DE1020152B - Einrichtung zum serienweisen Evakuieren von Rezipienten - Google Patents

Einrichtung zum serienweisen Evakuieren von Rezipienten

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DE1020152B
DE1020152B DEB41058A DEB0041058A DE1020152B DE 1020152 B DE1020152 B DE 1020152B DE B41058 A DEB41058 A DE B41058A DE B0041058 A DEB0041058 A DE B0041058A DE 1020152 B DE1020152 B DE 1020152B
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pump
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evacuation
air
valve
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Dipl-Ing Hermann Wild
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BALZERS GERAETEVERKAUFSGESELLS
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BALZERS GERAETEVERKAUFSGESELLS
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00Diffusion pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

  • Einrichtung zum serienweisen Evakuieren von Rezipienten Bei der Evakuierung von Rezipienten mittels Öldampfpumpen treten wegen der bekannten Empfindlichkeit der als Treibmittel verwendeten organischen Pumpenöle gegen Lufteinbrüche in die betriebsbereite heiße Pumpe Schwierigkeiten auf. Es ist nicht völlig geklärt, ob diese Schwierigkeiten auf die Oxydation des Treibmittels bei Berührung mit dem Sauerstoff der Luft oder auf Erhöhung der Siedetemperatur durch den Luftdruck - wobei höhere Temperatur die Zersetzung beschleunigt - zurückzuführen sind. Es galt jedenfalls bisher als feststehende technische Regel, Lufteinbrüche in die heiße Pumpe sorgfältig zu vermeiden.
  • Es ist bekannt, zu diesem Zweck das heiße Betriebsmittel vor Luftzutritt abzukühlen, wofür in das Ölbad eingebaute Ölschlangen dienen können. Dieses Verfahren hat aber den Nachteil großen Energieverbrauches. Um zu vermeiden, daß der heißen Pumpe größere Mengen von Luft zugeführt werden, baute man bisher allgemein sogenannte Ventilblöcke, welche zumeist drei oder vier Vakuumventile und entsprechende Anschlüsse zu einem Ganzen vereinigen und gestatten, an den Rezipienten wahlweise entweder nur die mechanische Vorvakuumpumpe unter vollständiger Absperrung der heißen Öldampfpumpe zwecks Vorevakuierung anzuschließen oder - für die Hauptevakuierung - die mechanische Vorpumpe und die Dampfpumpe in Reihe geschaltet mit dem Rezipienten zu verbinden.
  • Ventilblöcke sind kostspielig; in besonderen Fällen sind sie praktisch unzulässig, z. B. bei Pumpautomaten für Elektronenröhren aller Art und für Glühlampen, wenn auf einem sogenannten Karussell eine Vielzahl von voneinander auch bezüglich der Vorpumpen unabhängigen, bewegten Pumpstationen aufgebaut werden soll. Wollte man jede Pumpstation mit einem eigenen Ventilblock versehen, dann würde die Anordnung zu schwer, um im Rhythmus des Arbeitsganges beschleunigt und gebremst werden zu können. Eine unwirtschaftliche Verlängerung der für die Weiterbewegung des Karussells erforderlichen Leerzeiten wäre die Folge. Außerdem würde es einen großen Aufwand bedeuten, alle diese Ventile richtig zu steuern.
  • Man ist daher teilweise bereits dazu übergegangen, in solchen Einzelfällen auf den Schutz des Treibmittels vor Lufteinbrüchen, welche insbesondere während des Wechsels der Rezipienten bei serienweiser Evakuierung auftreten, zu verzichten, und nahm lieber die Gefährdung des Treibmittels in Kauf. Es wurde beobachtet, daß das Treibmittel wieder allmählich regeneriert, wenn die Lufteinbrüche nicht zu häufig sind und nicht zu lange dauern. Überraschenderweise ergab sich sogar, daß eine gewisse Menge Luft, der heißen laufenden Pumpe durch Lufteinbruch von Zeit zu Zeit zugeführt, das Endvakuum erheblich verbessern konnte, und es wurde vermutet, daß diese überraschende Verbesserung auf die Oxydation vonTreibmittelkomponenten mit hohem Dampfdruck zurückzuführen ist, welche dadurch zu permanenten Gasen abgebaut und dann von der Pumpe abgesaugt werden.
  • Die Erfindung hat sich auf Grund dieser Erkenntnis zur Aufgabe gesetzt, eine neue Einrichtung zum serienweisen Evakuieren von Rezipienten, z. B. von Fernsehröhren, zu schaffen. Es ist zwar bereits bekanntgeworden, bei einer Diffusionspumpe, der eine Vorvakuumpumpe vorgeschaltet ist, an einer von der Saugleitung abgesperrten Stelle des Pumpenraumes Luft einzuleiten (Gasballastverfahren). Doch wird dem Sinn des Gasballastverfahrens gemäß der laufenden Pumpe nur so viel Ballastgas, insbesondere Luft, zugeführt, daß die Kondensation von abzupumpenden Dämpfen in der Pumpe sicher vermieden wird, wobei die Ballastgasmenge, wenn das Verfahren bei Diffussionspumpen angewendet wird, die Saugleistung derselben natürlich nicht überschreiten darf, weil sonst die Pumpwirkung zusammenbrechen würde. Der völlig andersartigen Zielsetzung entsprechend gibt daher das bekannte Gasballastverfahren eine von der Lehre der vorliegenden Erfindung völlig abweichende Anweisung darüber, wie groß die zuzuführende Luftmenge bemessen werden soll. Nach dem Gasballastverfahren ist die notwendige Ballastgasmenge nach dem Gesichtspunkt der maximal zulässigen Kompression der mit Dämpfen vermischten abzupumpenden Gase zu ermitteln. Wenn in den abzupumpenden Gasen keine kondensierbaren Dämpfe enthalten sind, ist es unzweckmäßig, Ballastgas in die Pumpe einzuleiten, weil es in diesem Falle nur belasten würde.
  • Nach Vorschlag der Erfindung ist eine Einrichtung zum serienweisen Evakuieren von Rezipienten - z. B. von Fernsehröhren -, welche einen Pumpstand mit Öldiffusionspumpe und vorgeschalteter Vorpumpe und ein Plattenventil zwischen Diffusionspumpe und Rezipienten umfaßt, wobei das Vorevakuieren der Rezipienten durch die betriebsbereite, heiße Diffusionspumpe hindurch erfolgt, so daß bei der Vorevakuierung jedes einzelnen Rezipienten der heißen Diffusionspumpe eine bestimmte Luftmenge zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der dem Anschluß des Rezipienten dienende Teil des Anschlußstutzens über dem Plattenventil unter Berücksichtigung des Rauminhaltes der zu evakuierenden Rezipienten so bemessen ist, daß bei der Vorevakuierung jedes einzelnen Rezipienten der heißen Diffusionspumpe jedesmal gerade diejenige Luftmenge zugeführt wird, die erfahrungsgemäß das niedrigste Endvakuum ergibt, welche Luftmenge je nach Art des Betriebsmittels der Größe und Konstruktion der Pumpe und je nach dem zeitlichen Intervall, mit dem die einzelnen Lufteinbrüche aufeinanderfolgen, ungefähr so viel Liter von Atmosphärendruck beträgt, als die Saugleistung der Pumpe in Liter pro Sekunde bei Arbeitsdruck (Hochvakuum) angibt.
  • Die Erfindung hat nicht speziell das Abpumpen von mit Dämpfen versetzten Gasen zum Ziel, und gemäß der Lehre der Erfindung ist die Luftmenge, die einmalig bei jedem Vorevakuieren eines Rezipienten der laufenden Pumpe zuzuführen ist, nicht nach dem Gesichtspunkt einer Kondensationsverhinderung zu bemessen. Die Erfindung gibt eine Anweisung, wie die bisher beim Vorevakuieren von Rezipienten durch die heiße Diffusionspumpe hindurch als unvermeidbarer Nachteil empfundene Berührung des heißen Betriebsmittels mit größeren Mengen atmosphärischer Luft vorteilhaft dazu benutzt werden kann, um sogar noch eine Verbesserung des Endvakuums zu erreichen, während bisher mangels einer Regel zur richtigen Bemessung der zuzulassenden Luftmenge bei einer Betriebsweise, bei der das Vorevakuieren durch die heiße Diffusionspumpe hindurch erfolgt, stets eine fortwährende Verschlechterung des Treibmittels und damit des Endvakuums durch die periodischen Lufteinbrüche befürchtet werden mußte. Durch die Erfindung ist es möglich, die Nachteile periodischer Lufteinbrüche sicher zu vermeiden, was sich besonders beim serienweisen Evakuieren von Rezipienten betriebswirtschaftlich günstig auswirkt. Überraschenderweise tritt bei einer solchen Einrichtung nach der Erfindung das befürchtete Verderben der Treibmittelfüllung nicht auf, und man hat dabei den Vorteil, daß außer dem genannten Plattenventil und einem etwaigen Flutventil alle sonstigen, bisher erforderlichen Ventile, die in einem Ventilblock zusammengefaßt werden mußten, entfallen können. Es ist kein Ventilblock mehr erforderlich, weil das als einziges dem Pumpenzyklus entsprechend periodisch zu betätigende Plattenventil unmittelbar im Verbindungsrohr zwischen Pumpe und Rezipienten untergebracht und der der Betätigung dienende, durch die Wand des Rohres vakuumdicht hindurchgeführte Hebel an demselben leicht befestigt werden kann.
  • Durch den erfindungsgemäßen Vorschlag wird somit eine bedeutende Vereinfachung des Aufbaues von Vakuumpumpständen für serienweises Evakuieren von Rezipienten, z. B. von Fernsehröhren, erzielt. Zugleich ergibt sich eine Verbesserung der Betriebseigenschaften der Pumpe, vor allem des Endvakuums, wie unten angeführte Messungen gezeigt haben.
  • An Hand der Zeichnung wird die Erfindung näher erläutert.
  • Fig. 1 zeigt schematisch den Aufbau bisher üblicher Pumpstände mit vier Ventilen; Fig. 2 zeigt einen Pumpstand nach der Erfindung. Bei allen bisher verwendeten Pumpständen waren meist eine Diffusionspumpe 1, ein Vorvakuumbehälter 2, eine Vorpumpe 3, ein Ventil 4 zwischen Diffusionspumpe und Vorpumpe, ein Ventil 5 zwischen Vorpumpe und Rezipienten und ein Ventil 6 zwischen Diffusionspumpe und Rezipienten und meist auch ein Flutventil 7 vorgesehen. Der Vakuumbehälter 2 und die Ventile 4, 5, 6 und 7 wurden häufig zu einem Ventilblock zusammengefaßt, welcher entsprechende Anschlüsse für den Rezipienten 8 und für Vor- und Hochvakuumpumpe aufwies. Gegenüber einer Einzelanordnung der genannten Ventile hat ein Ventilblock den Vorteil größere Übersichtlichkeit und leichterer Bedienbarkeit. Um jedoch eine sichere und fehlerfreie Bedienung auch von Seiten nicht geschulten Personals sicherstellen zu können, ist es notwendig, die einzelnen Ventile miteinander so zu koppeln, daß die richtige Reihenfolge der Umschaltungen automatisch zustande kommt. Da ein Ventilblock ein massives Gehäuse aufweist, ergeben sich geringere Dichtungsschwierigkeiten als bei einer Anordnung, bei der alle Ventile und Leitungen aus getrennten Aufbauteilen zusammengefügt sind, welche gedichtet werden müssen.
  • Die Nachteile dieser Ventilblöcke liegen aber in großem Platzbedarf, in der Kostspieligkeit und dem Gewicht. Wenn Pumpautomaten mit einer größeren Anzahl von Pumpstationen aufgebaut werden sollen, wirken sich diese Nachteile ganz besonders aus. Als weitere Umständlichkeit tritt dann noch die etwaige automatische Steuerung der Vielzahl von verschiedenen Ventilen hinzu.
  • Demgegenüber ist ein Pumpstand nach der Erfindung wesentlich vereinfacht, wie ein Beispiel gemäß Fig. 2 zeigt. In Fig. 2 ist die Diffusionspumpe mit 11, die Vorpumpe mit 12, die Verbindungsleitung zwischen den beiden Pumpen mit 13, die Verbindungsleitung zwischen Diffusionspumpe und Rezipienten mit 14, der Rezipient mit 15 und die Ventilplatte des Ventils zwischen Diffusionspumpe und Rezipienten mit 16 bezeichnet. Die mit Dichtung versehene Ventilplatte kann durch einen Hebel 17, welcher mittels eines Faltenbalges 18 in an sich bekannter Weise vakuumdicht durch Wandteil 19 des Verbindungsrohres 14 hindurchgeführt ist, betätigt werden. Zweckmäßigerweise ist Wandteil 19 als Platte ausgebildet, welche an einen kurzen Seitenstutzen 20 des Verbindungsrohres 14 angeflanscht wird.
  • Der Hebel 17 kann durch eine Kurvenscheibe 21 im Rhythmus des Pumpzyklus betätigt werden. Damit beim Öffnen des geschlossenen Ventils gegen Atmosphärendruck der Ventilteller 16 ohne allzu großen Kraftaufwand vom Ventilsitz abgehoben werden kann, ist ein kleines Hilfsventil, bestehend aus Ventilplatte 22, Feder 23 und Führungsbolzen 24 mit Anschlag 25 in der Fig. 2 dargestellten Anordnung vorgesehen. Hebel 17 ist mit dem Ventilteller 22 gelenkig verbunden. Diese Einrichtung bewirkt, daß bei Betätigung des primär am Ventilteller 22 und an dem damit fest verbundenen Bolzen angreifenden Hebels 17 zuerst nur das kleine Hilfsventil geöffnet wird und somit Luft in die Pumpe einströmen kann. Dadurch wird der größere Ventilteller 16 vom Luftdruck entlastet und kann ohne besondere Kraft durch die weitere Betätigung des Hebels 17 abgehoben werden, wobei Anschlag 25 bzw. die Feder 23 den Ventilteller 16 mitnimmt. Das zusätzliche Hilfsventil hat weiter den Vorteil, daß die Geschwindigkeit der in die Pumpe einströmenden Luft so gedrosselt wird, daß kein nennenswertes Mitreißen von Öltröpfchen aus der Öldampfpumpe in den Vorvakuumstutzen erfolgt und daher auf besondere Abscheidevorrichtungen zwischen Diffusionspumpe und Vorvakuumpumpe verzichtet werden kann. Die geöffnete Ventilplatte 16 kann zugleich als Auffänger für die aus der Diffusionspumpe in den Rezipienten zurückströmenden Öldampfmoleküle dienen, so daß besondere Ölkondensatoren meist entbehrlich sind.
  • Um den Rezipienten nach Evakuierung wieder öffnen zu können, z. B. um eine Fernsehröhre von der Röhrenpfeife (wie in diesem Falle die Verbindungsleitung zwischen Hochvakuumpumpe und Rezipienten genannt wird) abziehen zu können, ist, wie schon bisher üblich, ein Flutventil 26 angeordnet, welches nach Wunsch, z. B. bei automatischen Pumpständen ebenfalls durch eine Kurvenscheibe, betätigt werden kann. Die Leitung zwischen Flutventil 26 und dem zu evakuierenden Raum ist mit 27 bezeichnet. In der praktischen Ausführung werden zweckmäßigerweise Flutventil und Kurvenscheiben für Flutventil und Hebel 17 am Verbindungsrohr 14 bzw. an der Platte 19 montiert. In der Fig. 2 sind sie der Übersichtlichkeit wegen getrennt gezeichnet worden.
  • Die Wirksamkeit einer Einrichtung nach der Erfindung im Hinblick auf die Verbesserung des Endvakuums wird durch folgendes vergleichendes Experiment erwiesen: Es wurde zunächst mit einer bestimmten Diffusionspumpe (Saugleistung 1001/sec) und unter Verwendung eines normalen, vorher auf absolute Dichtigkeit geprüften Ventilblockes, wie er in Fig. 1 schematisch dargestellt ist, eine große Fernsehröhre im üblichen Arbeitszyklus evakuiert, d. h., es wurde zuerst bei geöffnetem Ventil 5 und geschlossenen Ventilen 4 und 6 die Vorevakuierung und anschließend bei geöffneten Ventilen 4 und 6 und geschlossenem Ventil 5 die Hauptevakuierung bis zum erreichbaren Endvakuum - in diesem Falle 10-5 Torr -durchgeführt. Bevor das Vakuum durch Einlaß atmosphärischer Luft im Rezipienten wieder aufgehoben wurde, wurde jedesmal - um das heiße Betriebsmittel in der Pumpe vor Luftzutritt zu schützen - Ventil 6 geschlossen. Nach dem Fluten wurde der Rezipient abgezogen und von neuem aufgesetzt, um den Arbeitsvorgang nachzuahmen, wie er beim serienweisen Evakuieren auf Pumpautomaten gegeben ist. Die neuerliche Evakuierung erfolgt in gleicher Weise wie beschrieben. Wie ersichtlich, mußten bei jedem Arbeitszyklus vier Ventile in richtiger Reihenfolge mehrmals betätigt werden.
  • In einem zweiten Versuch wurden dieselbe Diffusionspumpe und dieselbe Vorvakuumpumpe benutzt und zusammen mit einem Verbindungsrohr mit eingebautem Plattenventil, wie es in Fig. 2 dargestellt ist, ein Pumpstand nach der Erfindung aufgebaut. Das verwendete Verbindungsrohr war in seinen Dimensionen (Rauminhalt) gerade so abgestimmt, daß es zusammen mit dem zu evakuierenden Rezipienten ein Volumen von ungefähr 1001 ergab, da in einem Vorversuch mit Rezipienten wechselnder Größe bereits ermittelt worden war, daß für die gerade verwendete Diffusionspumpe diese Luftmenge, etwa alle 10 Minuten der Pumpe zugeführt, das beste Endvakuum ergab. Bei diesem erfindungsgemäßen Pumpstand erfolgte sowohl die Vorevakuierung als auch die Hauptevakuierung durch die laufende heiße Diffusionspumpe hindurch. Lediglich vor dem Abziehen des Rezipienten vom Pumpstand wurde das Plattenventil jedesmal geschlossen, um zu verhindern, daß atmosphärische Luft in undosierter Menge mit dem heißen Betriebsmittel in Berührung kam. Nach neuerlichem vakuumdichtem Aufsetzen des Rezipienten wurde das Plattenventil für die Vorevakuierung wieder geöffnet, und es strömte also jedesmal eine durch den Rauminhalt des Rezipienten und des Verbindungsrohres bestimmte Luftmenge in die heiße Diffusionspumpe ein. Diese Luft führt - nach gegenwärtiger Anschauung - zu einer Oxydation leichtflüchtiger Komponenten des Betriebsmittels, die auf diese Weise zu niedermolekularen Gasen abgebaut und von der laufenden Pumpe abgesaugt werden. Diese laufende Beseitigung flüchtiger Bestandteile durch periodisch mit bestimmten Zeitabständen erfolgende Lufteinbrüche hat eine beachtliche Verbesserung des Endvakuums zur Folge, was sich im vorbeschriebenen Versuch darin zeigte, daß nunmehr Werte von 10-6 Torr sicher und im Dauerbetrieb erreicht wurden.
  • Wie aus dem Beispiel hervorgeht und schon weiter oben erläutert wurde, kann die im Einzelfalle optimale Luftmenge nicht allgemein angegeben, sondern nur durch Vorversuche bestimmt werden. Dieses optimale Luftvolumen hängt von der Größe der Pumpe, von der Menge und Art des darin enthaltenen Betriebsmittels und von der Saugleistung der Pumpe ab, welche bestimmt, wie lange bei der Vorevakuierung die Berührung zwischen Luft hohen Druckes und heißem Betriebsmittel andauert. Weiter hängt das optimale Volumen noch wesentlich ab von der Konstruktion der Pumpe und dem zeitlichen Intervall, mit dem die einzelnen Lufteinbrüche aufeinander folgen. Dieses Intervall ist von Fall zu Fall nach Art des durchzuführenden Pumpprozesses verschieden. So kann das optimale Volumen nur für den jeweiligen Einzelfall, z. B. für das Evakuieren von Fernsehröhren bestimmter Größe, mit bestimmten Pumpständen festgelegt werden. Aus diesem Grunde hat die vorliegende Erfindung ihre vorwiegende Bedeutung für das serienweise Evakuieren von Rezipienten von ungefähr gleichbleibender Größe und ungefähr gleichbleibender Zahl der Lufteinbrüche pro Stunde. Diese vorgenannten Bedingungen müssen jedoch nicht streng eingehalten werden, da der Bereich der Volumina, bei deren Einhaltung gute Ergebnisse erzielt werden können, breit ist. Eine wesentliche Verschlechterung des Endvakuums tritt dann ein, wenn von dem ermittelten optimalen Volumen besonders nach oben stark abgewichen wird. Als brauchbare Regel für die ungefähre Bemessung des Gesamtvolumens (Rezipient plus Anschlußstutzen) über dem Plattenventil, hat sich ergeben, daß dieses ungefähr so viel Liter betragen soll, als die Saugleistung der verwendeten Pumpe in Liter pro Sekunde bei ihrem Arbeitsdruck (Hochvakuum) angibt; bei einer Pumpe mit einer Saugleistung von 50, 100, 2501 pro Sekunde wird also das optimale Gesamtvolumen ungefähr 50, 100, 250 usw. 1 betragen.
  • Die Ermittlung des optimalen Volumens wird zweckmäßigerweise so durchgeführt, daß bei einem vorhandenen Pumpstand nach Art der Erfindung serienweise Evakuierungen mit Rezipienten wechselnder Größe probeweise durchgeführt werden, wobei die Versuchsanordnung in bezug auf Pumpenart, Treibmittel, Pumpzeit, Arbeitszyklus den beabsichtigten Evakuierungsgang für Produktionszwecke möglichst genau nachahmen soll. Man erhält aus einer solchen Versuchsserie für einen Proberezipienten bestimmten Volumens das beste Endvakuum und ist also in der Lage, daraus das optimale Gesamtluftvolumen für den beabsichtigten Zweck als Summe der Volumina von Verbindungsrohr und Proberezipienten zu berechnen. Aus dem Gesamtvolumen ergibt sich das Volumen des für ein bestimmtes zu evakuierendes Gefäß am besten geeigneten Verbindungsrohres.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRÜCHE: Einrichtung zum serienweisen Evakuieren von Rezipienten - z. B. von Fernsehröhren -, welche einen Pumpstand mit Oldiffusionspumpe und vorgeschalteter Vorpumpe und ein Plattenventil zwischen Diffusionspumpe und Rezipienten umfaßt, wobei das Vorevakuieren der Rezipienten durch die betriebsbereite, heiße Diffusionspumpe hindurch erfolgt, so daß bei der Vorevakuierung jedes einzelnen Rezipienten der heißen Diffusionspumpe eine bestimmte Luftmenge zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der dem Anschluß des Rezipienten (15) dienende Teil des Anschlußstutzens (14) über dem Plattenventil (16) unter Berücksichtigung des Rauminhaltes der zu evakuierenden Rezipienten (15) so bemessen ist, daß bei der Vorevakuierung jedes einzelnen Rezipienten der heißen Diffusionspumpe jedesmal gerade diejenige Luftmenge zugeführt wird, die erfahrungsgemäß das niedrigste Endvakuum ergibt, welche Luftmenge je nach Art des Betriebsmittels, der Größe und Konstruktion der Pumpe und je nach dem zeitlichen Intervall, mit dem die einzelnen Lufteinbrüche aufeinanderfolgen, ungefähr so viel Liter von Atmosphärendruck beträgt als die Saugleistung der Pumpe in Liter pro Sekunde bei Arbeitsdruck (Hochvakuum) angibt. In Betracht gezogene Druckschriften Deutsche Patentschrift Nr. 702 4ß0.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1114981B (de) * 1960-06-29 1961-10-12 Leybolds Nachfolger E Verfahren zur Evakuierung von Behaeltern, welche dampffoermige Bestandteile neben Permanentgasen enthalten, und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
US4081222A (en) * 1976-03-04 1978-03-28 Finnigan Corporation Combined vacuum baffle and valve for diffusion pump

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE702480C (de) * 1935-12-22 1941-02-08 Wolfgang Gaede Dr Ein- oder mehrstufige Vakuumpumpe zur Erzeugung tiefer Druecke zum Absaugen von Daempfen und Gas-Dampf-Gemischen

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE702480C (de) * 1935-12-22 1941-02-08 Wolfgang Gaede Dr Ein- oder mehrstufige Vakuumpumpe zur Erzeugung tiefer Druecke zum Absaugen von Daempfen und Gas-Dampf-Gemischen

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1114981B (de) * 1960-06-29 1961-10-12 Leybolds Nachfolger E Verfahren zur Evakuierung von Behaeltern, welche dampffoermige Bestandteile neben Permanentgasen enthalten, und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
US4081222A (en) * 1976-03-04 1978-03-28 Finnigan Corporation Combined vacuum baffle and valve for diffusion pump

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