DE102012020475A1 - Organische elektrolumineszenz-anzeigevorrichtung - Google Patents

Organische elektrolumineszenz-anzeigevorrichtung Download PDF

Info

Publication number
DE102012020475A1
DE102012020475A1 DE102012020475A DE102012020475A DE102012020475A1 DE 102012020475 A1 DE102012020475 A1 DE 102012020475A1 DE 102012020475 A DE102012020475 A DE 102012020475A DE 102012020475 A DE102012020475 A DE 102012020475A DE 102012020475 A1 DE102012020475 A1 DE 102012020475A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
red
display device
light emission
substrate
organic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE102012020475A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102012020475B4 (de
Inventor
Woo Chan Kim
Byung Chul Ahn
Hong Ki PARK
Hyo Dae Bae
Yoon Heung Tak
Sung Goo JUNG
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
LG Display Co Ltd
Original Assignee
LG Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020110110807A external-priority patent/KR101818255B1/ko
Priority claimed from KR1020110110806A external-priority patent/KR101818254B1/ko
Priority claimed from KR1020110110808A external-priority patent/KR101818256B1/ko
Application filed by LG Display Co Ltd filed Critical LG Display Co Ltd
Publication of DE102012020475A1 publication Critical patent/DE102012020475A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102012020475B4 publication Critical patent/DE102012020475B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/35—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising red-green-blue [RGB] subpixels
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes
    • H10K50/81—Anodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes
    • H10K50/82—Cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes
    • H10K50/82—Cathodes
    • H10K50/822—Cathodes characterised by their shape
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes
    • H10K50/82—Cathodes
    • H10K50/828—Transparent cathodes, e.g. comprising thin metal layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/127—Active-matrix OLED [AMOLED] displays comprising two substrates, e.g. display comprising OLED array and TFT driving circuitry on different substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
    • H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/805—Electrodes
    • H10K59/8052—Cathodes
    • H10K59/80521—Cathodes characterised by their shape
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/805—Electrodes
    • H10K59/8052—Cathodes
    • H10K59/80524—Transparent cathodes, e.g. comprising thin metal layers
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/50—Forming devices by joining two substrates together, e.g. lamination techniques
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00—Organic light-emitting devices
    • H10K50/80—Constructional details
    • H10K50/805—Electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/805—Electrodes
    • H10K59/8051—Anodes
    • H10K59/80518—Reflective anodes, e.g. ITO combined with thick metallic layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

Es wird eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung offenbart, die enthält: ein unteres Substrat, das ein erstes Substrat, das in rote, grüne und blaue Unterbildpunktbereiche abgegrenzt ist, erste und zweite Schaltelemente, die den roten und grünen Unterbildpunktbereichen ausgebildet sind, erste und zweite Anoden, von denen jede mit den ersten und zweiten Schaltelementen verbunden ist, und eine erste organische Lichtemissionsschicht, die vollständig auf dem ersten Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten und zweiten Anoden versehen ist, enthält; und ein oberes Substrat, das ein zweites Substrat, rote und grüne Farbfilterschichten, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf dem zweiten Substrat ausgebildet sind, ein drittes Schaltelement, das entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf dem zweiten Substrat ausgebildet ist, eine dritte Anode, die mit dem dritten Schaltelement verbunden ist, und eine zweite organische Lichtemissionsschicht, die vollständig auf dem zweiten Substrat ausgebildet ist, das mit den roten und grünen Farbfilterschichten und der dritten Anode versehen ist, enthält.

Description

  • ORGANISCHE ELEKTROLUMINESZENZ-ANZEIGEVORRICHTUNG
  • Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität gemäß 35 USC, § 119(a), der koreanischen Patentanmeldungen Nm. 10-2011-0110806 , 10-2011-0110807 und 10-2011-0110808 , eingereicht am 27. Oktober 2011, die hier durch durch Bezugnahme vollständig mit aufgenommen sind.
  • HINTERGRUND
  • Gebiet der Offenbarung
  • Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung.
  • Beschreibung der verwandten Technik
  • Kürzlich ist eine flache Anzeigevorrichtung aktiv erforscht worden, um die Anzeigequalität zu verbessern und die Schirmgröße zu vergrößern. Unter den flachen Anzeigevorrichtungen sind die organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtungen selbstleuchtende Anzeigevorrichtungen. Um Bilder anzuzeigen, emittieren die organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtungen durch das Bilden von Exziton-Bildern durch die Rekombination von Trägern, wie z. B. einem Elektron und einem elektrischen Loch, Licht.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung kann infolge dessen, dass sie Eigenschaften, wie z. B. einen breiten Betrachtungswinkel, eine Hochgeschwindigkeitsantwort, ein hohes Kontrastverhältnis usw., besitzt, als ein Bildpunkt eines graphischen Anzeigesystems, eine Bildanzeigevorrichtung eines Fernsehsystems, eine Oberflächenlichtquelle oder anderes verwendet werden. Außerdem wird die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung mit einem geringen Gewicht, einer geringen Dicke und einem überragenden Farbensehen als eine Anzeigevorrichtung der nächsten Generation betrachtet.
  • Außerdem ist die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung in einen Typ einer passiven Matrix und einen Typ einer aktiven Matrix klassifiziert. Eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung des Typs einer aktiven Matrix enthält Dünnschichttransistoren, während eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung des Typs einer passiven Matrix keinen Dünnschichttransistor enthält.
  • Eine derartige organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung enthält organische Lichtemissionselemente, wobei jedes in den Bildpunktbereichen ausgebildet ist. Jedes der Lichtemissionselemente enthält eine organische Lichtemissionsschicht, die zwischen einer Anode und einer Kathode angeordnet ist und aus einem organischen Lichtemissionsmaterial ausgebildet ist.
  • Die organische Lichtemissionsschicht des organischen Lichtemissionselements enthält mehrere Funktionsschichten, wie z. B. eine Löcher-Injektionsschicht, eine Löcher-Transportschicht, eine Lichtemissionsschicht, eine Elektronen-Transportschicht, eine Elektronen-Injektionsschicht oder andere. Die Kombination oder Anordnung der Funktionsschichten kann den Lichtemissionswirkungsgrad des organischen Lichtemissionselements verbessern.
  • Die oben erwähnte organische Lichtemissionsschicht wird normalerweise in dem Bildpunktbereich der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung unter Verwendung eines Vakuumabscheidungsprozesses gebildet, der es erlaubt, dass ein organisches Lichtemissionsmaterial auf einem Substrat abgeschieden wird.
  • In dem Vakuumabscheidungsprozess wird ein organisches Lichtemissionsmaterial, das verwendet wird, um die organische Lichtemissionsschicht zu bilden, in einer Abscheidungsquelle mit einem Auslass angeordnet. Die Abscheidungsquelle wird in einer Vakuumkammer erwärmt, wobei sie erlaubt, dass das organische Lichtemissionsmaterial verdampft und durch den Auslass ausströmt. Als solches kann das verdampfte organische Lichtemissionsmaterial aus der Abscheidungsquelle ausströmen und auf dem Substrat abgeschieden werden.
  • Falls die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung, die mehrere organische Lichtemissionsschichten mit gewünschten Muster enthält, hergestellt wird, wird der Abscheidungsprozess unter Verwendung einer Schattenmaske mit mehreren Öffnungen ausgeführt. Spezifischer wird die Schattenmaske nah an dem Substrat positioniert. Dann wird das verdampfte organische Lichtemissionsmaterial durch die Schattenmaske auf dem Substrat abgeschieden. Deshalb kann die organische Lichtemissionsschicht mit mehreren gewünschten Muster, die voneinander getrennt sind, auf dem Substrat gebildet werden.
  • 1 ist eine Ansicht, die einen normalen Prozess des Bildens einer organischen Lichtemissionsschicht der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung veranschaulicht. Wie 1 gezeigt ist, enthält die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung rote, grüne und blaue organische Lichtemissionsschichten R, G und B, die in einem aktiven Bereich ausgebildet sind. Die roten, grünen und blauen organischen Lichtemissionsschichten werden auf dem Substrat 10 gebildet, indem ein Schiffchen erwärmt wird, in das das organische Lichtemissionsmaterial gefüllt ist.
  • Spezifischer wird, wenn ein Substrat 10, in dem die organischen Lichtemissionsschichten gebildet werden, in eine Kammer geladen wird, eine Schattenmaske 30, die auf einem Maskenrahmen 15 angeordnet ist, auf das Substrat 10 ausgerichtet. Dann werden die Schiffchen 20, die das rote, das grüne und das blaue organische Lichtemissionsmaterial enthalten, sequentiell erwärmt. Als solche werden die roten, grünen und blauen organischen Lichtemissionsschichten R, G und B sequentiell auf dem Substrat 10 gebildet. Da die Schiffchen 20 sequentiell erwärmt werden, werden die Schattenmasken, die jede zu den roten, grünen und blauen Unterbildpunkten entgegengesetzt sind, abwechselnd miteinander ersetzt, um die roten, grünen und blauen organischen Lichtemissionsschichten R, G und B in den roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen zu bilden.
  • Wenn jedoch die Schattenmasken 30 bei der Bildung der organischen Lichtemissionsschichten verwendet werden, können die organischen Lichtemissionsmaterialien nicht gleichmäßig auf dem Substrat 10 abgeschieden werden. Um diesen Gegenstand zu behandeln, kann der Abstand zwischen der Schattenmaske 30 und dem Schiffchen 20 vergrößert werden. In diesem Fall kann die organische Lichtemissionsschicht durch andere Materialien verunreinigt werden und von einer gewünschten Position der Bildung aufgrund des Kontakts der Schattenmaske 30 mit dem Substrat 10 wegbewegt werden.
  • Eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung mit großer Größe erzwingt jedoch, dass die Größe der Schattenmaske größer wird. Die vergrößerte Schattenmaske kann in ihrem mittleren Abschnitt in der Mitte gebogen werden. Aufgrund dessen ist es schwierig, die organische Lichtemissionsschicht genau zu bilden.
  • KURZE ZUSAMMENFASSUNG
  • Demgemäß sind die Ausführungsformen der vorliegenden Anmeldung sowohl auf eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung, die eines oder mehrere der Probleme aufgrund der Einschränkungen und Nachteile der verwandten Technik vermeidet, als auch ein Verfahren zur Herstellung derselben gerichtet.
  • Die Ausführungsformen dienen dazu, eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren zu schaffen, die angepasst sind, um eine große Größe und eine hohe Auflösung zu verwirklichen, indem die organischen Lichtemissionsschichten auf zwei Substrate verteilt werden.
  • Außerdem dienen die Ausführungsformen dazu, eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren zu schaffen, die angepasst sind, um die Verschlechterung des Produktivitätsverhältnisses auf Grund der Erzeugung verschiedener Materialien zu verhindern, indem ein Substrat ohne die Verwendung einer Schattenmaske mit einer organischen Lichtemissionsschicht vollständig beschichtet wird.
  • Außerdem dienen die Ausführungsformen dazu, eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren zu schaffen, die angepasst sind, um eine große Größe und eine hohe Auflösung zu verwirklichen, indem die ersten und zweiten organischen Lichtemissionsschichten auf die roten und grünen Unterbildpunktbereiche und den blauen Unterbildpunktbereich verteilt werden und das rote Licht, das grüne Licht und das blaue Licht nur unter Verwendung roter und blauer Farbfilterschichten ausgegeben werden.
  • Außerdem dienen die Ausführungsformen dazu, eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren zu schaffen, die angepasst sind, um eine große Größe und eine hohe Auflösung zu verwirklichen, indem eine organische Lichtemissionsschicht in den roten und grünen Unterbildpunktbereichen unter Verwendung entweder eines Tintenstrahl-Druckverfahrens oder eines Düsenstrahl-Druckverfahrens gebildet wird.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Ausführungsformen werden in der folgenden Beschreibung dargelegt und werden teilweise aus der Beschreibung offensichtlich oder können durch die Praxis der Ausführungsformen gelernt werden. Die Vorteile der Ausführungsformen werden durch die Struktur verwirklicht und erreicht, die sowohl in der geschriebenen Beschreibung und deren Ansprüchen als auch in den beigefügten Zeichnungen besonders dargelegt ist.
  • Gemäß einem ersten allgemeinen Aspekt der vorliegenden Ausführungsform enthält eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung: ein unteres Substrat, das ein erstes Substrat, das in rote, grüne und blaue Unterbildpunktbereiche abgegrenzt ist, erste und zweite Schaltelemente, die in den roten und grünen Unterbildpunktbereichen ausgebildet sind, erste und zweite Anoden, von denen jede mit den ersten und zweiten Schaltelementen verbunden ist, und eine erste organische Lichtemissionsschicht, die vollständig auf dem ersten Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten und zweiten Anoden versehen ist, enthält; und ein oberes Substrat, das ein zweites Substrat, rote und grüne Farbfilterschichten, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf dem zweiten Substrat ausgebildet sind, ein drittes Schaltelement, das entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf dem zweiten Substrat ausgebildet ist, eine dritte Anode, die mit dem dritten Schaltelement verbunden ist, und eine zweite organische Lichtemissionsschicht, die vollständig auf dem zweiten Substrat ausgebildet ist, das mit den roten und grünen Farbfilterschichten und der dritten Anode versehen ist, enthält.
  • Eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einem zweiten allgemeinen Aspekt der vorliegenden Ausführungsform enthält: erste bis dritte Schaltelemente, die in roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen, in die ein Substrat abgegrenzt ist, jeweils ausgebildet sind; eine Passivierungsschicht, die vollständig auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Schaltelementen versehen ist; rote und grüne Farbfilterschichten, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf der Passivierungsschicht ausgebildet sind; erste und dritte Anoden, die jeweils in den roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen ausgebildet sind; ein Muster einer organischen Lichtemissionsschicht, das auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Anoden versehen ist; eine erste Kathode, die auf dem Muster einer organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist; eine organische Emissionsschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit der ersten Kathode versehen ist; und eine zweite Kathode, die auf der organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist.
  • Eine organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einem dritten allgemeinen Aspekt der vorliegenden Ausführungsform enthält: erste bis dritte Schaltelemente, die in roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen, in die ein Substrat abgegrenzt ist, jeweils ausgebildet sind; eine Passivierungsschicht, die vollständig auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Schaltelementen versehen ist; rote und grüne Farbfilterschichten, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf der Passivierungsschicht ausgebildet sind; erste und dritte Anoden, die jeweils in den roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen ausgebildet sind; eine Löcher-Stützschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Anoden versehen ist; eine erste organische Lichtemissionsschicht, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf der Löcher-Stützschicht ausgebildet ist; eine zweite organische Lichtemissionsschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit der ersten organischen Lichtemissionsschicht versehen ist; eine Elektronen-Stützschicht, die auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist; und eine Kathode, die auf der Elektronen-Stützschicht ausgebildet ist.
  • Weitere Systeme, Verfahren, Merkmale und Vorteile werden für einen Fachmann auf dem Gebiet bei der Untersuchung der folgenden Figuren und der folgenden ausführlichen Beschreibung offensichtlich sein oder offensichtlich werden. Es ist vorgesehen, dass alle derartigen zusätzliche Systeme, Verfahren, Merkmale und Vorteile in dieser Beschreibung enthalten sind, innerhalb des Umfangs der vorliegenden Offenbarung liegen und durch die folgenden Ansprüche geschützt sind. Nichts in diesem Abschnitt sollte als eine Einschränkung für diese Ansprüche genommen werden. Weitere Aspekte und Vorteile werden im Folgenden im Zusammenhang mit den Ausführungsformen erörtert. Es ist selbstverständlich, dass sowohl die vorhergehende allgemeine Beschreibung als auch die folgende ausführliche Beschreibung der vorliegenden Offenbarung beispielhaft und erklärend sind und vorgesehen sind, um eine weitere Erklärung der Erfindung, wie sie beansprucht ist, bereitzustellen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die beigefügten Zeichnungen, die enthalten sind, um ein weiteres Verständnis der Ausführungsformen zu schaffen, und die hier aufgenommen sind und einen Teil dieser Anmeldung bilden, veranschaulichen Ausführungsform(en) der vorliegenden Offenbarung und dienen zusammen mit der Beschreibung dazu, die Offenbarung zu erklären. In den Zeichnungen zeigen:
  • 1 eine Ansicht, die einen normalen Prozess zum Bilden einer organischen Lichtemissionsschicht der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung veranschaulicht;
  • 2A bis 2G Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen;
  • 3A bis 3G Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen;
  • 4A bis 4F Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen;
  • 5A bis 5E Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen;
  • 6A bis 6E Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen;
  • 7A bis 7E Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen;
  • 8 eine Querschnittsansicht, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer siebenten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulicht;
  • 9A bis 9F Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen; und
  • 10A bis 10F Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Nun wird auf die Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung ausführlich Bezug genommen, deren Beispiele in den beigefügten Zeichnungen veranschaulicht sind. Diese im Folgenden vorgestellten Ausführungsformen sind als Beispiele vorgesehen, um ihre Erfindungsgedanken dem Durchschnittsfachmann auf dem Gebiet zu vermitteln. Deshalb könnten diese Ausführungsformen in einer anderen Form verkörpert sein, daher sind sie nicht auf die hier beschriebenen Ausführungsformen eingeschränkt. In den Zeichnungen können die Größe, die Dicke usw. einer Vorrichtung für die Zweckmäßigkeit der Erklärung übertrieben sein. Wann immer es möglich ist, werden überall in dieser Offenbarung einschließlich der Zeichnungen die gleichen Bezugszeichen verwendet, um auf die gleichen oder ähnlichen Teile zu verweisen.
  • 2A bis 2G sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • In den 2A bis 2G wird ein erstes Substrat 100 vorbereitet. Auf dem ersten Substrat 100 werden mehrere Gate-Leitungen und mehrere Datenleitungen, die einander kreuzen, auf eine derartige Art gebildet, um mehrere Unterbildpunktbereiche zu definieren, obwohl sie in den Zeichnungen nicht gezeigt sind. Außerdem werden nur in den roten und grünen Unterbildpunktbereichen unter den Unterbildpunktbereichen Dünnschichttransistoren TFT als Schaltelemente gebildet. Mit anderen Worten, die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der ersten Ausführungsform ermöglicht es, dass die Schaltelemente auf beide Seiten des ersten Substrats 100 und eines zweiten Substrats 200 verteilt werden, das später als ein oberes Substrat beschrieben wird. Ausführlich werden die für die roten und grünen Unterbildpunkte verwendeten Schaltelemente in den roten und grünen Unterbildpunktbereichen des ersten Substrats 100 gebildet, wobei aber die für die blauen Unterbildpunkte verwendeten Schaltelemente auf dem zweiten Substrat 200 gebildet werden.
  • In der vorliegenden Offenbarung wird die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung, die die Bildpunkte enthält, von denen jeder mit den roten, grünen und blauen Unterbildpunkten konfiguriert ist, hauptsächlich beschrieben.
  • Wie in den Zeichnungen gezeigt ist, werden ein erstes Schaltelement T1 und ein zweites Schaltelemente T2 auf dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich des ersten Substrats 100 gebildet. Auf der gesamten Oberfläche des ersten Substrats 100, das mit dem ersten und dem zweiten Schaltelement T1 und T2 versehen worden ist, wird eine Passivierungsschicht 101 gebildet.
  • Obwohl die Struktur jedes Schaltelements T1 und T2 in den Zeichnungen nicht gezeigt ist, können ein Dünnschichttransistor mit oberem Gate und ein Dünnschichttransistor mit unterem Gate, die im Allgemeinen in den organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtungen verwendet werden, als ein Schaltelement gebildet werden.
  • Nachdem die oben erwähnte Passivierungsschicht 101 auf dem ersten Substrat 100 gebildet worden ist, wird für die Passivierungsschicht 101 ein Kontaktloch-Bildungsprozess ausgeführt, wobei dann ein erstes Bankmuster 103, das verwendet wird, um die Unterbildpunkte voneinander zu trennen, auf der Passivierungsschicht 101 gebildet wird. Der Kontaktloch-Bildungsprozess erlaubt die Drain-Elektroden des ersten und des zweiten Schaltelements T1 und T2. Das erste Bankmuster 103 kann durch das Bilden einer organischen Schicht auf der gesamten Oberfläche des ersten Substrats 100 mit den Kontaktlöchern und das Ausführen einer Photolithographieprozedur, die einen Maskierungsprozess enthält, für die organische Schicht vorbereitet werden.
  • Danach werden die erste und zweite Anode 120a und 120b in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich R und G des ersten Substrats 100 gebildet. Die erste und die zweite Anode 120a und 120b können durch das Bilden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des ersten Substrats 10, das mit dem ersten Bankmuster 103 versehen worden ist, und das Ausführen eines Maskierungsprozesses und eines Ätzprozesses für die Metallschicht vorbereitet werden. Die Metallschicht kann aus einem von den folgenden gebildet werden: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  • Alternativ können die erste und die zweite Anode 120a und 120b vor dem ersten Bankmuster 103, das verwendet wird, um die Unterbildpunkte voneinander zu trennen, gebildet werden, nachdem die Passivierungsschicht 101 auf dem ersten Substrat 100 gebildet worden ist und der Kontaktloch-Bildungsprozess für die Passivierungsschicht 101 ausgeführt worden ist.
  • Anschließend werden, wie in den 2B und 2C gezeigt ist, eine organische Lichtemissionsschicht 105 und eine erste Kathode 106 sequentiell auf dem ersten Substrat 100 gebildet, so dass die Herstellung eines unteren Substrats 110 für die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung abgeschlossen ist. Die erste Kathode 106 kann aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden. Die erste organische Lichtemissionsschicht 105 kann aus einem organischen Material gebildet werden, das angepasst ist, um eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht zu emittieren.
  • Wenn das untere Substrat 110 der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung vollständig hergestellt worden ist, wie oben beschrieben worden ist, wird das dritte Schaltelement T3 in dem blauen Unterbildpunktbereich B des zweiten Substrats 200 gebildet, wobei eine Isolierschicht 201 auf der gesamten Oberfläche des zweiten Substrats 200 gebildet wird, das mit dem dritten Schaltelement T3 versehen worden ist, wie in 2D gezeigt ist. Das dritte Schaltelement T3 wird in der gleichen Struktur wie das erste und das zweite Schaltelement T1 und T2 gebildet. Außerdem besitzt das dritte Schaltelement T3 die gleiche Funktion wie das erste und das zweite Schaltelement T1 und T2.
  • Mit anderen Worten, die ersten bis dritten Schaltelemente T1 bis T3 werden in dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunktbereich R, G bzw. B gebildet, aber nicht auf das erste und das zweite Substrat 100 und 200 verteilt. Ausführlich werden das erste und das zweite Schaltelement T1 und T2, die jedes dem roten und dem blauen Unterbildpunkt gegenüberliegen, auf dem ersten Substrat 100 des unteren Substrats 110 gebildet, wobei aber das dritte Schaltelement T3, das dem blauen Unterbildpunkt gegenüberliegt, auf dem zweiten Substrat 200 des oberen Substrats 210 gebildet wird.
  • Die Isolierschicht 201 kann eine Planarisierungsschicht werden. Außerdem kann die Isolierschicht 201 in einer Mehrschichtstruktur gebildet werden.
  • Nachdem das dritte Schaltelement T3 und die Isolierschicht 201 auf dem zweiten Substrat 200 gebildet worden sind, wird auf dem zweiten Substrat 200 ein zweites Bankmuster 203, das die Unterbildpunktbereiche definiert, gebildet. Das zweite Bankmuster 203 kann durch das Bilden einer Metallschicht oder einer opaken Harzschicht auf der Isolierschicht 201 und das Ausführen eines Maskierungsprozesses für die Metallschicht oder die opake Harzschicht vorbereitet werden. Die bei der Bildung des zweiten Bankmusters 203 verwendete Metallschicht kann aus einem Metallmaterial, wie z. B. Chrom Cr, gebildet werden.
  • Wenn das zweite Bankmuster 203 auf dem zweiten Substrat 200 gebildet worden ist, wie oben beschrieben worden ist, werden eine rote Farbfilterschicht R und eine grüne Farbfilterschicht G in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich der freigelegten Isolierschicht 201 der ersten bzw. der zweiten Anode des ersten Substrats 100 gegenüberliegend gebildet.
  • Außerdem wird eine dritte Anode 120c in einem blauen Unterbildpunktbereich B der freigelegten Isolierschicht 201 gebildet. Die dritte Anode 120c kann durch das Bilden einer Schicht aus einem transparenten leitfähigen Material auf dem zweiten Substrat 200, das mit der roten und der grünen Farbfilterschicht R und G versehen worden ist, und das Ausführen eines weiteren Maskierungsprozesses für die Schicht aus dem transparenten leitfähigen Material vorbereitet werden. Mit anderen Worten, die dritte Anode 120c kann ungleich zu der ersten und der zweiten Anode auf dem ersten Substrat 100 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Alternativ können die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und die dritte Anode 120c auf der Isolierschicht 201 vor der Bildung des zweiten Bankmusters 203 gebildet werden.
  • Nachdem die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und die dritte Anode 120c auf dem zweiten Substrat 200 gebildet worden sind, wird eine zweite organische Lichtemissionsschicht 205 auf der gesamten Oberfläche des zweiten Substrats 200 gebildet, wie in 2E gezeigt ist. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 205 wird ungleich zur ersten organischen Lichtemissionsschicht 105 aus einem organischen Material gebildet, das angepasst ist, um blaues Licht zu emittieren.
  • Danach wird eine zweite Kathode 206 auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 des zweiten Substrats 200 gebildet, so dass die Herstellung eines oberen Substrats 210 der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung abgeschlossen ist.
  • Die zweite Kathode 206 wird auf einem Teil der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 gebildet, der dem blauen Bildpunktbereich entspricht, in dem die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G nicht gebildet worden sind.
  • Um die zweite Kathode 206 zu bilden, wird eine Elektrodenschicht, die eine Licht-zu-Wärme-Umsetzungsschicht 222, eine Pufferschicht 221 und eine Metallschicht enthält, die auf einem Basissubstrat 223 gestapelt sind, an der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 angebracht, wobei auf einen Teil der Elektrodenschicht, der dem Bereich entspricht, in dem die zweite Kathode 206 gebildet wird, Laserlicht gestrahlt wird. Wenn das Laserlicht auf einen Teil der Elektrodenschicht gestrahlt wird, erzeugt die Licht-zu-Wärme-Umsetzungsschicht 222 bei hoher Temperatur Wärme, wobei sie erzwingt, dass ein Teil der Metallschicht auf der Pufferschicht 221 an der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 angebracht wird. In Übereinstimmung damit wird die zweite Kathode 206 entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht gebildet. Obwohl es in der Zeichnung gezeigt ist, gibt ein Bezugszeichen ”207”, das in der obigen Beschreibung nicht genannt wird, eine Opferschicht an. Die Opferschicht 207 entspricht der restlichen Metallschicht, die nach der Bildung der zweiten Kathode 206 auf der Elektrodenschicht verbleibt.
  • Die zweite Kathode 206 kann ungleich zur ersten Kathode 106 aus einem opaken Metall mit einem hohen Reflexionsgrad gebildet werden. Dies führt dazu, dass das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 erzeugte blaue Licht durch die zweite Kathode 206 reflektiert wird und durch die dritte Anode 120c zur Rückseite des zweiten Substrats 200 ausgegeben wird.
  • Wenn die Herstellung des oberen Substrats 210, das die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und das dritte Schaltelement T3 in dem blauen Unterbildpunktbereich enthält, abgeschlossen ist, wie in 2G gezeigt ist, werden das obere Substrat 210 und des untere Substrat 110 mittels einer Klebstoffschicht 250 miteinander kombiniert. Als solche wird eine vollständige organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung hergestellt.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung erlaubt nicht nur, dass die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G in dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich gebildet werden, sondern außerdem, dass die zweite organische Lichtemissionsschicht 205, die blaues Licht emittiert, in dem blauen Unterbildpunktbereich gebildet wird. Mit anderen Worten, in dem blauen Unterbildpunktbereich wird keine blaue Farbfilterschicht gebildet.
  • Außerdem können die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 105 und 205 auf dem ersten und dem zweiten Substrat 100 und 200 durch den Beschichtungsprozess oder den Abscheidungsprozess und ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet werden. Als solche kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der ersten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • In dem roten Unterbildpunktbereich wird die Mischung aus dem roten Licht und dem grünen Licht, die in der ersten organischen Lichtemissionsschicht 105 erzeugt wird, mit dem in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 erzeugten blauen Licht neu gemischt. Als solches kann das neu gemischte Licht durch die rote Farbfilterschicht R hindurchgehen. Deshalb kann das rote Licht von dem roten Unterbildpunkt ausgegeben werden. Ähnlich dazu kann das grüne Licht von grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen kann in dem blauen Unterbildpunktbereich nur das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 erzeugte blaue Licht durch die dritte Anode 120c ausgegeben werden. Auf diese Art kann es die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der ersten Ausführungsform ermöglichen, dass rotes, grünes und blaues Licht von dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunkt ausgegeben werden, und dadurch ein Farbbild anzeigen.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform erlauben, dass die organische Lichtemissionsschicht auf die zwei Substrate verteilt wird und nur durch den Beschichtungsprozess oder den Abscheidungsprozess gebildet wird. Als solche können ein Schirm mit großer Größe und ein Bild mit hoher Auflösung geschaffen werden.
  • Außerdem ermöglichen die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform, dass die organische Lichtemissionsschicht ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet wird. In Übereinstimmung damit kann die Verschlechterung des Produktivitätsverhältnisses aufgrund der Erzeugung verschiedener Materialien verhindert werden.
  • 3A bis 3G sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • Die Beschreibung der zweiten Ausführungsform wird auf die Komponenten der zweiten Ausführungsform konzentriert, die von jenen der ersten Ausführungsform verschieden sind. Außerdem wird durch einen Durchschnittsfachmann die Erklärung hinsichtlich der anderen Komponenten der zweiten Ausführungsform, die nicht ausführlich erklärt werden, bei der oben erwähnten Beschreibung der ersten Ausführungsform leicht verstanden.
  • Wie in den 3A bis 3G gezeigt ist, werden ein erstes Schaltelement T1 und ein zweite Schaltelement T2 auf dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich des ersten Substrats 100 gebildet. Auf der gesamten Oberfläche des ersten Substrats 100, das mit dem ersten und dem zweiten Schaltelement T1 und T2 versehen worden ist, wird eine Passivierungsschicht 101 gebildet.
  • Anschließend wird ein erstes Bankmuster 103 auf der Passivierungsschicht 101 gebildet. Außerdem werden die erste und die zweite Anode 120a und 120b in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich der Passivierungsschicht 101 gebildet.
  • Danach werden, wie in den 3B und 3C gezeigt ist, eine organische Lichtemissionsschicht 105 und eine erste Kathode 106 sequentiell auf dem ersten Substrat 100 gebildet, so dass die Herstellung eines unteren Substrats 110 für die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung abgeschlossen ist. Die erste Kathode 106 kann aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden. Die erste organische Lichtemissionsschicht 105 kann aus einem organischen Material gebildet werden, das angepasst ist, um eine Mischung aus rotem und grünem Licht zu emittieren.
  • Wenn das untere Substrat 110 der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung vollständig hergestellt worden ist, wie oben beschrieben worden ist, werden ein drittes Schaltelement T, eine Isolierschicht 201, ein zweites Bankmuster, das mehrere Unterbildpunktbereiche definiert, eine rote und eine grüne Farbfilterschicht R und G und eine dritte Anode 120c sequentiell auf dem zweiten Substrat 200 gebildet, wie in den 3D und 3E gezeigt ist.
  • Die dritte Anode 120c kann ungleich der ersten und der zweiten Anode 120a und 120b auf dem ersten Substrat 100 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Nachdem die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und die dritte Anode 120c auf dem zweiten Substrat 200 gebildet worden sind, werden eine zweite organische Lichtemissionsschicht 205 und eine zweite Kathode 306 sequentiell auf der gesamten Oberfläche des zweiten Substrats 200 gebildet, wie in den 3F und 3G gezeigt ist. Die zweite Kathode 306 kann aus dem gleichen transparenten leitfähigen Material wie die erste Kathode 106 gebildet werden.
  • Danach wird entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich eine reflektierende Platte 307 auf der zweiten Kathode 306 gebildet, wobei dadurch die Herstellung eines oberen Substrats 310 abgeschlossen wird.
  • Um die reflektierende Platte 307 zu bilden, werden eine Metallschicht, die eine Wärmeemissionsschicht 334, eine erste und eine zweite Pufferschicht 322 und 321 und eine Metallschicht enthält, die auf einem Basissubstrat 333 gestapelt sind, an der zweiten Kathode 306 befestigt. Außerdem wird entweder Laserlicht auf einen Teil der Metallschicht, der dem Bereich entspricht, in dem die reflektierende Platte 307 gebildet wird, gestrahlt oder wird eine Hochspannung an einen Teil der Wärmeemissionsschicht 334, der dem blauen Unterbildpunktbereich entspricht, angelegt.
  • Die Wärmeemissionsschicht 334 kann aus einem Metall, wie z. B. Molybdän Mo, mit einer überragenden Wärmeabsorptionsfähigkeit gebildet werden. Außerdem wird die Wärmeemissionsschicht mit einem Muster versehen und auf dem Basissubstrat 333 entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich angeordnet.
  • Wenn entweder Laserlicht eingestrahlt oder die Hochspannung angelegt wird, erzeugt die Wärmeemissionsschicht 334 bei hoher Temperatur Wärme, wobei sie erzwingt, dass ein Teil der Metallschicht auf der zweiten Pufferschicht 321 an der zweiten Kathode 306 befestigt wird. In Übereinstimmung damit wird die reflektierende Platte 307 entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf der zweiten Kathode 306 gebildet. Obwohl es in der Zeichnung gezeigt ist, gibt ein Bezugszeichen ”308”, das in der obigen Beschreibung nicht genannt wird, eine Opferschicht an. Die Opferschicht 308 entspricht der restlichen Metallschicht, die nach der Bildung der reflektierenden Platte 307 auf der Metallschicht verbleibt.
  • Die reflektierende Platte 307 reflektiert blaues Licht, das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 erzeugt wird und durch die zweite Kathode 360 eingetreten ist, zur Rückseite des zweiten Substrats 200.
  • Wenn die Herstellung des oberen Substrats 310, das die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G enthält, und des dritten Schaltelements T3 in dem blauen Unterbildpunktbereich abgeschlossen ist, wie in 3G gezeigt ist, werden das obere Substrat 310 und das untere Substrat 110 mittels einer Klebstoffschicht 250 miteinander kombiniert. Als solche wird eine vollständige Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung hergestellt.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung erlaubt nicht nur, dass die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G in dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich gebildet werden, sondern außerdem, dass die zweite organische Lichtemissionsschicht 205, die blaues Licht emittiert, in dem blauen Unterbildpunktbereich gebildet wird. Mit anderen Worten, in dem blauen Unterbildpunktbereich wird keine blaue Farbfilterschicht gebildet.
  • Außerdem können die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 105 und 205 durch den Beschichtungsprozess oder den Abscheidungsprozess und ohne die Verwendung einer Schattenmaske auf dem ersten und dem zweiten Substrat 100 und 200 gebildet werden. Als solche kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der zweiten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • In dem roten Unterbildpunktbereich wird die Mischung aus dem roten Licht und dem grünen Licht, die in der ersten organischen Lichtemissionsschicht 105 erzeugt wird, mit dem in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 erzeugten blauen Licht neu gemischt. Als solches kann das neu gemischte Licht an die rote Farbfilterschicht R angelegt werden. Deshalb kann das rote Licht von dem roten Unterbildpunkt ausgegeben werden. Ähnlich dazu kann das grüne Licht von dem grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen kann in dem blauen Unterbildpunktbereich nur das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 205 erzeugte blaue Licht durch die dritte Anode 120c ausgegeben werden.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform erlauben nicht nur, dass die organische Lichtemissionsschicht auf die zwei Substrate verteilt wird, sondern außerdem nur durch den Beschichtungsprozess oder den Abscheidungsprozess ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet wird. Als solche können ein Schirm mit großer Größe und ein Bild mit hoher Auflösung geschaffen werden.
  • Außerdem ermöglichen die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Ausführungsform, dass die organische Lichtemissionsschicht ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet wird. In Übereinstimmung damit kann die Verschlechterung des Produktivitätsverhältnisses aufgrund der Erzeugung verschiedener Materialien verhindert werden.
  • 4A bis 4F sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • In dieser Offenbarung werden die Komponenten der dritten Ausführungsform, die von jenen der ersten und der zweiten Ausführungsform verschieden sind, hauptsächlich beschrieben. Außerdem wird durch einen Durchschnittsfachmann die Erklärung hinsichtlich der anderen Komponenten der dritten Ausführungsform, die nicht ausführlich erklärt werden, bei den oben erwähnten Beschreibungen der ersten und der zweiten Ausführungsform leicht verstanden.
  • Wie in den 4A bis 4F gezeigt ist, werden ein erstes Schaltelement T1 und ein zweites Schaltelement T2 auf dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich des ersten Substrats 100 gebildet. Auf der gesamten Oberfläche des ersten Substrats 100, das mit dem ersten und dem zweiten Schaltelement T1 und T2 versehen worden ist, wird eine Passivierungsschicht 101 gebildet.
  • Anschließend werden ein erstes Bankmuster 103, die erste und die zweite Anode 120a und 120b und eine reflektierende Platte 407 auf der Passivierungsschicht 101 gebildet. Die erste und die zweite Anode 120a und 120b werden auf den Bereichen der Passivierungsschicht 101 gebildet, die dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunkt gegenüberliegen. Die reflektierende Platte 407 wird auf einem weiteren Bereich der Passivierungsschicht 101, der einem blauen Unterbildpunkt gegenüberliegt, gebildet. Die erste und die zweite Anode 120a und 120b und die reflektierende Platte 407 können gleichzeitig gebildet werden.
  • Die erste und die zweite Anode 120a und 120b und die reflektierende Platte 407 können jedoch gebildet werden, bevor das erste Bankmuster 103, das verwendet wird, um die Unterbildpunkte voneinander zu trennen, gebildet wird, nachdem die Passivierungsschicht 101 auf dem ersten Substrat 100 gebildet worden ist und ein Kontaktloch-Bildungsprozess für die Passivierungsschicht 101 ausgeführt worden ist.
  • Danach werden, wie in den 4B und 4C gezeigt ist, eine erste organische Lichtemissionsschicht 105 und eine erste Kathode 106 sequentiell auf dem ersten Substrat 100 gebildet, so dass die Herstellung eines unteren Substrats 410 für die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung abgeschlossen ist. Die erste Kathode 106 kann aus einem transparenten leitfähigen Material gebildet werden. Die erste organische Lichtemissionsschicht 105 kann aus einem organischen Material gebildet werden, das angepasst ist, um eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht zu emittieren.
  • Wenn das untere Substrat 410 der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung vollständig hergestellt worden ist, wie oben beschrieben worden ist, werden ein drittes Schaltelement T3, eine Isolierschicht 201, ein zweites Bankmuster 203, das mehrere Unterbildpunktbereiche definiert, eine rote und eine grüne Farbfilterschicht R und G und eine dritte Anode 120c sequentiell auf einem zweiten Substrat 200 gebildet, wie in 4D gezeigt ist.
  • Die dritte Anode 120c wird in dem blauen Unterbildpunktbereich angeordnet. Außerdem kann eine dritte Anode 120c ungleich der ersten und der zweiten Anode 120a und 120b auf dem ersten Substrat 100 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Nachdem die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und die dritte Anode 120c auf dem zweiten Substrat 200 gebildet worden sind, werden eine zweite organische Lichtemissionsschicht 205, die verwendet wird, um blaues Licht zu emittieren, und eine zweite Kathode 306 sequentiell auf der gesamten Oberfläche des zweiten Substrats 200 gebildet, wie in 4E gezeigt ist. In Übereinstimmung damit ist die Herstellung des oberen Substrats 510 abgeschlossen. Die zweite Kathode 306 kann aus dem gleichen transparenten leitfähigen Material wie die erste Kathode 106 gebildet werden.
  • Wenn die Herstellung der oberen Substrats 510, das die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und das dritte Schaltelement T3 in dem blauen Unterbildpunktbereich enthält, abgeschlossen ist, wie in 4F gezeigt ist, werden das obere Substrat 510 und das untere Substrat 410 mittels einer Klebstoffschicht 250 miteinander kombiniert. Als solche wird eine vollständige organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung hergestellt.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung erlaubt nicht nur, dass die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G in dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich gebildet werden, sondern außerdem, dass die zweite organische Lichtemissionsschicht 205, die blaues Licht emittiert, in dem blauen Unterbildpunktbereich gebildet wird. Mit anderen Worten, in dem blauen Unterbildpunktbereich wird keine blaue Farbfilterschicht gebildet.
  • Außerdem können die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 105 und 205 auf dem ersten und dem zweiten Substrat 100 und 200 durch den Beschichtungsprozess oder den Abscheidungsprozess und ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet werden. Als solche kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der dritten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • 5A bis 5E sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • Wie in den 5A bis 5E gezeigt ist, werden ein erstes Schaltelement T1, ein zweites Schaltelement T2 und ein drittes Schaltelement T3 auf dem roten, dem grünen bzw. dem blauen Unterbildpunktbereich eines Substrats 400 gebildet. Auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400, das mit den ersten bis dritten Schaltelementen T1 bis T3 versehen worden ist, wird eine Passivierungsschicht 401 gebildet.
  • Obwohl die Struktur jedes Schaltelements T1 bis T3 in den Zeichnungen nicht gezeigt ist, kann entweder ein Dünnschichttransistor mit oberem Gate oder ein Dünnschichttransistor mit unterem Gate, die in den organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtungen im Allgemeinen verwendet werden, als ein Schaltelement gebildet werden.
  • Nachdem die oben erwähnte Passivierungsschicht 401 auf dem Substrat 400 gebildet worden ist, wird ein Bankmuster 403, das verwendet wird, um Unterbildpunkte zu definieren, auf der Passivierungsschicht 401 gebildet. Das Bankmuster 403 kann durch das Bilden einer Metallschicht oder einer opaken Harzschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400 und das Ausführen eines Maskierungsprozesses für die Metallschicht oder die opake Harzschicht vorbereitet werden. Die Metallschicht kann aus einem Metallmaterial, wie z. B. Chrom Cr, gebildet werden.
  • Wenn das Bankmuster 403 auf dem Substrat 400 gebildet worden ist, wie oben beschrieben worden ist, werden eine rote Farbfilterschicht R und eine grüne Farbfilterschicht G entsprechend dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich auf den freigelegten Bereichen der Passivierungsschicht 401 gebildet. Anschließend wird ein Kontaktloch-Bildungsprozess für die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und das Bankmuster 403 ausgeführt, um die Drain-Elektroden der ersten bis dritten Schaltelemente T1 bis T3 freizulegen.
  • Danach werden erste bis dritte Anoden 420a bis 420c in dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunktbereich R, G und B des Substrats 400 gebildet. Die ersten bis dritten Anoden 420a bis 420c können durch das Bilden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400, das mit dem Bankmuster 403 und der roten und der grünen Farbfilterschicht R und G versehen worden ist, und das Ausführen eines Maskierungsprozesses und eines Ätzprozesses für die Metallschicht vorbereitet werden. Die Metallschicht kann aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Anschließend wird eine erste organische Lichtemissionsschicht 405 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400, das mit den ersten bis dritten Anoden 420a bis 420c versehen worden ist, unter Verwendung entweder eines Beschichtungsprozesses oder eines Abscheidungsprozesses gebildet. Außerdem wird eine Metallschicht 406 auf der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 gebildet. Ein Laserbestrahlungsprozess oder ein Ätzprozess wird für einen Teil der Metallschicht 406, der dem blauen Bildpunktbereich entspricht, ausgeführt, so dass ein Teil der Metallschicht, der dem blauen Bildpunktbereich entspricht, entfernt wird. In Übereinstimmung damit wird eine erste Kathode 406a entsprechend dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich auf der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 gebildet. Mit anderen Worten, die erste Kathode 406a legt die erste organische Lichtemissionsschicht entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich frei. Die Metallschicht 406 kann aus einem von den Folgenden gebildet werden: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  • Nach der Bildung der ersten Kathode 406a wird der Laserbestrahlungsprozess für den freigelegten Abschnitt der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405, der dem blauen Unterbildpunktbereich entspricht, erneut ausgeführt, um den freigelegten Abschnitt der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 zu entfernen. In Übereinstimmung damit wird ein Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht aus der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 abgeleitet. Die erste organische Lichtemissionsschicht 405 kann aus einem organischen Material gebildet werden, das eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittieren kann. Das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht wird nur in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich gebildet.
  • Wenn das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht und die erste Kathode 406a auf dem Substrat 400 gebildet worden sind, wie oben beschrieben worden ist, wird ein Oberflächenreinigungsprozess für das Substrat 400, das mit der ersten Kathode 406a versehen worden ist, ausgeführt, wie in 5D gezeigt ist. Eine zweite organische Lichtemissionsschicht 415 wird kontinuierlich auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400, das mit der ersten Kathode 406a versehen worden ist, gebildet, wie in 5E gezeigt ist. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 415 kann wie die erste organische Lichtemissionsschicht 405 entweder durch den Beschichtungsprozess oder durch den Abscheidungsprozess gebildet werden. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 415 wird jedoch ungleich der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 aus einem weiteren organischen Material gebildet, das blaues Licht emittieren kann.
  • Danach wird eine zweite Kathode 417 durch das Abscheiden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400 auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 415 gebildet. Die zweite Kathode 417 kann aus einem opaken Metall mit einem hohen Reflexionsgrad gebildet werden.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der vierten Ausführungsform ist beschrieben worden, wie sie eine Struktur zum Emittieren von Licht zur Rückseite des Substrats 400 besitzt. Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der vierten Ausführungsform kann jedoch das Licht zu den Kathoden emittieren. In diesem Fall werden die ersten bis dritten Anoden 420a bis 420c aus einem von den Folgenden gebildet: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen, während die erste und die zweite Kathode 406a und 417 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Auf diese Art erlaubt die vierte Ausführungsform, dass die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G, das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht, das eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittiert, und die erste Kathode 406a nur auf dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich sequentiell gebildet werden. Unterdessen werden die zweite organische Lichtemissionsschicht 415, die blaues Licht emittiert, und die zweite Kathode 417 sequentiell in dem blauen Unterbildpunktbereich gebildet, ohne eine Farbfilterschicht zu bilden. Als solcher kann ein Prozess zum Bilden einer blauen Farbfilterschicht weggelassen werden.
  • Außerdem können die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 405 und 417 durch den Beschichtungsprozess oder den Abscheidungsprozess ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet werden. Als solche kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der vierten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • Außerdem wird die Mischung aus dem roten und dem grünen Licht, die in dem Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht erzeugt wird, an die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G angelegt. Als solches kann das rote Licht und das grüne Licht von dem roten bzw. den grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen erlaubt der blaue Unterbildpunkt, dass das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 415 erzeugte blaue Licht ausgegeben wird. Deshalb kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der vierten Ausführungsform ein Farbbild anzeigen.
  • 6A bis 6E sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • Die Beschreibung der fünften Ausführungsform wird auf die Komponenten konzentriert, die von jenen der vierten Ausführungsform verschieden sind. Außerdem wird durch einen Durchschnittsfachmann die Erklärung hinsichtlich der anderen Komponenten der fünften Ausführungsform, die nicht ausführlich erklärt werden, bei der oben erwähnten Beschreibung der vierten Ausführungsform leicht verstanden.
  • In den 6A bis 6E wird ein Substrat 400 vorbereitet. Auf dem Substrat 400 werden mehrere Gate-Leitungen und mehrere Datenleitungen, die einander kreuzen, auf eine derartige Art gebildet, um mehrere Unterbildpunktbereiche zu definieren, obwohl sie in den Zeichnungen nicht gezeigt sind.
  • Wie in den Zeichnungen gezeigt ist, werden erste bis dritte Schaltelemente T1 bis T3 in dem roten, dem grünen bzw. dem blauen Unterbildpunktbereich des Substrats 400 gebildet. Außerdem werden eine Passivierungsschicht 401 und ein Bankmuster 403 auf dem Substrat 400, das mit den ersten bis dritten Schaltelementen T1 bis T3 versehen worden ist, sequentiell gebildet.
  • Wenn das Bankmuster 403 auf dem Substrat 400 gebildet wird, wie oben beschrieben worden ist, werden die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G entsprechend dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich in den freigelegten Bereichen der Passivierungsschicht 401 gebildet. Außerdem werden in dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunktbereich R, G und B des ersten Substrats 400 erste bis dritte Anoden 420a bis 420c auf eine derartige Art gebildet, dass sie jeweils mit den Drain-Elektroden der ersten bis dritten Schaltelemente T1 bis T3 verbunden sind. Anschließend wird eine erste organische Lichtemissionsschicht 405 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400 entweder durch einen Beschichtungsprozess oder einen Abscheidungsprozess gebildet. Danach wird eine erste Kathode 406a dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich gegenüberliegend unter Verwendung einer Elektrodenschicht, die mit einem Basissubstrat 450, einer Übertragungsschicht 452, einer Klebstoffschicht 453 und einer Metallschicht konfiguriert ist, auf der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 gebildet.
  • Die Übertragungsschicht 452 der Elektrodenschicht besitzt eine Eigenschaft, dass sie von der Metallschicht getrennt wird, wenn sie mit ultravioletten Strahlen bestrahlt wird. Außerdem wird die Übertragungsschicht 452 dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich gegenüberliegend auf dem Basissubstrat 450 gebildet. Unterdessen wird die Klebstoffschicht 453 in der gleichen Schicht wie die Übertragungsschicht 452 und auf dem Basissubstrat 450 dem blauen Unterbildpunktbereich gegenüberliegend gebildet.
  • Um die erste Kathode 406a zu bilden, wird die gesamte Oberfläche der Elektrodenschicht mit ultravioletten Strahlen bestrahlt, was sie mit der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 in Kontakt bringt. Zu diesem Zeitpunkt wird ein Teil der Metallschicht, der der Übertragungsschicht 452 gegenüberliegt, von der Elektrodenschicht getrennt und an der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 angebracht, wobei dadurch die erste Kathode 406a gebildet wird. Unterdessen kann die Metallschicht, die der Klebstoffschicht 453 gegenüberliegt, nicht von der Elektrodenschicht getrennt werden. Mit anderen Worten, die Metallschicht, die der Klebstoffschicht 453 gegenüberliegt, verbleibt als eine Opferschicht 456 in der Elektrodenschicht.
  • Die erste Kathode 406a kann aus einem opaken Metall mit einem hohen Reflexionsgrad gebildet werden. Die erste Kathode 406a kann z. B. aus einem von den Folgenden gebildet werden: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  • Nach der Bildung der ersten Kathode 406a wird der Laserbestrahlungsprozess für den freigelegten Abschnitt der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405, der dem blauen Unterbildpunktbereich entspricht, ausgeführt, um den freigelegten Abschnitt der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 zu entfernen. In Übereinstimmung damit wird ein Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht aus der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 abgeleitet. Die organische Lichtemissionsschicht 405 kann aus einem organischen Material gebildet werden, das eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittieren kann. Das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht wird nur in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich gebildet.
  • Wenn das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht und die erste Kathode 406a auf dem Substrat 400 gebildet worden sind, wie oben beschrieben worden ist, wird ein Oberflächenreinigungsprozess für das Substrat 400, das mit der ersten Kathode 406a versehen worden ist, ausgeführt, wie in 6D gezeigt ist. Anschließend wird eine zweite organische Lichtemissionsschicht 415 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400, das mit der ersten Kathode 406a versehen worden ist, gebildet, wie in 6E gezeigt ist. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 415 kann wie die erste organische Lichtemissionsschicht 405 entweder durch den Beschichtungsprozess oder durch den Abscheidungsprozess gebildet werden. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 415 wird jedoch ungleich zur ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 aus einem weiteren organischen Material gebildet, das blaues Licht emittieren kann.
  • Danach wird eine zweite Kathode 417 auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 415 durch das Abscheiden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400 gebildet. Die zweite Kathode 417 kann aus einem opaken Metall mit einem hohen Reflexionsgrad gebildet werden.
  • Auf diese Art erlaubt die fünfte Ausführungsform, dass das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht, das eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittiert, und die erste Kathode 406a nur auf dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich sequentiell gebildet werden. Unterdessen werden die zweite organische Lichtemissionsschicht 415, die blaues Licht emittiert, und die zweite Kathode 417 in dem blauen Unterbildpunktbereich sequentiell gebildet.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der fünften Ausfünhrungsform ist beschrieben worden, wie sie eine Struktur zum Emittieren von Licht zur Rückseite des Substrats 400 besitzt. Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der fünften Ausführungsform kann jedoch das Licht zu den Kathoden emittieren. In diesem Fall werden die ersten bis dritten Anoden 420a bis 420c aus einem von den Folgenden gebildet: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen, während die erste und die zweite Kathode 406a und 417 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Insbesondere können die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 405 und 417 ohne die Verwendung einer Schattenmaske auf dem Substrat gebildet werden. Als solche kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der fünften Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • Außerdem wird die Mischung aus dem roten und dem grünen Licht, die in dem Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht erzeugt wird, an die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G angelegt. Als solche können das rote Licht und das grüne Licht von dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen erlaubt der blaue Unterbildpunkt, dass das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 415 erzeugte blaue Licht ausgegeben wird. Deshalb kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der fünften Ausführungsform ein Farbbild anzeigen.
  • 7A bis 7E sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • Die Beschreibung der sechsten Ausführungsform wird auf die Komponenten konzentriert, die von jenen der vierten Ausführungsform verschieden sind. Außerdem wird durch einen Durchschnittsfachmann die Erklärung hinsichtlich der anderen Komponenten der sechsten Ausführungsform, die nicht ausführlich erklärt werden, bei den oben erwähnten Beschreibungen der vierten und fünften Ausführungsform leicht verstanden.
  • Wie in 7A bis 7E gezeigt ist, werden erste bis dritte Schaltelemente T1 bis T3, eine Passivierungsschicht 401, ein Bankmuster 403, eine rote und eine grüne Farbfilterschicht R und G und erste bis dritte Anoden 420a bis 420c sequentiell auf einem Substrat 400 gebildet.
  • In der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung wird auf der dritten Anode 420c des blauen Unterbildpunkts ein Photoresistmuster 470 gebildet. Das Photoresistmuster 470 kann durch das Bilden einer Photoresistschicht auf der gesamten Oberfläche des oben erwähnten Substrats 400 und das Ausführen von Belichtungs- und Entwicklungsprozessen für die Photoresistschicht vorbereitet werden.
  • Anschließend wird eine erste organische Lichtemissionsschicht 405 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400 gebildet, die mit dem Photoresistmuster 470 versehen worden ist, wie in 7B gezeigt ist. Außerdem wird eine Metallschicht 406 auf der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 gebildet.
  • Danach wird das Photoresistmuster 470 durch einen Abhebeprozess, der eine Abstreiferlösung verwendet, entfernt. Gleichzeitig werden außerdem die erste organische Lichtemissionsschicht 405 und die Metallschicht 406, die auf dem Photoresistmuster 470 gebildet worden sind, entfernt. In Übereinstimmung damit werden ein Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht und eine erste Kathode 406a von der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 bzw. der Metallschicht 406 abgeleitet, wie in 7C gezeigt ist.
  • Die erste Kathode 406a kann aus einem opaken Metall mit einem hohen Reflexionsgrad gebildet werden. Die erste Kathode 406a kann z. B. aus einem von den Folgenden gebildet werden: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  • Wenn die erste Kathode 406a auf dem Substrat 400 gebildet worden ist, wie oben beschrieben worden ist, wird ein Oberflächenreinigungsprozess für das Substrat 400, das mit der ersten Kathode 406a versehen worden ist, ausgeführt, wie in 5D gezeigt ist. Eine zweite organische Lichtemissionsschicht 415 wird kontinuierlich auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400, das mit der ersten Kathode 406a versehen worden ist, gebildet, wie in 5E gezeigt ist. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 415 kann wie die erste organische Lichtemissionsschicht 405 entweder durch den Beschichtungsprozess oder durch den Abscheidungsprozess gebildet werden. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 415 wird jedoch ungleich der ersten organischen Lichtemissionsschicht 405 aus einem weiteren organischen Material gebildet, das blaues Licht emittieren kann.
  • Danach wird eine zweite Kathode 417 durch das Abscheiden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400 auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 415 gebildet. Die zweite Kathode 417 kann aus einem opaken Metall mit einem hohen Reflexionsgrad gebildet werden.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der sechsten Ausführungsform ist beschrieben worden, wie sie eine Struktur zum Emittieren von Licht zur Rückseite des Substrats 400 besitzt. Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der vierten Ausführungsform kann jedoch das Licht zu den Kathoden emittieren. In diesem Fall werden die ersten bis dritten Anoden 420a bis 420c aus einem von den Folgenden gebildet: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen, während die erste und die zweite Kathode 406a und 417 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Eine derartige sechste Ausführungsform erlaubt, dass das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht, das eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittiert, und die erste Kathode 406a in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich sequentiell gebildet werden. Außerdem erlaubt die sechste Ausführungsform, dass die zweite organische Lichtemissionsschicht 415, die blaues Licht emittiert, und die zweite Kathode 417 sequentiell in dem blauen Unterbildpunktbereich gebildet werden.
  • Außerdem können die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 405 und 417 durch den Beschichtungsprozess oder den Abscheidungsprozess ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet werden. Als solche kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der sechsten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • Außerdem wird die Mischung aus dem roten und dem grünen Licht, die in dem Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht erzeugt wird, an die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G angelegt. Als solche können das rote Licht und das grüne Licht von dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen erlaubt der blaue Unterbildpunkt, dass das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 415 erzeugte blaue Licht ausgegeben wird. Deshalb kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der sechsten Ausführungsform ein Farbbild anzeigen.
  • 8 ist eine Querschnittsansicht, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer siebenten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulicht.
  • Die siebente Ausführungsform entspricht einer Modifikation der vierten Ausführungsform. Als solche wird die Beschreibung der siebenten Ausführungsform auf die Komponenten konzentriert, die von jenen der vierten Ausführungsform verschieden sind. Außerdem wird durch einen Durchschnittsfachmann die Erklärung hinsichtlich der anderen Komponenten der siebenten Ausführungsform, die nicht ausführlich erklärt werden, bei der oben erwähnten Beschreibung der vierten Ausführungsform leicht verstanden.
  • In 8 erlaubt die siebente Ausführungsform, dass die Prozesse der vierten Ausführungsform, die in den 5A bis 5C gezeigt sind und die die Bildungsprozesse des Musters 405a der organischen Lichtemissionsschicht und der ersten Kathode 406a enthalten, für ein Substrat 400 sequentiell ausgeführt werden. Anschließend wird ein Oberflächenreinigungsprozess für das Substrat 400, das mit dem Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht und der ersten Kathode 406a versehen worden ist, ausgeführt.
  • Danach wird eine zweite organische Lichtemissionsschicht 490 unter Verwendung eines organischen Dampfstrahl-Druckverfahrens oder eines Düsenstrahl-Druckverfahrens oder eines Tintenstrahl-Druckverfahrens auf der dritten Anode 420c innerhalb des blauen Bildpunktbereichs gebildet.
  • Die zweite organische Lichtemissionsschicht 490 auf der dritten Anode 420c innerhalb des blauen Bildpunktbereichs kann aus einem organischen Material, das blaues Licht emittieren kann, und in der gleichen Schicht wie das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht gebildet werden. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 490 wird so gebildet, dass sie die gleiche Höhe wie das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht besitzt.
  • Wenn die zweite organische Lichtemissionsschicht 490 auf dem Substrat 400 gebildet worden ist, wie oben beschrieben worden ist, wird eine zweite Kathode 480 auf der ersten Kathode 106a und der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 490 durch das Abscheiden eines Metallmaterials auf der gesamten Oberfläche des Substrats 400 gebildet. Die zweite Kathode 480 kann aus einem opaken Metall mit einem hohen Reflexionsgrad gebildet werden. Außerdem kommt die zweite Kathode 480 mit der ersten Kathode 406a in direkten Kontakt.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der siebenten Ausführungsform ist beschrieben worden, wie sie eine Struktur zum Emittieren von Licht zur Rückseite des Substrats 400 besitzt. Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der siebenten Ausführungsform kann jedoch das Licht zu den Kathoden emittieren. In diesem Fall werden die ersten bis dritten Anoden 420a bis 420c aus einem von den Folgenden gebildet: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen, während die erste und die zweite Kathode 406a und 480 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • In der organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der siebenten Ausführungsform wird die zweite organische Lichtemissionsschicht 490 in der gleichen Schicht wie das Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht gebildet.
  • Außerdem können sowohl die erste als auch die zweite organische Lichtemissionsschicht 405 und 490 ohne die Verwendung einer Schattenmaske gebildet werden. Als solche kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der siebenten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • Außerdem wird die Mischung aus dem roten und dem grünen Licht, die in dem Muster 405a der organischen Lichtemissionsschicht erzeugt wird, an die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G angelegt. Als solche können das rote Licht und das grüne Licht von dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen erlaubt der blaue Unterbildpunkt, dass das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 415 erzeugte blaue Licht ausgegeben wird. Deshalb kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der siebenten Ausführungsform ein Farbbild anzeigen.
  • 9A bis 9F sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • In den 9A bis 9F wird ein Substrat 500 vorbereitet. Auf dem Substrat 500 werden mehrere Gate-Leitungen und mehrere Datenleitungen, die einander kreuzen, auf eine derartige Art gebildet, um mehrere Unterbildpunktbereiche zu definieren, obwohl sie in den Zeichnungen nicht gezeigt sind.
  • Die Unterbildpunktbereiche sind in rote, grüne und blaue Unterbildpunktbereiche klassifiziert. Außerdem werden in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich Dünnschichttransistoren TFT, die als Schaltelemente verwendet werden, gebildet.
  • Wie in den Zeichnungen gezeigt ist, werden die ersten bis dritten Schaltelemente T1 bis T3 jeweils in dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunktbereich des Substrats 500 gebildet. Eine Passivierungsschicht 501 wird auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500 gebildet, das mit den ersten bis dritten Schaltelementen T1 bis T3 versehen worden ist.
  • Obwohl die Struktur jedes Schaltelements T1 und T2 in den Zeichnungen nicht gezeigt ist, kann entweder ein Dünnschichttransistor mit oberem Gate oder ein Dünnschichttransistor mit unterem Gate, die in den organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtungen im Allgemeinen verwendet werden, als ein Schaltelement gebildet werden.
  • Nachdem die oben erwähnte Passivierungsschicht 501 auf dem Substrat 500 gebildet worden ist, wird ein Bankmuster 503, das verwendet wird, um Unterbildpunkte zu definieren, auf der Passivierungsschicht 501 gebildet. Das Bankmuster 503 kann durch das Bilden einer Metallschicht oder einer opaken Harzschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500 und das Ausführen eines Maskierungsprozesses für die Metallschicht oder die opake Harzschicht vorbereitet werden. Die Metallschicht kann aus einem Metallmaterial, wie z. B. Chrom Cr, gebildet werden.
  • Wenn das Bankmuster 503 auf dem Substrat 500 gebildet worden ist, wie oben beschrieben worden ist, werden eine rote Farbfilterschicht R und eine grüne Farbfilterschicht G entsprechend dem roten bzw. dem grünen Unterbildpunktbereich in den freigelegten Bereichen der Passivierungsschicht 501 gebildet. Anschließend wird ein Kontaktloch-Bildungsprozess für die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und das Bankmuster 503 ausgeführt, um die Drain-Elektroden der ersten bis dritten Schaltelemente T1 bis T3 freizulegen.
  • Danach werden erste bis dritte Anoden 520a bis 520c in dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunktbereich R, G und B des Substrats 500 gebildet. Die ersten bis dritten Anoden 520a bis 520c können durch das Bilden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500, das mit dem Bankmuster 503 und der roten und der grünen Farbfilterschicht R und G versehen worden ist, und das Ausführen eines Maskierungsprozesses und eines Ätzprozesses für die Metallschicht vorbereitet werden. Die Metallschicht kann aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet werden.
  • Anschließend wird eine Löcher-Stützschicht 504 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500, das mit den ersten bis dritten Anoden 520a bis 520c versehen worden ist, unter Verwendung entweder einer Beschichtungsprozedur oder eines Abscheidungsprozesses gebildet. Außerdem wird eine erste organische Lichtemissionsschicht 505 unter Verwendung einer Maske 650 entsprechend dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich auf der Löcher-Stützschicht 504 gebildet. Die Löcher-Stützschicht 504 kann eine Löcher-Injektionsschicht HIL und ein Löcher-Transportschicht HTL enthalten. Die erste organische Lichtemissionsschicht 505 kann aus einem organischen Material gebildet werden, das eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittieren kann.
  • Danach wird eine zweite organische Lichtemissionsschicht 506 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500 gebildet, das mit der ersten organischen Lichtemissionsschicht 505 versehen worden ist, wie in 9D gezeigt ist. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 506 kann entweder durch den Beschichtungsprozess oder durch den Abscheidungsprozess gebildet werden. Außerdem wird die zweite organische Lichtemissionsschicht 506 ungleich zur ersten organischen Lichtemissionsschicht 505 aus einem weiteren organischen Material, das blaues Licht emittieren kann, gebildet. Außerdem wird die zweite organische Lichtemissionsschicht 506 gebildet, um die gesamte Oberfläche des Substrats 500 abzudecken.
  • Wenn die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 505 und 506 auf dem Substrat 500 gebildet worden sind, wie oben beschrieben worden ist, wird auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 506 eine Elektronen-Stützschicht 507 gebildet, wie in 9E gezeigt ist. Die Elektronen-Stützschicht 507 kann eine Elektronen-Injektionsschicht EIL und eine Elektronen-Transportschicht ETL enthalten.
  • Nachdem die Elektronen-Stützschicht 507 auf dem Substrat 500 gebildet worden ist, wie oben beschrieben worden ist, wird eine Kathode 509 auf der Elektronen-Stützschicht 507 durch das Abscheiden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500 gebildet, wie in 9F gezeigt ist. Die Kathode 509 kann aus einem von den Folgenden gebildet werden: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der achten Ausführungsform ist beschrieben worden, wie sie eine Struktur zum Emittieren von Licht zur Rückseite des Substrats 500 besitzt. Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der achten Ausführungsform kann jedoch eine weitere Struktur besitzen, die angepasst ist, um das Licht zu der Kathode zu emittieren. In diesem Fall werden die ersten bis dritten Anoden 520a bis 520c aus einem von den Folgenden gebildet: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen, während die Kathode 509 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet wird.
  • Auf diese Art erlaubt die achte Ausführungsform, dass die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und die erste organische Lichtemissionsschicht 505, die eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittiert, nur auf dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich sequentiell gebildet werden. Unterdessen wird die zweite organische Lichtemissionsschicht 506, die blaues Licht emittiert, in dem blauen Unterbildpunktbereich gebildet, ohne irgendeine Farbfilterschicht zu bilden und ohne eine Schattenmaske zu verwenden. Deshalb kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der achten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • In dem roten Unterbildpunktbereich wird außerdem die Mischung aus dem roten Licht und dem grünen Licht, die in der ersten organischen Lichtemissionsschicht 505 erzeugt wird, mit dem in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 506 erzeugten blauen Licht neu gemischt. Als solches kann das neu gemischte Licht durch die rote Farbfilterschicht R hindurchgehen. Deshalb kann das rote Licht von dem roten Unterbildpunkt ausgegeben werden. Ähnlich dazu kann das grüne Licht von dem grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen kann in dem blauen Unterbildpunktbereich nur das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 506 erzeugte blaue Licht durch die dritte Anode 520c ausgegeben werden. Im Ergebnis kann es die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der achten Ausfürungsform ermöglichen, dass das rote, das grüne und das blaue Licht von dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunkt ausgegeben werden, und dadurch ein Farbbild anzeigen.
  • 10A bis 10F sind Querschnittsansichten, die ein Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung veranschaulichen.
  • Die Beschreibung der neunten Ausführungsform wird auf die Komponenten der neunten Ausführungsform, die von jenen der achten Ausführungsform verschieden sind, konzentriert, die hauptsächlich beschrieben werden. Außerdem wird durch einen Durchschnittsfachmann die Erklärung hinsichtlich der anderen Komponenten der neunten Ausführungsform, die nicht ausführlich erklärt werden, bei der oben erwähnten Beschreibung der achten Ausführungsform leicht verstanden.
  • In den 10A bis 10F werden wie jene in der achten Ausführungsform erste bis dritte Schaltelemente T1 bis T3, eine Passivierungsschicht 501, ein Bankmuster 503, eine rote und eine grüne Farbfilterschicht R und G, erste bis dritte Anoden 520a bis 520c innerhalb des roten, des grünen und des blauen Unterbildpunktbereichs und eine Löcher-Stützschicht 504 sequentiell auf einem Substrat 500 gebildet.
  • Anschließend wird eine erste organische Lichtemissionsschicht 605 auf der Löcher-Stützschicht 504 unter Verwendung entweder eines Tintenstrahl-Druckverfahrens oder eines Düsenstrahl-Druckverfahrens gebildet. Die erste organische Lichtemissionsschicht 605 wird entsprechend dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich auf der Löcher-Stützschicht 504 gebildet. Die Löcher-Stützschicht 504 kann eine Löcher-Injektionsschicht HIL und eine Löcher-Transportschicht HTL enthalten. Ein Bezugszeichen ”750” in 10C gibt einen Spender an, der entweder als eine Düse oder als ein Tintenstrahl verwendet werden kann. Die erste organische Lichtemissionsschicht 505 kann aus einem organischen Material gebildet werden, das eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittieren kann.
  • Danach wird eine zweite organische Lichtemissionsschicht 606 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500 gebildet, das mit der ersten organischen Lichtemissionsschicht 605 versehen worden ist, wie in 10D gezeigt ist. Die zweite organische Lichtemissionsschicht 606 kann entweder durch den Beschichtungsprozess oder durch den Abscheidungsprozess gebildet werden. Außerdem wird die zweite organische Lichtemissionsschicht 606 ungleich zur ersten organischen Lichtemissionsschicht 605 aus einem weiteren organischen Material, das blaues Licht emittieren kann, gebildet. Außerdem wird die zweite organische Lichtemissionsschicht 606 gebildet, um die gesamte Oberfläche des Substrats 500 abzudecken.
  • Wenn die erste und die zweite organische Lichtemissionsschicht 605 und 606 auf dem Substrat 500 gebildet worden sind, wie oben beschrieben worden ist, wird auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 606 eine Elektronen-Stützschicht 607 gebildet, wie in 10E gezeigt ist. Die Elektronen-Stützschicht 607 kann eine Elektronen-Injektionsschicht EIL und eine Elektronen-Transportschicht ETL enthalten.
  • Nachdem die Elektronen-Stützschicht 607 auf dem Substrat 500 gebildet worden ist, wie oben beschrieben worden ist, wird eine Kathode 609 auf der Elektronen-Stützschicht 607 durch das Abscheiden einer Metallschicht auf der gesamten Oberfläche des Substrats 500 gebildet, wie in 10F gezeigt ist. Die Kathode 609 kann aus einem von den Folgenden gebildet werden: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  • Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der neunten Ausführungsform ist beschrieben worden, wie sie eine Struktur zum Emittieren von Licht zur Rückseite des Substrats 500 besitzt. Die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der neunten Ausführungsform kann jedoch eine weitere Struktur besitzen, die angepasst ist, um das Licht zu der Kathode zu emittieren. In diesem Fall werden die ersten bis dritten Anoden 520a bis 520c aus einem von den Folgenden gebildet: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen, während die Kathode 609 aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, gebildet wird.
  • Auf diese Art erlaubt die neunte Ausführungsform, dass die rote und die grüne Farbfilterschicht R und G und die erste organische Lichtemissionsschicht 605, die eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht emittiert, nur in dem roten und dem grünen Unterbildpunktbereich sequentiell gebildet werden. Unterdessen wird die zweite organische Lichtemissionsschicht 606, die blaues Licht emittiert, in dem blauen Unterbildpunktbereich gebildet, ohne irgendeine Farbfilterschicht zu bilden und ohne eine Schattenmaske zu verwenden. Deshalb kann die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der neunten Ausführungsform die vorhergehenden Probleme verhindern, die aufgrund der Verwendung der Schattenmaske in jener der verwandten Technik erzeugt worden sind.
  • In dem roten Unterbildpunktbereich wird außerdem die Mischung aus dem roten Licht und dem grünen Licht, die in der ersten organischen Lichtemissionsschicht 605 erzeugt wird, mit dem in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 606 erzeugten blauen Licht neu gemischt. Als solches kann das neu gemischte Licht durch die rote Farbfilterschicht R hindurchgehen. Deshalb kann das rote Licht von dem roten Unterbildpunkt ausgegeben werden. Ähnlich dazu kann das grüne Licht von dem grünen Unterbildpunkt ausgegeben werden. Unterdessen kann in dem blauen Unterbildpunktbereich nur das in der zweiten organischen Lichtemissionsschicht 606 erzeugte blaue Licht durch die dritte Anode 520c ausgegeben werden. Im Ergebnis kann es die organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung der achten Ausführungsform ermöglichen, dass das rote, das grüne und das blaue Licht von dem roten, dem grünen und dem blauen Unterbildpunkt ausgegeben werden, und dadurch ein Farbbild anzeigen.
  • Obwohl die vorliegende Offenbarung lediglich hinsichtlich der oben beschriebenen Ausführungsformen begrenzt erklärt worden ist, sollte es für den Durchschnittsfachmann auf dem Gebiet selbstverständlich sein, dass die vorliegende Offenbarung nicht auf diese Ausführungsformen eingeschränkt ist, sondern dass statt dessen verschiedene Änderungen oder Modifikationen möglich sind, ohne vom Erfindungsgedanken der vorliegenden Offenbarung abzuweichen. Demgemäß soll der Umfang der vorliegenden Offenbarung nur durch die beigefügten Ansprüche und ihre Äquivalente bestimmt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • KR 10-2011-0110806 [0001]
    • KR 10-2011-0110807 [0001]
    • KR 10-2011-0110808 [0001]

Claims (27)

  1. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung, die umfasst: ein unteres Substrat, das ein erstes Substrat, das in rote, grüne und blaue Unterbildpunktbereiche abgegrenzt ist, erste und zweite Schaltelemente, die in den roten und grünen Unterbildpunktbereichen ausgebildet sind, erste und zweite Anoden, von denen jede mit den ersten und zweiten Schaltelementen verbunden ist, und eine erste organische Lichtemissionsschicht, die vollständig auf dem ersten Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten und zweiten Anoden versehen worden ist, enthält; und ein oberes Substrat, das ein zweites Substrat, rote und grüne Farbfilterschichten, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf dem zweiten Substrat ausgebildet sind, ein drittes Schaltelement, das entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf dem zweiten Substrat ausgebildet ist, eine dritte Anode, die mit dem dritten Schaltelement verbunden ist, und eine zweite organische Lichtemissionsschicht, die vollständig auf dem zweiten Substrat ausgebildet ist, das mit den roten und grünen Farbfilterschichten und der dritten Anode versehen ist, enthält.
  2. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste organische Lichtemissionsschicht aus einem organischen Material ausgebildet ist, das angepasst ist, um eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht zu erzeugen.
  3. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die zweite organische Lichtemissionsschicht aus einem organischen Material ausgebildet ist, das angepasst ist, um blaues Licht zu erzeugen.
  4. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die ersten und zweiten Anoden auf dem unteren Substrat aus einem von den Folgenden ausgebildet sind: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  5. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei die dritte Anode auf dem oberen Substrat aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, ausgebildet ist.
  6. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei das untere Substrat eine erste Kathode enthält, die auf der ersten organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist.
  7. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei das obere Substrat eine zweite Kathode enthält, die entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist.
  8. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 1, wobei das obere Substrat eine zweite Kathode enthält, die vollständig auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist.
  9. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 8, die ferner eine reflektierende Platte umfasst, die entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf dem unteren Substrat ausgebildet ist.
  10. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung, die umfasst: erste bis dritte Schaltelemente, die in roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen, in die ein Substrat abgegrenzt ist, jeweils ausgebildet sind; eine Passivierungsschicht, die vollständig auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Schaltelementen versehen ist; rote und grüne Farbfilterschichten, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf der Passivierungsschicht ausgebildet sind; erste und dritte Anoden, die jeweils in den roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen ausgebildet sind; ein Muster einer organischen Lichtemissionsschicht, das auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Anoden versehen ist; eine erste Kathode, die auf dem Muster einer organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist; eine organische Emissionsschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit der ersten Kathode versehen ist; und eine zweite Kathode, die auf der organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist.
  11. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei die ersten und zweiten Anoden auf den roten bzw. grünen Farbfilterschichten ausgebildet sind.
  12. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei die dritte Anode entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf der Passivierungsschicht ausgebildet ist.
  13. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei die ersten bis dritten Anoden aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, ausgebildet sind.
  14. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei die ersten und zweiten Kathoden aus einem von den Folgenden ausgebildet sind: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  15. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei das Muster der organischen Lichtemissionsschicht nur auf den roten und grünen Farbfiltern ausgebildet ist.
  16. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 15, wobei die erste Kathode nur auf dem Muster der organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist.
  17. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei das Muster der organischen Lichtemissionsschicht aus einen organischen Material ausgebildet ist, das angepasst ist, um eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht zu erzeugen.
  18. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei die organische Lichtemissionsschicht aus einem organischen Material ausgebildet ist, das angepasst ist, um blaues Licht zu erzeugen.
  19. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei die organische Lichtemissionsschicht innerhalb des blauen Unterbildpunktbereichs auf der dritten Anode ausgebildet ist.
  20. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 10, wobei das Muster der organischen Lichtemissionsschicht und die organische Lichtemissionsschicht in derselben Schicht auf den ersten bis dritten Anoden ausgebildet sind.
  21. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung, die umfasst: erste bis dritte Schaltelemente, die in roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen, in die ein Substrat abgegrenzt ist, jeweils ausgebildet sind; eine Passivierungsschicht, die vollständig auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Schaltelementen versehen ist; rote und grüne Farbfilterschichten, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf der Passivierungsschicht ausgebildet sind; erste und dritte Anoden, die jeweils in den roten, grünen und blauen Unterbildpunktbereichen ausgebildet sind; eine Löcher-Stützschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit den ersten bis dritten Anoden versehen ist; eine erste organische Lichtemissionsschicht, die entsprechend den roten und grünen Unterbildpunktbereichen auf der Löcher-Stützschicht ausgebildet ist; eine zweite organische Lichtemissionsschicht, die auf dem Substrat ausgebildet ist, das mit der ersten organischen Lichtemissionsschicht versehen ist; eine Elektronen-Stützschicht, die auf der zweiten organischen Lichtemissionsschicht ausgebildet ist; und eine Kathode, die auf der Elektronen-Stützschicht ausgebildet ist.
  22. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 21, wobei die ersten und zweiten Anoden auf den roten bzw. grünen Farbfilterschichten ausgebildet sind.
  23. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 21, wobei die dritte Anode entsprechend dem blauen Unterbildpunktbereich auf der Passivierungsschicht ausgebildet ist.
  24. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 21, wobei die ersten bis dritten Anoden aus einem transparenten leitfähigen Material, wie z. B. Indiumzinnoxid ITO, Indiumzinkoxid IZO oder Aluminiumzinkoxid AZO, ausgebildet sind.
  25. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 21, wobei die Kathode aus einem von den Folgenden ausgebildet ist: Magnesium Mg, Calcium Ca, Aluminium Al, Silber Ag, Lithium Li und deren Legierungen.
  26. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 21, wobei die erste organische Lichtemissionsschicht aus einen organischen Material ausgebildet ist, das angepasst ist, um eine Mischung aus rotem Licht und grünem Licht zu erzeugen.
  27. Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung nach Anspruch 21, wobei die zweite organische Lichtemissionsschicht aus einen organischen Material ausgebildet ist, das angepasst ist, um blaues Licht zu erzeugen.
DE102012020475.2A 2011-10-27 2012-10-18 Organische elektrolumineszenz-anzeigevorrichtungen Active DE102012020475B4 (de)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110110807A KR101818255B1 (ko) 2011-10-27 2011-10-27 유기전계 발광 표시장치 및 그 제조방법
KR1020110110806A KR101818254B1 (ko) 2011-10-27 2011-10-27 유기전계 발광 표시장치 및 그 제조방법
KR1020110110808A KR101818256B1 (ko) 2011-10-27 2011-10-27 유기전계 발광 표시장치 및 그 제조방법
KR10-2011-0110806 2011-10-27
KR10-2011-0110807 2011-10-27
KR10-2011-0110808 2011-10-27

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102012020475A1 true DE102012020475A1 (de) 2013-05-02
DE102012020475B4 DE102012020475B4 (de) 2016-04-07

Family

ID=48084393

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102012020475.2A Active DE102012020475B4 (de) 2011-10-27 2012-10-18 Organische elektrolumineszenz-anzeigevorrichtungen

Country Status (3)

Country Link
US (3) US8895967B2 (de)
CN (1) CN103094308B (de)
DE (1) DE102012020475B4 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6314451B2 (ja) * 2012-12-27 2018-04-25 大日本印刷株式会社 カラーフィルタ形成基板および有機ｅｌ表示装置
KR102081317B1 (ko) * 2013-08-30 2020-02-25 엘지디스플레이 주식회사 이중 뱅크 구조를 갖는 고 개구율 유기발광 다이오드 표시장치
JP2015069806A (ja) * 2013-09-27 2015-04-13 株式会社ジャパンディスプレイ 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法
JP7418949B2 (ja) * 2018-04-03 2024-01-22 キヤノン株式会社 表示装置、撮像装置
TWI730277B (zh) * 2018-12-20 2021-06-11 華碩電腦股份有限公司 顯示裝置製造方法
KR102670023B1 (ko) * 2020-03-04 2024-05-27 주식회사 디비하이텍 유기발광 표시장치 및 제조방법
US11980046B2 (en) * 2020-05-27 2024-05-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Method for forming an isolation structure having multiple thicknesses to mitigate damage to a display device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110110807A (ko) 2009-01-16 2011-10-07 대니스코 에이/에스 곡물 또는 곡물 바이스트림로부터의 기능성 지질의 효소적 생성
KR20110110806A (ko) 2009-01-15 2011-10-07 엘몬드네트, 인크. 프라이버시 보호 온라인 사용을 위한 오프라인 프로파일 데이터 요청
KR20110110808A (ko) 2009-01-16 2011-10-07 플레이그, 하르트무트 나사 부분, 나사 연결부 및 나사 부분을 생성하기 위한 방법

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7986087B2 (en) * 2002-10-08 2011-07-26 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Color conversion media and EL-display using the same
JP2004335207A (ja) * 2003-05-02 2004-11-25 Fuji Electric Holdings Co Ltd 有機ｅｌ素子とその製造方法
US20050093435A1 (en) * 2003-09-22 2005-05-05 Suh Min-Chul Full color organic light-emtting device having color modulation layer
US7129634B2 (en) * 2004-04-07 2006-10-31 Eastman Kodak Company Color OLED with added color gamut pixels
US20080191979A1 (en) * 2005-02-18 2008-08-14 Masao Nakane Display Control Device and Display Device
KR101233144B1 (ko) * 2006-06-12 2013-02-14 엘지디스플레이 주식회사 유기전계 발광소자 및 그 제조 방법
JP4582102B2 (ja) * 2007-03-08 2010-11-17 セイコーエプソン株式会社 発光装置およびその製造方法ならびに電子機器
CN101051676B (zh) * 2007-05-15 2010-10-06 友达光电股份有限公司 有机电激发光像素、有机电激发光元件及其制造方法
TWI367684B (en) * 2007-11-02 2012-07-01 Chimei Innolux Corp Organic light emitting display device and electronic device
EP2429263B1 (de) * 2009-04-09 2018-07-18 Joled Inc. Organische elektrolumineszenzanzeigevorrichtung
JP5609058B2 (ja) * 2009-10-22 2014-10-22 ソニー株式会社 表示装置
KR20110052213A (ko) * 2009-11-12 2011-05-18 삼성모바일디스플레이주식회사 표시 장치
KR101983229B1 (ko) * 2010-07-23 2019-05-29 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그의 제조 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110110806A (ko) 2009-01-15 2011-10-07 엘몬드네트, 인크. 프라이버시 보호 온라인 사용을 위한 오프라인 프로파일 데이터 요청
KR20110110807A (ko) 2009-01-16 2011-10-07 대니스코 에이/에스 곡물 또는 곡물 바이스트림로부터의 기능성 지질의 효소적 생성
KR20110110808A (ko) 2009-01-16 2011-10-07 플레이그, 하르트무트 나사 부분, 나사 연결부 및 나사 부분을 생성하기 위한 방법

Also Published As

Publication number Publication date
US20150060834A1 (en) 2015-03-05
US9040979B2 (en) 2015-05-26
US20130105773A1 (en) 2013-05-02
DE102012020475B4 (de) 2016-04-07
US20150069369A1 (en) 2015-03-12
CN103094308B (zh) 2015-12-02
US8895967B2 (en) 2014-11-25
US9048204B2 (en) 2015-06-02
CN103094308A (zh) 2013-05-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102012020475B4 (de) Organische elektrolumineszenz-anzeigevorrichtungen
DE102018002907B4 (de) Organisches lichtemittierendes Anzeigepanel, Verfahren zu seiner Vorbereitung und organische lichtemittierende Anzeigevorrichtung
DE102016123108B4 (de) Organische lichtemittierende Anzeigevorrichtungen und Verfahren zu deren Herstellung
DE69619470T2 (de) Verfahren zur Herstellung einer organischen Elektrolumineszenzanzeige
DE102013105972B4 (de) Verfahren zum Herstellen einer organischen lichtemittierenden Dioden-Anzeigevorrichtung
DE102018119833A1 (de) Organische lichtemittierende anzeigevorrichtung, am kopf befestigte anzeige aufweisend dieselbe und verfahren zur herstellung derselben
DE102023126548A1 (de) Lichtemittierende anzeigevorrichtung und verfahren zum herstellen derselben
DE102012107977A1 (de) Organische licht-emittierende anzeigevorrichtung und verfahren zum herstellen derselben
DE102012112660B4 (de) Anzeigevorrichtungen und Verfahren zu deren Herstellung
DE102014108432A1 (de) OLED-Anzeigepanel, Verfahren zu dessen Herstellung und Anzeigevorrichtung
DE102019132804A1 (de) Organische Lichtemissionsanzeigevorrichtung
DE102011003458A1 (de) Dünnfilmabscheidungsvorrichtung, Verfahren zum Herstellen eines organischen Leuchtemissionsdisplays mit der Vorrichtung und mit dem Verfahren hergestelltes organisches Leuchtemissionsdisplay
DE102010027852A1 (de) Maskenrahmenanordnung zur Dünnfilmabscheidung und zugehörige Verfahren
DE10361006A1 (de) Organische Doppeltafel-Elektrolumineszenz-Vorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung
DE102019132172A1 (de) Organische lichtemittierende displayvorrichtung
DE102019133709A1 (de) Elektroluminiszenzanzeigevorrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE102012103308A1 (de) Organisches Elektrolumineszenz-Anzeigepaneel und Verfahren zum Herstellen desselben
DE102019134173B4 (de) Organische Lichtemitteranzeigevorrichtung
DE102021134453A1 (de) Transparente Anzeigevorrichtung
US20210359044A1 (en) Organic light emitting diode back plate and method of manufacturing same
DE102021134074A1 (de) Anzeigevorrichtung
DE602005005651T2 (de) Verfahren zur strukturierung eines funktionalen materials auf ein substrat
DE102019120476A1 (de) Displayvorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung, am kopf angebrachte displayvorrichtung
DE102021115479A1 (de) Flexible anzeigevorrichtung und verfahren zum herstellen derselben
DE102018127237B4 (de) Vorrichtung zum Ablagern eines ultrafeinen Musters, Verfahren zum Ablagern eines ultrafeinen Musters, das diese verwendet, und lichtemittierende Anzeigevorrichtung, die durch das Verfahren zum Ablagern eines ultrafeinen Musters hergestellt ist

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0027320000

Ipc: H10K0059000000