DE102008025831B4 - Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens - Google Patents

Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens Download PDF

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Abstract

Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens, mit einem oberen Körper und einem unteren Körper, wobei der untere Körper unten am oberen Körper so befestigt ist, dass eine geschlossene Ofenkammer gebildet wird; wobei der obere Körper einen äußeren oberen Mantel und einen inneren oberen Mantel aufweist, wobei sowohl der äußere obere Mantel als auch der innere obere Mantel zylindrisch sind, wobei der äußere obere Mantel den inneren oberen Mantel umschließt, und wobei ein oberer Einschlussraum zwischen dem äußeren oberen Mantel und dem inneren oberen Mantel gebildet wird; dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Wasserzufuhrrohr um den oberen Einschlussraum herum angeordnet ist, wobei mehrere Sprühöffnungen an dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr vorgesehen sind; und mit einer Pumpe, die mit dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr in Verbindung steht, wobei mithilfe der Pumpe Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen des mindestens einen Wasserzufuhrrohrs gefördert wird, um den inneren oberen Mantel mit...

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kühlstruktur, insbesondere eine Kühlstruktur, die für den Körper eines Kristallzüchtungsofens vorgesehen ist.
  • 2. Beschreibung des Standes der Technik
  • Wie aus 1, die eine schematische Darstellung einer herkömmlichen Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen zeigt, ersichtlich ist, weist der Ofen einen oberen Körper 91 und einen unteren Körper 92 auf, wobei der obere Körper 91 einen äußeren oberen Mantel 911 und einen inneren oberen Mantel 912 aufweist und der untere Körper 92 einen äußerer unteren Mantel 921 und einen inneren unteren Mantel 922 aufweist.
  • In dem oberen Körper 91 wird ein oberer Einschlussraum 910 zwischen dem äußeren oberen Mantel 911 und dem inneren oberen Mantel 912 gebildet, während in dem unteren Körper 92 ein unterer Einschlussraum 920 zwischen dem äußeren unteren Mantel 921 und dem inneren unteren Mantel 922 gebildet wird.
  • Wie in 1 dargestellt, saugt eine Pumpe 94 über eine Wasserzufuhrleitung 941 reines Wasser aus einem Speicher 96 in die oberen und unteren Einschlussräume 910, 920, wodurch die Wärme abgekühlt wird, die von dem Körper des Kristallzüchtungsofens ausgeht. Das erwärmte reine Wasser wird dann durch eine Wasserrückführleitung 942 wieder in den Speicher 96 zurücksaugt, wo eine Kühlvorrichtung 95 und ein Kühlturm 951 verwendet werden, um das reine Wasser in dem Speicher 96 zu kühlen. Außerdem ist ein Wasserreiniger 97 erforderlich, um das Wasser zu reinigen. Somit sind die Kosten für die Betriebsanlagen und für die Wartung der herkömmlichen Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen signifikant hoch.
  • Da die oberen und unteren Einschlussräume 910, 920 mit einer großen Menge von kühlendem reinen Wasser angefüllt sind, und da aufgrund von langer Benutzung oder fehlerhafter Herstellung, oder aufgrund einer Fehlfunktion des Ofens unerwartete Risse an dem inneren oberen Mantel 912 und dem inneren unteren Mantel 922 auftreten können, fließt außerdem reines Wasser fortwährend in einen Innenraum 90 des Kristallzüchtungsofens, wobei der Innenraum 90 sich in einem Hochtemperaturzustand befindet. Folglich reagieren Betriebsanlagen, die aus Graphit bestehen, abrupt mit dem Wasser, und eine große Menge von Wasserstoff (H2), Kohlenmonoxid (CO) und Dampf wird freigesetzt, was eine Gefährdung der öffentlichen Sicherheit darstellt, da beispielsweise der gesamte Kristallzüchtungsofen explodieren kann.
  • Aus der US 5,135,047 ist ein Kristallzüchtungsofen bekannt. Mittels einer Doppelwandkonstruktion zwischen einer Heizschlange und einem Kristallzüchtungsbereich werden dabei Unterdruckbedingungen zur Vermeidung von Konvektionen aufrechterhalten. Einheitsschlangenkondensator wird mit Kühlmittel gekühlt, welches durch Mantelhülsen des Ofens geführt wird.
  • Die US 7,198,673 B2 beschreibt ein Verfahren zur Bearbeitung von optischen Lithographie-Fluoridkristallen mit Hilfe eines dafür vorgesehenen Ofens. Vorzugsweise handelt es sich dabei um einen wassergekühlten Edelstahlbehälter, der im Unterdruck betrieben wird. Das zuvor beschriebene Sicherheitsproblem wird in dieser Schrift nicht behandelt.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung soll eine Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens schaffen, mit einem oberen Körper und einem unteren Körper, wobei der untere Körper oben an der Unterseite des oberen Körpers befestigt wird, um eine geschlossene Ofenkammer zu bilden. In der Ofenkammer sind ein Heizraum, ein Tiegel, Heizelemente usw. vorgesehen, die sich auf eine Struktur zur Züchtung von Vielkristallen von Silicium beziehen.
  • Der obere Körper weist einen äußeren oberen Mantel und einen inneren oberen Mantel auf, wobei sowohl der äußere obere Mantel als auch der innere obere Mantel zylindrisch sind. Der äußere obere Mantel umschließt den inneren oberen Mantel, und ein oberer Einschlussraum wird zwischen dem äußeren oberen Mantel und dem inneren oberen Mantel gebildet.
  • Darüber hinaus weist der untere Körper einen äußeren unteren Mantel und einen inneren unteren Mantel auf, wobei sowohl der äußere untere Mantel als auch der innere untere Mantel jeweils eine napfartige Form haben. Der äußere untere Mantel umschließt den inneren unteren Mantel, und ein unterer Einschlussraum wird zwischen dem äußeren unteren Mantel und dem inneren unteren Mantel gebildet.
  • Mindestens ein Wasserzufuhrrohr und mindestens ein Wassereinlassrohr sind jeweils um die oberen und unteren Einschlussräume herum angeordnet, wobei mehrere Sprühöffnungen an jedem von dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr und dem mindestens einen Wassereinlassrohr vorgesehen sind.
  • Eine Pumpe ist vorgesehen, um jeweils mit dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr und dem mindestens einen Wassereinlassrohr in Verbindung gebracht zu werden. Mithilfe der Pumpe wird Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen des mindestens einen Wasserzufuhrrohrs und des mindestens einen Wassereinlassrohrs gefördert um die Temperatur am Körper des Kristallzüchtungsofens durch Sprühwasser abzusenken.
  • Durch diese Weise des Besprühens mit Wasser kann eine Kühlwirkung erreicht werden. Außerdem können die dem herkömmlichen Stand der Technik innewohnenden Mängel, dass eine große Menge reinen Wassers benötigt wird und eine ernst zu nehmende Gefährdung der öffentlichen Sicherheit verursacht werden kann, überwunden werden.
  • Darüber hinaus ist der äußere obere Mantel gemäß der vorliegenden Erfindung am Umfang des unteren Bereichs desselben mit mehreren Netzöffnungen als Lufteinlässe versehen, und an der Oberseite mit einem Luftauslass, so dass kühle Luft durch die Lufteinlässe in den äußeren oberen Mantel eintreten kann und warme Luft von der Oberseite des äußeren oberen Mantels und aus dem Luftauslass heraus abgegeben werden kann.
  • Der obere Körper kann mit einem Abluftventilator versehen sein, der am Luftauslass des äußeren oberen Mantels angeordnet ist. Dieser Abluftventilator kann warme Luft im oberen Einschlussraum aus dem äußeren oberen Mantel abziehen bzw. herausfördern. Dies beschleunigt selbstverständlich die Kühlung des Kristallzüchtungsofens. Um den äußeren oberen Mantel herum sind mehrere schräge Rippen vorgesehen. Die Rippen befinden sich an oberen Kanten der Lufteinlässe zum Abschirmen vor Regen und Wind, und um die Umgebungsluft so zu führen, dass sie nach oben und in Richtung zu einem Auslass hin strömt, damit keine turbulenten Luftströmungen im oberen Einschlussraum auftreten, um dort eine Ansammlung von Wärme zu vermeiden.
  • Der äußere obere Mantel kann vollständig mit den Netzöffnungen versehen sein, so dass selbst bei einem fehlenden Abluftventilator der obere Körper direkt der Umgebung ausgesetzt werden kann und immer noch eine Kühlwirkung erzielt werden kann.
  • Außerdem kann gemäß der vorliegenden Erfindung der obere Körper mit mindestens einem ersten Wasserrückführrohr versehen sein, und der untere Körper kann mit mindestens einem zweiten Wasserrückführrohr versehen sein, wobei das erste Wasserrückführrohr ein Ende aufweist, das sich unterhalb des oberen Einschlussraums befindet, und ein weiteres Ende, um Wasser so zu führen, dass es zu einem Speicher außerhalb des Kristallzüchtungsofens fließt. Das zweite Wasserrückführrohr hat ein Ende, das sich unterhalb des unteren Einschlussraums befindet, und ein weiteres Ende, um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen heraus zum Speicher fließt, so dass das Wasser, das nicht zur Verdampfung gebracht wurde, wieder aufbereitet und erneut verwendet werden kann.
  • Darüber hinaus können der obere Körper und der untere Körper jeweils mindestens ein Notwasserrohr aufweisen, das um die oberen und unteren Einschlussräume herum angeordnet ist, wobei eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen an den Notwasserrohren vorgesehen ist.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Pumpe ein Regelventil aufweisen, das zwischen den Notwasserrohren und der Pumpe angeordnet ist. In einem Notfall wird ein Steuersignal C eingegeben, um das Regelventil zu öffnen, wodurch bewirkt wird, dass die Pumpe mehr zusätzliches Wasser von der externen Wasserquelle ansaugt und durch die mehreren Berieselungsöffnungen der Notwasserrohre die Oberfläche des inneren oberen Mantels und des inneren unteren Mantels berieselt wird, so dass der Körper des Kristallzüchtungsofens schnell abgekühlt werden kann und im Weiteren eine Katastrophe vermieden werden kann.
  • Bei der vorliegenden Erfindung ist es nicht notwendig, eine große Menge reinen Wassers zu verwenden, um eine Kühlwirkung zu erzielen. Dies apart nicht nur Kosten für Betriebsanlagen, wie Kühlvorrichtungen, Kühltürme, Wasserreiniger, und deren Wartung, sondern verringert auch deutlich den Verbrauch an elektrischer Energie.
  • Weitere Aufgaben, Vorteile und neue Merkmale der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
  • In der Zeichnung zeigen:
  • 1 eine schematische Darstellung einer herkömmlichen Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen;
  • 2 eine Schnittansicht, die eine Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 3 eine schematische Darstellung der Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 4 eine Draufsicht auf die Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 5 eine Unteransicht der Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
  • 6 eine Schnittansicht, die eine Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Wie aus 2 ersichtlich, die eine Schnittansicht einer Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, weist die Kühlstruktur einen oberen Körper 1 und einen unteren Körper 2 auf, wobei der untere Körper 2 oben an der Unterseite des oberen Körpers 1 so befestigt ist, dass eine geschlossene Ofenkammer 10 gebildet wird. In der Ofenkammer 10 sind ein Heizraum, ein Tiegel, Heizelemente usw. vorgesehen, die sich auf eine Struktur zur Züchtung von Vielkristallen von Silicium beziehen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung weist der obere Körper 1 einen äußeren oberen Mantel 11 und einen inneren oberen Mantel 12 auf, wobei sowohl der äußere obere Mantel 11 als auch der innere obere Mantel 12 zylindrisch sind. Der äußere obere Mantel 11 umschließt den inneren oberen Mantel 12 und ein oberer Einschlussraum 13 wird zwischen dem äußeren oberen Mantel 11 und dem inneren oberen Mantel 12 gebildet.
  • Darüber hinaus weist der untere Körper 2 einen äußeren unteren Mantel 21 und einen inneren unteren Mantel 22 auf, wobei sowohl der äußere untere Mantel 21 als auch der innere untere Mantel 22 jeweils eine napfartige Form haben. Der äußere untere Mantel 21 umschließt den inneren unteren Mantel 22, und ein unterer Einschlussraum 23 wird zwischen dem äußeren unteren Mantel 21 und dem inneren unteren Mantel 22 gebildet.
  • Wie nun aus 3 ersichtlich – einer schematischen Darstellung der Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung –, sowie aus 4 – einer Draufsicht auf die Kühlstruktur – und aus 5 – einer Unteransicht der Kühlstruktur –, sind eine Vielzahl von Wasserzufuhrrohren 14 um den oberen Einschlussraum 13 herum angeordnet, wobei mehrere Sprühöffnungen 141 an den Wasserzufuhrrohren 14 vorgesehen sind. Eine Vielzahl von Wassereinlassrohren 24 sind um den unteren Einschlussraum 23 herum angeordnet, wobei mehrere Sprühöffnungen 241 an den Wassereinlassrohren 24 vorgesehen sind. Bei der vorliegenden Ausführungsform gibt es drei Wasserzufuhrrohre 14 und drei Wassereinlassrohre 24. Prinzipiell sollte die Anzahl der Wasserzufuhrrohre 14 und der Wassereinlassrohre 24 so gewählt werden, dass der innere obere Mantel 12 und der innere untere Mantel 22 gleichmäßig mit Kühlwasser besprüht werden können.
  • Wie in 3 dargestellt, ist eine Pumpe 3 außerhalb des oberen Körpers 1 und des unteren Körpers 2 vorgesehen und steht jeweils mit den Wasserzufuhrrohren 14 und den Wassereinlassrohren 24 in Verbindung. Mithilfe der Pumpe 3 wird Wasser aus einer externen Wasserquelle, beispielsweise einem Speicher, durch die Sprühöffnungen 141 der Wasserzufuhrrohre 14 gefördert, um Wasser auf den inneren oberen Mantel 12 zu sprühen, und durch die Sprühöffnungen 241 der Wassereinlassrohre 24, um die externe Fläche des inneren oberen Mantels 12 und des inneren unteren Mantels 22 zu besprühen, damit die Temperatur am Körper des Kristallzüchtungsofens gesenkt wird.
  • Somit kann durch diese Art des Besprühens mit Wasser eine Kühlwirkung erreicht werden. Außerdem können die dem herkömmlichen Stand der Technik innewohnenden Mängel, dass eine große Menge reinen Wassers benötigt wird und eine ernst zu nehmende Gefährdung der öffentlichen Sicherheit verursacht werden kann, überwunden werden.
  • Es ist anzumerken, dass – wie in 3 dargestellt – der äußere obere Mantel 11 am Umfang des unteren Bereichs desselben mit mehreren Netzöffnungen 115 als Lufteinlässe 111 versehen ist, und an der Oberseite mit einem Luftauslass 112, so dass kühle Luft durch die Lufteinlässe 111 in den äußeren oberen Mantel 11 eintreten kann und warme Luft von der Oberseite des äußeren oberen Mantels 11 und aus dem Luftauslass 112 heraus abgegeben werden kann.
  • Außerdem kann der obere Körper 1 mit einem Abluftventilator 113 versehen sein, der am Luftauslass 112 des äußeren oberen Mantels 11 angeordnet ist. Durch die zusätzliche Verwendung dieses Abluftventilators 113 zum Abziehen bzw. Herausfördern warmer Luft im oberen Einschlussraum 13 aus dem äußeren oberen Mantel 11 heraus wird selbstverständlich die Kühlung des Kristallzüchtungsofens beschleunigt. Abgesehen davon kann der äußere obere Mantel 11 vollständig mit den Netzöffnungen 115 versehen sein, so dass selbst bei einem fehlenden Abluftventilator 113 der obere Körper 1 direkt der Umgebung ausgesetzt werden kann und immer noch eine Kühlwirkung erzielt werden kann.
  • Wie aus 3, 4 und 5 ersichtlich, weist der obere Körper 1 ein Notwasserrohr 15 auf, das um den oberen Einschlussraum 13 herum angeordnet ist, wobei eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen 151 an dem Notwasserrohr 15 vorgesehen ist. Außerdem weist der untere Körper 2 zwei Notwasserrohre 25 auf, die um den unteren Einschlussraum 23 herum angeordnet sind, wobei eine Vielzahl Von Berieselungsöffnungen 251 an den Notwasserrohren 25 vorgesehen ist.
  • Die Pumpe 3 kann ein Regelventil 31 aufweisen, das zwischen den Notwasserrohren 15, 25 und der Pumpe 3 angeordnet ist. In einem Notfall wird ein Steuersignal C eingegeben, um das Regelventil 31 zu öffnen, wodurch bewirkt wird, dass die Pumpe 3 mehr zusätzliches Wasser von der externen Wasserquelle ansaugt und durch die mehreren Berieselungsöffnungen 151, 251 die Oberfläche des inneren oberen Mantels 12 und des inneren unteren Mantels 22 berieselt wird, so dass der Körper des Kristallzüchtungsofens schnell abgekühlt werden kann und im Weiteren eine Katastrophe vermieden werden kann. Der obere Körper 1 kann mit einem ersten Wasserrückführrohr 16 versehen sein, das ein Ende 161 aufweist, das sich unterhalb des oberen Einschlussraums 13 befindet, und ein weiteres Ende 162, um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen herausfließt. Der untere Körper 2 kann auch mit einem zweiten Wasserrückführrohr 26 versehen sein, das ein Ende 261 besitzt, welches sich unterhalb des unteren Einschlussraums 23 befindet, und ein weiteres Ende 262, um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen heraus zum Speicher fließt, so dass das Wasser, das nicht zur Verdampfung gebracht wurde, wieder aufbereitet und erneut verwendet werden kann.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es nicht notwendig, eine große Menge reinen Wassers zu verwenden, um eine Kühlwirkung zu erzielen. Dies spart nicht nur Kosten für Betriebsanlagen, wie Kühlvorrichtungen, Kühltürme, Wasserreiniger, und deren Wartung, sondern verringert auch deutlich den Verbrauch an elektrischer Energie.
  • Wie aus 6 ersichtlich – einer Schnittansicht, die eine Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt – hat die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen ähnlichen Aufbau wie die erste Ausführungsform, mit Ausnahme dessen, dass bei der zweiten Ausführungsform eine Vielzahl von schrägen Rippen 114 um einen äußeren oberen Mantel 20 herum vorgesehen sind. Die Rippen 114 befinden sich an oberen Kanten von Lufteinlässen 116 zum Abschirmen vor Regen und Wind, und um die Umgebungsluft so zu führen, dass sie in Richtung eines Auslasses 117 strömt, damit keine turbulenten Luftströmungen in einem oberen Einschlussraum 17 auftreten, um dort eine Ansammlung von Wärme zu vermeiden.
  • Obwohl die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf ihre bevorzugten Ausführungsformen erläutert wurde, versteht es sich, dass noch viele andere Modifikationen und Änderungen möglich sind, ohne vom Umfang der nachfolgend beanspruchten Erfindung abzuweichen.
  • Bezugszeichenliste
    • 1
    oberer Körper
    2
    unterer Körper
    3
    Pumpe
    10
    Ofenkammer
    11
    äußerer oberer Mantel
    12
    innerer oberer Mantel
    13
    oberer Einschlussraum
    14
    Wasserzufuhrrohr
    15
    Notwasserrohr
    16
    Wasserrückführrohr
    21
    äußerer unterer Mantel
    22
    innerer unterer Mantel
    23
    unterer Einschlussraum
    24
    Wassereinlassrohr
    25
    Notwasserrohr
    26
    Wasserrückführrohr
    31
    Regelventil
    90
    Innenraum
    91
    oberer Körper
    92
    unterer Körper
    94
    Pumpe
    95
    Kühlvorrichtung
    96
    Speicher
    97
    Wasserreiniger
    111
    Lufteinlass
    112
    Luftauslass
    113
    Abluftventilator
    114
    Rippen
    115
    Netzöffnung
    116
    Lufteinlass
    117
    Auslass
    141
    Sprühöffnung
    151
    Berieselungsöffnung
    161
    Rohr-Ende
    162
    Rohr-Ende
    241
    Sprühöffnung
    251
    Berieselungsöffnung
    261
    Rohr-Ende
    262
    Rohr-Ende
    910
    oberer Einschlussraum
    911
    äußerer oberer Mantel
    912
    innerer oberer Mantel
    920
    unterer Einschlussraum
    921
    äußerer unterer Mantel
    922
    innerer unterer Mantel
    941
    Wasserzufuhrleitung
    942
    Wasserrückführleitung
    951
    Kühlturm
    C
    Steuersignal

Claims (9)

  1. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens, mit einem oberen Körper und einem unteren Körper, wobei der untere Körper unten am oberen Körper so befestigt ist, dass eine geschlossene Ofenkammer gebildet wird; wobei der obere Körper einen äußeren oberen Mantel und einen inneren oberen Mantel aufweist, wobei sowohl der äußere obere Mantel als auch der innere obere Mantel zylindrisch sind, wobei der äußere obere Mantel den inneren oberen Mantel umschließt, und wobei ein oberer Einschlussraum zwischen dem äußeren oberen Mantel und dem inneren oberen Mantel gebildet wird; dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Wasserzufuhrrohr um den oberen Einschlussraum herum angeordnet ist, wobei mehrere Sprühöffnungen an dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr vorgesehen sind; und mit einer Pumpe, die mit dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr in Verbindung steht, wobei mithilfe der Pumpe Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen des mindestens einen Wasserzufuhrrohrs gefördert wird, um den inneren oberen Mantel mit Wasser zu besprühen.
  2. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 1, wobei der äußere obere Mantel an seinem Umfang mit mehreren Netzöffnungen als Lufteinlässe und an seiner Oberseite mit einem Luftauslass versehen ist.
  3. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 2, wobei der obere Körper mit einem Abluftventilator versehen ist, der am Luftauslass des äußeren oberen Mantels angeordnet ist.
  4. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 2, wobei der äußere obere Mantel außerdem an seinem Umfang mit einer Vielzahl von schrägen Rippen versehen ist, die sich an oberen Kanten der mehreren Lufteinlässe befinden.
  5. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 1, wobei der obere Körper mit mindestens einem ersten Wasserrückführrohr versehen ist, das ein Ende aufweist, welches sich unterhalb des oberen Einschlussraums befindet, und ein anderes Ende, um Wasser so zu führen, dass es zur Außenseite des Kristallzüchtungsofens fließt.
  6. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 1, wobei der obere Körper außerdem mindestens ein Notwasserrohr aufweist, das um den oberen Einschlussraum herum angeordnet ist, und dass eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen an dem mindestens einen Notwasserrohr vorgesehen sind; und wobei die Pumpe ein Regelventil aufweist, das zwischen dem mindestens einen Notwasserrohr und der Pumpe angeordnet ist, und wobei im Notfall durch Öffnen des Regelventils die Pumpe mehr zusätzliches Wasser aus der externen Wasserquelle ansaugt und die Oberfläche des inneren oberen Mantels durch die mehreren Berieselungsöffnungen des mindestens einen Notwasserrohrs berieselt.
  7. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens, mit einem oberen Körper und einem unteren Körper, wobei der untere Körper unten am oberen Körper so befestigt ist, dass eine geschlossene Ofenkammer gebildet wird; wobei der untere Körper einen äußeren unteren Mantel und einen inneren unteren Mantel aufweist, und wobei der äußere untere Mantel und der innere untere Mantel jeweils eine napfartige Form haben, wobei der äußere untere Mantel den inneren unteren Mantel umschließt, und wobei ein unterer Einschlussraum zwischen dem äußeren unteren Mantel und dem inneren unteren Mantel gebildet wird; dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Wassereinlassrohr um den unteren Einschlussraum herum angeordnet ist, wobei mehrere Sprühöffnungen an dem mindestens einen Wassereinlassrohr vorgesehen sind; und mit einer Pumpe, die mit dem mindestens einen Wassereinlassrohr in Verbindung steht, wobei mithilfe der Pumpe Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen des mindestens einen Wassereinlassrohrs gefördert wird, um den inneren unteren Mantel zu besprühen.
  8. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 7, wobei der untere Körper mit mindestens einem zweiten Wasserrückführrohr versehen ist, das ein Ende hat, welches sich unterhalb des unteren Einschlussraums befindet, und ein weiteres Ende, um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen herausfließt.
  9. Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 7, wobei der untere Körper außerdem mindestens ein Notwasserrohr aufweist, das um den unteren Einschlussraum herum angeordnet ist, und wobei eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen an dem mindestens einen Notwasserrohr vorgesehen sind; und wobei die Pumpe ein Regelventil aufweist, das zwischen dem mindestens einen Notwasserrohr und der Pumpe angeordnet ist, und wobei im Notfall durch Öffnen des Regelventils die Pumps mehr zusätzliches Wasser aus der externen Wasserquelle ansaugt und die Oberfläche des inneren oberen Mantels durch die mehreren Berieselungsöffnungen des mindestens einen Notwasserrohrs berieselt.
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