Prüfpads umfassen, die die Prüfung der 3D-Verkappung oder der 3DIC-Bauelemente, die Verwendung von Sonden und/oder Sondenkarten, und dergleichen ermöglichen. Die Verifikationsprüfung kann an Zwischenstrukturen und an Endstrukturen durchgeführt werden. Darüber hinaus können die Strukturen und Verfahren, die hier beschrieben sind, in Zusammenhang mit Prüfungsmethodologien verwendet werden, die eine Zwischenverifikation von erwiesenermaßen guten Dies umfassen, um die Ausbeute zu erhöhen und die Kosten zu senken.
- Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung haben mehrere Vorzüge. Bei herkömmlichen Verfahren wird eine Pufferschicht (eine Polymerschicht) auf der LTHC-Beschichtung hergestellt, bevor die Seed-Schicht hergestellt wird, die zum Herstellen von Durchkontaktierungen verwendet wird. Dieses Verfahren ist auf Grund der Herstellung der Pufferschicht mit erhöhten Herstellungskosten verbunden. Wenn die Pufferschicht nicht hergestellt wird, um die Herstellungskosten zu senken, bleibt kein Rückstand der LTHC-Beschichtung zurück, da die LTHC-Beschichtung bei der Demontage des Trägers entfernt wird und eine Plasma-Reinigung zum Entfernen des Rückstands der LTHC-Beschichtung durchgeführt wird. Dadurch werden die Durchkontaktierungen und das Verkapselungsmaterial (Formmasse) dem Lot und der Unterfüllung ausgesetzt, und es ist keine Pufferschicht vorhanden, um das Lot / die Unterfüllung von den Durchkontaktierungen bzw. der Formmasse zu trennen. Durch die mechanische Spannung kommt es an der Grenzfläche zwischen dem Lot und der Unterfüllung zu einer Schichtablösung. Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung wird die Pufferschicht nicht hergestellt, sodass die Herstellungskosten sinken. Ein Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials bleibt jedoch in der Endstruktur zurück und fungiert als die Pufferschicht. Somit ist das Problem der Schichtablösung behoben.
- Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren die folgenden Schritte auf: Herstellen einer Ablöseschicht über einem Träger; Herstellen einer Metallsäule auf der Ablöseschicht; Verkapseln der Metallsäule in einem Verkapselungsmaterial; Durchführen einer Planarisierung an dem Verkapselungsmaterial, um die Metallsäule freizulegen; Herstellen einer Umverteilungsstruktur über dem Verkapselungsmaterial und der Metallsäule; Zersetzen eines ersten Teils der Ablöseschicht, um einen zweiten Teil der Ablöseschicht von dem Träger zu trennen; und Herstellen einer Öffnung in der Ablöseschicht, um die Metallsäule freizulegen. Bei einer Ausführungsform umfasst das Verfahren weiterhin das Bonden einer Package-Komponente über einen Lötbereich an die Metallsäule, wobei der Lötbereich in die Ablöseschicht hinein reicht, um die Metallsäule zu kontaktieren. Bei einer Ausführungsform erfolgt die Zersetzung des ersten Teils der Ablöseschicht durch Projizieren eines Laserstrahls auf die Ablöseschicht. Bei einer Ausführungsform weist die Ablöseschicht ein Polymer-Grundmaterial und Carbon-Black-Teilchen auf. Bei einer Ausführungsform umfasst das Verfahren nach der Herstellung der Öffnung in der Ablöseschicht weiterhin das Ätzen einer Titanschicht, wobei die Titanschicht ein Teil der Metallsäule ist und nach der Ätzung der Titanschicht die Ablöseschicht bestehen bleibt. Bei einer Ausführungsform trennt vor der Zersetzung der erste Teil der Ablöseschicht den zweiten Teil der Ablöseschicht von dem Träger, und der erste Teil der Ablöseschicht ist in physischem Kontakt mit dem Träger. Bei einer Ausführungsform hat der erste Teil der Ablöseschicht eine erste Dicke vor der Zersetzung, und die Ablöseschicht hat eine zweite Dicke vor der Zersetzung, und ein Verhältnis der ersten Dicke zu der zweiten Dicke liegt in dem Bereich von etwa 30 % bis etwa 50 %.
- Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren die folgenden Schritte auf: Aufbringen eines LTHC-Beschichtungsmaterials auf einen Träger; Herstellen einer Metall-Seed-Schicht in Kontakt mit dem LTHC-Beschichtungsmaterial; Herstellen eines strukturierten Fotoresists über der Metall-Seed-Schicht, wobei ein Teil der Metall-Seed-Schicht durch eine Öffnung in dem strukturierten Fotoresist freigelegt wird; Plattieren einer Metallsäule über der Metall-Seed-Schicht; Entfernen des strukturierten Fotoresists; Ätzen der Metall-Seed-Schicht, um das LTHC-Beschichtungsmaterial freizulegen; Projizieren von Licht auf das LTHC-Beschichtungsmaterial, um einen ersten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials zu zersetzen, wobei ein zweiter Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials zurückbleibt und der erste Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials in Kontakt mit dem Träger ist; Abheben des Trägers; und Herstellen eines Lötbereichs, der durch den zweiten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials hindurchgeht. Bei einer Ausführungsform ist nach der Abhebung des Trägers der zweite Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials eine Schutzschicht. Bei einer Ausführungsform umfasst das Verfahren weiterhin das Herstellen eine Öffnung in dem zweiten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials, wobei der Lötbereich in die Öffnung hinein reicht. Bei einer Ausführungsform wird die Öffnung durch Laserbohren hergestellt. Bei einer Ausführungsform umfasst die Projektion von Licht das Abtasten des gesamten LTHC-Beschichtungsmaterials mit einem Laserstrahl. Bei einer Ausführungsform umfasst das Verfahren weiterhin das Durchführen einer Planarisierung an dem zweiten Teil der LTHC-Beschichtung nach der Abhebung des Trägers. Bei einer Ausführungsform umfasst das Verfahren weiterhin das Ätzen eines Bereichs eines verbliebenen Teils der Metall-Seed-Schicht nach der Abhebung des Trägers und vor der Herstellung des Lötbereichs.
- Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung weist ein Package Folgendes auf: ein Verkapselungsmaterial; eine Durchkontaktierung, die durch das Verkapselungsmaterial hindurchgeht; ein LTHC-Beschichtungsmaterial, das die Durchkontaktierung und das Verkapselungsmaterial kontaktiert; und ein leitendes Strukturelement, das durch das LTHC-Beschichtungsmaterial hindurchgeht. Bei einer Ausführungsform ist das LTHC-Beschichtungsmaterial so konfiguriert, dass es sich durch Wärme von Licht zersetzt. Bei einer Ausführungsform umfasst das leitende Strukturelement einen Lötbereich. Bei einer Ausführungsform weist das Package weiterhin einen Bauelement-Die und eine Die-Befestigungsschicht auf, die den Bauelement-Die an dem LTHC-Beschichtungsmaterial befestigt, wobei der Bauelement-Die und die Die-Befestigungsschicht mit dem Verkapselungsmaterial verkapselt sind. Bei einer Ausführungsform weist das LTHC-Beschichtungsmaterial ein Polymer und Carbon-Black-Teilchen auf. Bei einer Ausführungsform umfasst das LTHC-Beschichtungsmaterial eine erste Vielzahl von Teilen und eine zweite Vielzahl von Teilen, die abwechselnd angeordnet sind, wobei die erste Vielzahl von Teilen dünner als die zweite Vielzahl von Teilen ist.
- Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren die folgenden Schritte auf: Aufbringen eines LTHC-Beschichtungsmaterials auf einen Träger; Platzieren eines Bauelement-Dies und einer Die-Befestigungsschicht auf dem LTHC-Beschichtungsmaterial; Verkapseln des Bauelement-Dies und der Die-Befestigungsschicht in einem Verkapselungsmaterial; Projizieren von Licht, wobei das Licht durch den Träger hindurchgeht, um das LTHC-Beschichtungsmaterial zu erreichen, und wobei ein erster Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials durch das Licht zersetzt wird und ein zweiter Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials nach der Projektion des Lichts bestehen bleibt; und Abheben des Trägers von dem zweiten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials. Bei einer Ausführungsform ist die Die-Befestigungsschicht in direktem Kontakt mit dem LTHC-Beschichtungsmaterial. Bei einer Ausführungsform umfasst die Projektion von Licht das Projizieren eines Laserstrahls. Bei einer Ausführungsform erfolgt die Abtastung mit dem Laserstrahl so, dass er das gesamte LTHC-Beschichtungsmaterial überstreicht. Bei einer Ausführungsform umfasst das Verfahren weiterhin das Herstellen einer Öffnung in dem zweiten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials. Bei einer Ausführungsform umfasst die Herstellung der Öffnung das Durchführen einer Laserbohrung.
- Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung weist ein Package Folgendes auf: einen Bauelement-Die; eine Die-Befestigungsschicht; ein LTHC-Beschichtungsmaterial, wobei die Die-Befestigungsschicht zwischen dem Bauelement-Die und dem LTHC-Beschichtungsmaterial angeordnet ist und mit diesen in Kontakt ist; einen Lötbereich, der durch das LTHC-Beschichtungsmaterial hindurchgeht; und eine Package-Komponente, die über dem Bauelement-Die angeordnet ist und mit dem Lötbereich verbunden ist. Bei einer Ausführungsform weist das LTHC-Beschichtungsmaterial ein Polymer und Carbon-Black-Teilchen auf.
- Bei einigen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung weist ein Package Folgendes auf: ein erstes Package mit einer Formmasse, einem LTHC-Beschichtungsmaterial über und in Kontakt mit der Formmasse, und einem Lötbereich, der durch das LTHC-Beschichtungsmaterial hindurchgeht; ein zweites Package, das über dem ersten Package angeordnet ist und über den Lötbereich an das erste Package gebondet ist; und eine Unterfüllung, die den Lötbereich umschließt und kontaktiert, wobei die Unterfüllung das LTHC-Beschichtungsmaterial kontaktiert. Bei einer Ausführungsform weist das LTHC-Beschichtungsmaterial erste Streifenteile und zweite Streifenteile auf, die abwechselnd angeordnet sind, wobei die ersten Streifenteile und die zweiten Streifenteile gekümpelte Oberseiten haben.
Claims (20)
- Verfahren mit den folgenden Schritten: Herstellen einer Ablöseschicht (22) über einem Träger (20); Herstellen einer Metallsäule (32) auf der Ablöseschicht (22); Verkapseln der Metallsäule (32) in einem Verkapselungsmaterial (48); Durchführen einer Planarisierung an dem Verkapselungsmaterial (48), um die Metallsäule (32) freizulegen; Herstellen einer Umverteilungsstruktur (54; 58; 64) über dem Verkapselungsmaterial (48) und der Metallsäule (32); Zersetzen eines ersten Teils der Ablöseschicht (22), um einen zweiten Teil der Ablöseschicht (22) von dem Träger (20) zu trennen, wobei der erste Teil der Ablöseschicht (22) und der zweite Teil der Ablöseschicht (22) aus einem LTHC-Material bestehen; und Herstellen einer Öffnung (72) in der Ablöseschicht (22), um die Metallsäule (32) freizulegen.
- Verfahren nach
Anspruch 1 , das weiterhin das Bonden einer Package-Komponente über einen Lötbereich (80) an die Metallsäule (32) umfasst, wobei der Lötbereich (80) in die Ablöseschicht (22) hinein reicht, um die Metallsäule (32) zu kontaktieren. - Verfahren nach
Anspruch 1 oder2 , wobei das Zersetzen des ersten Teils der Ablöseschicht (22) durch Projizieren eines Laserstrahls auf die Ablöseschicht (22) erfolgt. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Ablöseschicht (22) ein Polymer-Grundmaterial und Carbon-Black-Teilchen aufweist.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das weiterhin Folgendes umfasst: Ätzen einer Titanschicht nach dem Herstellen der Öffnung (72) in der Ablöseschicht (22), wobei die Titanschicht ein Teil der Metallsäule (32) ist und die Ablöseschicht (22) nach dem Ätzen der Titanschicht bestehen bleibt.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei vor dem Zersetzen der erste Teil der Ablöseschicht (22) den zweiten Teil der Ablöseschicht (22) von dem Träger (20) trennt und der erste Teil der Ablöseschicht (22) in physischem Kontakt mit dem Träger (20) ist.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste Teil der Ablöseschicht (22) eine erste Dicke vor dem Zersetzen hat und die Ablöseschicht (22) eine zweite Dicke vor dem Zersetzen hat und ein Verhältnis der ersten Dicke zu der zweiten Dicke in einem Bereich von etwa 30 % bis etwa 50 % liegt.
- Verfahren mit den folgenden Schritten: Aufbringen eines LTHC-Beschichtungsmaterials (22) (LTHC: Licht-Wärme-Umwandlung) auf einen Träger (20); Herstellen einer Metall-Seed-Schicht (24) in Kontakt mit dem LTHC-Beschichtungsmaterial (22); Herstellen eines strukturierten Fotoresists (26) über der Metall-Seed-Schicht (24), wobei ein Teil der Metall-Seed-Schicht (24) durch eine Öffnung (72) in dem strukturierten Fotoresist (26) freigelegt wird; Plattieren einer Metallsäule (32) über der Metall-Seed-Schicht (24); Entfernen des strukturierten Fotoresists (26); Ätzen der Metall-Seed-Schicht (24), um das LTHC-Beschichtungsmaterial (22) freizulegen; Projizieren von Licht (78) auf das LTHC-Beschichtungsmaterial (22), um einen ersten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials (22) zu zersetzen, wobei ein zweiter Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials (22) bestehen bleibt und der erste Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials (22) in Kontakt mit dem Träger (20) ist; Abheben des Trägers (20); und Herstellen eines Lötbereichs (80), der durch den zweiten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials (22) hindurchgeht.
- Verfahren nach
Anspruch 8 , wobei nach dem Abheben des Trägers (20) der zweite Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials (22) eine Schutzschicht ist. - Verfahren nach
Anspruch 8 oder9 , das weiterhin das Herstellen einer Öffnung (72) in dem zweiten Teil des LTHC-Beschichtungsmaterials (22) umfasst, wobei der Lötbereich (80) in die Öffnung (72) hinein reicht. - Verfahren nach
Anspruch 10 , wobei die Öffnung (72) durch Laserbohren hergestellt wird. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 8 bis11 , wobei das Projizieren des Lichts (78) das Abtasten des gesamten LTHC-Beschichtungsmaterials (22) mit einem Laserstrahl umfasst. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 8 bis12 , das weiterhin das Durchführen einer Planarisierung an dem zweiten Teil der LTHC-Beschichtung nach dem Abheben des Trägers (20) umfasst. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 8 bis13 , das weiterhin das Ätzen eines Bereichs eines verbliebenen Teils der Metall-Seed-Schicht (24) nach dem Abheben des Trägers (20) und vor dem Herstellen des Lötbereichs (80) umfasst. - Package mit: einem Verkapselungsmaterial (48); einer Durchkontaktierung (32), die durch das Verkapselungsmaterial (48) hindurchgeht; einem LTHC-Beschichtungsmaterial (22) (LTHC: Licht-Wärme-Umwandlung), das die Durchkontaktierung (32) und das Verkapselungsmaterial (48) kontaktiert; und einem leitfähigen Strukturelement (80), das durch das LTHC-Beschichtungsmaterial (22) hindurchgeht.
- Package nach
Anspruch 15 , wobei das LTHC-Beschichtungsmaterial (22) derart eingerichtet ist, dass es sich durch Wärme von Licht zersetzt. - Package nach
Anspruch 15 oder16 , wobei das leitfähige Strukturelement einen Lötbereich (80) aufweist. - Package nach einem der
Ansprüche 15 bis17 , das weiterhin Folgendes umfasst: einen Bauelement-Die (36); und eine Die-Befestigungsschicht (38), die den Bauelement-Die (36) an dem LTHC-Beschichtungsmaterial (22) befestigt, wobei der Bauelement-Die (36) und die Die-Befestigungsschicht (38) mit dem Verkapselungsmaterial (48) verkapselt sind. - Package nach einem der
Ansprüche 15 bis18 , wobei das LTHC-Beschichtungsmaterial (22) ein Polymer und Carbon-Black-Teilchen aufweist. - Package nach einem der
Ansprüche 15 bis19 , wobei das LTHC-Beschichtungsmaterial (22) eine erste Mehrzahl von Teilen und eine zweite Mehrzahl von Teilen, die abwechselnd angeordnet sind, umfasst und die erste Mehrzahl von Teilen dünner als die zweite Mehrzahl von Teilen ist.
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201762527221P | 2017-06-30 | 2017-06-30 | |
US62/527,221 | 2017-06-30 | ||
US15/696,886 US10269589B2 (en) | 2017-06-30 | 2017-09-06 | Method of manufacturing a release film as isolation film in package |
US15/696,886 | 2017-09-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102017121289A1 DE102017121289A1 (de) | 2019-01-03 |
DE102017121289B4 true DE102017121289B4 (de) | 2019-06-13 |
Family
ID=64662087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102017121289.2A Active DE102017121289B4 (de) | 2017-06-30 | 2017-09-14 | Verfahren und Package mit einer Ablöseschicht als Trennschicht |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102017121289B4 (de) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170032977A1 (en) | 2015-07-31 | 2017-02-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Redistribution lines having stacking vias |
US20170084543A1 (en) | 2015-09-18 | 2017-03-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor Device and Method of Manufacture |
-
2017
- 2017-09-14 DE DE102017121289.2A patent/DE102017121289B4/de active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170032977A1 (en) | 2015-07-31 | 2017-02-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Redistribution lines having stacking vias |
US20170084543A1 (en) | 2015-09-18 | 2017-03-23 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor Device and Method of Manufacture |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102017121289A1 (de) | 2019-01-03 |
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