DE102008025831A1 - Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens - Google Patents
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Abstract
Eine Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens weist einen oberen Körper und einen unteren Körper auf. Der obere Körper weist einen äußeren oberen Mantel und einen inneren oberen Mantel auf, wobei ein oberer Einschlussraum zwischen dem äußeren oberen Mantel und dem inneren oberen Mantel gebildet wird. Der untere Körper weist einen äußeren unteren Mantel und einen inneren unteren Mantel auf, wobei ein unterer Einschlussraum zwischen dem äußeren unteren Mantel und dem inneren unteren Mantel gebildet wird. Um die oberen und unteren Einschlussräume herum sind jeweils eine Vielzahl von Wasserrohren angeordnet, wobei an jedem der Wasserrohre mehrere Sprühöffnungen vorgesehen sind. Mithilfe einer Pumpe wird Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen der Wasserrohre gefördert, um den Körper des Kristallzüchtungsofens abzukühlen. Durch die zusätzliche Verwendung eines Abluftventilators kann warme Luft in den oberen Einschlussräumen rasch abgeführt werden. Außerdem sind die oberen und unteren Einschlussräume mit Notwasserrohren versehen, um eine Berieselung mit mehr zusätzlichem Wasser zu ermöglichen und damit im Notfall den Körper des Kristallzüchtungsofens zu kühlen, so dass im Weiteren eine Katastrophe vermieden werden kann.
Description
- HINTERGRUND DER ERFINDUNG
- 1. Gebiet der Erfindung
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kühlstruktur, insbesondere eine Kühlstruktur, die für den Körper eines Kristallzüchtungsofens vorgesehen ist.
- 2. Beschreibung des Standes der Technik
- Wie aus
1 , die eine schematische Darstellung einer herkömmlichen Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen zeigt, ersichtlich ist, weist der Ofen einen oberen Körper91 und einen unteren Körper92 auf, wobei der obere Körper91 einen äußeren oberen Mantel911 und einen inneren oberen Mantel912 aufweist und der untere Körper92 einen äußeren unteren Mantel921 und einen inneren unteren Mantel922 aufweist. - In dem oberen Körper
91 wird ein oberer Einschlussraum910 zwischen dem äußeren oberen Mantel911 und dem inneren oberen Mantel912 gebildet, während in dem unteren Körper92 ein unterer Einschlussraum920 zwischen dem äußeren unteren Mantel921 und dem inneren unteren Mantel922 gebildet wird. - Wie in
1 dargestellt, saugt eine Pumpe94 über eine Wasserzufuhrleitung941 reines Wasser aus einem Speicher96 in die oberen und unteren Einschlussräume910 ,920 , wodurch die Wärme abgekühlt wird, die von dem Körper des Kristallzüchtungsofens ausgeht. Das erwärmte reine Wasser wird dann durch eine Wasserrückführleitung942 wieder in den Speicher96 zurücksaugt, wo eine Kühlvorrichtung95 und ein Kühlturm951 verwendet werden, um das reine Wasser in dem Speicher96 zu kühlen. Außerdem ist ein Wasserreiniger97 erforderlich, um das Wasser zu reinigen. Somit sind die Kosten für die Betriebsanlagen und für die Wartung der herkömmlichen Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen signifikant hoch. - Da die oberen und unteren Einschlussräume
910 ,920 mit einer großen Menge von kühlendem reinen Wasser angefüllt sind, und da aufgrund von langer Benutzung oder fehlerhafter Herstellung, oder aufgrund einer Fehlfunktion des Ofens unerwartete Risse an dem inneren oberen Mantel912 und dem inneren unteren Mantel922 auftreten können, fließt außerdem reines Wasser fortwährend in einen Innenraum90 des Kristallzüchtungsofens, wobei der Innenraum90 sich in einem Hochtemperaturzustand befindet. Folglich reagieren Betriebsanlagen, die aus Graphit bestehen, abrupt mit dem Wasser, und eine große Menge von Wasserstoff (H2), Kohlenmonoxid (CO) und Dampf wird freigesetzt, was eine Gefährdung der öffentlichen Sicherheit darstellt, da beispielsweise der gesamte Kristallzüchtungsofen explodieren kann. - ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
- Die vorliegende Erfindung soll eine Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens schaffen, mit einem oberen Körper und einem unteren Körper, wobei der untere Körper oben an der Unterseite des oberen Körpers befestigt wird, um eine geschlossene Ofenkammer zu bilden. In der Ofenkammer sind ein Heizraum, ein Tiegel, Heizelemente usw. vorgesehen, die sich auf eine Struktur zur Züchtung von Vielkristallen von Silicium beziehen.
- Der obere Körper weist einen äußeren oberen Mantel und einen inneren oberen Mantel auf, wobei sowohl der äußere obere Mantel als auch der innere obere Mantel zylindrisch sind. Der äußere obere Mantel umschließt den inneren oberen Mantel, und ein oberer Einschlussraum wird zwischen dem äußeren oberen Mantel und dem inneren oberen Mantel gebildet.
- Darüber hinaus weist der untere Körper einen äußeren unteren Mantel und einen inneren unteren Mantel auf, wobei sowohl der äußere untere Mantel als auch der innere untere Mantel jeweils eine napfartige Form haben. Der äußere untere Mantel umschließt den inneren unteren Mantel, und ein unterer Einschlussraum wird zwischen dem äußeren unteren Mantel und dem inneren unteren Mantel gebildet.
- Mindestens ein Wasserzufuhrrohr und mindestens ein Wassereinlassrohr sind jeweils um die oberen und unteren Einschlussräume herum angeordnet, wobei mehrere Sprühöffnungen an jedem von dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr und dem mindestens einen Wassereinlassrohr vorgesehen sind.
- Eine Pumpe ist vorgesehen, um jeweils mit dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr und dem mindestens einen Wassereinlassrohr in Verbindung gebracht zu werden. Mithilfe der Pumpe wird Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen des mindestens einen Wasserzufuhrrohrs und des mindestens einen Wassereinlassrohrs gefördert um die Temperatur am Körper des Kristallzüchtungsofens durch Sprühwasser abzusenken.
- Durch diese Weise des Besprühens mit Wasser kann eine Kühlwirkung erreicht werden. Außerdem können die dem herkömmlichen Stand der Technik innewohnenden Mängel, dass eine große Menge reinen Wassers benötigt wird und eine ernst zu nehmende Gefährdung der öffentlichen Sicherheit verursacht werden kann, überwunden werden.
- Darüber hinaus ist der äußere obere Mantel gemäß der vorliegenden Erfindung am Umfang des unteren Bereichs desselben mit mehreren Netzöffnungen als Lufteinlässe versehen, und an der Oberseite mit einem Luftauslass, so dass kühle Luft durch die Lufteinlässe in den äußeren oberen Mantel eintreten kann und warme Luft von der Oberseite des äußeren oberen Mantels und aus dem Luftauslass heraus abgegeben werden kann.
- Der obere Körper kann mit einem Abluftventilator versehen sein, der am Luftauslass des äußeren oberen Mantels angeordnet ist. Dieser Abluftventilator kann warme Luft im oberen Einschlussraum aus dem äußeren oberen Mantel abziehen bzw. herausfördern. Dies beschleunigt selbstverständlich die Kühlung des Kristallzüchtungsofens. Um den äußeren oberen Mantel herum sind mehrere schräge Rippen vorgesehen. Die Rippen befinden sich an oberen Kanten der Lufteinlässe zum Abschirmen vor Regen und Wind, und um die Umgebungsluft so zu führen, dass sie nach oben und in Richtung zu einem Auslass hin strömt, damit keine turbulenten Luftströmungen im oberen Einschlussraum auftreten, um dort eine Ansammlung von Wärme zu vermeiden.
- Der äußere obere Mantel kann vollständig mit den Netzöffnungen versehen sein, so dass selbst bei einem fehlenden Abluftventilator der obere Körper direkt der Umgebung ausgesetzt werden kann und immer noch eine Kühlwirkung erzielt werden kann.
- Außerdem kann gemäß der vorliegenden Erfindung der obere Körper mit mindestens einem ersten Wasserrückführrohr versehen sein, und der untere Körper kann mit mindestens einem zweiten Wasserrückführrohr versehen sein, wobei das erste Wasserrückführrohr ein Ende aufweist, das sich unterhalb des oberen Einschlussraums befindet, und ein weiteres Ende, um Wasser so zu führen, dass es zu einem Speicher außerhalb des Kristallzüchtungsofens fließt. Das zweite Wasserrückführrohr hat ein Ende, das sich unterhalb des unteren Einschlussraums befindet, und ein weiteres Ende, um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen heraus zum Speicher fließt, so dass das Wasser, das nicht zur Verdampfung gebracht wurde, wieder aufbereitet und erneut verwendet werden kann.
- Darüber hinaus können der obere Körper und der untere Körper jeweils mindestens ein Notwasserrohr aufweisen, das um die oberen und unteren Einschlussräume herum angeordnet ist, wobei eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen an den Notwasserrohren vorgesehen ist.
- Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Pumpe ein Regelventil aufweisen, das zwischen den Notwasserrohren und der Pumpe angeordnet ist. In einem Notfall wird ein Steuersignal C eingegeben, um das Regelventil zu öffnen, wodurch bewirkt wird, dass die Pumpe mehr zusätzliches Wasser von der externen Wasserquelle ansaugt und durch die mehreren Berieselungsöffnungen der Notwasserrohre die Oberfläche des inneren oberen Mantels und des inneren unteren Mantels berieselt wird, so dass der Körper des Kristallzüchtungsofens schnell abgekühlt werden kann und im Weiteren eine Katastrophe vermieden werden kann.
- Bei der vorliegenden Erfindung ist es nicht notwendig, eine große Menge reinen Wassers zu verwenden, um eine Kühlwirkung zu erzielen. Dies spart nicht nur Kosten für Betriebsanlagen, wie Kühlvorrichtungen, Kühltürme, Wasserreiniger, und deren Wartung, sondern verringert auch deutlich den Verbrauch an elektrischer Energie.
- Weitere Aufgaben, Vorteile und neue Merkmale der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
- In der Zeichnung zeigen:
-
1 eine schematische Darstellung einer herkömmlichen Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen; -
2 eine Schnittansicht, die eine Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; -
3 eine schematische Darstellung der Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
4 eine Draufsicht auf die Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; -
5 eine Unteransicht der Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und -
6 eine Schnittansicht, die eine Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. - AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
- Wie aus
2 ersichtlich, die eine Schnittansicht einer Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, weist die Kühlstruktur einen oberen Körper1 und einen unteren Körper2 auf, wobei der untere Körper2 oben an der Unterseite des oberen Körpers1 so befestigt ist, dass eine geschlossene Ofenkammer10 gebildet wird. In der Ofenkammer10 sind ein Heizraum, ein Tiegel, Heizelemente usw. vorgesehen, die sich auf eine Struktur zur Züchtung von Vielkristallen von Silicium beziehen. - Gemäß der vorliegenden Erfindung weist der obere Körper
1 einen äußeren oberen Mantel11 und einen inneren oberen Mantel12 auf, wobei sowohl der äußere obere Mantel11 als auch der innere obere Mantel12 zylindrisch sind. Der äußere obere Mantel11 umschließt den inneren oberen Mantel12 und ein oberer Einschlussraum13 wird zwischen dem äußeren oberen Mantel11 und dem inneren oberen Mantel12 gebildet. - Darüber hinaus weist der untere Körper
2 einen äußeren unteren Mantel21 und einen inneren unteren Mantel22 auf, wobei sowohl der äußere untere Mantel21 als auch der innere untere Mantel22 jeweils eine napfartige Form haben. Der äußere untere Mantel21 umschließt den inneren unteren Mantel22 , und ein unterer Einschlussraum23 wird zwischen dem äußeren unteren Mantel21 und dem inneren unteren Mantel22 gebildet. - Wie nun aus
3 ersichtlich – einer schematischen Darstellung der Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung –, sowie aus4 – einer Draufsicht auf die Kühlstruktur – und aus5 – einer Unteransicht der Kühlstruktur –, sind eine Vielzahl von Wasserzufuhrrohren14 um den oberen Einschlussraum13 herum angeordnet, wobei mehrere Sprühöffnungen141 an den Wasserzufuhrrohren14 vorgesehen sind. Eine Vielzahl von Wassereinlassrohren24 sind um den unteren Einschlussraum23 herum angeordnet, wobei mehrere Sprühöffnungen241 an den Wassereinlassrohren24 vorgesehen sind. Bei der vorliegenden Ausführungsform gibt es drei Wasserzufuhrrohre14 und drei Wassereinlassrohre24 . Prinzipiell sollte die Anzahl der Wasserzufuhrrohre14 und der Wassereinlassrohre24 so gewählt werden, dass der innere obere Mantel12 und der innere untere Mantel22 gleichmäßig mit Kühlwasser besprüht werden können. - Wie in
3 dargestellt, ist eine Pumpe3 außerhalb des oberen Körpers1 und des unteren Körpers2 vorgesehen und steht jeweils mit den Wasserzufuhrrohren14 und den Wassereinlassrohren24 in Verbindung. Mithilfe der Pumpe3 wird Wasser aus einer externen Wasserquelle, beispielsweise einem Speicher, durch die Sprühöffnungen141 der Wasserzufuhrrohre14 gefördert, um Wasser auf den inneren oberen Mantel12 zu sprühen, und durch die Sprühöffnungen241 der Wassereinlassrohre24 , um die externe Fläche des inneren oberen Mantels12 und des inneren unteren Mantels22 zu besprühen, damit die Temperatur am Körper des Kristallzüchtungsofens gesenkt wird. - Somit kann durch diese Art des Besprühens mit Wasser eine Kühlwirkung erreicht werden. Außerdem können die dem herkömmlichen Stand der Technik innewohnenden Mängel, dass eine große Menge reinen Wassers benötigt wird und eine ernst zu nehmende Gefährdung der öffentlichen Sicherheit verursacht werden kann, überwunden werden.
- Es ist anzumerken, dass – wie in
3 dargestellt – der äußere obere Mantel11 am Umfang des unteren Bereichs desselben mit mehreren Netzöffnungen115 als Lufteinlässe111 versehen ist, und an der Oberseite mit einem Luftauslass112 , so dass kühle Luft durch die Lufteinlässe111 in den äußeren oberen Mantel11 eintreten kann und warme Luft von der Oberseite des äußeren oberen Mantels11 und aus dem Luftauslass112 heraus abgegeben werden kann. - Außerdem kann der obere Körper
1 mit einem Abluftventilator113 versehen sein, der am Luftauslass112 des äußeren oberen Mantels11 angeordnet ist. Durch die zusätzliche Verwendung dieses Abluftventilators113 zum Abziehen bzw. Herausfordern warmer Luft im oberen Einschlussraum13 aus dem äußeren oberen Mantel11 heraus wird selbstverständlich die Kühlung des Kristallzüchtungsofens beschleunigt. Abgesehen davon kann der äußere obere Mantel11 vollständig mit den Netzöffnungen115 versehen sein, so dass selbst bei einem fehlenden Abluftventilator113 der obere Körper1 direkt der Umgebung ausgesetzt werden kann und immer noch eine Kühlwirkung erzielt werden kann. - Wie aus
3 ,4 und5 ersichtlich, weist der obere Körper1 ein Notwasserrohr15 auf, das um den oberen Einschlussraum13 herum angeordnet ist, wobei eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen151 an dem Notwasserrohr15 vorgesehen ist. Außerdem weist der untere Körper2 zwei Notwasserrohre25 auf, die um den unteren Einschlussraum23 herum angeordnet sind, wobei eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen251 an den Notwasserrohren25 vorgesehen ist. - Die Pumpe
3 kann ein Regelventil31 aufweisen, das zwischen den Notwasserrohren15 ,25 und der Pumpe3 angeordnet ist. In einem Notfall wird ein Steuersignal C eingegeben, um das Regelventil31 zu öffnen, wodurch bewirkt wird, dass die Pumpe3 mehr zusätzliches Wasser von der externen Wasserquelle ansaugt und durch die mehreren Berieselungsöffnungen151 ,251 die Oberfläche des inneren oberen Mantels12 und des inneren unteren Mantels22 berieselt wird, so dass der Körper des Kristallzüchtungsofens schnell abgekühlt werden kann und im Weiteren eine Katastrophe vermieden werden kann. - Der obere Körper
1 kann mit einem ersten Wasserrückführrohr16 versehen sein, das ein Ende161 aufweist, das sich unterhalb des oberen Einschlussraums13 befindet, und ein weiteres Ende162 , um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen herausfließt. Der untere Körper2 kann auch mit einem zweiten Wasserrückführrohr26 verse hen sein, das ein Ende261 besitzt, welches sich unterhalb des unteren Einschlussraums23 befindet, und ein weiteres Ende262 , um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen heraus zum Speicher fließt, so dass das Wasser, das nicht zur Verdampfung gebracht wurde, wieder aufbereitet und erneut verwendet werden kann. - Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es nicht notwendig, eine große Menge reinen Wassers zu verwenden, um eine Kühlwirkung zu erzielen. Dies spart nicht nur Kosten für Betriebsanlagen, wie Kühlvorrichtungen, Kühltürme, Wasserreiniger, und deren Wartung, sondern verringert auch deutlich den Verbrauch an elektrischer Energie.
- Wie aus
6 ersichtlich – einer Schnittansicht, die eine Kühlstruktur für einen Kristallzüchtungsofen gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt – hat die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen ähnlichen Aufbau wie die erste Ausführungsform, mit Ausnahme dessen, dass bei der zweiten Ausführungsform eine Vielzahl von schrägen Rippen114 um einen äußeren oberen Mantel20 herum vorgesehen sind. Die Rippen114 befinden sich an oberen Kanten von Lufteinlässen116 zum Abschirmen vor Regen und Wind, und um die Umgebungsluft so zu führen, dass sie in Richtung eines Auslasses117 strömt, damit keine turbulenten Luftströmungen in einem oberen Einschlussraum17 auftreten, um dort eine Ansammlung von Wärme zu vermeiden. - Obwohl die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf ihre bevorzugten Ausführungsformen erläutert wurde, versteht es sich, dass noch viele andere Modifikationen und Änderungen möglich sind, ohne vom Umfang der nachfolgend beanspruchten Erfindung abzuweichen.
Claims (9)
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens, mit einem oberen Körper und einem unteren Körper, wobei der untere Körper unten am oberen Körper so befestigt ist, dass eine geschlossene Ofenkammer gebildet wird; wobei der obere Körper einen äußeren oberen Mantel und einen inneren oberen Mantel aufweist, wobei sowohl der äußere obere Mantel als auch der innere obere Mantel zylindrisch sind, wobei der äußere obere Mantel den inneren oberen Mantel umschließt, und wobei ein oberer Einschlussraum zwischen dem äußeren oberen Mantel und dem inneren oberen Mantel gebildet wird; dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Wasserzufuhrrohr um den oberen Einschlussraum herum angeordnet ist, wobei mehrere Sprühöffnungen an dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr vorgesehen sind; und mit einer Pumpe, die mit dem mindestens einen Wasserzufuhrrohr in Verbindung steht, wobei mithilfe der Pumpe Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen des mindestens einen Wasserzufuhrrohrs gefördert wird, um den inneren oberen Mantel mit Wasser zu besprühen.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 1, wobei der äußere obere Mantel an seinem Umfang mit mehreren Netzöffnungen als Lufteinlässe und an seiner Oberseite mit einem Luftauslass versehen ist.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 2, wobei der obere Körper mit einem Abluftventilator versehen ist, der am Luftauslass des äußeren oberen Mantels angeordnet ist.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 2, wobei der äußere obere Mantel außerdem an seinem Umfang mit einer Vielzahl von schrägen Rippen versehen ist, die sich an oberen Kanten der mehreren Lufteinlässe befinden.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 1, wobei der obere Körper mit mindestens einem ersten Wasserrückführrohr versehen ist, das ein Ende aufweist, welches sich unterhalb des oberen Einschlussraums befindet, und ein anderes Ende, um Wasser so zu führen, dass es zur Außenseite des Kristallzüchtungsofens fließt.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 1, wobei der obere Körper außerdem mindestens ein Notwasserrohr aufweist, das um den oberen Einschlussraum herum angeordnet ist, und dass eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen an dem mindestens einen Notwasserrohr vorgesehen sind; und wobei die Pumpe ein Regelventil aufweist, das zwischen dem mindestens einen Notwasserrohr und der Pumpe angeordnet ist, und wobei im Notfall durch Öffnen des Regelventils die Pumpe mehr zusätzliches Wasser aus der externen Wasserquelle ansaugt und die Oberfläche des inneren oberen Mantels durch die mehreren Berieselungsöffnungen des mindestens einen Notwasserrohrs berieselt.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens, mit einem oberen Körper und einem unteren Körper, wobei der untere Körper unten am oberen Körper so befestigt ist, dass eine geschlossene Ofenkammer gebildet wird; wobei der untere Körper einen äußeren unteren Mantel und einen inneren unteren Mantel aufweist, und wobei der äußere untere Mantel und der innere untere Mantel jeweils eine napfartige Form haben, wobei der äußere untere Mantel den inneren unteren Mantel umschließt, und wobei ein unterer Einschlussraum zwischen dem äußeren unteren Mantel und dem inneren unteren Mantel gebildet wird; dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Wassereinlassrohr um den unteren Einschlussraum herum angeordnet ist, wobei mehrere Sprühöffnungen an dem mindestens einen Wassereinlassrohr vorgesehen sind; und mit einer Pumpe, die mit dem mindestens einen Wassereinlassrohr in Verbindung steht, wobei mithilfe der Pumpe Wasser aus einer externen Wasserquelle durch die Sprühöffnungen des mindestens einen Wassereinlassrohrs gefördert wird, um den inneren unteren Mantel zu besprühen.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 7, wobei der untere Körper mit mindestens einem zweiten Wasserrückführrohr versehen ist, das ein Ende hat, welches sich unterhalb des unteren Einschlussraums befindet, und ein weiteres Ende, um Wasser so zu führen, dass es aus dem Kristallzüchtungsofen herausfließt.
- Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens nach Anspruch 7, wobei der untere Körper außerdem mindestens ein Notwasserrohr aufweist, das um den unteren Einschlussraum herum angeordnet ist, und wobei eine Vielzahl von Berieselungsöffnungen an dem mindestens einen Notwasserrohr vorgesehen sind; und wobei die Pumpe ein Regelventil aufweist, das zwischen dem mindestens einen Notwasserrohr und der Pumpe angeordnet ist, und wobei im Notfall durch Öffnen des Regelventils die Pumpe mehr zusätzliches Wasser aus der externen Wasserquelle ansaugt und die Oberfläche des inneren oberen Mantels durch die mehreren Berieselungsöffnungen des mindestens einen Notwasserrohrs berieselt.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW097100176 | 2008-01-03 | ||
TW097100176A TW200930850A (en) | 2008-01-03 | 2008-01-03 | Cooling structure for body of crystal growth furnace |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102008025831A1 true DE102008025831A1 (de) | 2009-07-16 |
DE102008025831B4 DE102008025831B4 (de) | 2012-02-23 |
Family
ID=40758580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102008025831A Expired - Fee Related DE102008025831B4 (de) | 2008-01-03 | 2008-05-29 | Kühlstruktur für den Körper eines Kristallzüchtungsofens |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7604698B2 (de) |
JP (1) | JP4986963B2 (de) |
DE (1) | DE102008025831B4 (de) |
TW (1) | TW200930850A (de) |
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- 2008-01-03 TW TW097100176A patent/TW200930850A/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-05-28 US US12/153,917 patent/US7604698B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-05-29 DE DE102008025831A patent/DE102008025831B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2008-09-29 JP JP2008249797A patent/JP4986963B2/ja not_active Expired - Fee Related
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CN105241254A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-01-13 | 无锡市晶瑜冶金机械有限公司 | 水冷却风干系统的干燥风送风装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7604698B2 (en) | 2009-10-20 |
US20090173277A1 (en) | 2009-07-09 |
DE102008025831B4 (de) | 2012-02-23 |
TW200930850A (en) | 2009-07-16 |
JP2009162474A (ja) | 2009-07-23 |
TWI346154B (de) | 2011-08-01 |
JP4986963B2 (ja) | 2012-07-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |
Effective date: 20120524 |
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