DE102008020163A1 - Kathode - Google Patents

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    • H01J35/00X-ray tubes
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Kathode mit einem Glühemitter (1) aus einem Material, das Elektronen thermisch emittiert, wobei auf dem Glühemitter (1) zumindest teilweise eine Emissionsschicht (3) aus einem Material aufgebracht ist, das eine niedrigere Elektronenaustrittsarbeit (Phi) aufweist als das Material des Glühemitters (1). Eine derartige Kathode besitzt eine hohe Elektronenemission und eine hohe Lebensdauer.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Kathode mit einem Glühemitter aus einem Material, das Elektronen thermisch emittiert.
  • Eine derartige Kathode ist z. B. in der DE 27 27 907 C2 beschrieben.
  • Die aus der DE 27 27 907 C2 bekannte Kathode umfasst einen rechteckförmigen Flachemitter, der beispielsweise aus Wolfram (W), Tantal (Ta) oder Rhenium (Re) besteht und eine Schichtdicke von 0,05 mm bis 0,1 mm besitzt. Der im Walzverfahren hergestellte Flachemitter weist Einschnitte auf, die wechselweise von zwei gegenüber liegenden Seiten her und quer zur Längsrichtung angeordnet sind. Im Betrieb der Röntgenröhre wird an den Flachemitter der Kathode Heizspannung angelegt, wobei Heizströme von 5 A bis 15 A fließen und Elektronen emittiert werden, die in Richtung einer Anode beschleunigt werden. Beim Auftreffen der Elektronen auf die Anode wird in der Oberfläche der Anode Röntgenstrahlung erzeugt.
  • Durch Form, Länge und Anordnung der seitlichen Einschnitte lassen sich im Flachemitter gemäß der DE 27 27 907 C2 spezielle Formen der Temperaturverteilung erzielen, da die Erwärmung eines durch Stromdurchgang aufgeheizten Körpers von der Verteilung des elektrischen Widerstandes über den Strompfaden abhängt. Somit wird an Stellen, an denen der elektrisch wirksame Blechquerschnitt des Flachemitters größer ist, weniger Hitze erzeugt als an Stellen mit einem kleineren Querschnitt (Stellen mit einem größeren elektrischen Widerstand).
  • Weiterhin ist in der DE 199 14 739 C1 eine Kathode offenbart, die einen Flachemitter aus gewalztem Wolfram-Blech mit einer kreisförmigen Grundfläche aufweist. Der Flachemitter weist eine kreisförmige Grundfläche auf und ist in spiralförmig verlaufende Leiterbahnen unterteilt, die durch mäanderförmige Einschnitte voneinander beabstandet sind.
  • Eine Erhöhung der Leistungsfähigkeit wird bei den bekannten Kathoden dadurch erreicht, dass der Flachemitter durch so genannte ”Push”-Ströme seine Elektronenemissionstemperatur besonders schnell erreicht. Durch diese hohen Heizströme kommt das Material des Flachemitters jedoch an seine Belastungsgrenze. Im Flachemitter können sich aufgrund einer fertigungstechnisch bedingten Walztextur bei einer langen und hohen thermischen Belastung Anrisse bilden, die quer zur schwächsten Fertigungsrichtung des Flachemitters verlaufen. Die Verwendung von gewalztem Wolfram-Blechen stellt damit eine intrinsische Schwachstelle dar, die die Lebensdauer der Kathode negativ beeinflussen kann.
  • Eine weitere Kathode ist in der EP 0 059 238 B1 beschrieben. Die bekannte Kathode ist Teil einer Röntgenröhre und umfasst eine spiralförmige Glühwendel, die Elektronen thermisch emittiert.
  • Diese Glühwendel sitzt in einem so genannten Fokussierungskopf (nachfolgend Fokuskopf genannt), dessen innere Kanten und Abstände so gestaltet sind, dass die von der Glühwendel emittierten Elektronen beim Anlegen einer Hochspannung auf die Anode in einem relativ engen Brennfleck auftreffen.
  • Will man nun die Leistungsfähigkeit bei Röntgenröhren dahingehend erhöhen, dass man bei gleicher elektrischer – oder etwas erhöhter – Gesamtleistung die Brennfleckgröße auf der Anode verkleinert, so ist dies beim derzeitigen Stand der Technik nicht möglich, denn die Brennfleckgröße auf der Anode wird von dem Zusammenwirken der Größen
    • • Abstand der Kathode zur Anode,
    • • Höhe der Hochspannung,
    • • Durchmesser der Glühwendel und
    • • Temperatur der Glühwendel
    wesentlich bestimmt.
  • Bei den derzeitigen Röntgenröhren ist das Optimum aus diesen Größen erreicht. Beispielsweise wäre eine elektrische Leistungserhöhung immer mit einem Nachteil verbunden: Eine Durchmesservergrößerung der Glühwendel würde den Brennfleck vergrößern, oder eine Temperaturerhöhung (zur Steigerung der Elektronenemission) bei gleichem Wendeldurchmesser würde die Lebensdauer der Glühwendel wegen Überhitzung unverhältnismäßig verkürzen.
  • Bei der in der EP 0 059 238 B1 beschrieben Röntgenröhre ist eine Abschirmung vorgesehen, die auf einem Potential zwischen halbem und vollem Anodenpotential liegt, wodurch ein größerer Anteil von Rückstreuelektronen aus dem Brennfleck auf der Anode abgezogen wird. Dadurch kann die Belastung der Anode erhöht werden. Mit einer höher belastbaren Anode kann die Intensität der in der Anode erzeugten Röntgenstrahlung erhöht werden. Die in der EP 0 059 238 B1 vorgeschlagene Maßnahme ist konstruktiv relativ aufwändig.
  • Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Kathode mit einer verbesserten Fokussierung und einer hohen Lebensdauer zu schaffen.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Kathode gemäß Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Kathode sind jeweils Gegenstand von weiteren Ansprüchen.
  • Die Kathode nach Anspruch 1 umfasst einen Glühemitter aus einem Material, das Elektronen thermisch emittiert, wobei auf dem Glühemitter zumindest teilweise eine Emissionsschicht aus einem Material aufgebracht ist, das eine niedrigere Elektronenaustrittsarbeit (Φ) aufweist als das Material des Glühemitters. Bei der erfindungsgemäßen Kathode ist der Glühemitter entweder als Glühwendel oder als Flachemitter ausgeführt.
  • Bei der Kathode gemäß Anspruch 1 dient der Glühemitter, der z. B. aus Wolfram (W), Tantal (Ta) oder Rhenium (Re) besteht, im Wesentlichen als Träger für die aufgebrachte Emissionsschicht, deren Material eine niedrigere Elektronenaustrittsarbeit aufweist als das Material des Glühemitters. Bei Verwendung der üblichen Materialien (z. B. W, Ta, Re) für den Glühemitter (Träger für die eine bessere Elektronenemission aufweisende Emissionsschicht) sind beim Einbau des Glühemitters in die erfindungsgemäße Kathode keine Änderungen gegenüber den bisherigen Montageschritten erforderlich, da nach wie vor eine gute Schweißbarkeit der Stromzuführungsbeinchen des Glühemitters gegeben ist.
  • Durch die erfindungsgemäße Maßnahme, auf den Glühemitter zumindest teilweise eine Emissionsschicht aufzubringen, die eine niedrigere Elektronenaustrittsarbeit aufweist als der Glühemitter, ist ohne eine Temperaturerhöhung, die die Lebensdauer des Glühemitters beeinflusst, eine deutlich höhere Elektronenemission realisierbar. Damit sind Röntgenröhren mit der erfindungsgemäßen Kathode auch für außermedizinische Einsatzbereiche einsetzbar. In der Regel kann die Betriebstemperatur des Glühemitters sogar abgesenkt werden und man erhält dann immer noch eine Elektronenemission wie bei einem Glühemitter aus Wolfram, Tantal oder Rhenium. Damit wird eine signifikante Leistungssteigerung, bei gleichzeitiger Gewährleistung einer hohen oder sogar längeren Lebensdauer erzielt.
  • Da bei der Kathode nach Anspruch 1 der Glühemitter als Träger für die Emissionsschicht dient, muss der Glühemitter nicht notwendigerweise aus Wolfram, Tantal oder Rhenium bestehen, sondern kann auch aus einem Material bestehen, das eine höhere Elektronenaustrittsarbeit und damit eine geringe Elektronenemission aufweist. Besteht der Glühemitter jedoch aus Wolfram, Tantal oder Rhenium, dann ist auch bei beschädigter oder ermüdeter Emissionsschicht durch eine Erhöhung des den Glühemitters speisenden Heizstromes noch eine ausreichend hohe Elektronenemission realisierbar.
  • Im Rahmen der Erfindung kann die Emissionsschicht partiell oder vollständig auf den Glühemitter aufgebracht werden. Bei einer partiellen Beschichtung kann der Glühemitter gezielt mit verschiedenen Emissionsschichten, die z. B. unterschiedliche physikalische Eigenschaften aufweisen, beschichtet werden. So kann beispielsweise auf einfache Weise im Glühemitter eine gewünschte Temperaturverteilung erzielt werden. Im Einzelfall können sich auch fertigungstechnische Vorteile aus einer vollständigen oder einer partiellen Beschichtung ergeben.
  • Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Kathode ist dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht im Azimutbereich des Glühemitters aufgebracht ist. Unter Azimutbereich ist der Emissionsbereich des Glühemitters zu verstehen, aus dem die Elektronen auf direktem Weg zur Anode der Röntgenröhre hin beschleunigt werden.
  • Durch Aufbringung der Emissionsschicht im Azimutbereich des Glühemitters wird die Brennfleckgeometrie der auf der Anode auftreffenden Elektronen besonders genau abgegrenzt. Damit ergibt sich eine wesentlich genauer definierte Intensitätsverteilung im Brennfleck. Daraus resultiert eine erhöhte Qualität des erzeugten Röntgenbildes.
  • Für die Emissionsschicht sind eine Vielzahl von Materialien oder eine Kombination dieser Materialien oder Legierungen hieraus geeignet. Hierzu zählen beispielsweise Molybdän (Mo), Niob (Nb), Osmium (Os), Ruthenium (Ru), Tantal (Ta), Technetium (Tc), Thorium (Th) und Lanthan (La).
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Emissionsschicht auch aus Kohlenstoff (C) bestehen.
  • Eine weitere Ausführungsform ist dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht aus einer Metallverbindung von Hafnium (Hf) mit Rhenium (Re) besteht.
  • Besonders vorteilhaft sind Ausführungsformen, bei denen die Emissionsschicht aus Borid besteht, das eines der folgenden Metalle enthält: Hafnium (Hf), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Ruthenium (Ru), Tantal (Ta), Titan (Ti) Zirconium (Zr).
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht aus einem Carbid besteht, das eines der folgenden Metalle enthält: Gadolinium (Gd), Hafnium (Hf), Lanthan (La), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Osmium (Os), Ruthenium (Ru), Thorium (Th), Titan (Ti), Uran (U), Vanadium (V), Wolfram (W), Yttrium (Y), Zirconium (Zr).
  • Auch die Verwendung einer Emissionsschicht, die aus einem Nitrid besteht, das Cer (Ce), Hafnium (Hf), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Tantal (Ta), Thorium (Th), Titan (Ti), Uran (U), Yttrium (Y) oder Zirconium (Zr) enthält, stellt eine vorteilhafte Ausführungsform für eine Kathode dar.
  • Eine Kathode mit einer Emissionsschicht aus einem Borcarbid, das Chrom (Cr), Eisen (Fe), Gadolinium (Gd), Hafnium (Hf), Niob (Nb), Tantal (Ta), Thorium (Th), Titan (Ti) oder Uran (U) enthält, ist ebenfalls eine vorteilhafte Variante im Rahmen der Erfindung.
  • Bei weiteren Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Kathode besteht die Emissionsschicht aus einer Mischverbindung eines der folgenden Metalle mit zumindest einem substituierbaren Metallpartner: Cer (Ce), Chrom (Cr), Eisen (Fe), Gadolinium (Gd), Hafnium (Hf), Lanthan (La), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Osmium (Os), Ruthenium (Ru), Tantal (Ta), Thorium (Th), Titan (Ti), Uran (U), Vanadium (V), Wolfram (W), Yttrium (Y), Zirconium (Zr). Ein Beispiel für eine Emissionsschicht aus einer Mischverbindung aus einer der vorgenannten Metalle mit einem substituierbaren Metallpartner ist Eisen-Chrom-Carbonitrid [CN(Fe1-x + Crx)].
  • Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Kathode besteht die Emissionsschicht aus Titandiborid (TiB2), ein elektrisch leitfähiger Keramik-Werkstoff.
  • Titandiborid weist eine Vielzahl von Vorteilen auf. So besitzt Titandiborid einen Schmelzpunkt von 3.220°C und liegt damit in der gleichen Größenordnung wie Wolfram (3.410°C). Aufgrund des keramischen Charakters von TiB2 ist in Verbindung mit dem sehr hohen Schmelzpunkt eine gleich gute Hochtemperaturbeständigkeit wie bei Wolfram (W) und damit eine vergleichbar gute Vakuumtauglichkeit gegeben. Der spezifische elektrische Widerstand von Titandiborid (ρ = 16 μΩ·cm) ist in der Größenordnung von Wolfram (ρ = 5,6 μΩ·cm). Darüber hinaus ist die Elektronenaustrittsarbeit (Φ) um etwa 0,5 eV niedriger als die von Wolfram, die ca. 4,9 eV beträgt. Damit emittiert ein mit Titandiborid beschichteter Glühemitter bei gleicher Temperatur deutlich mehr Elektronen als ein Glühemitter, der ausschließlich aus Wolfram besteht. Weiterhin besitzt Titandiborid einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, der nur um ca. 3·10–6 vom Wert von Wolfram unterscheidet und damit sehr nahe bei dem Ausdehnungskoeffizienten von Wolfram liegt.
  • Gemäß weiteren vorteilhaften Ausgestaltungen kann als Material für die Emissionsschicht alternativ auch Lanthanoxid (La2O3), Yttriumoxid (Y2O3) oder Titancarbid (TiC) verwendet werden.
  • Für bestimmte Anwendungsbereiche kann es zweckmäßig sein, zwischen dem Glühemitter und der Emissionsschicht eine Diffusions-Sperrschicht, vorzugsweise aus Iridium (Ir) oder Tantalcarbid (TaC), anzuordnen.
  • Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der erfindungsgemäßen Kathode weist die Emissionsschicht eine Schichtdicke von ca. 0,05 μm bis ca. 20 μm auf. Man erhält dadurch bei einem Flachemitter auf dem gesamten Elektronen emittierenden Bereich (Durchmesser kleiner ca. 10 mm) immer (auch nach Überschlägen) eine funktionell ausreichende Beschichtung.
  • Bei einem für die erfindungsgemäße Kathode geeigneten Glühemitter wird die Emissionsschicht (z. B. TiB2, La2O3, Y2O3) durch Laserablation (PLD Pulsed Laser Deposition) auf die Glühwendel (z. B. W, Ta, Re) aufgebracht. Eine nach diesem Verfahren aufgebrachte Emissionsschicht haftet bei Betriebstemperaturen von ca. 2.000°C zuverlässig auf der Elektronenemissionsschicht.
  • Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert, ohne jedoch darauf beschränkt zu sein. Die einzige Figur zeigt in einer schematischen Schnittdarstellung eine Kathode im Bereich ihres Fokuskopfes.
  • Die in der Zeichnung dargestellte Kathode weist einen Glühemitter auf, der im gezeigten Ausführungsbeispiel als Glühwendel 1 ausgeführt und in einem Fokuskopf 2 angeordnet ist.
  • Die Glühwendel 1 besteht aus einem Material, das Elektronen thermisch emittiert. Im dargestellten Ausführungsbeispiel besteht die Glühwendel 1 aus Wolfram (W). Auf die Glühwendel 1 ist eine Emissionsschicht 3 aus einem Material aufgebracht, das eine niedrigere Elektronenaustrittsarbeit (Φ) aufweist als das Material (Wolfram) der Glühwendel 1.
  • Beim Aufheizen der Glühwendel 1 wird auch die Emissionsschicht 3 aufgeheizt, so dass sowohl von der Emissionsschicht 3 als auch von der Glühwendel 1 Elektronen zu einer in der Zeichnung nicht dargestellten Anode hin beschleunigt werden.
  • Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Emissionsschicht 3 im Azimutbereich 4 der Glühwendel 1 aufgebracht. Unter Azimutbereich 4 ist der Emissionsbereich der Glühwendel 1 zu verstehen, aus dem die Elektronen auf direktem Weg zur Anode hin beschleunigt werden.
  • Durch Aufbringung der Emissionsschicht 3 im Azimutbereich 4 der Glühwendel 1 wird die Brennfleckgeometrie der auf der Anode auftreffenden Elektronen besonders genau abgegrenzt. Damit ergibt sich eine wesentlich genauer definierte Intensitätsverteilung im Brennfleck der Anode. Daraus resultiert eine erhöhte Qualität des erzeugten Röntgenbildes.
  • Die auf die Glühwendel 1 aufgebrachte Emissionsschicht 3 besteht bei der dargestellten Kathode aus Titandiborid (TiB2), einem elektrisch leitfähigen Keramik-Werkstoff mit einer um ca. 0,5 eV niedrigeren Elektronenaustrittsarbeit als Wolfram.
  • Ein von der Emissionsschicht 3 emittierter Elektronenstrom (durchgezogene Linien 5 und 6) ist gegenüber einem von der Glühwendel 1 emittierten Elektronenstrom (gestrichelte Linien 7 und 8) deutlich stärker fokussiert. Im Folgenden wird der von der Emissionsschicht 3 (im Azimutbereich 4) emittierte Elektronenstrom als Haupt-Elektronenstrom bezeichnet, wohingegen die benachbarten Elektronenströme, die gleichzeitig emittiert werden, als Neben-Elektronenströme bezeichnet sind.
  • Durch das Aufbringen der Emissionsschicht 3 auf die Glühwendel 1 kann die Betriebstemperatur der Glühwendel 1 derart abgesenkt werden, dass die Intensität des von der Emissionsschicht 3 emittierten Haupt-Elektronenstromes (durchgezogene Linien 5 und 6) den gleichen Wert wie bei einer konventionellen Glühwendel aufweist. Aufgrund der herabgesetzten Betriebstemperatur emittiert die Glühwendel 1 in ihren nicht beschichteten Bereichen wesentlich weniger Elektronen, die Intensitäten der Neben-Elektronenströme (gestrichelte Linien 7 und 8) sind entsprechend reduziert. Das relative Verhältnis der Intensitäten der Neben-Elektronenströme zu der Intensität des Haupt-Elektronenstromes wird dadurch verkleinert. Weiterhin sind die Absolutwerte der Intensitäten der Neben-Elektronenströme so gering, dass sie nur zu einem Bruchteil registriert werden. Damit ergibt sich eine wesentlich genauer definierte Intensitätsverteilung im Brennfleck und die Brennfleckgeometrie der auf der Anode auftreffenden Elektronen ist besonders genau abgegrenzt. Daraus resultiert eine erhöhte Qualität des erzeugten Röntgenbildes.
  • Die reduzierte Betriebstemperatur führt zu einer deutlich verlängerten Lebensdauer des Glühemitters, im dargestellten Ausführungsbeispiel der Glühwendel 1.
  • Wird bei der in der Zeichnung dargestellten Kathode die Betriebstemperatur gegenüber einer konventionellen Kathode nicht abgesenkt, dann kann eine wesentlich höhere Dichte an Elektronen durch die Hochspannung abgesaugt werden, als dies bei einer konventionellen Kathode (Kathode ohne Emissionsschicht mit niedrigerer Elektronenaustrittsarbeit) möglich ist. Damit ist ohne eine Temperaturerhöhung, die die Lebensdauer des Glühemitters beeinflusst, eine deutlich höhere Elektronenemission realisierbar. Auch in diesem Fall ist das relative Verhältnis der Intensitäten der Neben-Elektronenströme zu der Intensität des Haupt-Elektronenstromes verkleinert. Damit wird auch bei nicht abgesenkter Betriebstemperatur eine Verbesserung der Bildqualität erreicht.
  • Bei einer in der Zeichnung nicht dargestellten Ausführungsform der Kathode mit einem Flachemitter (Kathode einer Röntgenröhre für Mammografiegeräte oder Kathode einer Drehkolben-Röntgenröhre) ist nur der innere Teil des Flachemitters mit einer Emissionsschicht aus einem Material beschichtet, das eine niedrigere Elektronenaustrittsarbeit aufweist als das Material des Flachemitters. Damit ist die Elektronenemission aus den Randbereichen des Flachemitters im Vergleich zum Azimutbereich absolut bzw. relativ verringert, mit den bereits am Beispiel der Glühwendel beschriebenen positiven Ergebnissen für die Bildqualität.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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    • - DE 19914739 C1 [0005]
    • - EP 0059238 B1 [0007, 0011, 0011]

Claims (24)

  1. Kathode mit einem Glühemitter (1) aus einem Material, das Elektronen thermisch emittiert, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Glühemitter (1) zumindest teilweise eine Emissionsschicht (3) aus einem Material aufgebracht ist, das eine niedrigere Elektronenaustrittsarbeit (Φ) aufweist als das Material des Glühemitters (1).
  2. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Glühemitter (1) als Glühwendel ausgebildet ist.
  3. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Glühemitter (1) als Flachemitter ausgebildet ist.
  4. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) partiell auf dem Glühemitter (1) aufgebracht ist.
  5. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) vollständig auf dem Glühemitter (1) aufgebracht ist.
  6. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) im Azimutbereich (4) des Glühemitters (1) aufgebracht ist.
  7. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus einem der folgenden Materialien oder aus einer Kombination dieser Materialien oder aus Legierungen hieraus besteht: Molybdän (Mo), Niob (Nb), Osmium (Os), Ruthenium (Ru), Tantal (Ta), Technetium (Tc), Thorium (Th).
  8. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus Kohlenstoff (C) besteht.
  9. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus einer Metallverbindung von Hafnium (Hf) mit Rhenium (Re) besteht.
  10. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus einem Borid besteht, das eines der folgenden Metalle enthält: Hafnium (Hf), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Ruthenium (Ru), Tantal (Ta), Titan (Ti) Zirconium (Zr).
  11. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus einem Carbid besteht, das eines der folgenden Metalle enthält: Gadolinium (Gd), Hafnium (Hf), Lanthan (La), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Osmium (Os), Ruthenium (Ru), Thorium (Th), Titan (Ti), Uran (U), Vanadium (V), Wolfram (W), Yttrium (Y), Zirconium (Zr) besteht.
  12. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus einem Nitrid besteht, das eines der folgenden Metalle enthält: Cer (Ce), Hafnium (Hf), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Tantal (Ta), Thorium (Th), Titan (Ti), Uran (U), Yttrium (Y), Zirconium (Zr).
  13. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus einem Borcarbid besteht, das eines der folgenden Metalle enthält: Chrom (Cr), Eisen (Fe), Gadolinium (Gd), Hafnium (Hf), Niob (Nb), Tantal (Ta), Thorium (Th), Titan (Ti), Uran (U).
  14. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus einer Mischverbindung eines der folgenden Metalle mit zumindest einem substituierbaren Metallpartner besteht: Cer (Ce), Chrom (Cr), Eisen (Fe), Gadolinium (Gd), Hafnium (Hf), Lanthan (La), Molybdän (Mo), Niob (Nb), Osmium (Os), Ruthenium (Ru), Tantal (Ta), Thorium (Th), Titan (Ti), Uran (U), Vanadium (V), Wolfram (W), Yttrium (Y), Zirconium (Zr).
  15. Kathode nach Anspruch 1 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus Titandiborid (TiB2) besteht.
  16. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus Lanthanoxid (La2O3) besteht.
  17. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus Yttriumoxid (Y2O3) besteht.
  18. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus Titancarbid (TiC) besteht.
  19. Kathode nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus Eisen-Chrom-Carbonitrid [CN(Fe1-x + Cr)] besteht.
  20. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) aus Kohlenstoff (C) besteht.
  21. Kathode Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Glühemitter (1) und der Emissionsschicht (3) eine Diffusions-Sperrschicht angeordnet ist.
  22. Kathode Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Diffusions-Sperrschicht aus Iridium (Ir) besteht.
  23. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Diffusions-Sperrschicht aus Tantalcarbid (TaC) besteht.
  24. Kathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Emissionsschicht (3) eine Schichtdicke von ca. 0,05 μm bis ca. 20 μm aufweist.
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