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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Die
Erfindung betrifft eine Gegenstandtransportanlage, und insbesondere
eine Gegenstandtransportanlage, die eine Gegenstandträgereinrichtung
beinhaltet, die entlang einer Fahrspur bewegt werden kann, die sich über
einen Gegenstandtransferort entsprechend einem Lagerhaltungsregal
erstreckt.
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Eine
derartige Gegenstandtransportanlage beinhaltet eine Mehrzahl von
Gegenstandtransferstationen, die entlang der Fahrspur angeordnet
sind. Die Gegenstandträgereinrichtung bewegt sich entlang
der Fahrspur, um Gegenstände zwischen den Stationen zu
transportieren.
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Gegenstandgestelle
sind vorgesehen, um vorübergehend Gegenstände
aufzubewahren, die zu den Stationen transportiert werden sollen.
Jedes Gegenstandgestell befindet sich für gewöhnlich
in einer von der Fahrspur zurückgezogenen Position, um
mit der Bewegung der Gegenstandträgereinrichtung nicht
in Konflikt zu kommen. Das Gegenstandgestell wird aus der zurückgezogenen
Position in eine ausgefahrene Position verschoben, die zur Fahrspur
hin hervorsteht, wenn ein Gegenstand auf dem Gegenstandgestell eingelagert
wird, oder wenn ein auf dem Gegenstandgestell aufbewahrter Gegenstand
von diesem weg transportiert wird. Dann wird der Gegenstand zum
Gegenstandgestell hin oder von diesem weg transferiert.
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Eine
herkömmliche Gegenstandtransportanlage weist eine Führungsschiene
auf, die als an der Decke installierte Fahrspur dient. Ein Gelenkmechanismus
ist an seinem oberen Ende mit der Decke verbunden, so dass er um
eine horizontale Achse schwenkbar ist, um jedes Gegenstandgestell
so zu tragen, dass es zwischen der ausgefahrenen Position und der
zurückgezogenen Position verschoben werden kann. Ein Hydraulikzylinder
ist zwischen der Decke und dem Gelenkmechanismus angeordnet, um
das Gegenstandgestell zwischen der ausgefahrenen Position und der
zurückgezogenen Position zu verschieben (siehe beispielsweise
JP 10-45213 ).
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Bei
der zuvor beschriebenen Gegenstandtransportanlage können
die Gegenstandgestelle Rücken an Rücken benachbart
zueinander in Verschieberichtung der Gegenstandgestelle angeordnet
sein, oder die Gegenstandgestelle und andere Vorrichtungen können
benachbart zueinander in Verschieberichtung der Gegenstandgestelle
angeordnet sein. Somit ist es erforderlich, dass der Einbauraum
für die Gegenstandgestelle in Verschieberichtung der Gegenstandgestelle
so klein wie möglich ist.
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Bei
der herkömmlichen Gegenstandtransportanlage muss jedoch,
da jedes Gegenstandgestell zwischen der ausgefahrenen und der zurückgezogenen
Position durch Schwenken des Gelenkmechanismus in Verschieberichtung
des Gegenstandgestells um die horizontale Achse verschoben wird,
ein großer Freiraum gewährleistet werden, um dem
Gelenkmechanismus zu gestatten, in Verschieberichtung des Gegenstandgestells
zu schwenken. Dies führt zu einem großen Einbauraum
von Bauteilen, um das Gegenstandgestell in seiner Verschieberichtung zu
verschieben. Somit besteht bei der herkömmlichen Gegenstandtransportanlage
die Tendenz, dass ein großer Einbauraum für die
Gegenstandgestelle in Verschieberichtung der Gegenstandgestelle
erforderlich ist.
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Es
ist denkbar, dass die Bauelemente zum Verschieben des Gegenstandgestells
eine feststehende Führungseinrichtung beinhalten, um das
Gegenstandgestell so zu tragen und zu führen, dass es in Verschieberichtung
verschiebbar ist. Jedoch ist es auch in diesem Fall erforderlich,
dass die feststehende Führungseinrichtung ausreichende
Größe hat, um dem Gegenstandgestell zu gestatten,
zwischen der ausgefahrenen Position und der zurückgezogenen Position
verschoben zu werden. Somit besteht bei der feststehenden Führungseinrichtung
die Tendenz, dass ein großer Einbauraum in Verschieberichtung des
Gegenstandgestells erforderlich ist.
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INHALT DER ERFINDUNG
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Das
Ziel dieser Erfindung besteht darin, für eine Verbesserung
des zuvor angegebenen Standes der Technik zu sorgen.
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Eine
Gegenstandtransportanlage gemäß der Erfindung
beinhaltet:
eine Gegenstandträgereinrichtung, die
entlang einer Fahrspur beweglich ist;
ein Gegenstandgestell,
das entlang der Fahrspur angeordnet ist, wobei das Gegenstandgestell
einen feststehenden Rahmen und einen beweglichen Rahmen aufweist,
der so gelagert ist, dass er relativ zum feststehenden Rahmen zwischen
einer ausgefahrenen Position, die zur Fahrspur hin hervorsteht,
und einer zurückgezogenen Position beweglich ist, die von
der Fahrspur zurückgezogen ist;
wobei die Gegenstandträgereinrichtung
konfiguriert ist, um an einem Gegenstandtransferort für
das Gegenstandgestell zu stoppen und einen Gegenstand an das Gegenstandgestell
auszuliefern und einen Gegenstand von diesem zu empfangen, wenn
sich der bewegliche Rahmen in der ausgefahrenen Position befindet;
eine
bewegliche Führungseinrichtung, um den beweglichen Rahmen
so zu tragen und zu führen, dass dieser relativ dazu in
Verschieberichtung beweglich ist; und
eine feststehende Führungseinrichtung,
die am feststehenden Rahmen montiert ist, um die bewegliche Führungseinrichtung
so zu tragen und zu führen, dass diese relativ dazu in
Verschieberichtung beweglich ist.
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Wenn
der bewegliche Rahmen aus der zurückgezogenen Position
in die ausgefahrene Position herausgeschoben wird, bewegt sich die
bewegliche Führungseinrichtung relativ zur feststehenden
Führungseinrichtung in der Verschieberichtung des beweglichen
Rahmens in die ausgefahrene Position, und der bewegliche Rahmen
bewegt sich relativ zur beweglichen Führungseinrichtung
in Verschieberichtung des beweglichen Rahmens in die ausgefahrene Position.
Wenn sich der bewegliche Rahmen aus der ausgefahrenen Position in
die zurückgezogene Position zurückzieht, bewegt
sich der bewegliche Rahmen relativ zur beweglichen Führungseinrichtung
in Verschieberichtung des beweglichen Rahmens in die zurückgezogene
Position, und die bewegliche Führungseinrichtung bewegt
sich relativ zur feststehenden Führungseinrichtung in Verschieberichtung
des beweglichen Rahmens in die zurückgezogene Position.
Somit bewegt sich, wenn der bewegliche Rahmen zwischen der ausgefahrenen
Position und der zurückgezogenen Position verschoben wird,
die bewegliche Führungseinrichtung in Verschieberichtung des
beweglichen Rahmens relativ zur feststehenden Führungseinrichtung.
Die Größe der feststehenden Führungseinrichtung
kann um ein entsprechendes Ausmaß in Verschieberichtung
des beweglichen Rahmens verringert werden. Außerdem können
die feststehende Führungseinrichtung und die bewegliche
Füh rungseinrichtung in Verschieberichtung des beweglichen
Rahmens überlappt sein, wenn der bewegliche Rahmen sich
in der zurückgezogenen Position befindet.
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In
der Verschieberichtung des beweglichen Rahmens ist es möglich,
dass man lediglich einen Einbauraum für die feststehende
Führungseinrichtung als Einbauraum für Bauelemente
zum Verschieben des beweglichen Rahmens gewährleistet.
Somit kann bei der bereitgestellten Gegenstandtransportanlage der
Installationsraum des Gegenstandgestells in der Verschieberichtung
des beweglichen Rahmens minimiert werden.
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Bei
einer Ausführungsform beinhaltet die Gegenstandtransportanlage
vorzugsweise weiter eine an der Gegenstandträgereinrichtung
montierte Verschiebungssteuervorrichtung, um den beweglichen Rahmen
zwischen der ausgefahrenen Position und der eingefahrenen Position
zu verschieben, wenn sich die Gegenstandträgereinrichtung
im Gegenstandtransferort befindet.
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Die
Gegenstandtransportanlage bei einer Ausführungsform beinhaltet
vorzugsweise weiter:
ein betätigtes Element, das um
eine Schwenkachse schwenkbar ist, um zwischen einer nahen Position nahe
der Gegenstandträgereinrichtung am Gegenstandtransferort
und einer entfernten Position entfernt von der Gegenstandträgereinrichtung
am Gegenstandtransferort umgestellt zu werden;
wobei die Verschiebungssteuervorrichtung
ein betätigendes Element aufweist, das von der Gegenstandträgereinrichtung
weg bewegt werden kann, um das betätigte Element aus der
nahen Position in die entfernte Position umzustellen, und das zurück
zur Gegenstandträgereinrichtung bewegt werden kann, um das
betätigte Element aus der entfernten Position in die nahe
Position umzustellen; und
ein Schwenkgelenkstück,
das mit dem betätigten Element funktionsmäßig
verbunden ist und in der Verschieberichtung des beweglichen Rahmens
um eine Schwenkachse geschwenkt werden kann, derart, dass sich der
bewegliche Rahmen in der zurückgezogenen Position befindet,
wenn sich das betätigte Element in der nahen Position befindet,
und sich der bewegliche Rahmen in der ausgefahrenen Position befindet,
wenn sich das betätigte Element in der entfernten Position
befindet;
wobei das Schwenkgelenkstück einen Eingreifabschnitt
aufweist, der sich in Gleiteingriff mit einem im Gegenstandgestell
ausgebildeten eingegriffenen Abschnitt befindet und sich in Richtung
senkrecht zur Verschieberichtung erstreckt.
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Bei
der Gegenstandtransportanlage einer Ausführungsform ist
die Gegenstandträgereinrichtung vorzugsweise entlang der
Fahrspur beweglich, die oberhalb der Gegenstandgestelle angeordnet
ist, und sie eine Gegenstandhalteeinrichtung beinhaltet, die in
vertikaler Richtung beweglich ist, um einen Gegenstand an das Gegenstandgestell
auszuliefern und einen Gegenstand von diesem entgegenzunehmen.
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Bei
der Gegenstandtransportanlage einer Ausführungsform ist
die bewegliche Führungseinrichtung vorzugsweise mit einem
Gleitelement in Eingriff, das mit dem beweglichen Rahmen verbunden ist,
wobei das eine, und zwar von der beweglichen Führungseinrichtung
und dem Gleitelement, einen vertieften Querschnitt aufweist, und das
andere von der beweglichen Führungseinrichtung und dem
Gleitelement einen hervorstehenden Querschnitt aufweist.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Draufsicht einer Gegenstandtransportanlage;
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2 ist
eine Seitenansicht eines Transportwagens und einer Station;
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3 ist
eine Seitenansicht des Transportwagens;
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4 ist
eine Vorderansicht im Vertikalschnitt des Transportwagens;
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5 ist
eine perspektivische Explosionsansicht eines Gegenstandgestells;
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6 ist
eine perspektivische Ansicht des Gegenstandgestells in einer zurückgezogenen
Position;
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7 ist
eine perspektivische Ansicht des Gegenstandgestells in einer ausgefahrenen
Position;
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8 ist
eine Draufsicht des Gegenstandgestells in der zurückgezogenen
Position;
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9 ist
eine Draufsicht des Gegenstandgestells in der ausgefahrenen Position;
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10 ist
eine Ansicht im Vertikalschnitt des Gegenstandgestells gesehen in
Zugangsrichtung;
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11 ist
eine Draufsicht eines Hauptabschnitts des Gegenstandgestells;
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12 ist
eine Draufsicht eines Hauptabschnitts des Gegenstandgestells; und
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13 ist
eine Draufsicht eines Hauptabschnitts des Gegenstandgestells.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Eine
Gegenstandtransportanlage gemäß der Erfindung
wird mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
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Wie
in 1 und 2 dargestellt, beinhaltet die
Gegenstandtransportanlage eine Führungsschiene 2,
die als Fahrspur installiert ist, die sich über eine Mehrzahl
von Gegenstandbearbeitungseinheiten 1 erstreckt, und einen
Transportwagen 3, der als Gegenstandträgereinrichtung
fungiert, die entlang der Führungsschiene 2 beweglich
ist. Der Transportwagen 3 transportiert Behälter 5,
die als Gegenstände fungieren, welche Halbleitersubstrate
aufbewahren, zwischen der Mehrzahl von Gegenstandbearbeitungseinheiten 1.
Jede Gegenstandbearbeitungseinheit 1 führt beispielsweise
einen vorbestimmten Prozess für teilweise fertig gestellte
Waren im Verlauf der Fertigung von Halbleitersubstraten durch.
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Der
Transportwagen 3 weist eine in vertikaler Richtung bewegliche
Gegenstandgreifeinrichtung 4 auf, die einen Behälter 5 in
aufgehängtem Zustand hält. Bei stillstehendem
Transportwagen 3 ist die Greifeinrichtung 4 in
vertikaler Richtung beweglich, und zwar durch Aufwickeln und Abwickeln
von Drähten 6 zwischen einer oberen Position benachbart dem
Transportwagen 3 und einer unteren Position für einen
Gegenstandtransfer zu den unterhalb des Transportwagens 3 angeordneten
Gegenstandtransferstationen 7 hin und von diesen weg.
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2 zeigt
oben die Greifeinrichtung 4, die gerade von der oberen
Position in die untere Position abgesenkt wird, und unten zeigt
sie die Greifeinrichtung 4, die gerade von der unteren
Position auf die obere Position angehoben wird.
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Jede
Station 7 hat die Form eines Auflagetisches zum Tragen
von Behältern 5. Die Station 7 dient
dazu, Behälter 5 vom Transportwagen 3 für
einen durch die Gegenstandbearbeitungseinheit 1 durchgeführten
vorbestimmten Prozess aufzunehmen, oder dazu, Behälter 5,
die dem vorbestimmten Prozess durch die Gegenstandbearbeitungseinheit 1 unterzogen
wurden, an den Transportwagen 3 auszuliefern. Die Station 7 ist
für jede der Gegenstandbearbeitungseinheiten 1 vorgesehen.
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Der
Transportwagen 3 bewegt sich entlang der Führungsschiene 2,
wobei die Greifeinrichtung 4 in der oberen Position platziert
ist. Wenn der Transportwagen 3 in einer Anhalteposition
gestoppt ist, die einer Station 7 von der Mehrzahl von
Stationen 7 entspricht, wird ein Behälter 5 zu
dieser Station 7 oder von dieser weg transferiert, und
zwar durch Bewegen der Greifeinrichtung 4 in vertikaler
Richtung zwischen der oberen Position und der unteren Position.
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Wie
in 2 bis 4 dargestellt, ist die Führungsschiene 2 an
einer Decke mittels Führungsschienenbeschlägen 8 befestigt.
Der Transportwagen 3 beinhaltet einen oberen Wagenkörper 9,
der sich in einem Innenraum der Führungsschiene 2 befindet,
und einen unteren Wagenkörper 12, der sich unter
der Führungsschiene 2 befindet, wobei diese miteinander
durch Längsrichtungsverbindungsstücke 10 und 11 verbunden
sind.
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Der
obere Wagenkörper 9 weist eine Primärspule 14 auf,
die nahe einem Magneten 13, der im Innenraum der Führungsschiene 2 montiert
ist, und gegenüberliegend zu diesem angeordnet ist. Der
obere Wagenkörper 9 ist vom Linearmotortyp, der
durch einen Linearmotor angetrieben wird, der aus dem Magneten 13 und
der Primärspule 14 ausgebildet ist. Der Transportwagen 3 ist
entlang der Führungsschiene 2 durch diese Vortriebskraft
beweglich.
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Im
Innenraum der Führungsschiene 2 sind Laufführungswege 16,
die Laufräder 15 des oberen Wagenkörpers 9 führen,
und Pendelverhinderungsführungswege 18 ausgebildet,
die Pendelverhinderungsräder 17 des oberen Wagenkörpers 9 führen.
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Die
Führungsschiene 2 weist Versorgungsleitungen 19 auf,
und der obere Wagenkörper 9 weist aufnehmende
Spulen 20 auf. Die Versorgungsleitungen 20 werden
mit durch Wechselstrom erzeugten Magnetfeldern versorgt, die bewirken,
dass die aufnehmenden Spulen 20 Strom erzeugen, der vom Transportwagen 3 benötigt
wird. Somit wird Strom in einem kontaktlosen Modus zugeführt.
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Bei
dieser Ausführungsform ist der Modus zum Antreiben des
oberen Wagenkörpers 9 der lineare Motortyp, der
die Vorschubkraft von einem Linearmotor erhält. Alternativ
kann beispielsweise ein Elektromotor vorgesehen sein, um die Laufräder 15 in
Drehung zu versetzen, und der obere Wagenkörper 9 kann
dadurch angetrieben werden, dass die Laufräder 15 mit
dem Elektromotor in Drehung versetzt werden.
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Der
untere Wagenkörper 12 beinhaltet einen Längsrichtungsrahmen 21,
der sich in Längsrichtung des Transportwagens 3 erstreckt,
und ein Paar vorderer und hinterer vertikaler Rahmen 22,
die sich von einem vorderen Ende und einem hinteren Ende der Längsrichtungsrahmen 21 nach
unten erstrecken. Der untere Wagenkörper 12 ist
kanalförmig, wobei er in Seitenansicht nach unten hin offen
ist, und wobei die Greifeinrichtung 4 in Längsrichtung
in der Mitte angeordnet ist.
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Die
Greifeinrichtung 4 ist am Anhebeelement 23 in
vertikaler Richtung beweglich relativ zum oberen Wagenkörper 9 befestigt.
Das Anhebeelement 23 ist so gelagert, dass es durch einen
Anhebesteuermechanismus 24 in vertikaler Richtung bewegt
werden kann, der am Längsrichtungsrahmen 21 befestigt
ist.
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Der
Anhebesteuermechanismus 24 weist vier Drähte 6 auf,
die um eine rotierende Trommel 26 gewunden sind, die durch
einen Trommelantriebsmotor 25 in Drehung versetzt werden
kann. Der Anhebesteuermechanismus 24 dreht die rotierende
Trommel 26 nach vorne und nach hinten, um die vier Drähte 6 gleichzeitig
aufzuwickeln und abzuwickeln, wodurch das Anhebeelement aufwärts
und abwärts bewegt wird, wobei dabei das Anhebeelement 23 in
im Wesentlichen horizontaler Position gehalten wird.
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Zwar
ist bei dieser Ausführungsform das Beispiel eines Aufwickelns
der Drähte 6 um die rotierende Trommel 26 dargestellt,
jedoch kann das Anhebeelement 23 beispielsweise mittels
Riemen, die um die rotierende Trommel 26 gewunden sind,
in vertikaler Richtung bewegt werden. Somit können die
Drähte 6 durch Riemen ersetzt werden. Die Drähte
und Riemen werden als flexible Elemente bezeichnet.
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Die
Greifeinrichtung 4 beinhaltet ein Paar Greifelemente 4a,
die einen Flansch 5a eines jeden Behälters 5 greifen.
Das Paar Greifelemente 4a kann mit Vorwärts- und
Rückwärtsdrehungen eines Greifmotors 27,
zwischen einer Greifposition, bei welcher der Flansch 5a durch
die zueinander hin schwenkenden Greifelemente 4a (durch gezogene
Linie in 3) und einer Freigabeposition
umgeschaltet werden, bei welcher der Flansch 5a durch die
voneinander weg schwenkenden Greifelemente 4a freigegeben
wird (gestrichelte Linien in 3).
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Die
Greifeinrichtung 4 ist am Anhebeelement 23 so
befestigt, dass sie um eine vertikale Achse schwenken kann. Obschon
dies nicht dargestellt ist, ist ein Schwenkmotor zum Schwenken der
Greifeinrichtung 4 vorgesehen.
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Um
die zu den Stationen 7 transportierten Behälter 5 vorübergehend
aufzubewahren, wie in 1 dargestellt, sind eine Mehrzahl
von Gegenstandgestellen 28 zur Artikelaufbewahrung zu beiden Seiten
der Führungsschiene 2 angeordnet. Diese Gegenstandgestelle 28 sind
entlang der Führungsschiene 2 angeordnet.
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Die
Gegenstandgestelle 28 werden nachfolgend mit Bezug auf 5 bis 10 beschrieben.
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Jedes
der Gegenstandgestelle 28 ist zwischen einer ausgefahrenen
Position (siehe 7 und 9), bei
der sie zur Führungsschiene 2 hervorsteht, um
einen Behälter 5 von der Greifeinrichtung 4 des
Transportwagens 3 zu empfangen und einen Behälter 5 an
diese auszuliefern, wobei die Greifeinrichtung an einem dazu entsprechenden
Gegenstandtransferort angehalten hat, und einer zurückgezogenen
Position (siehe 6 und 8) verschieblich.
Die ausgefahrene Position des Gegenstandgestells 28 bedeutet
einen Zustand, bei dem ein beweglicher Rahmen 30 des Gegenstandgestells 28 sich
in einer ausgefahrenen Position befindet, wie später noch
beschrieben wird. Die zurückgezogene Position des Gegenstandgestells 28 bedeutet
einen Zustand, bei dem sich der bewegliche Rahmen 13 des
Gegenstandgestells 28 in einer zurückgezogenen
Position befindet. Somit entspricht die Verschieberichtung des Gegenstandgestells 28 der
Verschieberichtung des beweglichen Rahmens 30.
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Die
Längsrichtung des Transportwagens 3, der am Gegenstandtransferort
stillsteht, wird nachfolgend einfach als die "Längsrichtung"
("Vorne-Hinten-Richtung") bezeichnet, und die Richtung zu dem am
Gegenstandtransferort stillstehenden Transportwagen 3 hin
und von diesem weg wird einfach als die "Zugangsrichtung" bezeichnet.
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Der
Gegenstandtransferort ist entsprechend jedem der Gegenstandgestelle 28 bestimmt.
In Längsrichtung ist das Gegenstandgestell 28 so
ausgebildet, dass seine Breite kleiner als ein Abstand zwischen
dem Paar von vorderen und hinteren vertikalen Rahmen 22 des
Transportwagens 3 ist. Somit ist, wenn der Transportwagen 3 am
Gegenstandtransferort anhält, das Gegenstandgestell 28 in
den Raum zwischen dem Paar von vorderen und hinteren vertikalen
Rahmen 22 des Transportwagens hinein und aus diesem heraus
beweglich.
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Die
zurückgezogene Position ist seitlich und benachbart zur
Führungsschiene 2, jedoch in Zugangsrichtung entfernt
von der Führungsschiene 2 festgelegt, derart,
dass weder das Gegenstandgestell 28 selbst, wenn es sich
in der zurückgezogenen Position befindet, noch der auf
diesem platzierte Behälter 5 eine Bewegung des
Transportwagens 3 oder eine vertikale Bewegung der Greifeinrichtung 4 behindert.
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Die
ausgefahrene Position ist auf eine Position festgelegt, die zur
Führungsschiene 2 hin hervorsteht und die Greifeinrichtung 4 des
Transportwagens 3, der am Gegenstandtransferort stillsteht,
in vertikaler Richtung überlappt. Somit kann, wenn sich das
Gegenstandgestell 28 in der ausgefahrenen Position befindet,
ein Behälter 5 zwischen dem Gegenstandgestell 28 und
der Greifeinrichtung 4, die sich in der Position benachbart
zur oberen Position des Transportwagens 3 befindet, der
am Gegenstandtransferort stillsteht, transferiert werden.
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Wie
in 5 bis 7 dargestellt, beinhaltet jedes
Gegenstandgestell 28 einen feststehenden Rahmen 29,
der deckenseitig, entsprechend der zurückgezogenen Position,
installiert ist, und den beweglichen Rahmen 30, der so
gelagert ist, dass er in Zugangsrichtung relativ zum feststehenden
Rahmen 29 beweglich ist.
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Der
feststehende Rahmen 29 ist aus einem Paar von seitlichen
Rahmenelementen 29 ausgebildet, die in Zugangsrichtung
verlaufen. Der feststehende Rahmen 29 ist an der Decke
durch Aufhängungsträgereinrichtungen 31 aufgehängt,
die sich von dem Paar von seitlichen Rahmenelementen 29a nach
oben erstrecken. Das Paar von seitlichen Rahmenelementen 29a sind
untereinander durch eine Mehrzahl von Rahmenverbindungseinrichtungen 32 verbunden,
die voneinander in Zugangsrichtung beabstandet angeordnet sind.
Die Rahmenverbindungseinrichtungen 32 beinhalten eine erste
Rahmenverbindungseinrichtung 32a, welche die Seiten nahe,
und zwar in Zugangsrichtung, zum Transportwagen 3 untereinander
verbindet, der am Gegenstandtransferort stillsteht, und eine zweite
Rahmenverbindungseinrichtung 32b, welche die Seiten entfernt,
und zwar in Zugangsrichtung, vom Transportwagen 3 miteinander
verbindet, der am Gegenstandtransferort stillsteht.
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Jeder
der feststehenden Rahmen 39 der Mehrzahl von Gegenstandgestellen 28 ist,
an der Decke aufgehängt, separat gelagert, was ermöglicht, dass
jedes Gegenstandgestell 28 angebracht oder abgenommen wird.
Die Gegenstandgestelle 28 können problemlos hinzugefügt
oder weggenommen werden.
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Der
bewegliche Rahmen 30 beinhaltet ein Paar von rechten und
linken Trägerarmen 33, die eine solche Gestalt
haben, dass sie sich in Zugangsrichtung erstrecken, und Verbindungsrahmen 34,
die in Zugangsrichtung beabstandet zueinander angeordnet sind und
das Paar von rechten und linken Trägerarmen 33 miteinander
verbinden.
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Die
Verbindungsrahmen 34 tragen eine Mehrzahl von Positionierstiften 35,
die aus diesen hervorstehen und die mit eingreifbaren Abschnitten in
Eingriff kommen, die im Boden eines jeden Behälters 5 ausgebildet
sind. Die Verbindungsrahmen 34 tragen den Behälter 5,
wobei dieser durch die Positionierstifte 35 positioniert
ist. Die Verbindungsrahmen 34 weisen einen hochstehenden
Wandabschnitt 36 auf, der sich zu dem am Gegenstandtransferort
stillstehenden Transportwagen 3 hin und nach oben erstreckt.
Der hochstehende Wandabschnitt 36 dient dazu, eine Bewegung
des Behälters 5 zu dem Transportwagen 3,
der am Gegenstandtransferort stillsteht, einzuschränken.
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Die
Trägerarme 33 beinhalten untere Abschnitte 33a,
die sich in Zugangsrichtung erstrecken, Zwischenabschnitte 33b,
die sich von den Enden der unteren Abschnitten 33a entfernt
vom Transportwagen 3 erstrecken, und obere Abschnitte 33c,
die sich in Zugangsrichtung von den oberen Enden der Zwischenabschnitte 33b erstrecken.
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Eine
Mehrzahl von Bohrungen sind in den unteren Abschnitten 33a und
den Zwischenabschnitten 33b der Trägerarme 33 ausgebildet,
wobei sie in Intervallen in Längsrichtung von diesen angeordnet sind.
Diese Bohrungen tragen zur Gewichtsverringerung der Trägerarme 33 bei.
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Das
Paar von rechten und linken Trägerarmen 33 sind
miteinander nicht nur durch die Verbindungsrahmen 34, sondern
auch durch eine Mehrzahl von Verbindungsrahmen 37 verbunden.
Die Verbindungsrahmen 37 beinhalten einen ersten Verbindungsrahmen 37a,
der die Enden der unteren Abschnitte 33a der rechten und
linken Trägerarme 33 miteinander verbindet, und
zwar entfernt von dem am Gegenstandtransferort stillstehenden Transportwagen 3,
einen zweiten Verbindungsrahmen 37b, der die mittleren
Abschnitte 33b der rechten und linken Trägerarme 33 miteinander
verbindet, und einen dritten Verbindungsrahmen 37c, der
die oberen Abschnitte 33c der rechten und linken Trägerarme 33 miteinander
verbindet.
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Ein
Gleitführungsmechanismus 38 ist vorgesehen, der
den beweglichen Rahmen 30 so lagert, dass er in Zugangsrichtung
relativ zum feststehenden Rahmen 29 zwischen der zurückgezogenen
Position (siehe 6 und 8) und einer
ausgefahrenen Position (7 und 9) verschieblich
ist.
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Der
Gleitführungsmechanismus 38 beinhaltet Schienen 47,
die am feststehenden Rahmen 29 ausgebildet sind, und eine
Mehrzahl von Führungsrollen 48, die an den Trägerarmen 35 angeordnet sind.
Die Schienen 47 sind an dem Paar von seitlichen Rahmenelementen 29a ausgebildet.
Die Führungsrollen 48 sind an den oberen Abschnitten 35c der
Trägerarme 35 angeordnet. Da die Schienen 47 die
Führungsrollen 48 tragen und führen,
trägt der Gleitführungsme chanismus 46 den
beweglichen Rahmen 30 so, dass er relativ zum feststehenden Rahmen 29 zwischen
der zurückgezogenen Position und der ausgefahrenen Position
gleitend verschieblich ist.
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Der
Gleitführungsmechanismus 38 beinhaltet feststehende
Führungseinrichtungen 39, die am feststehenden
Rahmen 29 so ausgebildet sind, dass sie der zurückgezogenen
Position des Gegenstandgestells 28 entsprechen, und bewegliche
Führungseinrichtungen 40, die am beweglichen Rahmen 30 so angeordnet
sind, dass sie durch die feststehenden Führungseinrichtungen 39 für
ein Bewegen in Verschieberichtung geführt sind. Der bewegliche
Rahmen 30 wird durch die beweglichen Führungseinrichtungen 40 so
getragen und geführt, dass er in Verschieberichtung des
Gegenstandgestells 28 verschieblich ist.
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Die
feststehenden Führungseinrichtungen 39 sind an
dem Paar von rechten bzw. linken seitlichen Rahmenelementen 29a ausgebildet,
entsprechend der eingezogenen Position des Gegenstandgestells 28.
Die feststehenden Führungseinrichtungen 39 tragen,
um in der Verschieberichtung des beweglichen Rahmens 30 beweglich
zu sein, Führungsrollen 41, die am beweglichen
Rahmen 30 so angeordnet sind, dass sie um horizontale Achsen
rotiert werden können. Die Führungsrollen 41 sind
an einem beweglichen Führungsträgerrahmen 42 befestigt,
der sich in Längsrichtung zwischen dem Paar von rechten
und linken Trägerarmen 33 erstreckt. Zwei der
Führungselemente 41 sind, und zwar in Zugangsrichtung
zueinander beabstandet, an jedem der gegenüberliegenden
Enden, in Längsrichtung, des beweglichen Führungsträgerrahmens 42 angeordnet.
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Die
beweglichen Führungseinrichtungen 40 weisen einen
konvexen Querschnitt auf und sind an dem beweglichen Führungsträgerrah men 42 befestigt.
Die beweglichen Führungseinrichtungen 40 sind links
und rechts, und innerhalb der Führungsrollen 41 in
Längsrichtung angeordnet.
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Somit
weist der bewegliche Führungsträgerrahmen 42 die
Führungsrollen 41 und die daran befestigten beweglichen
Führungseinrichtungen 40 auf. Da die Führungsrollen 41 die
feststehenden Führungseinrichtungen 39 in Verschieberichtung
des beweglichen Rahmens 30 bewegen, sind die beweglichen
Führungseinrichtungen 40 relativ zu den feststehenden
Führungseinrichtungen 39 in Verschieberichtung
des beweglichen Rahmens 30 beweglich.
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Wie
in 10 dargestellt, weist der dritte Verbindungsrahmen 37c,
der die oberen Abschnitte 33c der rechten und linken Trägerarme 33 miteinander
verbindet, konkave Gleitstücke 45 auf, die nach unten
offen sind und durch die konvexen beweglichen Führungseinrichtungen 40 gleitend
verschieblich gelagert und geführt sind. Da die beweglichen Führungseinrichtungen 40 im
rechten und linken Paar vorgesehen sind, sind die Gleitstücke 45 auch im
rechten und linken Paar vorgesehen. Anstelle einer derartigen Struktur
können die beweglichen Führungseinrichtungen 40 konkav
geformt sein, und die Gleitstücke 45 können
konvex geformt sein, um diesen zu entsprechen.
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Da
die Gleitstücke 45 relativ zu den beweglichen
Führungseinrichtungen 40 gleitend verschieblich
sind, werden die rechten und linken Trägerarme 33 durch
die beweglichen Führungseinrichtungen 40 getragen
und geführt, so dass sie in Verschieberichtung des beweglichen
Rahmens 30 verschieblich sind. Der bewegliche Rahmen 30 wird
durch die beweglichen Führungseinrichtungen 40 getragen
und geführt, so dass er in Verschieberichtung verschiebbar
ist.
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Der
bewegliche Führungsträgerrahmen 42 weist
eine erste ausfahrpositionsseitige Anschlageinrichtung 43 auf,
um eine Bewegung des Gleitstücks 45 in die ausgefahrene
Position relativ zu den beweglichen Führungseinrichtungen 40 zu
begrenzen, und eine erste rückzugspositionsseitige Anschlageinrichtung 44,
welche die Bewegung des Gleitstücks 45 in die
eingezogene Position relativ zu den beweglichen Führungseinrichtungen 40 begrenzt.
Andererseits weist der dritte Verbindungsrahmen 37c einen
ausfahrpositionsseitigen Kontaktabschnitt 46 auf, der mit der
ersten ausfahrpositionsseitigen Anschlageinrichtung 43 in
Kontakt kommt, und einen rückzugpositionsseitigen Kontaktabschnitt 47,
der mit der ersten rückzugpositionsseitigen Anschlageinrichtung 44 in Kontakt
kommt.
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Der
feststehende Rahmen 29 weist zweite ausfahrpositionsseitige
Anschlageinrichtungen 61 auf, die mit einem Paar von rechten
und linken Kontaktabschnitten 60 in Kontakt kommen, die
am beweglichen Führungsträgerrahmen 42 ausgebildet sind,
um eine Bewegung des beweglichen Führungsträgerrahmens 42 in
die ausgefahrene Position relativ zu den feststehenden Führungseinrichtungen 39 zu
begrenzen, und zweite rückzugpositionsseitige Anschlageinrichtungen 62,
die mit den rechten und linken Kontaktabschnitten 60 in
Kontakt kommen, um eine Bewegung des beweglichen Führungsträgerrahmens 42 in
die zurückgezogene Position relativ zu den feststehenden
Führungseinrichtungen 39 zu begrenzen.
-
Der
feststehende Rahmen 29 beinhaltet ein betätigtes
Element 48, das so gelagert ist, dass es in Zugangsrichtung
zwischen einer nahen Position (6 und 8)
benachbart dem Transportwagen 3, der am Gegenstandtransferort
stillsteht, und einer entfernten Position (7 und 9)
vom Transportwagen 3 entfernt beweglich ist.
-
Ein
in Längsrichtung mittlerer Teil des betätigten
Elementes 48 ist mit einer Basis 49 schwenkbar
verbunden, die an einem Oberteil von einem der seitlichen Rahmenelemente 29a vorgesehen
ist, um um eine erste Schwenkachse P1 schwenkbar zu sein, die sich
durch die Verbindungsposition erstreckt. Das betätigte
Element 48 beinhaltet einen ersten betätigten
Abschnitt 48a, der sich von der ersten Schwenkachse P1
zum Transportwagen 3 erstreckt, wenn es sich in der nahen
Position befindet, und einen zweiten betätigten Abschnitt 48b,
der sich von der ersten Schwenkachse P1 vom Transportwagen 3 weg
erstreckt, wobei die Abschnitte 48a und 48b integral
miteinander, mit einem Niveauunterschied zwischen sich, ausgebildet
sind.
-
Durch
Schwenken um die erste Schwenkachse P1 wird das betätigte
Element 48 zwischen der nahen Position und der entfernten
Position umgestellt. In der nahen Position (6 und 8)
nimmt der erste betätigte Abschnitt 48a, der als
vorderer Abschnitt fungiert, eine Position ein, die sich näher
als die erste Schwenkachse P1 am Transportwagen 3 befindet,
der am Gegenstandtransferort stillsteht. Der erste betätigte
Abschnitt 48a des betätigten Elementes 48 weist
eine Nut 50 auf, die in diesem so ausgebildet ist, dass
sie sich in einer Richtung erstreckt, welche die Zugangsrichtung
zur ersten Schwenkachse P1 kreuzt, wenn sich das betätigte
Element 48 in der nahen Position befindet. Die Nut 50 hat
eine solche Gestalt, dass sie ein offenes vorderes Ende aufweist,
das dem Transportwagen 3 gegenüberliegt, der am
Gegenstandtransferort stillsteht.
-
Ein
Gelenkgetriebemechanismus 51 ist vorgesehen, um eine Bewegung
des betätigten Elementes 48 und die des beweglichen
Rahmens 30 zu verbinden. Somit befindet sich, wenn sich
das betätigte Element 48 in der nahen Position
befindet, wie in 6 und 8 dargestellt,
der bewegliche Rahmen 30 in der zurückgezogenen
Position. Wenn sich das betätigte Element 48 in
der entfernten Position befindet, wie in 7 und 9 dargestellt,
befindet sich der bewegliche Rahmen 30 in der ausgefahrenen
Position.
-
Der
Gelenkgetriebemechanismus 51 beinhaltet ein Schwenkgelenk 52,
dessen eines Ende (distales Ende) mit dem beweglichen Rahmen 30 des Gegenstandgestells 28 in
Eingriff ist, und dessen anderes Ende (proximales Ende) mit der
Basis 49 schwenkbar verbunden ist, und ein Verbindungsgelenkstück 53,
das eine Zwischenposition des Schwenkgelenkstücks 52 und
ein distales Ende des zweiten betätigten Abschnittes 48a des
betätigten Elementes 48 verbindet. Das Schwenkgelenkstück 52 ist
mit dem betätigten Element 48 durch das Verbindungsgelenkstück 53 funktionsmäßig
verbunden, und ist um eine zweite Schwenkachse P2 schwenkbar, die
eine Verbindungsposition definiert, und zwar in Verschieberichtung
des Gegenstandgestells 28. Der dritte Verbindungsrahmen 37c,
der die oberen Abschnitte 33c der rechten und linken Trägerarme 33 verbindet,
weist eine längliche Nut 55 auf, die in diesem
so ausgebildet ist, dass sie als Eingreifabschnitt dient, der sich
in Längsrichtung erstreckt. Das Schwenkgelenkstück 52 weist
eine Eingreifrolle 54 auf, die an dessen distalem Ende
befestigt ist und mit der länglichen Nut 55 in
Eingriff kommt.
-
Der
Transportwagen 3 beinhaltet eine Verschiebungssteuervorrichtung
S, welche den beweglichen Rahmen 30 des Gegenstandgestells 28 zwischen
der zurückgezogenen Position und der ausgefahrenen Position
verschiebt.
-
Die
Verschiebungssteuervorrichtung S weist eine Basis 56 auf,
die am Transportwagen 3 befestigt ist und die sich in Zugangsrichtung
erstreckt, ein längliches Steuerelement 57, das
in Zugangsrichtung relativ zur Basis 56 beweglich ist,
und eine Eingreifrolle 58, die als Steuerelement fungiert,
das an einer Unterseite an einem vorderen Ende des Steuerelementes 57 befestigt
ist. Die Verschiebungssteuervorrichtung S weist eine nicht dargestellte
Betätigungseinrichtung auf, die betrieben werden kann,
um das Steuerelement 57 relativ zur Basis 56 auszufahren und
einzuziehen, wodurch eine Hervorschiebeoperation und eine Zurückziehoperation
ausgeführt wird, um die Eingreif- und Steuerrolle 58 in
Zugangsrichtung zu bewegen.
-
Der
Transportwagen 3 beinhaltet eine solche Verschiebungssteuervorrichtung
S, welche auf die Gegenstandgestelle 28 einwirkt, die zur
rechten Seite in Bewegungsrichtung des Transportwagens 3 angeordnet
sind, und eine weitere Verschiebungssteuervorrichtung S, die auf
die zur linken Seite angeordneten Gegenstandgestelle 28 einwirkt.
-
Die
Eingreif- und Steuerrolle 58 hat einen Durchmesser, der
gleich groß oder kleiner als die Breite der Nut 50 des
betätigten Elementes 48 in Längsrichtung
ist. Somit kann die Eingreifrolle 58 mit der Nut 50 des
betätigten Elementes 48 durch eine Bewegung in
Zugangsrichtung in Eingriff und außer Eingriff gebracht
werden.
-
Die
Verschiebungssteuervorrichtung S ist in der Art eines Schub-Zug-Typs
aufgebaut, derart, dass bei der Hervorschieboperation die Eingreif-
und Steuerrolle 58 in Eingriff mit der Nut 50 bewegt
wird, um das betätigte Element 48 aus der nahen
Position in die entfernte Position zu drücken, und bei
der Einziehoperation die Eingreifrolle 58 in Eingriff mit
der Nut 50 zurückgehalten wird, um das betätigte Element 49 aus
der entfernten Position in die nahe Position zu ziehen, und danach
wird die Eingreifrolle 58 von der Nut 50 außer
Eingriff gebracht.
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Wenn
die Verschiebungssteuervorrichtung S das betätigte Element 48 aus
der nahen Position in die entfernte Position mit der Eingreif- und
Steuerrolle 58 bei der Hervorschieboperation bewegt, führt das
betätigte Element 48, das sich in der entfernten Position
befindet, dazu, dass das Gegenstandgestell 28 durch den
Gelenkgetriebemechanismus 51 in die ausgefahrene Position
verschoben wird. Wenn die Verschiebungssteuervorrichtung S das betätigte
Element 48 aus der entfernten Position in die nahe Position
mit der Eingreif- und Steuerrolle 58 bei der Einziehoperation
bewegt, führt das betätigte Element 48,
das sich in der nahen Position befindet, dazu, dass das Gegenstandgestell 28 durch
den Gelenkgetriebemechanismus 51 in die zurückgezogene
Position verschoben wird. Somit wird das Gegenstandgestell 28 aus
der ausgefahrenen Position in die zurückgezogene Position
verschoben.
-
Bewegungen,
die stattfinden, wenn das Gegenstandgestell 28 zwischen
der zurückgezogenen Position und der ausgefahrenen Position
verschoben wird, werden nachfolgend beschrieben.
-
Wenn
sich das betätigte Element 48 in der nahen Position
befindet, wie in 6 und 8 dargestellt,
ist die Öffnung der Nut 50 in Zugangsrichtung
offen. Die Steuervorrichtung S führt die Herausschieboperation
aus, um die Eingreif- und Steuerrolle 58 in Zugangsrichtung
zu bewegen, so dass sie aus dem Transportwagen 3 hervorsteht
und durch die Öffnung der Nut 50 in die Nut 50 hinein
ragt, um mit dieser in Eingriff zu kommen. Wenn sich die Eingreif- und
Steuerrolle 58, die mit der Nut 50 in Eingriff
ist, weiter in Zu gangsrichtung bewegt wird, so dass sie aus dem
Transportwagen 3 hervorsteht, bewegt die Eingreifrolle 58,
während sie gegen eine Seitenwand der Nut 50 drückt,
sich durch die Nut 50 hindurch, so dass das betätigte
Element 48 aus der nahen Position in die entfernte Position
gedrückt wird. Wenn das betätigte Element 48 aus
der nahen Position in die entfernte Position schwenkt, schwenkt
das Schwenkgelenkstück 52 in Verschieberichtung
des Gegenstandgestells 28 um die zweite Schwenkachse P2, hingegen
drückt die Eingreifrolle 54 des Schwenkgelenkstücks 52 eine
Seitenwand der länglichen Nut 55 in die ausgefahrene
Position des Gegenstandgestells 28. Das Schwenken des Schwenkgelenkstücks 52 drückt
den dritten Verbindungsrahmen 37c in die ausgefahrene Position
des Gegenstandgestells 28, so dass die beweglichen Führungen 40 relativ
zu den feststehenden Führungen 39 in die ausgefahrene Position
des Gegenstandgestells 28 bewegt werden, und die rechten
und linken Trägerarme 33 relativ zu den beweglichen
Führungseinrichtungen 40 in die ausgefahrene Position
des Gegenstandgestells 28 bewegt werden, wodurch das Gegenstandgestell 28 in
die ausgefahrene Position verschoben wird.
-
Die
Bewegung der beweglichen Führungseinrichtungen 40 relativ
zu den feststehenden Führungseinrichtungen 39,
und die Bewegung der rechten und linken Trägerarme 33 relativ
zu den beweglichen Führungseinrichtungen 40 wird
nachfolgend weiter beschrieben.
-
Wie
in 11 dargestellt, befinden sich, wenn sich das Gegenstandgestell 28 in
der zurückgezogenen Position befindet, die Führungsrollen 41 an
entfernten Positionen in Zugangsrichtung der feststehenden Führungseinrichtungen 39,
und die Gleitstücke 45 befinden sich an entfernten
Abschnitten in Längsrichtung der beweglichen Führungseinrichtungen 40.
Dabei steht die erste rück zugpositionsseitige Anschlageinrichtung 44 mit
dem rückzugpositionsseitigen Kontaktabschnitt 47 in
Kontakt, und die zweiten rückzugpositionsseitigen Anschlageinrichtungen 62 stehen
mit den Kontaktabschnitten 60 in Kontakt. Dies schränkt
die Bewegung der beweglichen Führungseinrichtungen 40 relativ
zu den feststehenden Führungseinrichtungen 39 in
die ausgefahrene Position hin ein, sowie eine Bewegung relativ zu
den beweglichen Führungseinrichtungen 40 in die
ausgefahrene Position des dritten Verbindungsrahmens 37c,
der die rechten und linken Trägerarme 33 miteinander
verbindet.
-
Wenn
der dritte Verbindungsrahmen 37c durch Schwenken des Schwenkgelenkstücks 52 in die
ausgefahrene Position des Gegenstandgestells 28 gedrückt
wird, erfolgt ein gleitendes Verschieben der Gleitstücke 45 entlang
der beweglichen Führungseinrichtungen 40 in die
nahe Position in Zugangsrichtung. Wie in 12 dargestellt,
kommt die erste ausfahrpositionsseitige Anschlageinrichtung 43 mit
dem ausfahrpositionsseitigen Kontaktabschnitt 46 in Kontakt,
um die Bewegung des dritten Verbindungsrahmens 37c relativ
zu den beweglichen Führungseinrichtungen 40 zur
ausgefahrenen Position hin zu begrenzen. Danach bewegen sich der
dritte Verbindungsrahmen 37c und die beweglichen Führungseinrichtungen 40 gemeinsam,
wobei die Führungsrollen 41 durch die feststehenden
Führungseinrichtungen 39 getragen und geführt
werden, wodurch der dritte Verbindungsrahmen 37c seine
Bewegung in die ausgefahrene Position fortsetzt. Auf diese Weise
bewegen sich die beweglichen Führungseinrichtungen 40 relativ
zu den feststehenden Führungseinrichtungen 39 in
die ausgefahrene Position in Verschieberichtung des Gegenstandgestells 28,
und die rechten und linken Trägerarme 33 bewegen
sich relativ zu den beweglichen Führungseinrichtungen 40 in
die ausgefahrene Position in Verschieberichtung des Gegenstandgestells 28.
Demzufolge wird das Gegenstandgestell 28, wie in 13 dargestellt,
aus der zurückgezogenen Position in die ausgefahrene Position
vorgeschoben. Dabei kommt die erste ausfahrpositionsseitige Anschlageinrichtung 43 mit
dem ausfahrpositionsseitigen Kontaktabschnitt 46 in Kontakt,
und die zweiten ausfahrpositionsseitigen Anschlageinrichtungen 61 kommen
mit den Kontaktabschnitten 60 in Kontakt, um eine Bewegung
der beweglichen Führungseinrichtungen 40 relativ
zu den feststehenden Führungseinrichtungen 39 zur
ausgefahrenen Position hin, und eine Bewegung des dritten Verbindungsrahmens 37c relativ
zu den beweglichen Führungseinrichtungen 40 zur
ausgefahrenen Position hin einzuschränken.
-
Wenn
die Steuervorrichtung S die Einziehoperation ausführt,
wobei sich das betätigte Element 48 in der entfernten
Position befindet, wie in 7 und 9 dargestellt,
bewegt sich die Eingreif- und Steuerrolle 58 zum Transportwagen 3 hin,
wobei sie dabei mit der Nut 50 in Eingriff ist. Die Eingreif-
und Steuerrolle 58 bewegt sich durch die Nut 50 hindurch, wobei
sie dabei gegen eine Seitenwand der Nut 50 drückt,
um das betätigte Element 48 aus der entfernten
Position in die nahe Position zu ziehen. Wenn das betätigte
Element 48 aus der entfernten Position in die nahe Position
schwenkt, schwenkt das Schwenkgelenkstück 52 in
Verschieberichtung des Gegenstandgestells 28 um die zweite
Schwenkachse P2, hingegen drückt die Eingreifrolle 54 des
Schwenkgelenkstücks 52 eine Seitenwand der länglichen
Nut 55 in die zurückgezogene Position des Gegenstandgestells 28.
Das Schwenken des Schwenkgelenkstücks 52 drückt
den dritten Verbindungsrahmen 37c in die zurückgezogene
Position des Gegenstandgestells 28, um die beweglichen
Führungseinrichtungen 40 relativ zu den feststehenden
Führungseinrichtungen 39 zur zurückgezogenen
Position des Gegenstandgestells 28 zu bewe gen, und um die
rechten und linken Trägerarme 33 relativ zu den
beweglichen Führungseinrichtungen 40 in die zurückgezogene
Position des Gegenstandgestells 28 zu bewegen, wodurch das
Gegenstandgestell 28 in die zurückgezogene Position
verschoben wird. Wenn sich das betätigte Element 48 in
der nahen Position befindet, wie in 6 und 8 dargestellt,
ist die Öffnung der Nut 50 in Zugangsrichtung
offen. Somit kommt die Eingreif- und Steuerrolle 58, die
sich zum Transportwagen 3 hin bewegt, außer Eingriff
von der Nut 50 und zieht sich zum Transportwagen 3 zurück.
-
Eine
Bewegung der beweglichen Führungseinrichtung 40 relativ
zu den feststehenden Führungseinrichtungen 39 und
eine Bewegung der rechten und linken Trägerarme 33 relativ
zu den beweglichen Führungseinrichtungen 40, die
stattfinden, wenn das Gegenstandgestell 28 aus der ausgefahrenen
Position in die zurückgezogene Position verschoben wird,
sind umgekehrt zu den Bewegungen, die stattfinden, wenn das Gegenstandgestell 28 aus der
zurückgezogenen Position in die ausgefahrene Position verschoben
wird, und werden nicht beschrieben.
-
Der
Transportwagen 3 beinhaltet eine Schlittensteuereinrichtung,
welche die Operation des Transportwagens 3 steuert. Basierend
auf Befehlen von einem Leitcomputer, der den Betrieb der gesamten
Gegenstandtransportanlage steuert, und auf Erfassungsinformation
von verschiedenen am Transportwagen 3 vorgesehenen Sensoren,
steuert die Schlittensteuereinrichtung eine Bewegung des Transportwagens 3,
eine Anhebeoperation der Greifeinrichtung 4, einen Betrieb
des Greifmotors 27, und einen Betrieb der Verschiebungssteuervorrichtung
S.
-
Wenn
beispielsweise der Leitcomputer einen Transportbefehl gibt, der
eine Transportstartstation 7 und eine Zielstation 7 der
Mehrzahl von Stationen 7 bezeichnet, und eine Operation
anweist, um einen Behälter 5 von der Startstation 7 zur
Zielstation 7 zu transportieren, steuert die Schlittensteuereinrichtung die
Operation des Transportwagens 3, um den Behälter 5 von
der Startstation 7 zu empfangen und den Behälter 5 zur
Zielstation 7 auszuliefern. Die Steuereinrichtung und der
Computer sind an sich bekannt und weisen Hardware, wie beispielsweise
CPUs, Speicher und Kommunikationsschaltungen, sowie Algorithmen
(Programme) auf, um die in dieser Beschreibung beschriebenen Funktionen
durchzuführen.
-
Wenn
der Behälter 5 von der Startstation 7 empfangen
wird, steuert die Schlittensteuereinrichtung als Erstes eine Bewegung
des Transportwagens 3, um den Transportwagen 3 in
einer Anhalteposition entsprechend der Startstation 7 zu
stoppen. Als Nächstes führt, wobei der Transportwagen 3 in
der Anhalteposition entsprechend der Startstation 7 stillsteht,
die Schlittensteuereinrichtung eine Anhebesteuerung der Greifeinrichtung 4 durch,
um die Greifeinrichtung 4 von der oberen Position in die
untere Position abzusenken. Wenn sich die Greifeinrichtung 4 in
der unteren Position befindet, betätigt die Schlittensteuereinrichtung
den Greifmotor 27, um das Paar von Greifelementen 4a in
die Greifposition umzuschalten, wodurch die Greifelemente 4a den
Flansch 5a des Behälters 5 greifen. Der
Behälter 5 wird auf diese Weise empfangen. Anschließend
führt die Schlittensteuereinrichtung eine Anhebesteuerung der
Greifeinrichtung 4 durch, um die Greifeinrichtung 4 aus
der unteren Position in die obere Position anzuheben. Dann steuert
die Schlittensteuereinrichtung eine Bewegung des Transportwagens 3,
um den Transportwagen 3 in einer Anhalteposition entsprechend
der Zielstation 7 anzuhalten.
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Wenn
der Transportwagen 3 in der Anhalteposition entsprechend
der Zielstation 7 gestoppt hat, führt die Schlittensteuereinrichtung
ein Ausliefern des Behälters 5 an die Zielstation 7 durch,
und zwar durch Durchführen einer Anhebesteuerung der Greifeinrichtung 4 und
eine Operation des Greifmotors 7, wie beim Empfangen des
Behälters 5 von der Startstation 7 durchgeführt.
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Der
Leitcomputer kann einen Einlagerungsbefehl geben, der eine der Mehrzahl
von Gegenstandgestellen 28 bezeichnet und eine Operation
anweist, um einen Behälter 5 auf dem angegebenen Gegenstandgestell 28 einzulagern.
Ein derartiger Fall wird nachfolgend beschrieben.
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Die
Schlittensteuereinrichtung steuert als Erstes eine Bewegung des
Transportwagens 3, um den Transportwagen 3 zu
einem Gegenstandtransferort entsprechend dem Gegenstandgestell 28 für einen
Transfer zu bewegen. Als Nächstes veranlasst, wobei der
Transportwagen 3 am Gegenstandtransferort entsprechend
dem Gegenstandgestell 28 für einen Transfer stillsteht,
die Schlittensteuereinrichtung die Verschiebungssteuervorrichtung
S, die Herausschieboperation auszuführen. Bei der Herausschieboperation
der Verschiebungssteuervorrichtung S wird das Gegenstandgestell 28 aus
der zurückgezogenen Position in die ausgefahrene Position
verschoben. Nach der Durchführung der Anhebesteuerung der
Greifeinrichtung 4, um die Greifeinrichtung 4 von
der oberen Position auf eine Position benachbart dem Gegenstandgestell 28 abzusenken,
betätigt die Schlittensteuereinrichtung den Greifmotor 27,
um das Paar von Greifelementen 4a in die Freigabeposition
umzustellen, wodurch der Behälter 5 von der Greifeinrichtung 4 an
das in der ausgefahrenen Position befindliche Gegenstandgestell 28 aus geliefert wird.
Dann veranlasst die Schlittensteuereinrichtung, nachdem eine Anhebesteuerung
der Greifeinrichtung 4 durchgeführt wurde, um
die Greifeinrichtung 4 auf die obere Position anzuheben,
die Schlittensteuereinrichtung die Verschiebungssteuervorrichtung
S, die Rückziehoperation auszuführen. Bei der
Rückziehoperation der Verschiebungssteuervorrichtung S wird
das Gegenstandgestell 28 von der ausgefahrenen Position
in die zurückgezogene Position verschoben.
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Der
Leitcomputer kann einen Holbefehl geben, der eines von der Mehrzahl
von Gegenstandgestellen 28 bezeichnet, und eine Operation
anweist, um einen Behälter 5 vom angegebenen Gegenstandgestell 28 zu
holen. Ein derartiger Fall wird nachfolgend beschrieben.
-
Die
Schlittensteuereinrichtung steuert eine Bewegung des Transportwagens 3,
wie im Fall des Einlagerungsbefehls, um den Transportwagen 3 an einem
Gegenstandtransferort entsprechend dem Gegenstandgestell 28 für
einen Transfer zu stoppen. Dann veranlasst die Schlittensteuereinrichtung
die Verschiebungssteuervorrichtung S, die Herausschieboperation
auszuführen, wodurch das Gegenstandgestell 28 aus
der zurückgezogenen Position in die ausgefahrene Position
verschoben wird. Nach Durchführen der Anhebesteuerung der
Greifeinrichtung 4, um die Greifeinrichtung 4 von
der oberen Position auf eine Position benachbart dem Gegenstandgestell 28 abzusenken,
betätigt die Schlittensteuereinrichtung den Greifmotor 27,
um das Paar von Greifelementen 4a in die Greifposition
umzustellen, wodurch der Behälter 5 vom Gegenstandgestell 28 aufgenommen
wird. Dann veranlasst, nach Durchführen der Anhebesteuerung
der Greifeinrichtung 4, um die Greifeinrichtung 4 auf
die obere Position anzuheben, die Schlittensteuereinrichtung die Verschiebungssteuervorrichtung
S, die Rückziehoperation auszuführen. Bei der
Rückziehoperation der Verschiebungssteuervorrichtung S
wird das Gegenstandgestell 28 aus der ausgefahrenen Position
in die zurückgezogene Position verschoben.
-
[Weitere Ausführungsformen]
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- (1) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform ist
die Verschiebungssteuervorrichtung S am Transportwagen 3 montiert.
Stattdessen kann die Verschiebungssteuervorrichtung für
das Gegenstandgestell 28 vorgesehen sein.
- (2) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform ist
die Eingreifrolle 54 am distalen Ende des Schwenkgelenkstücks 52 in
Gleiteingriff mit der Längsnut 55, die im dritten
Verbindungsrahmen 37c ausgebildet ist. Stattdessen kann
beispielsweise das distale Ende des Schwenkgelenkstücks 52 mit
dem dritten Verbindungsrahmen 37c schwenkbar verbunden
sein.
- (3) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform transferiert
jedes Gegenstandgestell 28 in der ausgefahrenen Position
einen Behälter 5 zur Greifeinrichtung 4 hin,
die sich in einer Position nahe der oberen Position befindet, und
von dieser weg. Die vertikale Position, um einen Behälter
zwischen dem Gegenstandgestell 28 in der ausgefahrenen
Position und der Greifeinrichtung 4 zu transferieren, ist
nicht auf eine Position nahe der oberen Position oder diese obere
Position eingeschränkt. Die Position kann um eine festgelegte Höhe
niedriger als die obere Position sein. In diesem Fall kann ein Behälter 5 zwischen
dem Gegenstandgestell 28 und der Greifeinrichtung 4 dadurch
transferiert werden, dass die Greifeinrichtung 4 um die
festgelegte Höhe von der oberen Position bei dem Zustand, bei
dem sich das Gegenstandgestell 28 in der ausgefahrenen
Position befindet, abgesenkt wird.
- (4) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform sind
eine Mehrzahl von Gegenstandgestellen 28 entlang der Führungsschiene 2 angeordnet.
Die Anzahl der Gegenstandgestelle 28 kann geeignet variiert
werden. Zwar sind die Gegenstandgestelle 28 auf beiden
Seiten der Führungsschiene 2 installiert, jedoch
können diese lediglich auf einer einzigen Seite der Führungsschiene 2 installiert sein.
- (5) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform weist
der Transportwagen 3 zwei Verschiebungssteuervorrichtungen
S auf, d. h. die Verschiebungssteuervorrichtung S, welche die Gegenstandgestelle 28 verschiebt,
die auf der rechten Seite in Bewegungsrichtung des Transportwagens 3 angeordnet
sind, und die Verschiebungssteuervorrichtung S, welche die Gegenstandgestelle 28 verschiebt,
die auf der linken Seite in Bewegungsrichtung des Transportwagens 3 angeordnet
sind. Beispielsweise kann der Transportwagen 3 lediglich
eine einzige Verschiebungssteuervorrichtung S aufweisen, wobei die
Eingreif- und Steuerrolle 58 beweglich ist, um nach rechts
und nach links aus dem Transportwagen 3 hervorzustehen.
- (6) Bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform sind
die von der Gegenstandtransportanlage transportierten Gegenstände
Behälter 5, welche Halbleitersubstrate aufnehmen.
Die transportierten Gegenstände können geeignet
variiert werden.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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