DE102013213307A1

DE102013213307A1 - Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung und Bestrahlungszeit-Einteilungsverfahren von Ladungsträgerteilchenstrahlen zum mehrfachen Schreiben

Info

Publication number: DE102013213307A1
Application number: DE102013213307.3A
Authority: DE
Inventors: Akihito Anpo; Yasuo Kato; Jun Yashima
Original assignee: Nuflare Technology Inc
Current assignee: Nuflare Technology Inc
Priority date: 2012-07-10
Filing date: 2013-07-08
Publication date: 2014-01-16
Anticipated expiration: 2033-07-09
Also published as: JP2014017391A; DE102013213307B4; KR101477557B1; TWI498668B; JP6027798B2; KR20140007757A; US9141750B2; TW201413369A; US20140017349A1

Abstract

Eine Strahlenschreibvorrichtung enthält eine Einheit zum Erhalten eines bestimmten Werts durch Berechnen eines ganzzahligen Werts durch Dividieren einer Gesamtbestrahlungszeit durch einen multiplizierten Wert einer Anzahl von Bereichen und einer Anzahl von Wiederholungen, und durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts der Anzahl von Wiederholungen, zum Addieren der Anzahl von Wiederholungen zu dem bestimmten Wert, wenn ein Bereich in den mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen ist, und kein bestimmter Bereich ist, und wenn eine Anzahl von Bereichen der mehrfachen Schreibeinheit-Bereiche, definiert mit Ausnahme des bestimmten Bereichs, unterhalb oder gleich zu einem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit durch den multiplizierten Wert der Anzahl von Bereichen und der Anzahl von Wiederholungen, zum Erhalten eines ersten Rests, und Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen, und zum Behandeln eines addierten Werts der Anzahl von Wiederholungen und des bestimmten Werts als eine Gesamtbestrahlungszeit.

Description

Querverweis auf verwandte Anmeldung
Diese Anmeldung basiert und beansprucht die Priorität aus der vorhergehenden japanischen Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer 2012-154457 , angemeldet am 10. Juli 2012 in Japan, deren gesamter Inhalt hier durch Referenz aufgenommen wird.
Hintergrund der Erfindung
Erfindungsgebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung, und ein Einteilungsverfahren einer Bestrahlungszeit von Ladungsträgerteilchenstrahlen für ein mehrfaches Schreiben, und zum Bespiel eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Berechnen der Bestrahlungszeit von jedem Strahl in einem mehrfachen Schreiben.
Stand der Technik
Die Lithographie-Technologie, die eine Mikrominiaturisierung von Halbleitervorrichtungen vorantreibt, ist extrem wichtig, und zwar als ein einzigartiger Prozess, bei dem Muster bei der Halbleiterherstellung ausgebildet werden. Mit der LSI-Hochintegration verringert sich in den letzten Jahren die Linienbreite (kritische Dimension), die für Halbleitervorrichtungsschaltungen erforderlich ist, von Jahr zu Jahr. Zum Ausbilden eines gewünschten Schaltungsmusters auf derartigen Halbleitervorrichtungen bedarf es eines Master- oder „ursprünglichen” Musters (auch als Maske oder Retikel bezeichnet) hoher Genauigkeit. Die Elektronenstrahl-(EB)Schreibtechnologie, die intrinsisch eine exzellente Auflösung aufweist, wird zum Herstellen eines derartigen hochpräzisen Master-Musters verwendet.
16 ist ein schematisches Diagramm zur Erläuterung des Betriebs einer variabel geformten Elektronenstrahl-Schreib- oder „Abbildungs-„Vorrichtung. Wie in der Figur gezeigt, arbeitet die variabel geformte Elektronenstrahl-Schreibvorrichtung wie im Folgenden erläutert. Eine erste Aperturplatte 410 weist eine viereckige Öffnung 411 zum Formgeben eines Elektronenstrahles 330 auf. Eine zweite Aperturplatte 420 weist eine variabel geformte Öffnung 421 zum Formgeben des Elektronenstrahls 330 auf, der durch die Öffnung der ersten Aperturplatte 410 hindurchgetreten ist, in eine gewünschte viereckige Form. Der Elektronenstrahl 330, der von einer Ladungsträgerteilchenquelle 430 emittiert wurde, und durch die Öffnung 411 hindurchgetreten ist, wird durch einen Deflektor abgelenkt, um durch einen Teil der variabel geformten Öffnung 421 der zweiten Aperturplatte 420 hindurchzutreten, und dabei ein Zielobjekt oder ein „Sample” 340 zu bestrahlen, das auf einem Trägertisch platziert ist, der sich kontinuierlich in eine vorbestimmte Richtung (z. B. die x-Richtung) während des Schreibens bewegt. Mit anderen Worten wird eine viereckige Form, die durch sowohl die Öffnung 411 als auch die variabel geformte Öffnung 421 hindurchtreten kann, zum Musterschreiben in einem Schreibbereich des Zielobjekts 340 auf dem Trägertische verwendet, der sich kontinuierlich in die x-Richtung bewegt. Dieses Verfahren zum Ausbilden einer gegeben Form, in dem Strahlen durch sowohl die Öffnung 411 der ersten Aperturplatte 420 als auch der variabel geformten Öffnung 421 der zweiten Aperturplatte 420 hindurchtreten, wird als ein variabel geformtes Strahlen-(engl. Variable-Shaped Beam)Verfahren bezeichnet.
Wenn in der Elektronenstrahl-Schreibvorrichtung ein mehrfaches Schreiben durchgeführt wird, wird eine Schusszeit (Bestrahlungszeit) pro Schuss bzw. Aufnahme berechnet durch ein Dividieren einer gesamten Strahlenbestrahlungszeit (gesamte Schreibzeit) einer Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position mit der Multiplizität. Das herkömmliche Verfahren zum Addieren eines gesamten Rests (Anteils), erhalten durch ein Dividieren der gesamten Strahlenbestrahlungszeit (der gesamten Schreibzeit) durch die Multiplizität zu einem Schuss wurde herkömmlich wurde eingesetzt. Mit dem Fortschritt der Generation von Schreibvorrichtungen tendiert die Multiplizität andererseits dazu anzusteigen, was zu einem Problem führt, das darin besteht, dass es eine Divergenz (Unausgewogenheit) zwischen der Bestrahlungszeit von einem Schuss, zu dem der Rest addiert wurde, und der Bestrahlungszeit von jedem von anderen Schüssen gibt.
Als eine andere Technologie, die für die Schusszeit von jedem Schuss relevant ist, ist das Folgende offenbart: wenn insbesondere eine elementare Dosis auf Grundlage derer ein Muster ausgebildet ist, als Ds definiert ist, wird das erste Zeitschreiben und das zweite Zeitschreiben jeweils unter Verwendung einer Dosis Ds/4 durchgeführt, ohne die Dosis zu korrigieren, und das dritte Zeitschreiben und das vierte Zeitschreiben werden in einem korrigierten Zustand auf Grundlage einer korrigierten Dosis Dc durchgeführt, unter Verwendung einer Dosis (Dc – Ds)/2 + Ds/4 (Verweis auf, z. B., die Japanische Patentanmeldung mit der Veröffentlichungsnummer JP-A 10-261557 ).
Wie oben erläutert besteht ein Problem darin, dass es eine Divergenz (Unausgewogenheit) zwischen der Bestrahlungszeit eines Schusses, zu dem der Rest addiert wurde, und der Bestrahlungszeit von jedem der anderen Schüsse gibt. Wenn z. B. die Bestrahlungszeit gemäß einem Graustufenwert definiert ist, ist die Bestrahlungszeit des Schusses, zu dem der oben beschriebene Rest addiert wurde, länger als die Bestrahlungszeit von jedem der anderen Schüsse, um bis zu (Multiplizität – eine Graustufe). Wenn z. B. die Multiplizität auf bis zu 1024 eingestellt werden kann, kann ein Rest von bis zu 1023 Graustufen erzeugt werden. Wenn z. B. ein Muster, dessen Gesamtbestrahlungszeit 2047 Graustufen ist, mit der Multiplizität von 1024 geschrieben wird, besteht die Möglichkeit eines Falles, bei dem ein bestimmtes n-tes Schreiben durch eine Bestrahlungszeit von 1024 Graustufen durchgeführt wird, und das Schreiben von jedem der anderen 1023 Male durch die Bestrahlungszeit von einer Graustufe durchgeführt wird. Dies verursacht z. B. ein Problem, das auf der Verschlechterung der Schreibgenauigkeit aufgrund von Wärme verursacht wird. Selbst dann, wenn die gleiche Bestrahlungsdosis verwendet wird, ist die ausgebildete Dimension dicker, wenn eine Bestrahlung zu einem Zeitpunkt durchgeführt wird, verglichen mit dem Fall einer separat durchgeführten Bestrahlung. Daher tritt ein Problem auf, das darin besteht, dass dann, wenn eine große Dosisdifferenz zwischen jedem Zeitpunkt des mehrfachen Schreibens erzeugt wird, ein unzulässiger Einfluss auf die ausgebildete Dimension ausgeübt wird. In dem Fall der simultanen Bestrahlung einer Vielzahl von Strahlen (z. B. ein Fall eines mehrfachen Strahlenschreibens), wird darüber hinaus, z. B., ein Problem erzeugt, das in der Verringerung der Schreibverarbeitungsgeschwindigkeit besteht, da ein folgender Schuss nicht ausgeführt werden kann, bis ein Schuss der längsten Bestrahlungszeit beendet wurde.
Da ferner in dem Fall des mehrfachen Schreibens das Schreiben durchgeführt wird, während die Position eines Schreibeinheit-Bereiches verschoben wird, wie z. B. ein Streifenbereich und ein unterer Feldbereich, und da ferner in jedem Schreibeinheit-Bereich, ein mehrfaches Schreiben wiederholt durchgeführt wird, ohne die Position zu verschieben, ist es wünschenswert, keine Divergenz der Gesamtbestrahlungszeit zwischen Schreibeinheit-Bereichen soweit wie möglich auszubilden, um die Unausgewogenheit der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen bzw. Aufnahmen zu unterdrücken.
KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst eine Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung: eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21), konfiguriert zum Erhalten eines bestimmten Werts durch Berechnen eines ganzzahligen Werts durch eine Division einer Gesamtbestrahlungszeit „n” von Ladungsträgerteilchenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen auf eine gleiche Position durch einen multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren einer Mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichszahl, wobei es sich um eine Anzahl einer Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens handelt, während eine Position verschoben wird, durch eine Anzahl von Wiederholungen „r”, wobei es sich um eine Anzahl von Wiederholungen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens ohne eine Verschiebung einer Position in jeder der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen handelt, und durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, zum Addieren der Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem bestimmten Wert, wenn ein mehrfacher Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen ist und kein bestimmter mehrerer Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Regionen eingestellt wurde, und wenn eine Mehrere-Schreibeinheit-Bereichszahl des Mehreren- Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehreren Schreibeinheit-Bereichs, kleiner als oder gleich zu einem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der berechnet wird durch Multiplizieren der Mehreren-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, um einen ersten Rest zu erhalten, und ferner zum Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln eines addierten Werts von „r” und des bestimmten Werts, als eine Gesamtbestrahlungszeit eines Ladungsträgerteilchenstrahls in dem mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position, zum Behandeln des bestimmten Werts, als die Gesamtbestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in dem mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position, wenn der mehrfache Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen ist und nicht der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich, der vorher in der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, und wenn die mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl des mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, nicht kleiner als oder gleich zu dem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Addieren eines zweiten Rests zu dem bestimmten Wert, wenn der mehrfache Schreibeinheit-Bereich der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, wobei der zweite Rest erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln eines addierten Werts des zweiten Rests und des bestimmten Werts, als die Gesamtbestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in dem mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; und eine Schreibeinheit, konfiguriert zum Schreiben eines Musters auf einem Zielobjekt durch Bestrahlen des Zielobjekts mit den Ladungsträgerteilchenstrahlen, sodass die Gesamtbestrahlungszeit jedem der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen entspricht.
Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst ein Bestrahlungszeit-Einteilungsverfahren von Ladungsträgerteilchenstrahlen zum mehrfachen Schreiben: Berechnen eines Werts, der auszugeben ist, durch Erhalten eines ganzzahligen Werts durch Dividieren einer Gesamtbestrahlungszeit „n” durch einen multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren einer Mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” mit einer Anzahl von Wiederholungen „r”, durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Addieren der Anzahl von Wiederholungen „r” zu einem multiplizierten ganzzahligen Wert, und Behandeln des Werts als eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit eines Ladungsträgerteilchenstrahls in einem diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in Ladungsträgerteilchenstrahlen einer Vielzahl von Schussvorgängen auf eine gleiche Position, wenn der diesbezügliche mehrfache Schreibeinheit-Bereich in einer Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens ist, während eine Position verschoben wird, und kein bestimmter mehrfacher Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, und dann, wenn eine Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl des diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, geringer als oder gleich zu einem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position durch den multiplizierten Wert, der berechnet wird durch Multiplizieren der Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl „m”, wobei es sich um eine Anzahl einer Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen handelt, mit einer Anzahl von Wiederholungen „r”, wobei es sich um die Anzahl von Wiederholungen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens handelt, ohne eine Position zu verschieben, in jedem der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, um einen ersten Rest zu erhalten, und ferner ein Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”; Berechnen eines Werts, der ausgegeben ist, durch Erhalten des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren der Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des Werts als die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in dem diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position, wenn der diesbezügliche mehrfache Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen ist, und nicht der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, und dann, wenn die Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl des diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, nicht kleiner als oder gleich einem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”; und Berechnen eines Werts, der auszugeben ist, durch Erhalten des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren der Mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts mit der Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Addieren eines zweiten Rests aus der Division der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu einem multiplizierten ganzzahligen Wert, und Behandeln des Werts als die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in den diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position, wenn die diesbezügliche mehrfache Schreibeinheit-Bereich der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereiches, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist ein schematisches Diagramm zur Darstellung einer Konfiguration einer Schreibvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform;
2 ist ein schematisches Diagramm zur Erläuterung eines Schreibverfahrens gemäß der ersten Ausführungsform;
3 ist ein schematisches Diagramm zur Erläuterung einer SF-Schicht gemäß der ersten Ausführungsform;
4A bis 4E zeigen Beispiele einer Schreibreihenfolge gemäß der ersten Ausführungsform;
5 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung wesentlicher Schritte eines Einstellverfahrens für eine Bestrahlungszeit und eines Erzeugungsverfahrens von Schuss- bzw. Aufnahmedaten gemäß der ersten Ausführungsform;
6 zeigt ein Beispiel einer Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß der ersten Ausführungsform eingeteilt wird;
7 zeigt ein Beispiel einer Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß einem Vergleichsbeispiel gegenüber der ersten Ausführungsform eingeteilt ist;
8 zeigt ein Beispiel einer Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß einem weiteren vergleichenden Beispiel gegenüber der ersten Ausführungsform eingeteilt ist;
9 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung von jedem Schritt eines Bestrahlungszeit-Einteilungsverfahrens gemäß einem weiteren vergleichenden Beispiel gegenüber der ersten Ausführungsform;
10 ist ein schematisches Diagramm zur Darstellung einer Konfiguration einer Schreibvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform;
11 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung wesentlicher Schritte von einem Einstellverfahren einer Bestrahlungszeit und einem Erzeugungsverfahren von Schuss- bzw. Aufnahmedaten gemäß der zweiten Ausführungsform;
12 zeigt ein Beispiel einer Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß der zweiten Ausführungsform eingeteilt ist;
13 ist ein schematisches Diagramm zur Darstellung einer Konfiguration einer Schreibvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform;
14 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung wesentlicher Schritte von einem Einstellverfahren einer Bestrahlungszeit und einem Erzeugungsverfahren von Schuss- bzw. Aufnahmedaten gemäß der dritten Ausführungsform;
15 zeigt ein Beispiel einer Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß der dritten Ausführungsform eingeteilt ist; und
16 ist ein schematisches Diagramm zur Erläuterung von Operationen einer Schreibvorrichtung für einen variabel geformten Elektronenstrahl.
Detaillierte Beschreibung der Erfindung
In den folgenden Ausführungsformen wird eine Vorrichtung und ein Verfahren beschrieben, das eine unausgeglichene Art und Weise der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen bzw. Aufnahmen unterdrücken kann.
Darüber hinaus wird in den folgenden Ausführungsformen eine Struktur erläutert, bei der ein Elektronenstrahl als ein Beispiel eines Ladungsträgerteilchenstrahls verwendet wird. der Ladungsträgerteilchenstrahl ist nicht auf den Elektronenstrahl beschränkt, und ein anderer Ladungsträgerteilchenstrahl, wie zum Beispiel ein Ionenstrahl, kann ebenfalls verwendet werden. Darüber hinaus wird eine Schreibvorrichtung für einen variabel geformten Elektronenstrahl als ein Beispiel einer Ladungsträgerteilchenstrahl-Vorrichtung beschrieben.
Ausführungsform 1
1 ist ein schematisches Diagramm zur Darstellung einer Konfiguration einer Schreibvorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform. Gemäß 1 umfasst eine Schreibvorrichtung 100 eine Schreibeinheit 150 und eine Steuereinheit 160. Die Schreibvorrichtung 100 ist ein Beispiel einer Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung, und insbesondere ein Beispiel einer Schreibvorrichtung für einen variabel geformten Elektronenstrahl (engl. Variable-shaped Electron Beam bzw. VSB). Die Schreibeinheit 150 enthält einen Elektronobjektiv-Tubus 102 und eine Schreibkammer 103. In dem Elektronobjektiv-Tubus 102 sind eine Elektronenkanonen-Anordnung 201, ein Blanking- bzw. Austastdeflektor (Blanker) 212, eine Blanking- bzw. Austastapertur 214, eine Beleuchtungslinse 202, eine erste Formgebungsapertur 203, eine Projektionslinse 204, ein Deflektor 205, eine zweite Formgebungsapertur 206, eine Objektivlinse 207, ein Hauptdeflektor 208 und ein Unterdeflektor 209 angeordnet. In der Schreibkammer 103 ist ein XY-Trägertisch 105 angeordnet, der zumindest in die x- und y-Richtungen bewegbar ist. Auf dem XY-Trägertisch 105 ist ein Zielobjekt 101 (Substrat) platziert, das als ein Schreibziel dient, auf dem ein Resist bzw. Photolack angewendet wird. Das Zielobjekt 101 ist zum Beispiel eine Maske für eine Aufnahme, ein Silizium-Wafer, usw., der zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen verwendet wird. Die Maske ist zum Beispiel ein Maskenrohling, an dem ein Muster noch nicht ausgebildet wurde.
Die Steuereinheit 160 enthält eine Steuercomputereinheit 110, eine Steuerschaltung 120 und Speichervorrichtungen 140 und 142, wie zum Beispiel ein Magnetplattenlaufwerk. Die Steuercomputereinheit 110, die Steuerschaltung 120 und die Speichervorrichtungen 140 und 142 sind miteinander über einen Bus (nicht gezeigt) verbunden.
In der Steuercomputereinheit 110 sind eine Gesamtbestrahlungszeit-„n”-Berechnungseinheit 11, eine Schussdaten-Erzeugungseinheit 12, eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 21, eine Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit 111 und eine Schreibsteuereinheit 56 angeordnet. Jede Funktion, wie zum Beispiel die Gesamtbestrahlungszeit-„n”-Berechnungseinheit 11, die Schussdaten-Erzeugungseinheit 12, die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 21, die Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit 111 und die Schreibsteuereinheit 56 können durch Software konfiguriert werden, wie zum Beispiel ein Programm, welches bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch eine Hardware, wie zum Beispiel eine elektronische Schaltung.
Alternativ können diese durch eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
In der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 121 sind Berechnungseinheiten 23, 24, 26 und 29 und Bestimmungseinheiten 27 und 28 angeordnet. Jede Funktion, wie zum Beispiel die Berechnungseinheiten 23, 24, 26 und 29 und die Bestimmungseinheiten 27 und 28 können durch Software konfiguriert werden, wie zum Beispiel ein Programm, welches bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch Hardware, wie zum Beispiel eine elektronische Schaltung. Alternativ können diese durch eine Kombination durch Software und Hardware konfiguriert werden.
In der Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit 111 sind eine Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 31, eine Nicht-bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 41 und Bestimmungseinheiten 50, 52 und 54 angeordnet. Jede Funktion, wie zum Beispiel die Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 31, die Nicht-bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 41 und die Bestimmungseinheiten 50, 52, 54 können durch Software konfiguriert werden, wie zum Beispiel ein Programm, welches bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch Hardware, wie zum Beispiel eine elektronische Schaltung. Alternativ können diese durch eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
In der Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 31 sind Berechnungseinheiten 37 und 34, eine Kopierverarbeitungseinheit 32, Bestimmungseinheiten 33 und 36 und eine Einstelleinheit 35 angeordnet. Jede Funktion, wie zum Beispiel die Berechnungseinheiten 37 und 34, die Kopierverarbeitungseinheit 32, die Bestimmungseinheiten 33 und 36 und die Einstelleinheit 35 können durch Software konfiguriert werden, wie zum Beispiel ein Programm, welches bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch Hardware, wie zum Beispiel eine elektronische Schaltung. Alternativ können diese durch eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
In der Nicht-Bestimmte-Schicht-Bestrahlungs-Berechnungseinheit 41 sind eine Berechnungseinheit 42, eine Einstelleinheit 44 und Kopierverarbeitungseinheiten 46 und 48 angeordnet. Jede Funktion, wie zum Beispiel die Berechnungseinheit 42, die Einstelleinheit 44 und die Kopierverarbeitungseinheiten 46 und 48 können durch Software konfiguriert werden, wie zum Beispiel ein Programm, welches bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch Hardware, wie zum Beispiel eine elektronische Schaltung. Alternativ können diese durch eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
Eingangsdaten, die in der Steuercomputereinheit 110 notwendig sind, oder ein berechnetes Resultat werden jedes Mal in dem Speicher 112 gespeichert.
Musterdaten (Schreibdaten) wurden von außen eingegeben, und wurden in der Speichereinheit 140 gespeichert.
1 zeigt eine Struktur, die zur Erläuterung der ersten Ausführungsform notwendig ist. Andere Strukturelemente, die im Allgemeinen für die Schreibvorrichtung 100 notwendig sind, können ebenfalls enthalten sein.
2 ist ein schematisches Diagramm zur Erläuterung eines Schreibverfahrens gemäß der ersten Ausführungsform. In der Schreibvorrichtung 100 wird der Schreibbereich des Zielobjekts 101 virtuell in eine Vielzahl von streifenförmigen Streifenregionen 20 unterteilt. 2 zeigt den Fall, wenn zum Beispiel ein Chip in dem Schreibbereich 10 des Zielobjekts 101 geschrieben wird. Es muss nicht erwähnt werden, dass eine Vielzahl von Chips in dem Schreibbereich 10 des Zielobjekts 101 geschrieben werden können. Das Unterteilen wird derart durchgeführt, dass die Breite des Streifenbereichs 20 eine Breite ist, die etwas kleiner als eine Breite ist, die durch den Hauptdeflektor 208 abgelenkt werden kann. Wenn ferner ein mehrfaches Schreiben in dieser Streifenregion-Einheit durchgeführt wird (ein Beispiel einer mehrfachen Schreibeinheit-Region), wird der Schreibbereich 10 virtuell in eine Vielzahl von streifenförmigen Streifenregionen 22 unterteilt, das durch Verschieben der Position durchgeführt wird. Es wird bevorzugt, dass der Streifenbereich 22 zum Beispiel durch Verschieben in die x- und y-Richtungen durch ½ der Breite der Streifenbereich 20 verschoben wird. In einem derartigen Fall werden beim mehrfachen Schreiben eine Vielzahl von Streifenbereichen 20 als erste Streifenschicht (STL1) eingestellt und eine Vielzahl von Streifenbereichen 22 werden als die zweite Streifenschicht (STL2) eingestellt. 2 zeigt den Fall von zwei Streifenschichten, d. h., dass eine Multiplizität in dem Streifenbereich zum Beispiel 2 ist. Diese ist jedoch nicht darauf beschränkt. Es ist ebenfalls akzeptabel, die Multiplizität in den Streifenbereich auf 3 oder mehr einzustellen. Wenn zum Beispiel die Multiplizität in dem Streifenbereich auf α eingestellt ist, wird bevorzugt, dass der Streifenbereich 22 zum Beispiel durch Verschieben in die x- und y-Richtungen (oder zumindest in die y-Richtung) um 1/α der Breite des Streifenbereichs 20 eingestellt ist.
Beim Durchführen des Schreibens auf das Zielobjekt 101 wird der XY-Trägertisch 105 zum Beispiel kontinuierlich in die x-Richtung bewegt. Während der kontinuierlichen Bewegung bestrahlt der Elektronenstrahl 200 somit einen Streifenbereich 20. Der XY-Trägertisch 105 wird zum Beispiel kontinuierlich in die x-Richtung bewegt, und es wird bewirkt, dass die Schuss- bzw. Aufnahmeposition des Elektronenstrahls 200 simultan der Trägertischbewegung durch den Hauptdeflektor 208 folgt. Es ist möglich, die Schreibzeit zu verkürzen, indem eine kontinuierliche Bewegung durchgeführt wird. Es wird weiter bevorzugt, die Schreibzeit zu reduzieren, indem der XY-Trägertisch 105 in einer variablen Geschwindigkeit bewegt wird, wie zum Beispiel einer relativ geringen Schreibgeschwindigkeit in einem hohen musterdichten Bereich und einer relativ hohen Schreibgeschwindigkeit in einem geringen musterdichten Bereich. Nach dem Schreiben eines Streifenbereichs 20 der ersten Schicht (STL1), wird der XY-Trägertisch 105 in die y-Richtung durch ein schrittweises Vorschieben bewegt, und dann wird der Schreibbetrieb in der x-Richtung (zum Beispiel in einer umgekehrten Richtung zu diesem Zeitpunkt) für den Streifenbereich 22 bezüglich der zweiten Schicht (STL2) durchgeführt. Nach dem Schreiben des Streifenbereichs 22 wird der XY-Trägertisch 105 in die y-Richtung durch schrittweises Vorschieben bewegt, und dann wird der Schreibbetrieb in der x-Richtung (zum Beispiel eine umgekehrte Richtung zu diesem Zeitpunkt) für den nächsten Streifenbereich 20 der ersten Schicht (STL1) durchgeführt. Nach dem Schreiben des Streifenbereichs 20 wird der XY-Trägertisch 105 in die y-Richtung durch ein schrittweises Vorschieben bewegt, und dann wird ein Schreibbetrieb in der x-Richtung (zum Beispiel in umgekehrte Richtung zu diesem Zeitpunkt) für den Streifenbereich 22 bezüglich der zweiten Schicht (STL2) durchgeführt. Diese Operationen werden eine nach der anderen durchgeführt. Durch die Durchführung des Schreibbetriebs in einer Zickzackform, jeweils für jeden Streifenbereich 20 und jeden Streifenbereich 22, kann die Bewegungszeit des XY-Trägertisches 105 verkürzt werden. Alternativ wird ebenso bevorzugt, den Schreibbetrieb von jedem Streifenbereich 20 und jedem Streifenbereich 22 in der gleichen Richtung durchzuführen (zum Beispiel in die positive Richtung der x-Richtung).
3 ist ein schematisches Diagramm zur Erläuterung einer SF-Schicht gemäß der ersten Ausführungsform. Beim Schreiben jedes Streifenbereichs 20 wird jeder Streifenbereich 20 virtuell in eine Vielzahl von netzartigen Unterfeld- (engl. Subfield bzw. SF) Bereichen 30 unterteilt, und das Schreiben wird für jedes SF durchgeführt. Die Unterteilung wird derart durchgeführt, dass die Breite des SF-Bereichs 30 eine Breite ist, die geringfügig kleiner als eine Breite ist, die durch den Unterdeflektor 209 abgelenkt werden kann. Der SF-Bereich ist ein minimaler Deflektions- bzw. Ablenkungsbereich in den Bereichen, die durch die Schreibvorrichtung 100 einer Zweistufenablenkung geschrieben werden. Wenn ferner ein mehrfaches Schreiben pro SF-Bereichseinheit durchgeführt wird (ein Beispiel von einem mehrfachen Schreibeinheitsbereich), wird der Streifenbereich 20 virtuell in eine Vielzahl von netzartigen SF-Bereichen 40 unterteilt, indem die Positionen verschoben werden. Es wird zum Beispiel bevorzugt, dass der SF-Bereich 40 durch Durchführung einer Verschiebung in die x- und y-Richtungen um der Breite des SF-Bereichs 30 eingestellt wird. In diesem Fall werden beim Mehrfachschreiben eine Vielzahl von SF-Bereichen 30 für die erste SF-Schicht (SFL1) eingestellt, und eine Vielzahl von SF-Bereichen 40 wird als die zweite SF-Schicht (SFL2) eingestellt. Bezüglich jedes Streifenbereichs 22, wird ein virtuelles Unterteilen auf die gleiche Art und Weise in eine Vielzahl von netzartigen SF-Bereichen 30 und 40 durchgeführt, und das Schreiben wird für jedes SF durchgeführt. 3 zeigt zum Beispiel den Fall von zwei SF-Schichten, d. h., dass die Multiplizität in dem SF-Bereich 2 ist. Diese ist jedoch nicht darauf beschränkt. Es ist ebenso akzeptabel, die Multiplizität in dem SF-Bereich auf 3 oder mehr einzustellen. Wenn zum Beispiel die Multiplizität in dem SF-Bereich auf β eingestellt ist, wird bevorzugt, dass der SF-Bereich 40 durch Verschieben in die x- und y-Richtungen (oder zumindest in die y-Richtung) eingestellt wird, zum Beispiel um 1/β der Breite des SF-Bereichs 30.
Die 4A bis 4E zeigen Beispiele einer Schreibreihenfolge gemäß der ersten Ausführungsform. In dem Beispiel der 4A bis 4E wird, bezüglich jedes Streifens, der Schreibbetrieb derart gesteuert, dass das Schreiben der ersten SF-Schicht und das Schreiben der zweiten SF-Schicht abwechselnd wiederholt werden, pro SF-Bereichsgruppe, die aus einer Vielzahl von SF-Bereichen bestehen, die in der Richtung (y-Richtung) senkrecht zu der Bewegungsrichtung (x-Richtung) des XY-Trägertischs 105 angeordnet sind. Gemäß der Steuerung, wie in 4A gezeigt, wird zuerst bezüglich der ersten Spalte der ersten SF-Schicht ein Schreiben startend von dem unteren linken SF-Bereich 30 in der y-Richtung in einer Reihenfolge durchgeführt. Nachdem die gesamte erste Spalte der ersten SF-Schicht in dem Zielstreifenbereich 20 geschrieben wurde, wird als nächstes bezüglich der ersten Spalte der SF-Schicht, wie in 4B gezeigt, ein Schreiben durchgeführt, startend von dem unteren linken SF-Bereich 40 in der y-Richtung in einer Reihenfolge. Nachdem die gesamte erste Spalte der zweiten SF-Schicht in dem Zielstreifenbereich 20 geschrieben wurde, wird dann als nächstes bezüglich der zweiten Spalte der ersten SF-Schicht, wie in 4C gezeigt, ein Schreiben durchgeführt, startend von dem unteren linken SF-Bereich 30 in der y-Richtung in einer Reihenfolge. Nachdem die gesamte zweite Spalte der ersten SF-Schicht in dem Zielstreifenbereich 20 geschrieben wurde, wird dann bezüglich der zweiten Spalte der zweiten SF-Schicht, wie in 4D gezeigt, ein Schreiben durchgeführt, startend von dem unteren linken SF-Bereich 40 in die y-Richtung in einer Reihenfolge. Gleichermaßen wird ein Streifenbereich 20, wie in 4E gezeigt, geschrieben, pro SF-Spalte, indem abwechselnd das Schreiben der ersten SF-Schicht und der zweiten SF-Schicht wiederholt wird. Bezüglich des Streifenbereichs 22 wird ein vergleichbarer Betrieb durchgeführt.
Während der XY-Trägertisch kontinuierlich in die X-Richtung bewegt wird (vorbestimmte Richtung), wiederholt die Schreibeinheit 150 abwechselnd ein Schreiben pro SF-Spalte, der ersten SF-Schicht und der zweiten SF-Schicht, unter Verwendung des Elektronenstrahls 200, wie in den 4A bis 4E gezeigt. Obwohl in diesem Fall das Schreiben pro SF-Spalte wiederholt wird, ist dieses nicht darauf beschränkt. Es ist ebenfalls akzeptabel, das Schreiben der ersten SF-Schicht und das Schreiben der zweiten SF-Schicht abwechselnd durchzuführen, wiederholend pro SF-Bereich.
Wie obenstehend in den Beispielen der 2 und 3 beschrieben, ist die Anzahl der Schichten zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens, während die Position verschoben wird, gleich vier (2 × 2) Schichten, da diese durch zwei Streifenschichten und zwei SF-Schichten konfiguriert ist. Im Fall einer Konfiguration durch α Streifenschichten und β SF-Schichten ist, mit anderen Worten, die Anzahl der Schichten zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens während der Verschiebung der Position gleich α × β = m.
Bezüglich des mehrfachen Schreibens gibt es eine andere Art und Weise zum Durchführen des mehrfachen Schreibens, indem das Schreiben in dem gleichen mehrfachen Schreibeinheitsbereich wiederholt wird, ohne die Position zu verschieben. Zum Beispiel wird nach Abschluss des Schreibens (Schuss bzw. Aufnahme) in einem SF der ersten SF-Schicht das Schreiben (Schuss bzw. Aufnahme) erneut in dem gleichen SF wiederholt. Wenn in dem Fall, dass die Anzahl der Wiederholungen gleich „r” pro SF-Schicht ist, die Anzahl der Schichten zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens während der Verschiebung der Positionen gleich „m” ist, die Multiplizität N des Schusses des Strahls, der die gleiche Position bestrahlt, gleich m × r.
Wenn ein Muster auf dem Zielobjekt 101 geschrieben wird, ist es daher notwendig, die Dosis von jedem Schuss einzuteilen, so dass die Gesamtdosis der Elektronenstrahl-Bestrahlung von einer Vielzahl von Schüssen an der gleichen Position eine vorab eingestellt Dosis sein kann. Eine Dosis D kann durch eine Bestrahlungszeit „t” zum Bestrahlen des Elektronenstrahls einer vorab eingestellten Stromdichte J gesteuert werden.
Dann liest die Gesamtbestrahlungszeit-„n”-Berechnungseinheit 11 zuerst Musterdaten aus der Speichervorrichtung 140, und berechnet eine Bestrahlungszeit, die für jeden vorbestimmten Netzbereich erforderlich ist, der durch die virtuelle Unterteilung des Schreibbereichs 10 hergestellt wird. Die Bestrahlungszeit kann als ein Wert erhalten werden, der durch Dividieren einer notwendigen Dosis D durch eine Stromdichte J berechnet wird. Es wird für die Dosis D bevorzugt, dass diese ein Wert ist, der durch Korrektur von Dimensionsvariationsfaktoren, wie zum Beispiel Proximity-Effekt, Fogging-Effekt und Loading-Effekt, erhalten wird. Beim Durchführen eines mehrfachen Schreibens an einer Position in einem diesbezüglichen Netzbereich dient die Bestrahlungszeit, die für den betrachteten Netzbereich erlangt wird, als die Gesamtbestrahlungszeit „n” einer Elektronenstrahlbestrahlung einer Vielzahl von Schüssen bzw. Aufnahmen der gleichen Position.
Es wird dann eine Aufgabe, wie die Gesamtbestrahlungszeit „n” unter der Bestrahlungszeit „t” einer Vielzahl von Schüssen (m × r mal) zum mehrfachen Schreiben der gleichen Position eingeteilt wird. Wie oben erläutert, bewirkt das Verfahren zum Addieren eines gesamten Rests (Fraktion bzw. Anteil), erhalten durch Teilen bzw. Dividieren der Gesamtstrahlbestrahlungszeit (die Gesamtschreibzeit) durch die Multiplizität N für einen Schuss bzw. eine Aufnahme, ein Problem darin, dass es eine Divergenz (unausgewogene Art und Weise) zwischen der Bestrahlungszeit von einem Schuss, zu dem der Rest addiert wurde, und der Bestrahlungszeit von jedem der anderen Schüsse gibt. Wenn zum Beispiel die Bestrahlungszeit gemäß dem Wert einer Graustufe definiert wird, ist die Bestrahlungszeit des Schusses bzw. der Aufnahme, zu der der oben beschriebene Rest addiert wurde, länger als die Bestrahlungszeit von jedem der anderen Schüsse um bis zu (Multiplizität – 1 Graustufe). Wenn zum Beispiel die Multiplizität auf 1024 eingestellt werden kann, kann ein Rest von bis zu 1023 Graustufen erzeugt werden. Wenn zum Beispiel ein Muster, dessen Gesamtbestrahlungszeit 2047 Graustufen ist, durch die Multiplizität von 1024 geschrieben wird, gibt es die Möglichkeit eines Falls, bei dem ein bestimmtes Schreiben n-ter Nummer durch eine Bestrahlungszeit von 1024 Graustufen durchgeführt wird, und das Schreiben von jedem der anderen 1023 mal durch die Bestrahlungszeit von einer Graustufe durchgeführt wird. In der ersten Ausführungsform wird dann ein Verfahren zum Reduzieren einer Differenz der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen zum mehrfachen Schreiben an der gleichen Position erläutert.
5 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung wesentlicher Schritte eines Einstellverfahrens von einer Bestrahlungszeit und eines Erzeugungsverfahrens von Schussdaten gemäß der ersten Ausführungsform.
Im Schritt S102, als ein Schussdaten-Erzeugungsschritt, liest die Schussdaten-Erzeugungseinheit 12 Musterdaten aus der Speichervorrichtung 140, und führt eine Datenwandlungsverarbeitung einer Vielzahl von Schritten durch, um vorrichtungsspezifische Schussdaten zu erzeugen. Die Figurenmuster, die in den Musterdaten definiert sind, werden in eine Vielzahl von Schussfiguren unterteilt, deren Größe durch einen Strahlenschuss bzw. eine Strahlenaufnahme geformt werden kann, und werden als Schussdaten erzeugt. In den Schussdaten werden eine Figurenart, Koordinaten (X, Y), die eine Bestrahlungsposition zeigen, eine Figurengröße (L, M) und dergleichen für jede Schussfigur definiert. Da Streifenschichten und SF-Schichten durch Verschieben der Position definiert sind, sind die relative Position von jedem SF-Bereich 30 der ersten Schicht und die relative Position von jedem SF-Bereich 40 der zweiten Schicht in jedem Streifenbereich 20 der ersten Streifenschicht voneinander unterschiedlich. Vergleichbar unterscheiden sich die relative Position von jedem SF-Bereich 30 der ersten Schicht und der relativen Position von jedem SF-Bereich 40 der zweiten Schicht in jedem Streifenbereich 22 der zweiten Streifenschicht voneinander. Da Relativpositionen einer Schussfigur in jeweiligen Bereichen sich voneinander unterscheiden, wird eine Schuss-Teilungsverarbeitung daher für jede Schicht durchgeführt (Mehrfachschreibeinheitsbereich), deren Position verschoben ist. Es werden daher Schussdaten benötigt, die sich voneinander unterscheiden. Zuerst werden hier Schussdaten bezüglich jedem SF-Bereich 30 (Schicht-ID = 1) der ersten SF-Schicht in dem Streifenbereich 20 der ersten Streifenschicht erzeugt. Nach Beendigung der Unterteilung eines Figurenmusters in Schussfiguren wird ein derartiges Unterteilen gleichermaßen bezüglich anderer Figurenmuster in dem Bereich durchgeführt. Somit werden Schussdaten bezüglich aller Figurenmuster in dem Bereich erzeugt. Wie im Folgenden beschrieben wird, wird ferner eine Bestrahlungszeit „t” in den Schussdaten eingestellt (definiert), für jede Schussfigur.
Die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 21 berechnet eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” des Elektronenstrahls für jede Schicht in den Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen bzw. Aufnahmen der gleichen Position. In der ersten Ausführungsform wird die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” des Elektronenstrahls von jeder Schicht bezüglich jedem der folgenden Fälle berechnet: der Fall einer bestimmten Schicht, die vorher in einer Vielzahl von Schichten eingestellt wurde (Mehrfachschreibeinheitsbereiche), der Fall einer Schicht, bei der es sich nicht um eine bestimmte Schicht handelt und deren zugewiesener Schicht-ID-Wert mit Ausnahme der bestimmten Schicht geringer oder gleich zu einem Schwellenwert ist, der im Folgenden beschrieben wird, und der Fall einer Schicht, bei der es sich nicht um eine bestimmte Schicht handelt und deren zugewiesener Schicht-ID-Wert mit Ausnahme der bestimmten Schicht nicht geringer oder gleich einem Schwellenwert ist, der im Folgenden beschrieben wird. Dies wird im Folgenden detailliert erläutert.
Im Schritt S104, als ein Referenzgesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt für jede Schicht, berechnet die Berechnungseinheit 23 eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird. Insbesondere wird die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, durch (int(n/(mr))r) berechnet, wobei „n” eine Gesamtbestrahlungszeit von Elektronenstrahlen in einer Vielzahl von Schüssen bzw. Aufnahmen der gleichen Position anzeigt, „m” die Anzahl von Schichten anzeigt (die Anzahl von Mehrfachschreibeinheitsbereichen) von einer Vielzahl von Schichten (Mehrfachschreibeinheitsbereiche) zum Durchführen eines Mehrfachschreibens, während die Position verschoben wird, und „r” die Anzahl der Wiederholungen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens ohne die Verschiebung der Position in jeder Schicht anzeigt. D. h., dass zuerst ein ganzzahliger Wert (int(n/(mr))) berechnet wird, und zwar wird die Gesamtbestrahlungszeit n durch einen Wert dividiert, der durch Multiplikation von „m”, wobei es sich um die Anzahl von Schichten handelt, mit „r”, wobei es sich um die Anzahl von Wiederholungen handelt, erhalten wird. Wenn der Wert (int(n/(mr))) nicht dividierbar ist, wird der Dezimalanteil auf einen ganzzahligen Wert gerundet. Dann wird (int(n/(mr))) durch die Anzahl von Wiederholungen „r” multipliziert, um (int(n/(mr))r) zu erhalten, wobei es sich um die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” handelt, die als eine Referenz verwendet wird.
6 zeigt ein Beispiel der Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß der ersten Ausführungsform eingeteilt wird. 6 zeigt den Fall, der durch zwei Streifenschichten und zwei SF-Schichten konfiguriert ist, wobei „m”, wobei es sich um die Anzahl von Schichten zum Durchführen eines Mehrfachschreibens während der Verschiebung der Position handelt, vier Schichten ist. Bezüglich jeder Schicht wird eine Schichtnummer (ID) als X bezüglich einer bestimmten Schicht definiert, und Schichtnummern (IDs) werden als 1, 2 und 3 definiert, in einer Reihenfolge von der früheren Schreibreihenfolge bezüglich anderer Schichten mit Ausnahme der bestimmten Schicht. Dann wird in jeder Schicht ein Mehrfachschreiben vier Mal (r = 4) durchgeführt, ohne die Position zu verschieben. D. h., dass 6 den Fall zeigt, wenn das Mehrfachschreiben 16 mal durchgeführt wird. In der ersten Ausführungsform wird die Bestrahlungszeit gemäß einer Graustufe definiert. Gemäß einer Schussfigur bzw. einer Aufnahmefigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist gemäß 6 die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich int(3999/(4 × 4)) × 4 = 249 × 4 = 996 Graustufen.
Bezüglich einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich int(4000/(4 × 4)) × 4 = 250 × 4 = 1000 Graustufen.
Bezüglich einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich int(4001/(4 × 4)) × 4 = 250 × 4 = 1000 Graustufen.
Bezüglich einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich int(4001/(4 × 4)) × 4 = 250 × 4 = 1000 Graustufen.
Bezüglich einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich int(4001/(4 × 4)) × 4 = 250 × 4 = 1000 Graustufen.
Bezüglich einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich int(4001/(4 × 4)) × 4 = 250 × 4 = 1000 Graustufen.
Im Schritt S106, als ein Bestimmungsschritt, bestimmt die Bestimmungseinheit 27 (eine erste Bestimmungseinheit), ob es eine bestimmte Schicht ist, die vorher in einer Vielzahl von Schichten eingestellt wurde, oder nicht. Es wird hier zum Beispiel angenommen, dass die erste Schicht in 6 eine bestimmte Schicht ist. Wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht zum Beispiel gleich ID = X ist, wird die Schicht als eine bestimmte Schicht bestimmt. Wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht zum Beispiel 1, 2, oder 3 ist, wird bestimmt, dass die diesbezügliche Schicht keine bestimmte Schicht ist.
Im Schritt S108, als ein Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt für eine bestimmte Schicht, berechnet die Berechnungseinheit 24 (eine Bestimmter-Bereich-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit) eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit einer bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht ID = 1). Insbesondere addiert die Berechnungseinheit 24 einen Rest bzw. Remainder (n%r) (einen zweiten Rest), der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Wiederholungsanzahl bzw. Anzahl der Wiederholungen (r), zu der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, um eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” neu zu erhalten. Bezüglich einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” gemäß 6 zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist der Rest gleich (n%r) = 3. Die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” der bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist 996 + 3 = 999.
Bezüglich einer bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist der Rest gleich (n%r) = 0. Die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” der bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist daher 1000 + 0 = 1000.
Bezüglich einer bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist der Rest gleich (n%r) = 1. Die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” der bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist daher 1000 + 1 = 1001.
Bezüglich einer bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist der Rest gleich (n%r) = 3. Die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” der bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist daher 1000 + 3 = 1003.
Bezüglich einer bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist der Rest gleich (n%r) = 0. Die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” der bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist daher 1000 + 0 = 1000.
Bezüglich einer bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist der Rest gleich (n%r) = 1. Die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” der bestimmten Schicht (zum Beispiel, die Schicht-ID = X) der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist daher 1000 + 1 = 1001.
Wenn in einem Schritt S110, als ein nicht bestimmter Schichtschwellenwert-Berechnungsschritt, eine diesbezügliche Schicht in dem oben erläuterten Bestimmungsschritt (S106) nicht als eine bestimmte Schicht bestimmt wurde, berechnet die Berechnungseinheit 26 (eine Schwellenwert-Berechnungseinheit) einen Schwellenwert zur weiteren Unterscheidung einer Vielzahl nicht bestimmter Schichten. Insbesondere berechnet die Berechnungseinheit 26 einen ganzzahligen Wert (int(n%(mr)/r)), als ein Schwellenwert, durch Dividieren der gesamten Bestrahlungszeit „n” durch einen Wert, der berechnet wird durch Multiplizieren der Schichtnummer „m” durch die Anzahl der Wiederholungen „r”, um einen Rest (engl. Remainder) (n%(mr)) (einen ersten Rest) zu erhalten, und durch ein weiteres Dividieren des Rests (n%(mr)) durch die Anzahl der Wiederholungen „r”, wobei dann, wenn der Wert (int(n%(mr)/r)) nicht dividierbar ist, der Dezimalanteil auf einen ganzzahligen Wert gerundet wird.
Im Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist der Schwellenwert daher (int(n%(mr)/r)) = 3.
Im Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist der Schwellenwert daher (int(n%(mr)/r)) = 0.
Im Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist der Schwellenwert daher (int(n%(mr)/r)) = 0.
Im Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist der Schwellenwert daher (int(n%(mr)/r)) = 1.
Im Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist der Schwellenwert daher (int(n%(mr)/r)) = 2.
Im Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist der Schwellenwert daher (int(n%(mr)/r)) = 2.
Im Schritt S112 bestimmt die Bestimmungseinheit 128 (eine zweite Bestimmungseinheit), als ein Bestimmungsschritt, ob ein Schicht-ID-Wert, definiert mit Ausnahme der bestimmten Schicht, kleiner als oder äquivalent zu dem Schwellenwert (int(n%(mr)/r)) ist, der in dem nicht bestimmten Schichtschwellenwert-Berechnungsschritt (S110) berechnet wurde.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, wird dieser als kleiner als oder gleich zu dem Schwellenwert bestimmt, da der Schwellenwert 3 ist, wenn die Schicht-ID der betreffenden Schicht zum Beispiel ID = 1, 2 oder 3 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, wird dieser als kleiner als oder gleich zu dem Schwellenwert bestimmt, da der Schwellenwert 0 ist, wenn die Schicht-ID der betreffenden Schicht zum Beispiel ID = 1, 2 oder 3 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, wird dieser als kleiner als oder gleich zu dem Schwellenwert bestimmt, da der Schwellenwert 0 ist, wenn die Schicht-ID der betreffenden Schicht zum Beispiel ID = 1, 2 oder 3 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, wird dieser als kleiner als oder gleich zu dem Schwellenwert bestimmt, wenn die Schicht-ID der betreffenden Schicht ID = 1 ist, und wenn die Schicht-ID der betreffenden Schicht ID = 2 oder 3 ist, wird dieser als nicht kleiner als oder gleich zu dem Schwellenwert bestimmt.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, wird dieser als kleiner als oder gleich zu dem Schwellenwert bestimmt, da der Schwellenwert 2 ist, wenn die Schicht-ID einer betreffenden Schicht ID = 1 oder 2 ist, und wenn die Schicht ID = 3 ist, wird diese als nicht kleiner als oder gleich dem Schwellenwert bestimmt.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, wird dieser als kleiner als oder gleich zu dem Schwellenwert bestimmt, da der Schwellenwert 2 ist, wenn die Schicht-ID einer betreffenden Schicht ID = 1 oder 2 ist, und wenn die Schicht-ID = 3 ist, wird dieser als nicht kleiner als oder gleich dem Schwellenwert bestimmt.
Im Fall einer Schicht, deren Schicht-ID-Wert nicht kleiner oder gleich als ein Schwellenwert ist, mit anderen Worten einer Schicht, bei der es sich nicht um eine bestimmte Schicht handelt, die vorab in einer Vielzahl von Schichten eingestellt ist, und deren Schicht-ID-Wert, definiert mit Ausnahme der bestimmten Schicht, nicht kleiner als oder gleich einem Schwellenwert ist, dient ein Wert, der erhalten wird, indem nichts zu der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” addiert wird, die als eine Referenz verwendet wird, als die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” von Elektronenstrahlen in der betreffenden Schicht, in Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen bzw. Aufnahmen der gleichen Position.
Im Schritt S114, als ein Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt für eine nicht bestimmte Schicht, berechnet die Berechnungseinheit 29 (eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit für einen nicht bestimmten Bereich) eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit einer Schicht, deren Schicht-ID-Wert nicht kleiner als oder gleich einem Schwellenwert ist, mit anderen Worten, einer Schicht, bei der es sich nicht um eine bestimmte Schicht handelt, die vorab in einer Vielzahl von Schichten eingestellt ist, und deren Schicht-ID-Wert, definiert mit Ausnahme der bestimmten Schicht, nicht kleiner als oder gleich einem Schwellenwert ist. Insbesondere berechnet die Berechnungseinheit 29 einen Wert durch Addieren der Anzahl von Wiederholungen „r” zu der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a”, die als eine Referenz verwendet wird, und behandelt den Wert als die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” von Elektronenstrahlen in der diesbezüglichen Schicht.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 996 + 4 = 1000, wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht zum Beispiel ID = 1, 2 oder 3 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 0 = 1000, wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht zum Beispiel ID = 1, 2 oder 3 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 0 = 1000, wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht zum Beispiel ID = 1, 2 oder 3 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 4 = 1004, wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht ID = 1 ist, und wenn die Schicht-ID gleich ID = 2 oder 3 ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 0 = 1000.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 4 = 1004, wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht ID = 1 oder 2 ist, und wenn die Schicht-ID gleich ID = 3 ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 0 = 1000.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 4 = 1004, wenn die Schicht-ID einer diesbezüglichen Schicht ID = 1 oder 2 ist, und wenn die Schicht-ID gleich ID = 3 ist, ist die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 + 0 = 1000.
Wie oben erläutert, wird die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” von Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen bzw. Aufnahmen der gleichen Position für jede Schicht berechnet. Gemäß dem oben erläuterten Einteilungsverfahren kann die Differenz der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit zwischen Schichten höchstens eine Wiederholungsanzahl „r” für jede Schussfigur sein. Es ist daher in der ersten Ausführungsform möglich, eine Divergenz der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” zwischen Schichten (Schreibeinheitsbereichen) zu unterdrücken.
Als nächstes berechnet die Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit 111 die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss bzw. jeder Aufnahme in jeder Schicht. Zuerst berechnet die Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 31 die Bestrahlungszeit „t” von jede Schuss in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht ID = 1). Insbesondere wird die Berechnung wie folgt durchgeführt:
Im Schritt S116 erhält die Berechnungseinheit 37, als ein Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt in einer bestimmten Schicht, in einer bestimmten Schicht einen ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist), durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl der Wiederholungen „r”, als die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz für jeden Schuss bzw. jede Aufnahme in der bestimmten Schicht verwendet wird.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, verwendet als eine Referenz für jeden Schuss in jeder bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) gleich t = int(999/4) = 249.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, verwendet als eine Referenz für jeden Schuss in jeder bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) gleich t = int(1000/4) = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, verwendet als eine Referenz für jeden Schuss in jeder bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) gleich t = int(1001/4) = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, verwendet als eine Referenz für jeden Schuss in jeder bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) gleich t = int(1003/4) = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, verwendet als eine Referenz für jeden Schuss in jeder bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) gleich t = int(1000/4) = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, verwendet als eine Referenz für jeden Schuss in jeder bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) gleich t = int(1001/4) = 250.
Die als eine Referenz verwendete Bestrahlungszeit „t” ist eine Bestrahlungszeit „t” für eine Schuss bzw. eine Aufnahme, wenn in einer bestimmten diesbezüglichen Schicht ein Rest (a%r) des Dividierens der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl der Wiederholungen „r” nicht größer als oder gleich einem Wiederholungs-ID-Wert ist. D. h., dass die Berechnungseinheit 37 (ein Beispiel einer ersten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit) die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss in dem Fall berechnet, wenn in einer bestimmten diesbezüglichen Schicht ein Rest (a%r) des Teilens der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl der Wiederholungen „r” nicht größer als oder gleich einem Wiederholungs-ID-Wert ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss bzw. eine Aufnahme einer Wiederholungs-ID gleich ID = 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht-ID = X) gleich t = 249.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss bzw. eine Aufnahme einer Wiederholungs-ID gleich ID = 1, 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss bzw. eine Aufnahme einer Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss bzw. eine Aufnahme einer Wiederholungs-ID gleich ID = 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht-ID = X) = t gleich 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss bzw. eine Aufnahme einer Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht-ID = X) gleich t = 250.
Im Schritt S118 kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 32, als ein Kopierverarbeitungsschritt, Schussdaten, wobei die Anzahl der Kopierungen äquivalent zu „r” der Anzahl der Wiederholungen für jeden Schuss in einer bestimmten Schicht ist (zum Beispiel die Schicht-ID = X). In diesen Schussdaten ist die Bestrahlungszeit von jedem Schuss bzw. jeder Aufnahme noch nicht definiert. Da darüber hinaus in der ersten Ausführungsform es zu diesem Zeitpunkt nicht möglich ist, eine Bestimmung durchzuführen, zu welchem Schuss in einer bestimmten Schicht ein Anteil (Rest) von Zeit zu addieren ist, wird bevorzugt, die Schussdaten zu kopieren (duplizieren), wobei die Anzahl von Kopierungen äquivalent zu „r” die Anzahl von Wiederholungen für jeden Schuss in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht-ID = X) ist.
Im Schritt S120 bestimmt die Bestimmungseinheit 33, als ein Bestimmungsschritt, ob es sich um einen Schuss bzw. eine Aufnahme in dem Fall handelt, wenn, in einer bestimmten diesbezüglichen Schicht, der Rest (a%r) des Dividierens der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” mit der Anzahl von Wiederholungen „r” größer gleich oder gleich einem Wert einer Wiederholungs-ID (ein bestimmtes n-tes Schreiben) von einem mehrfachen Schreiben der Anzahl von Wiederholungen „r” ist. In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) größer gleich oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist, da ein Rest (a%r) gleich 3 ist, wenn eine Wiederholungs-ID gleich ID = 1, 2 oder 3 ist, und dann, wenn die Wiederholungs-ID gleich ID = 4 ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) nicht größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) nicht größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist, da ein Rest (a%r) gleich 0 ist, wenn eine Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich ID = 1, 2, 3 oder 4 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist, da der Rest (a%r) gleich 1 ist, wenn eine Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich ID = 1 ist, und dann, wenn die Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) nicht größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist, da ein Rest (a%r) gleich 3 ist, wenn eine Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) gleich ID = 1, 2 oder 3 ist, und dann, wenn die Wiederholungs-ID gleich ID = 4 ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) nicht größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) nicht größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist, da der rest (a%r) gleich 0 ist, wenn eine Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich ID = 1, 2, 3 oder 4 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist, da ein Rest (a%r) gleich 1 ist, wenn eine Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich ID = 1 ist, und dann, wenn die Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 ist, wird bestimmt, dass der Rest (a%r) nicht größer als oder gleich dem Wiederholungs-ID-Wert ist.
Im Schritt S122 berechnet die Berechnungseinheit 34 (ein Beispiel einer zweiten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit), als ein Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt in einer bestimmten Schicht, einen Wert durch Addieren von 1 zu einem ganzzahligen Wert (die Bestrahlungszeit ”t”, verwendet als eine Referenz), die erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und behandelt den berechneten Wert als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss bzw. eine Aufnahme in dem Fall, wenn, in einer bestimmten diesbezüglichen Schicht, der Rest (a%r) des Dividierens der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als oder gleich einem Wert einer Wiederholung-ID (ein bestimmtes n-tes Schreiben) von einem mehrfachen Schreiben einer Anzahl von Wiederholungen „r” ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 1, 2 oder 3 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 249 + 1 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 1 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250 + 1 = 251.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 1, 2 oder 3 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250 + 1 = 251.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 1 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250 + 1 = 251.
Im Schritt S124 stellt die Einstelleinheit 35, als ein Bestrahlungszeit-Einstellschritt, jeweils eine erhaltene Bestrahlungszeit „t” für alle kopierten Schussdaten ein.
Im Schritt S126 bestimmt die Bestimmungseinheit 36, als ein Bestimmungsschritt, ob ein Berechnen und Einstellen der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Wiederholungen in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1 = abgeschlossen wurde oder nicht. Wenn dieses nicht abgeschlossen ist, kehrt diese zu dem Bestimmungsschritt (S120) zurück und wiederholt die Schritte von dem Bestimmungsschritt (S120) bis zu dem Bestimmungsschritt (S126), bis dies abgeschlossen ist.
Andererseits berechnet die Nicht-Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 41 die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss in einer nicht bestimmten Schicht. Insbesondere wird die Berechnung wie folgt durchgeführt:
Im Schritt S208 erhält die Berechnungseinheit 42 (ein Beispiel einer dritten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit), als ein Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt in einer nicht bestimmten Schicht, in nicht bestimmten Schichten einen ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn nicht dividierbar), durch Dividieren jeder Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, als die Bestrahlungszeit „t” für jeden Schuss in einer diesbezüglichen nicht bestimmten Schicht.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 250, da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” in einer nicht bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1, 2 oder 3) gleich a = 1000 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 250, da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” in einer nicht bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1, 2 oder 3) gleich a = 1000 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 250, da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” in einer nicht bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1, 2 oder 3) gleich a = 1000 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist in nicht bestimmten Schichten, da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1004 ist, wenn die Schicht-ID zum Beispiel ID = 1 ist, die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 251, und da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 ist, wenn die Schicht-ID zum Beispiel ID = 2 oder 3 ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist in nicht bestimmten Schichten, da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1004 ist, wenn die Schicht-ID zum Beispiel ID = 1 oder 2 ist, die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 251, und da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 ist, wenn die Schicht-ID zum Beispiel ID = 3 ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist in nicht bestimmten Schichten, da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1004 ist, wenn die Schicht-ID zum Beispiel ID = 1 oder 2 ist, die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 251, und da die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” gleich a = 1000 ist, wenn die Schicht-ID zum Beispiel ID = 3 ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich t = 250.
Da, wie oben erläutert, die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” immer ein Vielfaches der Wiederholungsanzahl „a” in einer nicht bestimmten Schicht ist, kann die gleiche Bestrahlungszeit „t” in jeder von nicht bestimmten Schichten erhalten werden.
Im Schritt S209 kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 46, als ein Kopierverarbeitungsschritt, Schuss- bzw. Aufnahmedaten, wobei die Anzahl der Kopierungen äquivalent zu der Anzahl nicht bestimmter Schichten ist (oder die Anzahl von Kopierungen äquivalent zu (der Anzahl nicht bestimmter Schichten – 1) ist. In diesen Schussdaten wurde die Bestrahlungszeit von jedem Schuss noch nicht definiert.
Im Schritt S210 stellt die Einstelleinheit 44, als ein Bestrahlungszeit-Einstellschritt, jeweils die berechnete Bestrahlungszeit „t” für die jeweiligen Schussdaten in jeder der nicht bestimmten Schichten ein.
Im Schritt S212 kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 48, als ein Kopierverarbeitungsschritt Schuss- bzw. Aufnahmedaten, wobei die Anzahl von Kopierungen äquivalent zu der Anzahl von Wiederholungen in jeder der nicht bestimmten Schichten ist. Da in nicht bestimmten Schichten die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss in jeder Schicht gleich zueinander ist, können die Schussdaten, in denen die Bestrahlungszeit „t” eingestellt wurde, kopiert werden und wie vorhanden verwendet werden. Es ist daher in nicht bestimmten Schichten ausreichend, nur einen Satz von Schussdaten zu erzeugen, und es ist nicht erforderlich, andere Schuss- bzw. Aufnahmedaten zu erzeugen, und somit kann die Verarbeitungszeit reduziert werden.
Im Schritt S250 bestimmt die Bestimmungseinheit 50, als ein Bestimmungsschritt, ob oder ob nicht die Verarbeitung für alle die Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen wurde. Wenn dies nicht abgeschlossen ist, kehrt diese zu dem Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S104) für jede Schicht zurück und wiederholt die Schritte von dem Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S104) bis zu dem Kopierverarbeitungsschritt (S212) für jede Schicht, bis eine Beendigung vorliegt. Wenn die Verarbeitung für alle die Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen ist, geht diese zum Schritt S252.
Im Schritt S252 bestimmt die Bestimmungseinheit 52, als ein Bestimmungsschritt, ob die Einstellungsverarbeitung einer Bestrahlungszeit für alle Muster in den Musterdaten abgeschlossen wurde. Wenn dies nicht abgeschlossen ist, kehrt diese zu dem Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S104) für jede Schicht zurück und wiederholt die Schritte von dem Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S104) zu dem Bestimmungsschritt (S250) für jede Schicht, bis eine Beendigung vorliegt. Wenn eine Verarbeitung für alle die Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen wurde, geht diese zu S254.
Im Schritt S254 bestimmt die Bestimmungseinheit 54, als ein Bestimmungsschritt, ob oder ob nicht die Einstellverarbeitung der Bestrahlungszeit bezüglich jeder von allen den Schichten zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens, während die Position bewegt wird, abgeschlossen wurde. Wenn dies nicht abgeschlossen ist, kehrt diese zu dem Schussdaten-Erzeugungsschritt (S102) zurück, und wiederholt die Schritte von dem Schussdaten-Erzeugungsschritt (S102) zu dem Bestimmungsschritt (S252), bis eine Beendigung vorliegt. Wenn die Verarbeitung für jede von allen den Schichten abgeschlossen ist, wurde die Einstellverarbeitung einer Bestrahlungszeit beendet.
Die Schussdaten, in denen die Bestrahlungszeit eingestellt wurde, werden in der Speichervorrichtung 142 gespeichert. Dann steuert die Schreibsteuereinheit 56, als ein Schreibschritt, die Steuerschaltung 120, um zu bewirken, dass die Schreibeinheit 150 eine Schreibverarbeitung durchführt. Die Schreibeinheit 150 emittiert den Elektronenstrahl zu 100, so dass die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit in Bezug auf jede Schicht eingenommen wird, um ein Muster auf dem Zielobjekt 100 zu schreiben. Darüber hinaus emittiert die Schreibeinheit 150, für jede Schicht, den Elektronenstrahl 200, so dass die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss bzw. jeder Aufnahme in einer Schicht zur diesbezüglichen Gesamtsummen-Bestrahlungszeit wird, um ein Muster auf dem Zielobjekt 100 zu schreiben.
Der Elektronenstrahl 200, der von der Elektronenkanonenanordnung 201 (Emissionseinheit) emittiert wird, wird, beim Hindurchtreten durch den Blanking- bzw. Austastdeflektor 212, gesteuert, um durch die Blanking- bzw. Austastapertur 214 durch den Blanking- bzw. Austastdeflektor 212 hindurch zu gehen, wenn der Strahl in dem AN-Zustand ist, und wird durch den Blanking- bzw. Austastdeflektor 212 abgelenkt, so dass der gesamte Strahl durch die Blanking- bzw. Austastapertur 214 blockiert werden kann, wenn der Strahl in dem AUS-Zustand ist. Der Elektronenstahl 200, der durch die Blanking- bzw. Austastapertur 214 hindurch geht, während der Zustand von einem Strahl-AUS in ein Strahl-AN geändert wird, und zuletzt erneut in den Strahl-AUS, dient als ein Schuss bzw. eine Aufnahme des Elektronenstrahls. Der Blanking- bzw. Austastdeflektor 212 steuert die Richtung des hindurchgehenden Elektronenstrahls 200, um abwechselnd den „Strahl-AN”-Zustand und den „Strahl-AUS”-Zustand zu erzeugen. Es wird zum Beispiel bevorzugt, eine Spannung an den Blanking- bzw. Austastdeflektor 212 anzulegen, wenn der „Strahl-AUS”-Zustand vorliegt, und keine Spannung anzulegen, wenn der „Strahl-AN”-Zustand vorliegt. Die Dosis pro Schuss bzw. Aufnahme des Elektronenstrahls 200 zum Bestrahlen des Zielobjekts 101 wird in Abhängigkeit der Bestrahlungszeit von jedem Schuss angepasst.
Wie oben beschrieben, bestrahlt jeder Schuss des Elektronenstrahls 200, der durch ein Hindurchgehen durch den Blanking-Deflektor 212 und die Blanking-Apertur 214 erzeugt wird, die Gesamtheit der ersten formgebenden Apertur 203, die eine viereckige Öffnung aufweist, durch die Bestrahlungslinse 202. Der Elektronenstrahl 200 wird hier zuerst in ein Viereck geformt. Nach dem Durchtritt durch die erste Formgebungsapertur 203, wird der Elektronenstrahl des ersten Aperturbilds dann durch die Projektionslinse 204 auf die zweite Formgebungsapertur 206 projiziert. Das erste Aperturbild auf der zweiten Formgebungsapertur 206 wird durch den Deflektor 205 Deflektions-gesteuert, um die Form und Größe des Strahls zu ändern (variable Form). Eine derartige variable Strahlenformgebung wird für jeden Schuss durchgeführt, und jeder Schuss wird normalerweise geformt, um eine unterschiedliche Form und Größe aufzuweisen. Nach dem Hindurchgehen durch die zweite Formgebungsapertur 206, wird der Elektronenstrahl des zweiten Aperturbilds durch die Objektivlinse 207 dann fokussiert, und durch den Hauptdeflektor 208 und den Unterdeflektor 209 abgelenkt, um eine gewünschte Position auf dem Zielobjekt 101 zu erreichen und zu bestrahlen, das auf dem XY-Trägertisch 105 platziert ist, der sich kontinuierlich bewegt. 1 zeigt den Fall der Verwendung einer mehrfachen Trägertisch-Ablenkung, und zwar den Zwei-Stufen-Deflektor des Haupt- und Unterdeflektors für eine Positionsablenkung. Was in einem derartigen Fall erforderlich ist, ist die Ablenkung des Elektronenstrahls 200 von einem diesbezüglichen Schuss zu der Referenzposition eines Teilfelds (SF), was durch ein virtuelles Unterteilen des Streifenbereichs durch den Hauptdeflektor 208 erfolgt, während der Trägertischbewegung gefolgt wird sowie die Ablenkung des Strahls von dem diesbezüglichen Schuss auf jede Bestrahlungsposition in dem SF durch den Unterdeflektor 209. Wenn ein Mehrfachschreiben durchgeführt wird, wird die Schreibverarbeitung gemäß dem oben erläuterten Schreibverfahren durchgeführt.
7 zeigt ein Beispiel der Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß einem Vergleichsbeispiel gegenüber der ersten Ausführungsform eingeteilt ist. Das Vergleichsbeispiel (das im Folgenden als tshot bezeichnet ist) der 7 zeigt den Fall, der durch zwei Streifenschichten und zwei SF-Schichten konfiguriert ist, wobei „m”, wobei es sich um die Anzahl von Schichten zum Durchführen eines Mehrfachschreibens handelt, während die Position verschoben wird, gleich vier Schichten ist. Bezüglich jeder Schicht ist eine Schicht-Nummer „ID” als 1, 2, 3 oder 4 definiert, in einer Reihenfolge von der früheren Schreibreihenfolge. Es wird der Fall gezeigt, bei dem ein Mehrfachschreiben wiederholt vier Mal (r = 4) durchgeführt wird, ohne dass die Position verschoben wird. D. h., dass ein Mehrfachschreiben 16 Mal durchgeführt wird. In 7 wird die Bestrahlungszeit gemäß einer Graustufe definiert. In dem Vergleichsbeispiel (tshot), das in 7 gezeigt ist, wird die Bestrahlungszeit von jedem Schuss bzw. jeder Aufnahme durch ein Verfahren zum Addieren eines gesamten Rests von einem Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl der Schreibvorgänge (Multiplizität N = 16) zu dem ersten Schuss eingestellt. In dem Vergleichsbeispiel der 7 wird, im Fall von n = 3999, die Differenz von 15 Graustufen (Graustufendifferenz von (Multiplizität – 1)) in der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen erzeugt. Daher wird in der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen eine Divergenz erzeugt. Gemäß der ersten Ausführungsform ist es, wie in 6 gezeigt, andererseits möglich, die Differenz in der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen auf eine Graustufe zu unterdrücken.
8 zeigt ein Beispiel der Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß einem anderen Vergleichsbeispiel gegenüber der ersten Ausführungsform eingeteilt ist. Das Vergleichsbeispiel (das im Folgenden als ishot bezeichnet ist) der 8 zeigt den Fall, der durch zwei Streifenschichten und zwei SF-Schichten konfiguriert ist, wobei „m”, wobei es sich um die Anzahl von Schichten zum Durchführen eines Mehrfachschreibens handelt, während die Position verschoben wird, gleich vier Schichten ist. Bezüglich jeder Schicht wird eine Schicht-Nummer „ID” als 1, 2, 3 oder 4 definiert, in einer Reihenfolge von der früheren Reihenfolge des Schreibens. Es wird der Fall gezeigt, bei dem ein mehrfaches Schreiben wiederholt vier Mal (r = 4) durchgeführt wird, ohne die Position zu verschieben. D. h., dass ein mehrfaches Schreiben 16 Mal durchgeführt wird. Eine Schreibnummer (ID) wird in einer Verarbeitungsreihenfolge definiert, wenn eine Schreibverarbeitung von jedem Mal des mehrfachen Schreibens durchgeführt wird. In 8 wird die Bestrahlungszeit gemäß einer Graustufe definiert.
9 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung von jedem Schritt eines Bestrahlungszeit-Einteilungsverfahrens gemäß einem anderen Vergleichsbeispiel gegenüber der ersten Ausführungsform. 9 zeigt das Einteilungsverfahren des Vergleichsbeispiels (ishot) der 8.
Zuerst werden, in einem Schussdaten-Erzeugungsschritt (S302), Musterdaten gelesen, um Schussdaten zu erzeugen. Dann werden, in einem Schussdaten-Kopierschritt (S304), Schussdaten kopiert, so dass die Schussdaten für die Wiederholungsanzahl „r” für die diesbezügliche Schicht präpariert werden können. Als nächstes wird in einem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S306) die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz der Bestrahlungszeit von jedem Schuss verwendet wird, berechnet. Die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz verwendet wird, wird hier als ein ganzzahliger Wert (int(n/Anzahl der Schreibwiederholungen)) berechnet (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist), der durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” von Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Wiederholungen des Schießens bzw. Aufnehmens der gleichen Position durch die Anzahl von Schreibwiederholungen (maximaler Schreib-ID-Wert) des mehrfachen Schreibens erhalten wird.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich t = 249.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich t = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz verwendet wird, gleich t = 250.
Als nächstes wird in einem Bestimmungsschritt (S308) für jede Schreib-ID bestimmt, ob eine diesbezügliche Schreib-ID geringer oder gleich zu einem Rest (n% Schreibwiederholungen) aus einem Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl von Schreibwiederholungen (maximaler Schreib-ID-Wert) von einem mehrfachen Schreiben ist. Wenn in einem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S309) eine Schreib-ID geringer als oder gleich dem Rest (n% Schreibwiederholungen) ist, wird ein Wert als Schreibzeit „t” für die diesbezügliche Schreib-ID berechnet, der durch Addieren von 1 zu der Bestrahlungszeit „t” erhalten wird, die als eine Referenz verwendet wird. Als nächstes wird in einem Einstellschritt (S310) jede berechnete Bestrahlungszeit „t” für jede Schreib-ID eingestellt. In einem Bestimmungsschritt (S312) wird bestimmt, ob ein Berechnen und Einstellen der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Wiederholungen in einer diesbezüglichen Schicht abgeschlossen wurde oder nicht. Wenn eine Wiederholungs-ID existiert, für die die Verarbeitung nicht beendet wurde, kehrt diese zu dem Bestimmungsschritt (S308) zurück, und wiederholt die Schritte von dem Bestimmungsschritt (S308) zu dem Bestimmungsschritt (S312), bis die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Wiederholungen abgeschlossen wurde. Wenn die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Wiederholungen abgeschlossen wurde, wird im Folgenden in einem Bestimmungsschritt (S314) bestimmt, ob die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen wurde oder nicht. Wenn eine Schussfigur existiert, für die die Verarbeitung nicht beendet wurde, kehrt diese zu dem Schussdaten-Kopierschritt (S304) zurück, und wiederholt die Schritte von dem Schussdaten-Kopierschritt (S304) zu dem Bestimmungsschritt (S314), bis die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen wurde. Wenn die Berechnung und Einstellung einer Bestrahlungszeit „t” für alle Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen wurde, wird in einem folgenden Bestimmungsschritt (S316) bestimmt, ob ein Berechnen und Einstellen der Bestrahlungszeit „t” für jedes von allen Mustern in einer diesbezüglichen Schicht abgeschlossen wurde oder nicht. Wenn ein Muster existiert, für das die Verarbeitung noch nicht abgeschlossen wurde, kehrt diese zu dem Schussdaten-Kopierschritt (S304) zurück, und wiederholt die Schritte von dem Schussdaten-Kopierschritt (S304) bis zu dem Bestimmungsschritt (S341), bis die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen wurde. Wenn nachfolgend die Berechnung und Einstellung einer Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Schussfiguren in einem Muster abgeschlossen wurde, wird in einem Bestimmungsschritt (S316) bestimmt, ob die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jedes von allen Mustern in einer diesbezüglichen Schicht abgeschlossen ist oder nicht. Wenn ein Muster existiert, für das die Verarbeitung noch nicht abgeschlossen wurde, kehrt diese zu dem Schussdaten-Kopierschritt (S304) zurück und wiederholt die Schritte von dem Schussdaten-Kopierschritt (S304) zu dem Bestimmungsschritt (S316), bis die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jedes von allen Mustern abgeschlossen wurde. In einem Bestimmungsschritt (S318) wird nachfolgend bestimmt, ob die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Schichten abgeschlossen wurde oder nicht. Wenn eine Schicht existiert, für die die Verarbeitung noch nicht abgeschlossen wurde, kehrt diese zu dem Schussdaten-Erzeugungsschritt (S302) zurück, und wiederholt die Schritte von dem Schussdaten-Erzeugungsschritt (S302) zu dem Bestimmungsschritt (S318) bis die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Schichten abgeschlossen wurde.
Durch die Durchführung der oben beschriebenen Verarbeitung ist in dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, da der Rest (n% Anzahl der Schreibprozesse) gleich 15 ist, wenn die Schreib-ID gleich ID = 1 bis 15 ist, die Bestrahlungszeit „t” gleich t = 249 + 1 = 250, und wenn die Schreib-ID gleich ID = 16 ist, ist die Bestrahlungszeit „t” gleich t = 249.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” gleich t = 250, da der Rest (n% Anzahl der Schreibprozesse) gleich 0 ist, wenn die Schreib-ID gleich ID = 1 bis 16 ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” gleich t = 250 + 1 = 251, da der Rest (n% Anzahl der Schreibprozesse) gleich 1 ist, wenn die Schreib-ID gleich ID = 1 ist, und wenn die Schreib-ID gleich ID = 2 bis 16 ist, ist die Bestrahlungszeit „t” gleich t = 250.
Wie oben beschrieben, kann in dem Vergleichsbeispiel (ishot) eine Differenz der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen von jedem Schreibprozess in einem mehrfachen Schreiben an derselben Position auf eine Graustufe unterdrückt werden. Da es in dem Vergleichsbeispiel (ishot) nicht möglich ist, eine Schreib-ID zu bestimmen, für die eine 1 zu der Bestrahlungszeit addiert wird, die als eine Referenz verwendet wird, bis der Rest (n% Anzahl der Schreibprozesse) berechnet wurde, ist es schwierig, selbst in der gleichen Schicht, Schussdaten zu kopieren, für die die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde. Es wird somit notwendig, für jede Schreib-ID eine Bestrahlungszeit für die Schuss- bzw. Aufnahmedaten einzustellen (zu definieren), in denen eine Bestrahlungszeit noch nicht definiert wurde. Dies bewirkt, dass die Datenverarbeitungszeit zu lang ist. Da andererseits gemäß der ersten Ausführungsform ein Anteil der Bestrahlungszeit nur in einer bestimmten Schicht enthalten ist, ist es in anderen nicht bestimmten Schichten ausreichend, die Schussdaten zu kopieren, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde, wobei die Anzahl der Kopierungen äquivalent zu der Wiederholungszahl ist. Durch die Verwendung des Verfahrens der ersten Ausführungsform kann daher die Datenverarbeitungszeit kürzer als die des Vergleichsbeispiels (ishot) gemacht werden.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist es möglich, wie oben beschrieben, eine Divergenz der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit zwischen Schreibeinheitsbereichen zu unterdrücken. Folglich kann die unausgeglichene Natur der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen bzw. Aufnahmen unterdrückt werden. Folglich kann eine Verringerung der Schreibverarbeitungsgeschwindigkeit reduziert werden.
Ausführungsform 2
In der ersten Ausführungsform kann eine Differenz der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen jeder Schreibzeit bei einem mehrfachen Schreiben an der gleichen Position auf eine Graustufe unterdrückt werden, und es ist in nicht bestimmten Schichten ausreichend, Schussdaten zu kopieren, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde, wobei die Anzahl der Kopierungen äquivalent zu den Wiederholungen ist. In der ersten Ausführungsform ist es jedoch bezüglich einer bestimmten Schicht schwierig, Schussdaten zu kopieren, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde. In der zweiten Ausführungsform wird daher ein Verfahren erläutert, das Schussdaten kopieren kann, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde, selbst in Bezug auf eine bestimmte Schicht.
10 ist ein schematisches Diagramm zur Darstellung einer Konfiguration einer Schreibvorrichtung gemäß der zweiten Ausführungsform. 10 ist gleich zu 1, mit der Ausnahme, dass eine Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 130 anstelle der Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 31 aufgenommen ist. D. h., dass in der Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 111 die Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 130, die Nicht-Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 41 und die Bestimmungseinheiten 50, 52 und 54 angeordnet sind. Jede Funktion, wie zum Beispiel der Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 130, der Nicht-Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 41 und der Bestimmungseinheiten 50, 52 und 54 können durch eine Software konfiguriert werden, wie zum Beispiel ein Programm, das bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert oder durch eine Hardware, wie zum Beispiel eine elektronische Schaltung. Alternativ kann diese durch eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
Darüber hinaus sind in der Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 130 Berechnungseinheiten 37 und 134, Kopierverarbeitungseinheiten 133 und 137, Bestimmungseinheiten 132 und 138 und Einstelleinheiten 135 und 136 angeordnet. Jede Funktion, wie zum Beispiel die Berechnungseinheiten 37 und 134, die Kopierverarbeitungseinheiten 133 und 137, die Bestimmungseinheiten 132 und 138 und die Einstelleinheiten 135 und 136 kann durch eine Software konfiguriert werden, wie zum Beispiel ein Programm, das bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch eine Hardware, wie zum Beispiel eine elektronische Schaltung. Alternativ kann diese durch eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
11 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung der wesentlichen Schritte eines Einstellverfahrens einer Bestrahlungszeit und eines Erzeugungsverfahrens von Schuss- bzw. Aufnahmedaten gemäß der zweiten Ausführungsform. In 11 sind Schritte von dem Schussdaten-Erzeugungsschritt (S102) zu dem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S116) in einer bestimmten Schicht gleich zu jenen in 5. Darüber hinaus sind Schritte von dem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S208) in einer nicht bestimmten Schicht zu dem Bestimmungsschritt (S254) die gleichen wie jene in 5. Der Inhalt der zweiten Ausführungsform kann gleich zu dem der ersten Ausführungsform sein, mit der Ausnahme dessen, was im Folgenden beschrieben ist.
12 zeigt ein Beispiel der Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß der zweiten Ausführungsform eingeteilt wird. 12 zeigt, wie auch 6, den Fall, der durch zwei Streifenschichten und zwei SF-Schichten konfiguriert ist, wobei „m”, wobei es sich um die Anzahl von Schichten zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens handelt, während die Position verschoben wird, gleich vier Schichten ist. Bezüglich jeder Schicht wird eine Schicht-Nummer (ID) als X bezüglich einer bestimmten Schicht definiert, und Schicht-Nummern (IDs) werden als 1, 2 und 3 definiert, in einer Reihenfolge von der frühesten Reihenfolge des Schreibens bezüglich anderer Schichten mit Ausnahme der bestimmten Schicht. In jeder Schicht wird dann ein mehrfaches Schreiben vier Mal (r = 4) durchgeführt, ohne die Position zu verschieben. D. h., dass dies den Fall zeigt, wenn ein mehrfaches Schreiben 16 Mal durchgeführt wird. In der zweiten Ausführungsform wird die Bestrahlungszeit gemäß einer Graustufe definiert.
In der zweiten Ausführungsform wird, wie in 12 gezeigt, in einer bestimmten Schicht der Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem ersten Schuss (Wiederholungs-ID = 1) der bestimmten Schicht-ID addiert.
Gemäß der zweiten Ausführungsform ist in einem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S116) für eine bestimmte Schicht die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz verwendet wird, die Bestrahlungszeit „t” für den zweiten und nachfolgende Schüsse in einer diesbezüglichen bestimmten Schicht, nicht jedoch für den ersten Schuss (Wiederholungs-ID = 1) in der diesbezüglichen bestimmten Schicht. Daher erhält die Berechnungseinheit 37 (ein Beispiel der ersten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit), bezüglich einer bestimmten Schicht in einer Vielzahl von Schichten, einen ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist) durch ein Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, als die Bestrahlungszeit „t” für den zweiten und nachfolgende Schüsse von Ladungsträgerteilchenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen der gleichen Position.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 249.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
Im Schritt S130 bestimmt die Bestimmungseinheit 132, als ein Bestimmungsschritt, ob die Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht gleich 1 (der erste Schuss) ist oder nicht.
Im Schritt S132 kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 133 Schussdaten für den ersten Schuss in der bestimmten Schicht (zum Beispiel die Schicht-ID = 1)
Im Schritt S134 berechnet die Berechnungseinheit 34 (ein Beispiel einer zweiten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit) als ein Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt in einer bestimmten Schicht, bezüglich einer bestimmten Schicht in einer Vielzahl von Schichten, einen ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist) durch ein Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” addiert den Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem berechneten ganzzahligen Wert, und behandelt den durch die Addition erhaltenen Wert als die Bestrahlungszeit „t” für den ersten Schuss von Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen der gleichen Position.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich ID = 1 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 249 + 3 = 252.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich ID = 1 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250 + 1 = 251.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich ID = 1 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250 + 3 = 253.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” zum Beispiel durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich ID = 1 in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = X) gleich t = 250 + 1 = 251.
Im Schritt S136 stellt (definiert) die Einstelleinheit 135, als ein Bestrahlungszeit-Einstellschritt, die erhaltene Bestrahlungszeit „t” für die Schussdaten ein, die für den ersten Schuss in einer bestimmten Schicht kopiert wurden.
Im Schritt S138 stellt (definiert) die Einstelleinheit 136, als ein Bestrahlungszeit-Einstellschritt, in den Schussdaten, die ursprünglich erzeugt wurden, den ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist), erhalten in der bestimmten Schicht durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, als die Bestrahlungszeit von einem Schuss für den zweiten und nachfolgende Schüsse (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in der bestimmten Schicht 1.
Obwohl in dem Beispiel der 11 Schussdaten, die ursprünglich erzeugt werden, als die Schussdaten für den zweiten und nachfolgende Schüsse (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in einer bestimmten Schicht verwendet werden, und kopierte Schussdaten für den ersten Schuss in der bestimmten Schicht verwendet werden, kann dies auch umgekehrt sein.
Im Schritt S140 kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 137, als ein Kopierverarbeitungsschritt, Schussdaten, in denen die Bestrahlungszeit „t” in dem Bestrahlungszeit-Einstellschritt (S136) definiert wurde, wobei die Anzahl von Kopierungen äquivalent zu der Anzahl von Schüssen beim zweiten und nachfolgenden Mal (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in einer bestimmten Schicht ist. In dem zweiten und nachfolgenden Schüssen (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in der bestimmten Schicht, können die Schussdaten, in denen die Bestrahlungszeit „t” eingestellt wurde, kopiert und so wie sie sind verwendet werden, da die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich zueinander sind. Es ist daher in dem zweiten und den nachfolgenden Schüssen (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in der bestimmten Schicht ausreichend, nur einen Schussdatensatz zu erzeugen, und es ist nicht erforderlich, andere Schussdaten zu erzeugen. Die Verarbeitungszeit kann somit reduziert werden.
Im Schritt S142 bestimmt die Bestimmungseinheit 138, als ein Bestimmungsschritt, ob oder ob nicht die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Wiederholungen in einer bestimmten Schicht (zum Beispiel der Schicht-ID = 1) abgeschlossen wurde. Wenn dies nicht abgeschlossen ist, kehrt diese zu dem Bestimmungsschritt (S130) zurück, und wiederholt die Schritte von dem Bestimmungsschritt (S130) zu dem Bestimmungsschritt (S142), bis diese beendet sind.
Durch die oben beschriebene Konfiguration ist es gemäß der zweiten Ausführungsform möglich, die Differenz der Bestrahlungszeit zwischen Schüssen zu unterdrücken, um eine maximale (Anzahl der Wiederholungen „r” – 1) Graustufe zu sein, wie in 12 gezeigt, da der Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” als ein Anteil addiert wird. Obwohl diese Graustufendifferenz größer als jene der ersten Ausführungsform ist, in der die Differenz maximal eine Graustufe ist, ist es möglich, die Graustufendifferenz stark zu reduzieren, verglichen mit dem Vergleichsbeispiel (tshot), in dem die Differenz maximal eine Graustufe von (Multiplizität (mr) – 1) ist. Die maximale Differenz- (Anzahl der Wiederholungen „r” – 1) Graustufe ist in dem Toleranzpegel ausreichend.
Da ferner in der zweiten Ausführungsform der Anteil der Bestrahlungszeit nur in dem ersten Schuss in einer bestimmten Schicht enthalten ist, ist es in anderen nicht bestimmten Schichten ausreichend, die Schussdaten zu kopieren, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde, wobei die Anzahl der Kopierungen äquivalent zu der Anzahl von Wiederholungen ist. In dem zweiten und anschließenden Schüssen in der bestimmten Schicht ist es ferner ausreichend, die Schussdaten jeweils zu kopieren, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde, wobei die Anzahl von Kopierungen äquivalent zu der Anzahl von Wiederholungen des zweiten und nachfolgender Schüsse ist. Gemäß der zweiten Ausführungsform kann daher die Datenverarbeitungszeit kürzer als jene der ersten Ausführungsform sein, und es muss nicht erwähnt werden, dass diese kürzer als jene des Vergleichsbeispiels (ishot) ist. Da ferner die zweite Ausführungsform gleich zu dem Vergleichsbeispiel (tshot) dahingehend ist, dass der Anteil der Bestrahlungszeit nur in dem ersten Schuss in einer bestimmten Schicht enthalten ist, kann die Datenverarbeitungszeit vergleichbar zu dem Vergleichsbeispiel (tshot) reduziert werden.
Ausführungsform 3
Obwohl gemäß der zweiten Ausführungsform eine Differenz von maximal (Anzahl der Wiederholungen „r” – 1) Graustufen in einer Bestrahlungszeit zwischen Schüssen erzeugt werden kann, kann eine derartige Differenz gemäß einem Verfahren der dritten Ausführungsform weiter reduziert werden.
13 ist ein schematisches Diagramm zur Darstellung einer Konfiguration einer Schreibvorrichtung gemäß der dritten Ausführungsform. 13 ist gleich zu 1, mit Ausnahme darin, dass eine Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 230 anstelle der bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 31 aufgenommen ist. Das heißt, dass in der Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 111 die Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 230, die Nicht-Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 41 und die Bestimmungseinheiten 50, 52 und 54 angeordnet sind. Jede Funktion, wie z. B. die der Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 230, der Nicht-Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 41 und der Bestimmungseinheiten 50, 52 und 54 kann durch eine Software konfiguriert sein, wie z. B. ein Programm, das bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch eine Hardware, wie z. B. eine elektronische Schaltung. Alternativ kann diese durch eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
In der Bestimmte-Schicht-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit 230 sind Berechnungseinheiten 37, 235, 243 und 244, Kopierverarbeitungsarbeiten 234, 242 und 256, Bestimmungseinheiten 232, 233, 241 und 254, und Einstelleinheiten 250 und 252 angeordnet. Jede Funktion wie der der Berechnungseinheiten 37, 235, 243 und 244, der Kopierverarbeitungseinheiten 234, 242 und 256, der Bestimmungseinheiten 232, 233, 241 und 254, und der Einstelleinheiten 250 und 252 kann durch Software konfiguriert werden, z. B. ein Programm, welches bewirkt, dass ein Computer diese Funktionen implementiert, oder durch eine Hardware, wie z. B. eine elektronische Schaltung. Alternativ kann diese wie eine Kombination aus Software und Hardware konfiguriert werden.
14 ist ein Flussdiagramm zur Darstellung wesentlicher Schritte eines Einstellverfahrens einer Bestrahlungszeit und eines Erzeugungsverfahrens von Schussdaten gemäß der dritten Ausführungsform. In 14 sind Schritte von dem Schussdaten-Erzeugungsschritt (S102) zu dem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S116) in einer bestimmten Schicht gleich zu jenen in 5. Darüber hinaus sind Schritte von dem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S208) in einer nicht bestimmten Schicht zu dem Bestimmungsschritt (S254) ebenfalls gleich zu jenen in 5. Der Inhalt der dritten Ausführungsform kann gleich zu jenem der ersten oder der zweiten Ausführungsform sein, mit Ausnahme dessen, was im Folgenden beschrieben ist.
15 zeigt einen Fall der Bestrahlungszeit, die durch ein Schreibzeit-(Bestrahlungszeit-)Einteilungsverfahren gemäß der dritten Ausführungsform eingeteilt wird. 15 zeigt, wie auch 6, den Fall, der durch zwei Streifenschichten und zwei SF-Schichten konfiguriert ist, wobei „m”, wobei es sich um die Anzahl von Schichten zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens handelt, während die Position verschoben wird, gleich vier Schichten ist. Bezüglich jeder Schicht wird eine Schicht-Nummer (ID) als X bezüglich einer bestimmten Schicht definiert, und Schicht-Nummern (IDs) werden als 1, 2 und 3 in einer Reihenfolge von der größten Reihenfolge des Schreibens bezüglich anderer Schichten mit Ausnahme der bestimmten Schicht definiert. In jeder Schicht wird dann ein mehrfaches Schreiben viermal (r = 4) durchgeführt, ohne die Position zu verschieben. Das heißt, dass dies den Fall zeigt, wenn ein mehrfaches Schreiben sechzehnmal durchgeführt wird. In der dritten Ausführungsform wird die Bestrahlungszeit gemäß einer Graustufe definiert.
In der dritten Ausführungsform wird, wie in 15 gezeigt, die Bestrahlungszeit an dem ersten Schuss (Wiederholungs-ID = 1) einer bestimmten Schicht-ID erhöht oder verringert, verglichen mit der Bestrahlungszeit des zweiten und nachfolgender Schüsse (Wiederholungs-ID = 2 bis 4).
In dem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S116) in einer bestimmten Schicht gemäß der dritten Ausführungsform ist die Bestrahlungszeit „t”, die als eine Referenz verwendet wird, die Bestrahlungszeit „t” für den zweiten und nachfolgende Schüsse in der bestimmten Schicht, wenn der Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner als oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist. Die Berechnungseinheit 37 (ein Beispiel der ersten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit) berechnet daher, bezüglich einer bestimmten Schicht einer Vielzahl von Schichten, einem ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist) durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, als die Bestrahlungszeit „t” für den zweiten und nachfolgende Schüsse von Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen der gleichen Position, wenn der Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner als oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 3999 oder 4007 angezeigt ist, entspricht dies nicht dem Fall kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r”, da der Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” in der bestimmten Schicht gleich 3 ist. (In dem Beispiel der 15 wird eine Bestimmung durchgeführt, ob der Rest geringer als oder gleich zu 2 ist, da r = 4 ist.)
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4000, 4001, 4008 oder 4009 angezeigt ist, korrespondiert dieses zu einem Fall geringer als oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r”, da der Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” in der bestimmten Schicht 0, 1, 0 bzw. 1 ist. (In dem Beispiel der 15 wird eine Bestimmung durchgeführt, ob der Rest geringer als oder gleich zu 2 ist, da r = 4 ist.) In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
In dem Fall einer Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss einer Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich t = 250.
Im Schritt S150 bestimmt die Bestimmungseinheit 232, als ein Bestimmungsschritt, ob, in einer bestimmten Schicht, der Rest (a%r) aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner als oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist oder nicht.
Bezüglich der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 3999 oder 4007 angezeigt ist, entspricht dies in dem Fall der oben beschriebenen 15 nicht dem Fall kleiner als oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r”, da der Rest (a%r) aus dem Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” in der bestimmten Schicht gleich 3 ist. (Da in dem Beispiel der 15 r = 4 ist, wird eine Bestimmung durchgeführt, ob der Rest kleiner gleich oder gleich zu 2 ist.)
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4000, 4001, 4008 oder 4009 gemäß 15 angezeigt ist, entspricht dies einem Fall kleiner als oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r”, da der Rest (a%r) aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” in der bestimmten Schicht 0, 1, 0 bzw. 1 ist. (Da in dem Beispiel der 15 r = 4 ist, wird eine Bestimmung durchgeführt, ob der Rest kleiner gleich oder gleich zu 2 ist.)
Wenn im Schritt S152, als ein Bestimmungsschritt, der Rest (a%r) kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, bestimmt die Bestimmungseinheit 133, ob die Wiederholungs-ID in der bestimmten Schicht gleich 1 (der erste Schuss) ist oder nicht.
Wenn im Schritt 153, als ein Kopierverarbeitungsschritt, der Rest (a%r) ist kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist und die Wiederholungs-ID in der bestimmten Schicht gleich 1 (der erste Schuss) ist, kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 234 Schussdaten für den ersten Schuss in der bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = 1).
Wenn im Schritt S154, als ein Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt in einer bestimmten Schicht, der Rest (a%r) kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, und die Wiederholungs-ID in der bestimmten Schicht gleich 1 (der erste Schuss) ist, bezüglich einer bestimmten Schicht einer Vielzahl von Schichten, berechnet die Berechnungseinheit 235 (ein Beispiel einer zweiten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit) einen ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist) durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und addiert den Rest (a%r) aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem ganzzahligen Wert, und behandelt den Wert (t = t + (a%r)), der durch die Addition erhalten wird, als die Bestrahlungszeit „t” für den ersten Schuss von Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen der gleichen Position, wenn der Rest (a%r) aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist.
Daher ist in dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4000 angezeigt ist, die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss, dessen Wiederholungs-ID ist in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich ID = 1 ist, t = 250 + 0 = 250.
Daher ist in dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4001 angezeigt ist, die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss, dessen Wiederholungs-ID ist in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich ID = 1 ist, t = 250 + 1 = 251.
Daher ist in dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4008 angezeigt ist, die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss, dessen Wiederholungs-ID ist in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich ID = 1 ist, t = 250 + 0 = 250.
Daher ist in dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4009 angezeigt ist, die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss, dessen Wiederholungs-ID ist in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich ID = 1 ist, t = 250 + 1 = 251.
Wenn im Schritt S156, als ein Bestimmungsschritt, der Rest (a%r) nicht kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, bestimmt die Bestimmungseinheit 241, ob oder ob nicht die Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht gleich 1 (der erste Schuss) ist.
Wenn im Schritt S157, als ein Kopierverarbeitungsschritt, der Rest (a%r) nicht kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, und die Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht gleich 1 (der erste Schuss) ist, kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 242 Schussdaten für den ersten Schuss in der bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = 1).
Wenn im Schritt S158, als ein Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt in einer bestimmten Schicht, der Rest (a%r) nicht kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, und die Wiederholungs-ID in der bestimmten Schicht gleich 1 (der erste Schuss) ist, bezüglich der bestimmten Schicht in einer Vielzahl von Schichten, berechnet die Berechnungseinheit 243 (ein Beispiel einer dritten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit) einen ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser dividierbar ist) durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, addiert eine 1 zu dem ganzzahligen Wert, um einen addierten Wert zu erhalten, subtrahiert der Rest (a%r) aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” von der Anzahl von Wiederholungen „r”, um einen subtrahierten Wert zu erhalten, subtrahiert diesen subtrahierten Wert (r – (a%r)) von dem addierten Wert, um einen Wert t = t + 1 – (r – (a%r)) zu erhalten, und behandelt den Wert t = t + 1 – (r – (a%r)) als die Bestrahlungszeit „t” für den ersten Schuss von Elektronenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen der gleichen Position, wenn der Rest (a%r) der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich ID = 1 einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich t = 249 + 1 –(4 – 3) = 249.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich groß ID = 1 in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = 1) gleich t = 250 + 1 – (4 – 3) = 250.
Wenn im Schritt S159, als ein Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt in einer bestimmten Schicht, der Rest (a%r) nicht kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, und die Wiederholungs-ID in einer bestimmten Schicht nicht 1 (der erste Schuss) ist, bezüglich der bestimmten Schicht einer Vielzahl von Schichten, berechnet die Berechnungseinheit 244 (ein Beispiel einer vierten Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit) einen ganzzahligen Wert (int(a/r)) (ein Dezimalanteil wird gerundet, wenn dieser nicht dividierbar ist) durch Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, addiert 1 zu dem ganzzahligen Wert, um einen Wert (t = t + 1) zu erhalten, und behandelt den Wert (t = t + 1) als die Bestrahlungszeit „t” für den zweiten und nachfolgende Schüsse von Elektronenschalten einer Vielzahl von Schüssen der gleichen Position, wenn der Rest (a%r) der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl Wiederholungen „r” größer als 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 3999 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich t = 249 + 1 = 250.
In dem Fall der Schussfigur, deren Gesamtbestrahlungszeit „n” z. B. durch einen Graustufenwert von 4007 angezeigt ist, ist die Bestrahlungszeit „t” von einem Schuss der Wiederholungs-ID gleich ID = 2, 3 oder 4 in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) gleich t = 250 + 1 = 251.
Im Schritt S160 stellt (definiert) die Einstelleinheit 250, als ein Bestrahlungszeit-Einstellschritt, die erhaltene Bestrahlungszeit „t” für die Schussdaten ein, die für den ersten Schuss in einer bestimmten Schicht kopiert wurden.
Im Schritt S162 stellt (definiert) die Einstelleinheit 252, als ein Bestrahlungszeit-Einstellschritt, die erhaltene Bestrahlungszeit „t” auf die Schussdaten ein, die ursprünglich erzeugt wurden, für den zweiten und anschließende Schüsse (Wiederholung-ID = 2, 3 oder 4) in einer bestimmten Schicht.
Obwohl in dem Beispiel der 14 ursprünglich erzeugte Schussdaten als die Schussdaten für den zweiten und nachfolgende Schüsse (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in einer bestimmten Schicht verwendet werden, und kopierte Schussdaten für den ersten Schuss in der bestimmten Schicht verwendet werden, kann dies auch umgekehrt sein.
Im Schritt S164 kopiert (dupliziert) die Kopierverarbeitungseinheit 256, als ein Kopierverarbeitungsschritt, Schussdaten, in denen die Bestrahlungszeit „t” in dem Bestrahlungszeit-Einstellschritt (S162) definiert wurde, wobei die Anzahl der Kopierungen äquivalent zu der Anzahl von Schüssen beim zweiten und anschließenden Mal (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in einer bestimmten Schicht ist. In dem zweiten und anschließenden Schüssen (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in der bestimmten Schicht können die Schussdaten, in denen die Bestrahlungszeit „t” eingestellt wurde, kopiert und so wie sie sind verwendet werden, da die Bestrahlungszeit „t” von jedem Schuss gleich zueinander ist. In dem zweiten und anschließenden Schüssen (Wiederholungs-ID = 2, 3 oder 4) in der bestimmten Schicht ist es daher ausreichend, nur einen Satz von Schussdaten zu erzeugen, und es ist nicht erforderlich, andere Schussdaten zu erzeugen. Die Überarbeitungszeit kann daher reduziert werden.
Im Schritt S166 bestimmt die Bestimmungseinheit 254, als ein Bestimmungsschritt, ob die Berechnung und Einstellung der Bestrahlungszeit „t” für jede von allen Wiederholungen in einer bestimmten Schicht (z. B. der Schicht-ID = X) abgeschlossen wurde oder nicht. Wenn dies nicht abgeschlossen ist, kehrt diese zu dem Bestimmungsschritt (S150) zurück und wiederholt die Schritte von dem Bestimmungsschritt (S150) zu dem Bestimmungsschritt (S166), bis eine Beendigung vorliegt.
In dem Bestrahlungszeit-Berechnungsschritt (S208) in einer nicht bestimmten Schicht, dient die Berechnungseinheit 42 als ein Beispiel einer fünften Schuss-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit.
Durch die gemäß der dritten Ausführungsform oben beschriebene Konfiguration ist es möglich, die Differenz einer Bestrahlungszeit zwischen Schüssen auf maximal ± (Anzahl der Wiederholungen „r”/2) Graustufen zu unterdrücken, wie in 15 gezeigt. Obwohl diese Graustufendifferenz breiter bzw. größer als die der ersten Ausführungsform ist, in der die Differenz maximal eine Graustufe ist, ist es möglich, die Graustufendifferenz stark zu reduzieren, verglichen mit dem Vergleichsbeispiel (tshot), bei dem die Differenz maximal (Multiplizität (mr) – 1)) Graustufen ist.
Ferner ist es möglich, die Graustufendifferenz zu unterdrücken, sodass diese kleiner als die der zweiten Ausführungsform ist, bei der die Differenz maximal (Anzahl der Wiederholungen „r” – 1) Graustufen ist. Die maximale Differenz ± (Anzahl der Wiederholungen „r”/2) Graustufen ist in dem Toleranzbereich ausreichend.
Da darüber hinaus in der dritten Ausführungsform der Anteil der Bestrahlungszeit nur in dem ersten Schuss einer bestimmten Schicht enthalten ist, ist es in anderen nicht bestimmten Schichten ausreichend, die Schussdaten zu kopieren, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde, wobei die Anzahl von Kopierungen äquivalent zu der Anzahl von Wiederholungen ist. In dem zweiten und anschließenden Schüssen in der bestimmten Schicht ist es darüber hinaus ausreichend, jeweils die Schussdaten zu kopieren, in denen die Bestrahlungszeit bereits definiert wurde, wobei die Anzahl von Kopierungen äquivalent zu der Anzahl von Wiederholungen des zweiten und der anschließenden Schüsse ist. Gemäß der dritten Ausführungsform kann die Datenverarbeitungszeit daher kürzer als die der ersten Ausführungsform sein, und es muss nicht erwähnt werden, dass diese kürzer als in dem Vergleichsbeispiel (tshot) ist. Da darüber hinaus die dritte Ausführungsform gleich zu dem Vergleichsbeispiel (tshot) darin ist, dass der Anteil der Bestrahlungszeit nur in dem ersten Schuss in einer bestimmten Schicht enthalten ist, kann die Datenverarbeitungszeit vergleichbar zu dem Vergleichsbeispiel (tshot) reduziert werden.
Es wurden Ausführungsformen erläutert, unter Bezugnahme auf konkrete Beispiele, die oben beschrieben sind. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese bestimmten Beispiele beschränkt.
Während die Vorrichtungskonfiguration, das Steuerverfahren, und dergleichen, die nicht direkt notwendig zur Erläuterung der vorliegenden Erfindung sind, nicht beschrieben wurden, können einige oder alle davon geeignet ausgewählt und verwendet werden, wenn dies notwendig ist. Obwohl die Beschreibung der Konfiguration einer Steuereinheit zum Steuern der Schreibvorrichtung 100 z. B. weggelassen ist, wird verstanden, dass ein Teil oder die Gesamtheit der Konfiguration der Steuereinheit geeignet ausgewählt und verwendet wird, wenn dies notwendig ist.
Darüber hinaus ist jede andere Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung, Schreibverfahren und Einteilungsverfahren einer Bestrahlungszeit von Ladungsträgerteilchenstrahlen zum mehrfachen Schreiben, die Elemente der vorliegenden Erfindung enthalten, und die geeignet durch den Durchschnittsfachmann modifiziert werden können, im Umfang der vorliegenden Erfindung enthalten.
Zusätzliche Vorteile und Modifikationen sind dem Durchschnittsfachmann leicht ersichtlich. Die Erfindung in dessen breiteren Aspekten ist daher nicht auf die bestimmten Details und repräsentativen Ausführungsformen beschränkt, die hier gezeigt und beschrieben sind. Verschiedene Modifikationen können daher durchgeführt werden, ohne vom Umfang des allgemeinen erfinderischen Konzepts abzuweichen, wie es durch die Ansprüche und deren Äquivalente definiert ist.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2012-154457 [0001]
JP 10-261557 A [0006]

Claims

Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung (100) zum Schreiben eines Musters auf einem Zielobjekt mit einem Ladungsträgerteilchenstrahl, umfassend: eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21), konfiguriert zum Erhalten eines bestimmten Werts durch Berechnen eines ganzzahligen Werts durch eine Division einer Gesamtbestrahlungszeit „n” von Ladungsträgerteilchenstrahlen einer Vielzahl von Schüssen auf eine gleiche Position durch einen multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren einer Mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichszahl, wobei es sich um eine Anzahl einer Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens handelt, während eine Position verschoben wird, durch eine Anzahl von Wiederholungen „r”, wobei es sich um eine Anzahl von Wiederholungen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens ohne eine Verschiebung einer Position in jeder der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen handelt, und durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, zum Addieren der Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem bestimmten Wert, wenn ein mehrfacher Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen ist und kein bestimmter mehrerer Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Regionen eingestellt wurde, und wenn eine Mehrere-Schreibeinheit-Bereichszahl des Mehreren-Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehreren Schreibeinheit-Bereichs, kleiner als oder gleich zu einem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der berechnet wird durch Multiplizieren der Mehreren-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, um einen ersten Rest zu erhalten, und ferner zum Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln eines addierten Werts von „r” und des bestimmten Werts, als eine Gesamtbestrahlungszeit eines Ladungsträgerteilchenstrahls in dem mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position, zum Behandeln des bestimmten Werts, als die Gesamtbestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in dem mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position, wenn der mehrfache Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen ist und nicht der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich, der vorher in der Vielzahl von mehreren Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, und wenn die mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl des mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, nicht kleiner als oder gleich zu dem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Addieren eines zweiten Rests zu dem bestimmten Wert, wenn der mehrfache Schreibeinheit-Bereich der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, wobei der zweite Rest erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln eines addierten Werts des zweiten Rests und des bestimmten Werts, als die Gesamtbestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in dem mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; und eine Schreibeinheit (150), konfiguriert zum Schreiben eines Musters auf einem Zielobjekt durch Bestrahlen des Zielobjekts mit den Ladungsträgerteilchenstrahlen, sodass die Gesamtbestrahlungszeit jedem der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen entspricht.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21) eine Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (23) enthält, die konfiguriert ist zum Berechnen eines Werts durch Erhalten des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, erhalten durch Multiplizieren der Mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts mit der Anzahl von Wiederholungen „r”, und den berechneten Wert als eine Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit behandelt.
Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21) ferner eine erste Bestimmungseinheit (27) enthält, die konfiguriert ist zum Bestimmen, ob ein mehrfacher Schreibeinheit-Bereich, für den die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit zu berechnen ist, der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist.
Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21) ferner eine Bestimmte-Bereich-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (24) enthält, die konfiguriert ist zum Berechnen eines Werts durch Addieren des zweiten Rests aus der Division der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu der Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit.
Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21) ferner eine Schwellenwert-Berechnungseinheit (26) enthält, die konfiguriert ist zum Erhalten eines ganzzahligen Werts, als ein Schwellenwert, durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren der Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, um den ersten Rest zu erhalten, und darüber hinaus zum Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”.
Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21) ferner eine zweite Bestimmungseinheit (28) enthält, die konfiguriert ist zum Bestimmen, wenn der mehrfache Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehrfache Schreibeinheit-Bereichen ist, und nicht der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, ob die mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, geringer als oder gleich zu dem Schwellenwert ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (21) ferner eine nicht Bestimmte-Bereichs-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit-Berechnungseinheit (29) enthält, die konfiguriert ist zum Berechnen eines Werts durch Addieren der Anzahl von Wiederholungen „r” zu der Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit.
Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine Speichereinheit (140), konfiguriert zum Speichern von Musterdaten, die ein Figurenmuster definieren; und eine Schussdaten-Erzeugungseinheit (12), konfiguriert zum Lesen der Musterdaten und der Speichereinheit, und zum Erzeugen von Schussdaten von einer Vielzahl von Schussfiguren, die erstellt sind durch Dividieren des Figurenmusters in die Vielzahl von Schussfiguren, die jeweils eine Größe aufweisen, die durch einen Strahlenschuss zu formen ist, wobei die Schussdaten-Erzeugungseinheit Schussdaten der Vielzahl von Schussfiguren erzeugt, die erneut für jeden der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen unterteilt wurde, wobei ein mehrfaches Schreiben durchgeführt wird, während eine Position verschoben wird.
Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine erste Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (37), konfiguriert zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen zweiten und nachfolgende Schüsse des Ladungsträgerteilchenstrahls der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; eine zweite Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (134), die konfiguriert ist zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren eines Rests aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen ersten Schuss der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; und eine dritte Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (42), die konfiguriert ist zum Berechnen, bezüglich mehrfacher Schreibeinheit-Bereiche außer dem bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss gleicher Zeit der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position.
Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine erste Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (37), konfiguriert zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von Schreibeinheit-Bereichen, eines ganzzahligen Wert durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und wenn ein Rest der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, zum Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen zweiten und anschließende Schüsse der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; eine zweite Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (235), die konfiguriert ist zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren des Rests aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und dann, der Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, zum Behandeln des Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen ersten Schuss der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; eine dritte Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (243), konfiguriert zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines ersten Werts durch Addieren einer 1 zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, eines zweiten Werts durch Subtrahieren des Rests aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” aus der Anzahl von Wiederholungen „r”, und eines dritten Werts durch Subtrahieren des zweiten Werts vom ersten Wert, und dann, wenn der Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, zum Behandeln des dritten Werts als die Bestrahlungszeit „t” für den ersten Schuss der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; eine vierte Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (244), die konfiguriert ist zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren von 1 zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und dann, wenn der Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, zum Behandeln des Werts als die Bestrahlungszeit „t” für den zweiten und nachfolgende Schüsse der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position; und eine fünfte Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (42), die konfiguriert ist zum Berechnen, bezüglich mehrfacher Schreibeinheit-Bereiche außer des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss gleicher Zeit der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position.
Vorrichtung nach Anspruch 1, ferner umfassend: eine erste Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (37), konfiguriert zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss, bezüglich dessen ein Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” nicht größer als oder gleich zu einer Anzahl eines bestimmten n-ten Schreibens von einem mehrfachen Schreiben ist, dessen Anzahl von Wiederholungen „r” ist; eine zweite Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (34), die konfiguriert ist zum Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren von 1 zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss, bezüglich dessen der Rest der Division der Gesamtbestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als oder gleich zu einer Anzahl von einem bestimmten n-ten Schreiben von einem mehrfachen Schreiben ist, deren Anzahl von Wiederholungen „r” ist; und eine dritte Schussbestrahlungszeit-Berechnungseinheit (42), konfiguriert zum Berechnen, bezüglich mehrerer Schreibeinheit-Bereiche mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des ganzzahligen Werts als Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss gleicher Zeit in den mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen.
Bestrahlungszeit-Einteilungsverfahren von Ladungsträgerteilchenstrahlen für ein mehrfaches Schreiben, umfassend: Berechnen eines Werts, der auszugeben ist, durch Erhalten eines ganzzahligen Werts durch Dividieren einer Gesamtbestrahlungszeit „n” durch einen multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren einer Mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” mit einer Anzahl von Wiederholungen „r”, durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Addieren der Anzahl von Wiederholungen „r” zu einem multiplizierten ganzzahligen Wert, und Behandeln des Werts als eine Gesamtsummen-Bestrahlungszeit eines Ladungsträgerteilchenstrahls in einem diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in Ladungsträgerteilchenstrahlen einer Vielzahl von Schussvorgängen auf eine gleiche Position, wenn der diesbezügliche mehrfache Schreibeinheit-Bereich in einer Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens ist, während eine Position verschoben wird, und kein bestimmter mehrfacher Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, und dann, wenn eine Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl des diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, geringer als oder gleich zu einem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen auf die gleiche Position durch den multiplizierten Wert, der berechnet wird durch Multiplizieren der Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl „m”, wobei es sich um eine Anzahl einer Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen handelt, mit einer Anzahl von Wiederholungen „r”, wobei es sich um die Anzahl von Wiederholungen zum Durchführen eines mehrfachen Schreibens handelt, ohne eine Position zu verschieben, in jedem der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, um einen ersten Rest zu erhalten, und ferner ein Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”; Berechnen eines Werts, der ausgegeben ist, durch Erhalten des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren der Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und zum Behandeln des Werts als die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in dem diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position, wenn der diesbezügliche mehrfache Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen ist, und nicht der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, und dann, wenn die Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl des diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, nicht kleiner als oder gleich einem Wert ist, der erhalten wird durch Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”; und Berechnen eines Werts, der auszugeben ist, durch Erhalten des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren der Mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts mit der Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Addieren eines zweiten Rests aus der Division der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu einem multiplizierten ganzzahligen Wert, und Behandeln des Werts als die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit des Ladungsträgerteilchenstrahls in den diesbezüglichen mehrfachen Schreibeinheit-Bereich, in den Ladungsträgerstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position, wenn die diesbezügliche mehrfache Schreibeinheit-Bereich der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereiches, der vorher in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde.
Verfahren nach Anspruch 12, wobei, das Berechnen der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit ein Berechnen eines Werts enthält, durch Erhalten des ganzzahligen Werts aus der Division der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, erhalten durch ein Multiplizieren der mehrfachen-Schreibeinheit-Bereichs-Nummer „m” mit der Anzahl von Wiederholungen „r”, und durch Multiplizieren des ganzzahligen Werts mit der Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des berechneten Werts als eine Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei das Berechnen der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit ein Bestimmen enthält, ob ein mehrfacher Schreibeinheit-Bereich, für den die Gesamtsummen-Bestrahlungszeit zu berechnen ist, der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist.
Verfahren nach Anspruch 14, wobei das Berechnen der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit ein Berechnen eines Werts enthält, durch Addieren des zweiten Rests aus der Division der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu der Referenz-Gesamtsummen-Bestrahlungszeit.
Verfahren nach Anspruch 14, wobei das Berechnen der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit ein Berechnen eines ganzzahligen Werts enthält, als ein Schwellenwert, durch Dividieren der Gesamtbestrahlungszeit „n” durch den multiplizierten Wert, der erhalten wird durch Multiplizieren der Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl „m” mit der Anzahl von Wiederholungen „r”, um den ersten Rest zu erhalten, und ferner ein Dividieren des ersten Rests durch die Anzahl von Wiederholungen „r”.
Verfahren nach Anspruch 16, wobei das Berechnen der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit ein Bestimmen enthält, wenn der mehrfache Schreibeinheit-Bereich in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen ist und nicht der bestimmte mehrfache Schreibeinheit-Bereich ist, der vorab in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen eingestellt wurde, ob die Mehrfache-Schreibeinheit-Bereichszahl, definiert mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs, kleiner gleich oder gleich dem Schwellenwert ist.
Verfahren nach Anspruch 12, ferner umfassend: Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen zweiten und nachfolgende Schüsse der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position; Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren eines Rests aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen ersten Schuss der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position; und Berechnen, bezüglich mehrfacher Schreibeinheit-Bereiche mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss gleicher Zeit der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position.
Verfahren nach Anspruch 12, ferner umfassend: Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und dann, wenn ein Rest der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner-gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen zweiten und nachfolgende Schüsse der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position; Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren des Rests aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und dann, wenn der Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” kleiner gleich oder gleich zu 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, Behandeln des Wert als die Bestrahlungszeit „t” für einen ersten Schuss der Ladungsträgerteilchenstrahlung der Vielzahl von Schüssen der gleichen Position; Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines ersten Werts durch Addieren von 1 zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl durch Wiederholungen „r”, eines zweiten Werts durch Subtrahieren des Rests aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” von der Anzahl von Wiederholungen „r”, und eines dritten Werts durch Subtrahieren des zweiten Werts vom ersten Wert, und dann, wenn der Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, Behandeln des dritten Werts als die Bestrahlungszeit „t” für den ersten Schuss der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position; Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren von 1 zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und dann, wenn der Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als 1/2 der Anzahl von Wiederholungen „r” ist, Behandeln des Werts als die Bestrahlungszeit „t” für den zweiten und nachfolgende Schüsse der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahlen von Schussvorgängen der gleichen Position; und Berechnen, bezüglich mehrfacher Schreibeinheit-Bereichen mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs in der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss gleicher Zeit der Ladungsträgerteilchenstrahlen der Vielzahl von Schussvorgängen der gleichen Position.
Verfahren nach Anspruch 12, ferner umfassend: Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss, bezüglich dessen ein Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” nicht größer als oder gleich zu einer Anzahl von einem bestimmten n-ten Schreiben von einem mehrfachen Schreiben ist, dessen Anzahl von Wiederholungen „r” ist; Berechnen, bezüglich des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, eines Werts durch Addieren von 1 zu dem ganzzahligen Wert, der erhalten wird durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss, bezüglich dessen der Rest aus der Division der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r” größer als oder gleich zu einer Anzahl von einem bestimmten n-ten Schreiben von einem vielfachen Schreiben ist, dessen Anzahl von Wiederholungen „r” ist; und Berechnen, bezüglich mehrfacher Schreibeinheit-Bereiche mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und einer Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen, des ganzzahligen Werts durch Dividieren der Gesamtsummen-Bestrahlungszeit „a” durch die Anzahl von Wiederholungen „r”, und Behandeln des ganzzahligen Werts als die Bestrahlungszeit „t” für einen Schuss gleicher Zeit in den mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen mit Ausnahme des bestimmten mehrfachen Schreibeinheit-Bereichs und der Vielzahl von mehrfachen Schreibeinheit-Bereichen.