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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Probenbetriebseinrichtung,
bei welcher eine Probe (spezifizierte Stelle) auf einem Substrat
durch Abtasten einer Probenoberfläche betrieben wird, um dadurch
eine Oberflächenform
oder eine physikalische Eigenschaftsinformation von dem Substrat
oder von der Probe zu erlangen.
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Beschreibung zum Stand der
Technik
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Als
eine Einrichtung zur Durchführung
von einer Beobachtung von der Oberflächenform der Probe und einer
Messung von einer physikalischen Eigenschaftsinformation oder dergleichen,
durch ein Messen der Probe, wie beispielsweise ein elektronisches
Material und ein organisches Material, in einem kleinen Bereich,
ist ein Abtastsondenmikroskop, wie beispielsweise ein Rasterkraftmikroskop
(AFM) oder Abtasttunnelmikroskop, bekannt. Ferner, anhand der Tatsache,
dass dieses Abtastsondenmikroskop ebenfalls als ein dreidimensionaler
Positionierungsmechanismus genau ist, wurden verschiedene Vorschläge ebenso
als eine Arbeitseinrichtung von einem Mikroabschnitt gemacht.
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Als
eine Anwendung auf einen Betrieb (Manipulation) von der Probe, bei
welchem das Abtastsondenmikroskop verwendet wird, wurde eine ersonnen,
welche eine AFM-Pinzette genannt wird, bei welcher die Probe zwischen
zwei Sonden eingesetzt wird und die Probe ergriffen/freigegeben
wird.
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Als
diese AFM-Pinzette wurde in einem Ausleger, welcher in dem Abtastsondenmikroskop
oder dergleichen verwendet wird, ersonnen: 1) eine, bei welcher
zwei Kohlenstoff- Nanoröhren als
eine Spitze auf einer Siliziumspitze befestigt werden, 2) eine,
bei welcher eine Kohlenstoff-Nanoröhre an einer Glasröhre als
der Ausleger befestigt wird, zusätzlich
3) eine, bei welcher die zwei Ausleger aus einem Siliziumsubstrat
unter Verwendung von MEMS (mikro-elektromechanische Systeme) oder
dergleichen erstellt sind.
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In
der Pinzette von 1) oder 2) wird ein Öffnen/Schließen der
zwei Kohlenstoff-Nanoröhren durch
ein Anlegen von einer statischen Elektrizität zwischen zwei Kohlenstoff-Nanoröhren-Spitzen durchgeführt, und
bei der Pinzette von 3) ist eine bekannt, bei welcher ein elektrostatisches
Stellglied, wie beispielsweise Kammzähne, aufgebaut ist, um durch
die zwei Ausleger ergriffen zu werden, oder eine bekannt, bei welcher
ein elektrostatischer Strom an einen Stamm des Auslegers fließt und eine
lineare Ausdehnung von Silizium durch eine Wärmeerzeugung durch eine Erweiterung
in einem Antrieb verwendet wird. (Siehe beispielsweise Tetsuya
Takekawa, Hajime Hashiguchi, Ei'ichi
Tamiya, et al. "Development
in AFM tweezers for performing manipulation of nanomatter" Denki Gakkai Ronbunshi,
E. Trans. SM, Vol. 125, No. 11, 2005.)
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Im
Allgemeinen arbeitet die Pinzette in einem Gravitationsfeld, wobei
die Probe auf einem Substrat durch ihr eigenes Gewicht oder durch
eine weitere Anhaftungskraft fixiert wird, und in einem Fall, bei welchem
eine Greifkraft und eine Ziehkraft von der Pinzette das eigene Gewicht
und die Anhaftkraft übersteigen,
ist es möglich,
die Probe zu ergreifen. Ferner, ebenfalls als eine Trennung von
der Pinzette, wenn ein Ergreifen von der Pinzette freigegeben wird,
trennt sich die Probe durch ihr eigenes Gewicht von der Pinzette
und fällt
auf eine Substratfläche.
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Wenn
jedoch eine Mikro-Probe vorliegt, wobei eine Größe von der Probe beispielsweise
kleiner als etwa 30 μm
im Durchmesser ist, wird eine Wirkung durch das eigene Gewicht von
der Probe ungefähr
mit einer weiteren Anhaftkraft, welcher die Probe unterliegt, ausbalanciert,
und eine Bewegung, wie beispielsweise das Ergreifen und das Trennen
von der Probe, wird kompliziert.
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Da
die AFM-Pinzette einen Zweck zum Betreiben des Ergreifens und der
Trennung von der Probe hat, deren Durchmesser ziemlich kleiner als
30 μm ist,
folgt daraus, dass sie einem Einfluss von einer Kraft, welche sich
von der Gravitationskraft unterscheidet, stark unterliegt.
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Insbesondere
ist der Einfluss von einer elektrostatischen Kraft hoch, und in
der herkömmlichen AFM-Pinzette,
da die Probe durch die elektrostatische Kraft elektrifiziert wird,
welche zwischen der Probe und einer Sonde, wie beispielsweise Kohlenstoff-Nanoröhren-Spitzen,
wirkt, bewegt sich die Probe auf einem Substrat, so dass einen Nachteil
gibt, dass das Ergreifen nicht gut vorgenommen wird. Beispielsweise,
im Falle von der Probe, wie beispielsweise eine Glasperle (deren
Durchmesser mehrere Mikrometer beträgt) auf einem Glas-Substrat,
wird die Glasperle normalerweise elektrisiert, und, wenn sich die
Sonde annähert,
um die Glasperle durch die AFM-Pinzette zu ergreifen, wird die Glasperle
an die Sonde angezogen oder von der Sonde abgestoßen, und
zwar durch die statische Elektrizitätskraft zwischen der Sonde
und der Glasperle, und somit ändert sich
ihre Position stark, so dass der Betrieb, wie beispielsweise das
Ergreifen durch die AFM-Pinzette oder die Trennung, sehr schwierig
ist.
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UMRISS DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung wurde angesichts der Umstände wie diese gemacht, und
es ist eine Aufgabe, dass durch ein Steuern der statischen Elektrizitätskraft
zwischen der Sonde und dem Substrat oder der Probe, die Probe einer
Observation bei genauer Position ohne Streuung unterworfen werden kann,
und eine vorbestimmte Probe sicher ergriffen oder getrennt werden
kann.
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Um
das obige Problem zu lösen,
adaptiert die vorliegende Erfindung die folgenden Mittel.
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Bei
der vorliegenden Erfindung werden, um ein elektrisches Potenzial
von der Sonde und dem Substrat oder der Probe, usw., zu Puffern,
welches aufgrund von einer Elektrifizierung herrührt, welche aufgrund von der
elektrostatischen Kraft oder dergleichen resultiert, Oberflächen davon
durch dünne Wasserfilme
bedeckt, und die Probe, welche einem Ausstreuen unterliegt, wird
auf dem Substrat durch eine Oberflächenspannung des Wasserfilms
fixiert, wodurch das Ergreifen und die Trennung von der Probe in
der AFM-Pinzette
weiter sichergestellt werden.
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In
der Probenbetriebseinrichtung von der vorliegenden Erfindung können durch
die Tatsachen, dass das mit der Probe befestigte Substrat in seiner wasserbindenden
Eigenschaft höher
als eine Probenbetriebs-Pinzette erstellt ist, und dass die Wasserfilme
auf dem Substrat ausgebildet werden, welches mit der Probe und der
Probenbetriebs-Pinzette befes tigt ist, das Ergreifen und die Trennung
von der Probe sicher durch die Probenbetriebs-Pinzette vorgenommen werden, ohne dass
die Probe auf dem Substrat zerstreut wird.
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Im Übrigen können die
jeweils erwähnten Aufbauten
miteinander kombiniert werden, solange nicht vom Umfang der vorliegenden
Erfindung abgewichen wird.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
ein schematisches Aufbaudiagramm von einer Probenbetriebseinrichtung
von der vorliegenden Erfindung;
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2 ist
ein Blockdiagramm, welches einen vergrößerten schematischen Aufbau
in einer Probenbetriebs-Pinzette-Nähe von der Probenbetriebseinrichtung
von der vorliegenden Ausführungsform zeigt;
und
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3 ist
ein schematisches Aufbaudiagramm von einer Feuchtigkeitserzeugungsvorrichtung.
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GENAUE BESCHREIBUNG VON DER
ERFINDUNG
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Im
Folgenden wird eine erste Ausführungsform
von einer Probenbetriebseinrichtung durch die vorliegende Erfindung
unter Bezugnahme auf 1 und 2 erläutert.
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Ein
schematischer Aufbau der Probenbetriebseinrichtung von der vorliegenden
Erfindung ist in 1 gezeigt.
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An
einem Außenteil
von einem Gehäuse 21, wie
beispielsweise ein Handschuhfach, welches abgedichtet werden kann,
ist eine Feuchtigkeitssteuervorrichtung 22 zum Steuern
einer Feuchtigkeit innerhalb des Gehäuses 21 angebracht.
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Dort
sind eine elektrisch leitfähige
Beobachtungssonde 3, welche ihre Spitze 11 hat,
und eine Form von einer Probe S auf einem Substrat Sb beobachtet,
eine elektrisch leitfähige
Greifsonde 4, welche die Probe S zusammen mit der Beobachtungssonde 3 ergreift,
und eine piezoelektrische Körpersteuersektion 20,
welche an einen piezoelektrischen Körper 12 zum Vibrieren der Beobachtungssonde 3 und
Steuern des piezoelektrischen Körpers 12 fixiert ist,
bereitgestellt. Ferner ist das Substrat Sb auf einer Probenbasis 14 befestigt, und
die Probe S, welche ein zu betreibender Objektkörper wird, ist auf dem Substrat
Sb angeordnet.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
sind die Beobachtungssonde 3 und die Greifsonde 4,
welche eine Probenbetriebs-Pinzette 7 werden, derart eingestellt,
dass sich ihre Resonanzfrequenzen durch ein Ändern der Längen von den Sonden unterscheiden,
und zusätzlich
sind die Beobachtungssonde 3 und die Greifsonde 4 elektrisch
isoliert.
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Im Übrigen,
um die Resonanzfrequenzen variabel zu erstellen, können eine
Breite, eine Dicke oder dergleichen geändert werden.
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Es
besteht eine Probenbasis 14, welche die Probe S, welche
entgegengesetzt der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4 angeordnet
ist, befestigt, ein XY-Abtaster, als ein Abtastmittel, welches die
Beobachtungssonde 3 oder die Greifsonde 4 und
die Probenbasis 14 in einer XY-Richtung parallel zu einer
Probenfläche
in Relation bewegt, und ein Z-Abtaster
als ein zweites Abtastmittel, welches sie in eine Z-Richtung senkrecht
zu der Probenfläche
in Relation bewegt, und es sind ein XYZ-Abtaster 13, welcher
ein dreidimensionales Bewegungsmittel wird, bei welchem der XY-Abtaster
und der Z-Abtaster integriert sind, und eine XYZ-integrierte Abtaststeuerung 18,
welche ein Abtaststeuermittel wird, welches ein XY-Abtastsystem
und ein Z-Servosystem enthält,
welche zum Steuern des XYZ-Abtasters 13 dienen, enthalten.
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Im Übrigen,
in der vorliegenden Ausführungsform,
kann, um eine relative Bewegung in die dreidimensionalen Richtungen
von XYZ zu ermöglichen,
obwohl der XYZ-Abtaster verwendet wird, welcher ein piezoelektrisches
Element verwendet, welches in einer Probenbasis-Seite bereitgestellt
ist, dies in einer Sonden-Seite, oder, wenn vom XY-Abtaster getrennt,
im Z-Abtaster oder dergleichen bereitgestellt werden.
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Zusätzlich gibt
es ein Versatzmessmittel 17, welches eine Laserlichtquelle 16,
welche ein Laserlicht erzeugt, welche ein optisches Hebelsystem
genannt wird, und einen Photodetektor 15, wie beispielsweise
eine Photodiode, welche halbiert oder auf vier Teile unterteilt
ist, enthält,
und einen Versatz von der Beobachtungssonde 3 durch ein
Erfassen des Laserlichtes, welches durch eine Rückseite von der Beobachtungssonde 3 reflektiert
wird, erfasst.
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Im Übrigen,
ungleich des optischen Hebelsystems wie bei der vorliegenden Ausführungsform, kann
ein System verwendet werden, welches eine Selbsterfassungstyp-Sonde
genannt wird, welches einen piezoelektrischen Widerstand in der
Beobachtungssonde 3 enthält und einen Versatz von der
Beobachtungssonde als einen Versatz von diesem piezoelektrischen
Widerstand findet.
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Ferner
ist in 2 ein Blockdiagramm gezeigt, welches einen vergrößerten schematischen Aufbau
in einer Nähe
von der Beobachtungssonde 3 oder der Greifsonde 4 in
der Probenbetriebseinrichtung von der vorliegenden Erfindung zeigt.
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Spitzen
von der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4 von
der vorliegenden Ausführungsform
sind ein Stuck weit geöffnet,
während
sie um etwa 4 μm
getrennt sind, und die Spitzen von der Beobachtungssonde 3 und
der Greifsonde 4 haben eine elektrische Leitfähigkeit
und sind mit Erde geerdet.
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Es
wird ein Verfahren zum Schließen
der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4,
um die Probe zu ergreifen, erläutert.
Ein Wärmeteil 5,
welches ein thermisches Stellglied wird, ist in einem Gelenkteil
in einem Stamm von der Greifsonde 4 bereitgestellt, welches
Silizium (Si) enthält.
Da das Wärmeteil 5 eine
dünnere
Form als weitere Abschnitte hat, kann durch die Tatsache, dass das
Wärmeteil 5 erwärmt wird,
indem ihn ein elektrischer Strom zugeführt wird, durch eine lineare
Ausdehnung des Wärmeteils 5 die
Greifsonde 4 durch ein Rotieren in eine Beobachtungssonde 3 Seiterichtung
geschlossen werden. Ferner ist eine Wärmeelektroquelle 6 zum Steuern
einer durch Strom zugeführten
Erwärmung an
das Wärmeteil 5 verbunden.
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Zusätzlich ist
eine Steuervorrichtung 8 bereitgestellt, welche die piezoelektrische
Körpersteuersektion 20,
die Wärmeelektroquelle 6,
die XYZ-integrierte Abtaststeuerung 18, den Photodetektor 15 und
dergleichen steuert.
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Im
Folgenden werden Oberflächenbehandlungen
des Substrats Sb, der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4 erläutert.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
wird ein Siliziumoxid(SiO2)-Film durch ein
dünnes
Oxidieren einer Oberfläche
von einem Silizium(Si)-Substrat, dessen Ebenheit wie das Substrat
Sb gut ist, und dessen wasserbindende Art gut ist, ausgebildet.
In der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4 werden
die Spitzen von beiden Sonden, welche Silizi um (Si) enthalten, in
Fluorwasserstoffsäure
eingetaucht, um dadurch eine Wasserstoffabgeschlossene Oberfläche auszubilden,
um sie wasserabweisender als das Substrat Sb zu erstellen. Zusätzlich,
um eine Haltbarkeit von der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4 zu
erhöhen,
werden Oberflächen
von beiden Sonden durch eine Fluoroplastik wie beispielsweise Teflon
(Markenregistrierungsnummer 465605, oder dergleichen) beschichtet.
Durch diese Oberflächenbehandlungen
wird das Substrat Sb derart erstellt, dass dessen wasserbindende
Art höher als
jene von der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4 wird,
welche die Probenbetriebs-Pinzette 7 werden.
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In 3 ist
ein schematisches Aufbaudiagramm von einer Feuchtigkeitserzeugungsvorrichtung
gezeigt. Eine Trockengasquelle 25 zum Einfließen von
Trockenluft oder Trockenstickstoff ist an die Feuchtigkeitssteuervorrichtung 22 angebracht,
und es werden Dampfgenerator 24 und ein Mixer 23 eingeführt, welche
in der Feuchtigkeitssteuervorrichtung 22 enthalten sind.
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In
dem Dampfgenerator 24 wird destilliertes Wasser gelagert,
und die Trockenluft oder in der Trockenstickstoff wird zu der Luft
oder dem Stickstoffgas erstellt, welches den Dampf enthält, indem
es den Dampfgenerator 24 passiert und in den Mixer 23 eingeführt wird.
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In
dem Mixer 23 wird die Trockenluft oder der Trockenstickstoff
von der Trockengasquelle 25 mit der Luft oder dem Stickstoffgas,
dessen Feuchtigkeit hoch ist, von dem Dampfgenerator 24 gemischt,
und auf eine vorbestimmte Feuchtigkeit gesteuert, und kann danach
in das Gehäuse 21 eingeführt werden.
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Als
Nächstes
ist im Folgenden ein Verfahren zum Ergreifen oder Trennen von der
Probe auf dem Substrat in der Probenbetriebseinrichtung, bezogen auf
die vorliegende Ausführungsform,
gezeigt.
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Zunächst wird
das Substrat Sb, welches mit der Probe S befestigt ist, auf der
Probenbasis 14 in dem Gehäuse 21 installiert,
und um Wasserfilme auf Oberflächen
von der Probe S und dem Substrat Sb und zusätzlich auf Oberflächen von
der Beobachtungssonde 1 und der Greifsonde 4 auszubilden,
wird Wasserdampf von der Feuchtigkeitssteuervorrichtung 22 eingeführt, so
dass die Feuchtigkeit in dem Gehäuse 21 beispielsweise
70 % beträgt.
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Bei
einem Zustand, bei welchem die Wasserfilme ausgebildet sind, wird
eine Unversehrtheit für mehrere
Minuten hinterlassen.
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Durch
diese ausgebildeten Wasserfilme können Greifbetätigungen
von der Beobachtungssonde 3 und der Greifsonde 4 erleichtert
werden. Zunächst ist
es durch die Wasserfilme, welche die Probe S und das Substrat Sb
umhüllen,
möglich,
eine elektrische Ladung abzuschirmen, welche lokal in der Probe
S vorliegt, wodurch eine elektrische Potenzialdifferenz zwischen
einer Probenoberfläche
und einer Probenperipherie verringert wird. Zusätzlich, durch die Tatsache,
dass die Probenbasis 14 mit Erde geerdet ist, wird diese
elektrische Potenzialdifferenz extrem klein. Andererseits, bezogen
auf die Wasserfilme, welche auf den Oberflächen von der Beobachtungssonde 3 und
der Greifsonde 4 ausgebildet sind, erfahren die Beobachtungssonde 3 und
die Greifsonde 4 ungefähr
ein Erde-Elektropotenzial,
und eine Wirkung von der elektrostatischen Kraft zwischen der Probe
S und der Beobachtungssonde 3 oder der Greifsonde 4 wird
extrem schwach. Zusätzlich
tritt ein Wulstrand des Wassers zwischen der Probe S und dem Substrat
Sb auf, und, durch die Oberflächenspannung
von diesem Wulstrand, wirkt eine Kraft in eine Richtung, welche
die Probe zum Substrat anzieht, so dass es möglich ist, eine Zerstreuung
von der Probe auf dem Substrat zu reduzieren.
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Zum
Zwecke einer Überwachung
von einer Dicke von dem Wasserfilm wird eine Kraftdistanzkurve in
einem Kontaktmodus von dem Substrat gemessen, indem die Beobachtungssonde 3 von
der Probenbetriebs-Pinzette 7 verwendet wird, und es wird ein
Sprung aufgezeichnet (wenn die Feuchtigkeit hoch ist, wird dieser
Sprung stark), wenn sich die Beobachtungssonde von dem Substrat
trennt.
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Die
Probe auf dem Substrat wird durch die Beobachtungssonde beobachtet,
um dadurch eine Position von der zu ergreifenden Probe zu indizieren, und
eine Positionsausrichtung wird derart durchgeführt, dass die zu ergreifende
Probe zwischen der Beobachtungs- und Greifsonde platziert wird.
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Als
Nächstes
wird das Wärmeteil 5 von
der Greifsonde 4 durch die Wärmeelektroquelle 6 erwärmt, um
dadurch eine Temperatur von der Greifsonde 4 zu erhöhen, und
dadurch wird die Greifsonde versetzt, wodurch die Beobachtungssonde 3 und die
Greifsonde geschlossen werden. Dadurch wird die Probe S einbehalten.
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Zusätzlich,
unter einem Zustand, bei welchem die Probe S durch die Beobachtungssonde 3 und
die Greifsonde 4 einbehalten wird, wird in die Z-Richtung,
senkrecht zur Substrat-Sb-Oberfläche, unter
Verwendung des XYZ-Abtasters 13 bewegt, und die Beobachtungssonde 3 und
die Greifsonde 4 werden hinsichtlich der Substrat-Sb-Oberfläche in Relation
getrennt, bis hin zu einer Position, bei welcher die Probe S vom
Substrat Sb getrennt werden kann. Zusätzlich, während ihre Höhe beibehalten wird,
indem der XYZ-Abtaster 13 verwendet wird, werden die Beobachtungssonde 3 und
die Greifsonde 4 hinsichtlich der Substrat-Sb-Oberfläche in Relation
bewegt, bis hin zu einer vorbestimmten Position, in der XY-Richtung,
horizontal zu der Substrat-Sb-Oberfläche.
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Zusätzlich,
unter Verwendung des XYZ-Abtasters 13, werden die Beobachtungssonde 3 und
die Greifsonde 4 hinsichtlich der Substrat-Sb-Oberfläche in der
Z-Richtung senkrecht zur Substrat-Sb-Oberfläche in Relation angenähert, bis
hin zu einer Position, bei welcher die Probe S das Substrat Sb kontaktiert oder
sich ihm annähert.
Zu diesem Zeitpunkt wird durch die Tatsache, dass ein Versatz von
der Beobachtungssonde 3 gemessen wird, indem das Versatzmessmittel 17 verwendet
wird, eine Distanz zwischen der Beobachtungssonde 3 und
dem Substrat Sb erfasst, und eine Betätigung des XYZ-Abtasters 13 wird
in einer vorbestimmten Position beendet.
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Als
Nächstes,
wenn die Erwärmung
des Wärmeteils 5 beendet
wird und ein Abstand zwischen der Beobachtungssonde 3 und
der Greifsonde 4 geöffnet
wird, da die Beobachtungssonde 3 und die Greifsonde 3 wasserabweisender
als das Substrat Sb werden, ist die Probe S in ihrer Anhaftung mit
dem Substrat Sb stark, so dass die Probe S sich zur Substrat-Sb-Seite
bewegt, und somit wird die Probe S von der Beobachtungssonde 3 und
der Greifsonde 4 getrennt.
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Nach
der Proben-Trennung werden die Beobachtungssonde 3 und
die Greifsonde 4 unter Verwendung des XYZ-Abtasters 13 angehoben,
und die Trockenluft oder der Trockenstickstoff wird in das Gehäuse 21 von
der Feuchtigkeitssteuervorrichtung 22 eingeführt, wodurch
die Feuchtigkeit verringert wird.
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Dadurch
ist eine Folge von Betätigungen
von der Ergreifung, der Bewegung, der Trennung, und dergleichen,
von der Probe in der Probenbetriebseinrichtung, bezogen auf die
vorliegende Erfindung, beendet.
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Im Übrigen wird
in der vorliegenden Ausführungsform,
wenn die Probe S fortdauernd ergriffen wird, während das Wärmeteil 5 erwärmt wird,
kann eine Greifsondespitze-Temperatur
gesteuert werden, indem eine Spannung von etwa 1/4-1/2 von einer Spannung
von der Wärmeelektroquelle
kontinuierlich oder impulsförmig
angelegt wird, wodurch der Abstand zwischen der Beobachtungssonde 3 und
der Greifsonde vollständig
geschlossen wird.
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Im Übrigen kann
die Temperatur des Substrats oder der Probe gesteuert werden, indem
ein Probenbasis-Temperatursteuermechanismus bereitgestellt wird,
welcher dazu in der Lage ist, die Probenbasis 14 zu erwärmen oder
zu kühlen.
In diesem Fall wird die Erwärmung
der Probenbasis ermöglicht, wenn
ein Erwärmer
für die
Probenbasis in die Probenbasis 14 eingegraben wird, und
wird die Kühlung ermöglicht,
wenn ein Pertier-Element
in einem unteren Teil von der Probenbasis 14 installiert
wird.
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Durch
diesen Wärme-
oder Kühlmechanismus
für die
Probenbasis wird es möglich,
den Wasserfilm zu verdünnen,
indem Temperaturen von der Sonde und der Probe erhöht werden,
oder den Wasserfilm zu verdicken, indem Temperaturen von der Sonde
und der Probe verringert werden, so dass sich ein Vorteil einstellt,
dass es einfach wird, einen vorbestimmten Wasserfilm auszubilden.