DE102006025866A1 - Bondkeil - Google Patents

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Manfred Reinold
Thomas Kaden
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Robert Bosch GmbH
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Bondkeil (1) für eine Ultraschall-Bändchenbondvorrichtung mit einer dem zu bondenden Bondbändchen (2) zugewandten Bondseite (3), wobei auf der Bondseite (3) mindestens zwei in Längsrichtung (L) oder mindestens zwei in Querrichtung (Q) des Bondbändchens (2) benachbarte, sich in Richtung Bondbändchen (2) verjüngende Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) vorgesehen sind. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass zwischen den in Längsrichtung (L) beabstandeten Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) ein erster ebener Flächenabschnitt (12, 13, 14, 15, 20, 21, 22) vorgesehen ist und/oder dass zwischen den in Querrichtung (Q) beabstandeten Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) ein zweiter ebener Flächenabschnitt (12, 13, 14, 15, 20, 21, 22) vorgesehen ist.

Description

  • Stand der Technik
  • Die Anmeldung betrifft einen Bondkeil gemäß dem Oberbegriff der Ansprüche 1 und/oder 2, eine mit einem derartigen Bondkeil ausgerüstete Bändchenbondvorrichtung gemäß Anspruch 12 sowie eine damit hergestellte Bondverbindung gemäß Anspruch 13.
  • In heutigen, bekannten Ultraschall-Bändchenvorrichtungen werden Bondkeile eingesetzt, mit denen das zu bondende Bändchen auf ein Substrat gedrückt wird. Der Bondkeil schwingt mit einer Frequenz von etwa 60 kHz in Längsrichtung des Bändchens, wodurch sich Bändchen und Substrat erhitzen und miteinander verschweißt werden. Damit sich bei dem Ultraschweißvorgang das zu schweißende Bondbändchen nicht relativ zu dem Bondkeil bewegen kann, ist es bekannt, die Bondseite des Bondkeils, also die dem Bondbändchen zugewandte, dieses kontaktierende Unterseite des Bondkeils, mit einer Profilierung zu versehen. Bekannt sind so genannte Waffelmuster mit unmittelbar aneinander grenzenden, pyramidenförmigen Erhebungen. Der Bondkeil wird mit diesen Erhebungen auf das Bondbändchen gedrückt, wodurch sich die unmittelbar nebeneinander angeordneten Erhebungen in das Bändchen hinein in Richtung Substrat bohren. Dabei wird das Bondbändchen in Längs- sowie in Querrichtung stark verformt, was sich negativ auf die Kontaktbildung und damit auf das Bondverhalten auswirkt. Die Lebensdauer einer mit einem derartigen Bondkeil hergestellten Bondverbindung ist begrenzt.
  • Ferner ist es bekannt, die Bondseite des Bondkeils mit einem so genannten Quergroove-Muster zu versehen. Dabei weist die Bondseite des Bondkeils keine sich in Richtung Bondbändchen verjüngenden Erhebungen auf. Vielmehr sind in Längsrichtung des Bondbändchens beabstandete und sich in Querrichtung des Bondbändchens erstreckende, sich in Richtung vom Bondbändchen weg, in den Bondkeil hinein verjüngende Vertiefungen vorgesehen. Zwischen den sich in Längsrichtung beabstandeten Vertiefungen befinden sich ebene Flächen. Wird ein derartiger Bondkeil auf das Bondbändchen aufgedrückt, so bohren sich die ebenen Flächen in das Bondbändchen hinein und verdrängen damit verhältnismäßig viel Bändchenmaterial, welches nur teilweise in den Vertiefungen des Bondkeils Platz findet. Das Bondbändchen wird durch die verhältnismäßig großen, ebenen in das Bondbändchen eintauchenden Flächen äußerst stark plastisch verformt, was sich negativ auf die Kontaktbildung, das Bondverhalten und die Lebensdauerfestigkeit erweist.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Technische Aufgabe
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verbesserten Bondkeil für eine Ultraschall-Bändchenbondvorrichtung vorzuschlagen, mit dem einerseits eine feste Verbindung zwischen dem Bondkeil und dem zu bondenden Bändchen während des Bondprozesses gewährleistet ist und mit dem das Bondbändchen so wenig wie möglich plastisch verformt wird.
  • Technische Lösungs
  • Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche 1 und 2 gelöst.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, auf der dem zu bondenden Bändchen zugewandten Bondseite des Bondkeils mehrere sich in Richtung von dem Bondkeil weg verjüngende, bevorzugt keilförmige, Erhebungen vorzusehen, mit denen sich der Bondkeil in das zu bondende Bändchen hineinbohrt, wodurch beim Bondprozess eine formschlüssige Verbindung zwischen Bondkeil und Bondbändchen besteht und somit eine Relativbewegung zwischen Bondkeil und Bondbändchen vermieden oder zumindest verringert bzw. verzögert wird. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass zwischen zwei in Querrichtung des Bändchens benachbarten und/oder zwischen zwei in Längsrichtung des Bändchens benachbarten Erhebungen ein ebener Flächenabschnitt vorgesehen ist. Bevorzugt beträgt der Abstand zwischen zwei benachbarten Erhebungen mindestens der Erstreckung einer Erhebung in Längs- und/oder in Querrichtung. Die ebenen Flächen werden nicht in das Bondbändchden hineingedrückt, sondern liegen auf der Oberseite des Bondbändchens auf. Die formschlüssige Verbindung wird ausschließlich durch die sich in Richtung Bondbändchen verjüngenden Erhebungen hergestellt. Der erfindungsgemäße Bondkeil hat mehrere Vorteile. Ein wesentlicher Vorteil besteht darin, dass das Bondbändchen nur minimal plastisch verformt wird, da sich nur die Erhebungen in das Bondbändchen hineindrücken und die ebenen Flächenabschnitte zwischen zwei benachbarten Erhebungen Anlageflächen für die Bondbändchenoberseite bilden. Eine mit einem derartigen Bondkeil hergestellte Bondverbindung weist eine hohe Lebensdauerfestigkeit auf. Weiterhin wird das Bondverhalten des Bondbändchens aufgrund der Verwendung des erfindungsgemäßen Bondkeils verbessert. Mit Vorteil werden die sich verjüngenden Erhebungen durch Erodieren hergestellt, wodurch die Erhebungen eine abgerundete „Spitze" aufweisen. Hierdurch lässt sich der Bondkeil nach der Bondung leichter von dem Bondbändchen entfernen. Materialanhaftungen und damit ein zumindest teilweises Lösen der Bondverbindung beim Abhebelprozess wird somit mit Vorteil vermieden.
  • In Ausgestaltung der Erfindung ist mit Vorteil vorgesehen, dass die Erhebungen in Längsrichtung oder in Querrichtung durchgehend, das heißt nicht unterbrochen ausgebildet sind. Bei in Längsrichtung durchgehenden Bändchen ist der ebene Flächenabschnitt in Querrichtung zwischen zwei benachbarten Erhebungen vorgesehen. Entsprechend ist der ebene Flächenabschnitt bei in Querrichtung nicht unterbrochenen Erhebungen in Längsrichtung zwischen zwei benachbarten Erhebungen angeordnet. Bevorzugt verlaufen die Erhebungen in Querrichtung des Bändchens, da bei heutigen Ultraschall-Bändchenvorrichtungen der Bondkeil in der Regel in Längsrichtung des Bondbändchens schwingt.
  • Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind die Erhebungen pyramidenartig, bevorzugt mit einer abgerundeten „Spitze" und vier sich verjüngenden Seitenwänden ausgebildet. Es ist denkbar, sowohl zwischen zwei in Querrichtung, als auch zwischen zwei in Längsrichtung beabstandeten Erhebungen jeweils einen ebenen Flächenabschnitt vorzusehen. Alternativ können die Pyramiden in Längsrichtung unmittelbar aneinander grenzen, wobei zwischen in Querrichtung benachbarten Erhebungen ein ebener Flächenabschnitt vorgesehen ist. Ebenso ist es denkbar, dass die Erhebungen in Querrichtung unmittelbar benachbart, das heißt ohne dazwischen liegenden ebenen Flächenabschnitt angeordnet sind. In diesem Fall befindet sich ein ebener Flächenabschnitt zwischen zwei in Längsrichtung benachbarten Erhebungen.
  • Ebenso ist es denkbar, die Erhebungen dachförmig auszubilden. Diese Ausgestaltung eignet sich insbesondere für in Längsrichtung oder in Querrichtung durchgehende Erhebungen. Bevorzugt ist der First der dachförmigen Erhebungen jedoch in Querrichtung des Bändchens ausgerichtet. Der im Wesentlichen dreieckförmige Giebel der dachförmigen Erhebungen kann entweder näherungsweise senkrecht zum Bändchen bzw. zu den ebenen Flächenabschnitten oder winklig hierzu ausgerichtet sein. Bevorzugt ist der First der dachförmigen Erhebungen nicht spitz zulaufend, sondern abgerundet ausgebildet.
  • Es empfiehlt sich, auch den Übergang zwischen mindestens einer ebenen Fläche und mindestens einer Erhebung, vorzugsweise zwischen sämtlichen ebenen Flächen und sämtlichen Erhebungen, abgerundet auszubilden. Hierdurch wird das Ablösen des Bondkeils erleichtert. Materialanhaftungen werden bevorzugt vermieden. Die Radien können je nach Dicke und Material des zu bondenden Bondbändchens unterschiedlich gewählt werden.
  • In Ausgestaltung der Erfindung ist mit Vorteil vorgesehen, dass der Bondkeil je nach Schwingungsrichtung in Längsrichtung und/oder in Querrichtung seitlich nicht mit einer Erhebung abschließt, sondern dass außerhalb der in Längsrichtung und/oder Querrichtung äußeren Erhebungen ein gekrümmter Flächenabschnitt anschließt. Der Bondkeil erhält hierdurch eine leicht gebogene Grundform, die das Aufsetzen und Abheben des Bondkeils erleichtert und insbesondere eine unnötige plastische Verformung des Bondbändchens verhindert. Die gekrümmten Außenflächen sind dabei selbstverständlich in vom Bondbändchen wegweisende Richtung gerundet und gehen in die Seitenwände des Bondkeils über.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass mindestens drei in Längsrichtung und/oder in Querrichtung des Bondbändchens beabstandete Erhebungen vorgesehen sind und dass das mittlere oder die mittleren Erhebungen höher ausgebildet sind als die äußeren Erhebungen, sich also tiefer in das Bondbändchen eingraben als die äußeren Erhebungen. Bevorzugt erhält der Bondkeil hierdurch eine gerundete Hüllkontur. Es ist denkbar, die Höhen der Erhebungen abgestuft auszubilden.
  • Ferner betrifft die Erfindung eine mit einem zuvor beschriebenen Bondkeil ausgestattete Ultraschall-Bändchenvorrichtung zur Herstellung einer Bondverbindung zwischen zwei Kontaktflächen mit einem Bondbändchen.
  • Weiterhin betrifft die Erfindung eine mit einem derartigen Bondkeil bzw. einer derartigen Ultraschall-Bändchenvorrichtung hergestellte Bondverbindung. Diese zeichnet sich durch sich verjüngende Vertiefungen aus, wobei zwischen zwei in Längsrichtung und/oder Querrichtung des Bondbändchens benachbarten Vertiefungen ein ebener Flächenabschnitt vorgesehen ist. Eine derartige Bondverbindung weist eine äußerst hohe Lebensdauerfestigkeit auf.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Weitere Vorteile und zweckmäßige Ausführungen sind den weiteren Ansprüchen, der Figurenbeschreibung und den Zeichnungen zu entnehmen. Es zeigen:
  • 1 eine schematische Seitenansicht eines Bondkeils, welcher oberhalb eines auf einem Substrat aufliegenden Bondbändchens mit rechteckigem Querschnitt angeordnet ist,
  • 2 eine schematische Darstellung der Bondseite eines Bondkeils von unten mit zwei in Längsrichtung beabstandeten, in Querrichtung durchgehenden Erhebungen,
  • 3 eine schematische Darstellung der Bondseite eines alternativen Bondkeils von unten mit mehreren in Querrichtung sowie in Längsrichtung beabstandeten dachförmigen Erhebungen mit in Querrichtung verlaufenden Dachfirsten,
  • 4 eine schematische Darstellung der Bondseite eines Bondkeils von unten mit mehreren in Längsrichtung sowie in Querrichtung beabstandeten, pyramidenförmigen Erhebungen,
  • 5 eine schematische Darstellung der Bondseite eines Bondkeils von unten mit mehreren in Längsrichtung beabstandeten pyramidenförmigen Erhebungen, wobei zwischen in Querrichtung benachbarten Erhebungen kein ebener Flächenabschnitt vorgesehen ist, und
  • 6 eine schematische Darstellung der Bondseite eines Bondkeils von unten mit mehreren in Querrichtung beabstandeten Erhebungen, wobei zwischen zwei in Längsrichtung benachbarten Erhebungen kein ebener Flächenabschnitt vorgesehen ist, und
  • 7 eine Bondverbindung mit einem gebondeten Bondbändchen in Draufsicht mit in Querrichtung verlaufenden Vertiefungen, wobei zwischen in Längsrichtung beabstandeten Vertiefungen ebene Flächenabschnitte vorgesehen sind, die gegenüber den Vertiefungen erhöht sind.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • In den Figuren sind gleiche Bauteile und Bauteile mit gleicher Funktion mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.
  • In 1 ist ein Bondkeil 1 dargestellt. Der Bondkeil 1 kann in einer dem Fachmann bekannten und hier nicht näher erläuterten Ultraschall-Bändchenbondeinrichtung eingesetzt werden. Der Bondkeil 1 weist eine einen metallischen, zu bondenden Bondbändchen 2 zugewandte Bondseite 3 bzw. Unterseite auf. Als Bondbändchen 2 können übliche Bondbändchen mit rechteckiger Querschnittsfläche 4 eingesetzt werden. In der rechten Zeichnungshälfte der 1 ist ein derartiges Bondbändchen 2 im Querschnitt dargestellt. Das Bondbändchen 2 liegt auf einem Substrat 5 auf, mit dem es mithilfe des Bondkeils 1, welcher in Längsrichtung L des Bondbändchens 2 schwingen kann, ultraverschweißt wird.
  • Ungefähr rechtwinklig zu der Bondseite 3 verlaufen insbesondere vier Seitenflächen 6 des Bondkeils. Auf der Bondseite 3 des Bondkeils 1 befinden sich in dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel fünf in Längsrichtung L beabstandete Erhebungen 7 bis 11. Die Erhebungen verjüngen sich in Richtung Bondbändchen 2 und sind dachförmig ausgebildet, wobei der Dachfirst, also die in der Zeichnungsebene untere Kante der Erhebungen 7 bis 11 in Querrichtung des Bändchens verläuft. Der Dachfirst ist mit einem Radius RF gerundet, wobei die Radien der einzelnen Erhebungen unterschiedlich oder gleich gewählt werden können. In Längsrichtung zwischen zwei benachbarten Erhebungen 7, 8; 8, 9; 9, 10; 10, 11 sind ebene Flächenabschnitte 12, 13, 14, 15 angeordnet, die parallel zu dem Bondbändchen 2 verlaufen. Die Erstreckung der ebenen Flächenabschnitte 12, 13, 14, 15 in Längsrichtung L ist in diesem Ausführungsbeispiel größer als die Erstreckung der Grundfläche der Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11 in Längsrichtung L. Die ebenen Flächenabschnitte, 12, 13, 14, 15 verlaufen parallel zueinander und erstrecken sich durchgehend in Querrichtung des Bondbändchens 2.
  • In Längsrichtung außerhalb der äußeren Erhebungen 7, 11 schließt jeweils eine gekrümmte Außenfläche 16, 17 an. Die Krümmungsradien Ra1 und Ra2 der beiden voneinander beabstandeten Außenflächen 16, 17 können unterschiedlich gewählt werden. Über die Außenflächen 16, 17 geht die Bondseite 3 in die Seitenflächen 6 über. Der Übergang der äußeren Erhebungen 7, 11 zu den Außenflächen 16, 17 ist jeweils mit einem Radius Ra3 bzw. Ra 4 gekrümmt. Durch die nicht spitze Ausbildung werden Materialanhaftungen vermieden. Auch die Übergänge zwischen den Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11 und den jeweiligen angrenzenden ebenen Flächen 12, 13, 14, 15 sind mit einem Radius R gerundet auszubilden, wodurch ebenfalls Materialanhaftungen vermieden werden. In 1 ist beispielhaft nur ein Radius R gekennzeichnett. Die Radien der einzelnen Übergänge können gleich oder unterschiedlich gewählt werden.
  • Es ist zu erkennen, dass die mittlere Erhebung 9 mit einer Höhe hm2 am höchsten ausgebildet ist. Eine etwas geringere Höhe hm1 weisen die benachbart hierzu angeordneten Erhebungen 8, 10 auf. Die beiden äußeren Erhebungen 7, 11 weisen die geringste Höhe ha auf. Bevorzugt entspricht die Höhe ha, hm1, hm2 der Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11 in etwa der doppelten Längserstreckung der entsprechenden Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11. Die Längserstreckung der einzelnen Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11 ist aus Übersichtlichkeitsgründen nicht gekennzeichnet. Unter Längserstreckung ist der Abstand zwischen zwei Übergängen einer Erhebung zu den in Längsrichtung beabstandeten ebenen Flächenabschnitten 12, 13, 14, 15 und/oder den Außenflächen 16, 17 gemeint.
  • Wird der Bondkeil 1 in Richtung Bondbändchen 2 bewegt, so drücken sich die Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11 in das Bondbändchen 2 hinein. Die ebenen Flächenabschnitte 12, 13, 14, 15 liegen auf der Oberseite 18 des Bondbändchens auf und verformen dieses im Optimalfall nicht, maximal nur geringfügig. Die Bewegung des Bondkeils 1 muss so abgestimmt werden, dass im Wesentlichen nur die Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11 in das Bondbändchen 2 in senkrechter Richtung gedrückt werden.
  • In 2 ist eine mögliche Ausführungsform der Bondseite 3 eines Bondkeils 1 in einer Ansicht von unten dargestellt. Es sind zwei aus der Zeichnungsebene herausragende Erhebungen 7, 11 vorgesehen. Diese sind als gerundetes Bogendach ausgebildet mit einem in Querrichtung Q verlaufenden Dachfirst 7F , 11F . Die Erhebungen 7, 11 sind in Längsrichtung L des Bondkeils 1 bzw. des Bondbändchens beabstandet angeordnet mit einer dazwischen liegenden ebenen Fläche 12, die als Auflagefläche für die Oberseite 18 des Bondbändchens 2 aus 1 dient. Unter durchgehend verlaufenden Erhebungen werden nicht notwendigerweise von einem Ende des Bondkeils bis zum gegenüberliegenden Ende verlaufende Erhebungen verstanden. Es ist auch denkbar, dass die Erhebungen nicht von einem bis zum anderen Ende reichen, etwa im mittigen Bereich angeordnet sind. Wesentlich ist, dass sie keine Unterbrechungen in die entsprechende Erstreckungsrichtung aufweisen.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 sind beispielhaft insgesamt sechs Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11 und 19 vorgesehen. Sowohl zwischen zwei in Längsrichtung als auch zwischen zwei in Querrichtung beabstandeten, sich in Richtung Bondbändchen verjüngenden Erhebungen sind ebene Flächenabschnitte 12, 13, 14, 15, 20, 21, 22 vorgesehen. Die Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11, 19 sind dachförmig mit in Querrichtung verlaufenden Dachfirsten ausgebildet. Dabei sind die Dachfirste in Längsrichtung L gerundet ausgebildet. Zusätzlich zu den in Längsrichtung beabstandeten Außenflächen 16, 17 sind in Querrichtung beabstandete Außenflächen 23, 24 vorgesehen, die bevorzugt wie die Außenflächen 16, 17 gekrümmt ausgebildet sind.
  • Das Ausführungsbeispiel gemäß 4 entspricht im Wesentlichen dem Ausführungsbeispiel gemäß 3. Im Unterschied zu 3 sind die Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11, 19 in 4 pyramidenartig mit vier „spitz" zulaufenden Seitenflächen ausgebildet. Die „Pyramidenspitzen" sind jedoch abgerundet. Anstelle einer Pyramidenform ist auch eine abgerundete Kegelform denkbar.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 5 sind zwei Reihen von jeweils vier pyramidenförmigen Erhebungen 7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26 vorgesehen. Die beiden Reihen sind in Längsrichtung mit einem dazwischen liegenden ebenen Flächenabschnitt 12 ausgebildet. Die in einer in Querrichtung verlaufenden Reihe angeordneten Erhebungen 7, 8, 9, 10; 11, 19, 25, 26 sind unmittelbar benachbart zueinander ohne dazwischen liegende ebene Flächenabschnitte angeordnet.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 6 sind drei verlaufende, jeweils zwei pyramidenartige Erhebungen 7, 8; 9, 10; 11, 19 umfassende Erhebungen vorgesehen. Zwischen jeweils zwei in Querrichtung Q beabstandeter Reihen von Erhebungen 7, 8,; 9, 10; 11, 19 sind ebene Flächen 12, 13 vorgesehen, die als Auflagefläche für ein Bondbändchen dienen.
  • In 7 ist eine Bondverbindung mit einem gebondeten Bondbändchen 2 in einer Draufsicht schematisch dargestellt. Zu erkennen sind drei in Längsrichtung L beabstandete und in Querrichtung Q durchgehend verlaufende Vertiefungen 27, 28, 29. Das gezeigte Bondbändchen 2 wurde mit einem Bondkeil mit 3 in Querrichtung verlaufenden und in Längsrichtung beabstandeten Erhebungen hergestellt. Zwischen zwei benachbarten, sich in das Bondbändchen 2 hinein verjüngenden Vertiefungen 27, 28, 29 sind ebene Flächenabschnitte 30, 31 vorgesehen, auf denen beim Bondprozess ensprechende ebene Flächenabschnitte der Bondseite 3 des Bondkeils 1 zur Anlage gekommen sind. Die Vertiefungen 27, 28, 29 verlaufen nicht spitz zu, sondern sind gerundet ausgebildet.

Claims (14)

  1. Bondkeil, insbesondere für eine Ultralschall-Bändchenbondvorrichtung, mit einer dem zu bondenden Bondbändchen (2) zugewandten Bondseite (3), wobei auf der Bondseite (3) in Längsrichtung (L) des Bondbändchens (2) benachbarte, sich in Richtung Bondbändchen (2) verjüngende Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den in Längsrichtung (L) beabstandeten Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) ein erster ebener Flächenabschnitt (12, 13, 14, 15, 20, 21, 22) vorgesehen.
  2. Bondkeil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) durchgehend in Querrichtung (Q) verlaufen.
  3. Bondkeil, insbesondere für eine Ultraschall-Bändchenbondvorrichtung, insbesondere nach Anspruch 1, mit einer dem zu bondenden Bondbändchen (2) zugewandten Bondseite, (3) wobei auf der Bondseite in Querrichtung (Q) des Bondbändchens (2) benachbarte, sich in Richtung Bondbändchen (2) verjüngende Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den in Querrichtung (Q) beabstandeten Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) ein zweiter ebener Flächenabschnitt (12, 13, 14, 15, 20, 21, 22) vorgesehen ist.
  4. Bondkeil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) durchgehend in Längsrichtung (L) verlaufen.
  5. Bondkeil nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) pyramidenförmig ausgebildet sind.
  6. Bondkeil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) dachförmig, insbesondere mit einem in Querrichtung (Q) des Bondbändchen verlaufenden First (7F , 11F ), ausgebildet sind.
  7. Bondkeil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Dachfirst (7F , 11F ) mit einem Radius (RF) abgerundet ist.
  8. Bondkeil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Übergang von dem ersten ebenen Flächenabschnitt (12, 13, 14, 15, 20, 21, 22) und/oder dem zweiten ebenen Flächenabschnitt (12, 13, 14, 15, 20, 21, 22) zu den Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) mit einem Radius (R) gerundet ist.
  9. Bondkeil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass außerhalb der in Längsrichtung (L) und/oder in Querrichtung (Q) äußeren Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) jeweils eine in Längsrichtung (L) des Bondbändchens (2) gekrümmte Außenfläche (16, 17, 23, 24) anschließt.
  10. Bondkeil nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Übergang der in Längsrichtung (L) und/oder in Querrichtung (Q) äußeren Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) zu den benachbarten Außenflächen (16, 17, 23, 24) mit einem Radius (Ra1, Ra 2) gerundet ist.
  11. Bondkeil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens drei in Längsrichtung (L) und/oder in Querrichtung (Q) des Bondbändchens (2) beabstandete Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) vorgesehen sind, und dass die Höhe (hm1, hm2) der in Längsrichtung (L) bzw. in Querrichtung (Q) mittleren Erhebung (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26) größer ist als die Höhe (ha) der in Längsrichtung (L) bzw. Querrichtung (Q) äußeren Erhebungen (7, 8, 9, 10, 11, 19, 25, 26).
  12. Ultraschall-Bändchenbondvorrichtung mit einem Bondkeil nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
  13. Bondverbindung zwischen zwei Kontaktflächen mit einer Bondbändchen, dass mit einem Bondkeil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11 oder mit einer Ultraschall-Bändchenbondvorrichtung gemäß Anspruch 12 gebondet ist.
  14. Bondverbindung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Bondbänchen (2) in Längsrichtung (L) und/oder Querrichtung (Q) benachbarte, sich verjüngende Vertiefungen (27, 28, 29) aufweist, und dass zwischen den in Längsrichtung (L) und/oder zwischen den in Querrichtung (Q) benachbarten Vertiefungen ein ebener Flächenabschnitt (12, 13, 14, 15, 20, 21, 22) vorgesehen ist.
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DE102011088431B4 (de) 2011-12-13 2022-04-14 Robert Bosch Gmbh Bondverbindung, Verfahren zum Herstellen einer Bondverbindung und Bondwerkzeug

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