DE102005036808B4 - Druckmittelbetätigte Dockingvorrichtung - Google Patents

Druckmittelbetätigte Dockingvorrichtung Download PDF

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Abstract

Dockingvorrichtung zum Kuppeln einer aus einem Handler oder Prober bestehenden ersten Vorrichtung mit einer aus einem Testkopf (2) für elektronische Bauelemente bestehenden zweiten Vorrichtung, mit einer an einer der Vorrichtungen befestigbaren Dockingplatte (3), an der mindestens eine Verriegelungseinheit (4) vorgesehen ist, und mindestens einem an der anderen Vorrichtung angeordneten Verriegelungsstift (7), der in seiner Axialrichtung mit der zugeordneten Verriegelungseinheit (4) in Verriegelungseingriff bringbar ist, wobei die Verriegelungseinheit (4) umfasst:
– eine Einführöffnung zum axialen Einführen des Verriegelungsstifts (7),
– eine Mehrzahl von im Bereich der Einführöffnung angeordneten Kugeln (14), zwischen denen der Verriegelungsstift (7) einführbar ist,
– eine in Axialrichtung verschiebbare Kugelklemmhülse (21), welche in einer ersten Stellung eine Radialposition der Kugeln (14) außerhalb des Einführbereichs des Verriegelungsstifts (7) ermöglicht, in welcher der Verriegelungsstift (7) zwischen die Kugeln (14) einführbar ist, und in einer zweiten Stellung die Kugeln (14) in einer Verriegelungsposition verriegelt, in der die Kugeln...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Dockingvorrichtung zum Kuppeln einer aus einem Handler oder Prober bestehenden ersten Vorrichtung und einer aus einem Testkopf für elektronische Bauelemente bestehenden zweiten Vorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
  • Zum Testen elektronischer Bauelemente wie beispielsweise integrierter Schaltungen (IC) wird bekannterweise eine Testvorrichtung mit einem Testkopf verwendet, der mit einem Handhabungsgerät für die elektronischen Bauelemente, beispielsweise einem Handler oder Prober, verbunden werden muss. Um das Andocken des bis zu 1000 kg schweren Testkopfs an das Handhabungsgerät auf möglichst einfache, leichte und präzise Weise zu ermöglichen, sind spezielle Dockingvorrichtungen, d.h. Kupplungsvorrichtungen entwickelt worden, die einerseits am Handhabungsgerät und andererseits am Testkopf befestigt werden. Nachteilig bei derartigen bekannten Dockingvorrichtungen ist jedoch, dass sie das Andocken des Testkopfs nicht immer auf die gewünschte einfache, leichte und präzise Weise ermöglichen und darüber hinaus häufig teuer oder kompliziert aufgebaut sind.
  • Aus der DE 102 16 003 A1 ist eine Dockingvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 bekannt, welche die oben erwähnten Nachteile mittels einer Kugelklemmhülse vermeidet, die drehfest, aber in ihrer Axialrichtung verschiebbar innerhalb der Verriegelungseinheit angeordnet ist und mittels einer die Kugelklemmhülse umgebenden Gewindehülse spindelartig in Axialrichtung bewegt werden kann. Das Drehen der Gewindehülse erfolgt über eine Seilzugvorrichtung. Obwohl diese bekannte Dockingvorrichtung gegenüber anderen bekannten Vorrichtungen bereits deutliche Vorzüge hat, ist sie dennoch hinsichtlich ihrer Handhabung verbesserungsfähig.
  • Aus der DE 198 29 955 A1 ist eine Kupplungsvorrichtung für einen Bearbeitungskopf einer Werkzeugmaschine bekannt, um ein zu bearbeitendes Werkstück in eindeutig definierter Position am Bearbeitungskopf zu befestigen. Hierzu ist dort ein axial bewegbarer Ringkolben vorgesehen, der mittels Federn in einer Richtung vorgespannt und mittels Druckluft in axialer Richtung bewegbar ist. Weiterhin sind am Ringkolben Schrägflächen vorgesehen, die mit einem Kugelgesperre zusammenwirken. Das Kugelgesperre sitzt axial unverschiebbar innerhalb der Kupplungsvorrichtung und weist Kugeln auf, die mittels der Schrägflächen des Ringkolbens radial nach innen gedrückt werden können, um einen Zuganker mittels des Kugelgesperres axial festzulegen.
  • Aus der DE 691 25 163 T2 ist eine Kupplungsvorrichtung für einen Roboterarm ersichtlich, mit der zwei miteinander zu verbindende Teile mittels eines Kugelgesperres spaltlos miteinander verbunden werden sollen. Das Kugelgesperre weist Kugeln auf, die durch Axialbewegung eines pneumatisch betätigten Kolbens soweit radial nach außen gedrückt werden können, bis die Berührungsflächen der miteinander zu koppelnden Teile dicht aneinander liegen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Dockingvorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die ein besonderes einfaches, leichtes und präzises Kuppeln des Handhabungsgerätes mit dem Testkopf ermöglicht.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Dockingvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung ist im Anspruch 2 beschrieben.
  • Bei der erfindungsgemäßen Dockingvorrichtung ist die Kugelklemmhülse von einer gegenüber dem Einführbereich des Verriegelungsstifts druckdicht abgeschlossenen, ringförmigen Druckkammer umgeben und mittels eines Ringkolbens in axialer Richtung bewegbar, der mittels eines in die Druckkammer eingeleiteten Druckmittels betätigbar ist. Weiterhin greifen am Ringkolben Federn an, so dass er im drucklosen Zustand der Druckkammer in einer zwischen seinen axialen Endpositionen liegenden Ruheposition gehalten wird, in der die Kugeln durch Druckkontakt mit der Kugelklemmhülse in einer in den Einführbereich der Verriegelungsstifte hineinragenden Stellung innerhalb der Verriegelungseinheit angeordnet sind.
  • Mit Hilfe der erfindungsgemäßen Dockingvorrichtung ist ein einfaches, leichtes und präzises Kuppeln des Handhabungs gerätes mit dem Testkopf möglich, da es mittels eines Druckmittels, insbesondere pneumatisch, automatisiert vorgenommen werden kann. Gegenüber einer mechanischen Betätigung der Verriegelungseinheit hat die druckmittelunterstützte Betätigung den weiteren Vorteil, dass sie sehr schnell und auf verschleißarme Weise erfolgen kann. Darüber hinaus kann die Vorrichtung auf einfache, kostengünstige Weise und mit wenig Teilen realisiert werden. Besonders vorteilhaft ist es, dass mittels der Federn der Ringkolben und damit die Kugelklemmhülse in einer Null- oder Ruheposition positioniert wird, wenn das Druckmittel aus der Druckkammer abgelassen wird, wobei sich diese Ruheposition zwischen den axialen Endpositionen des Ringkolbens befinden. Hierdurch kann im drucklosen Zustand eine Vorverriegelung der Verriegelungsstifte vorgenommen werden, wobei diese jedoch aufgrund der Elastizität der Federn einen axialen Spielraum haben. Hierdurch ist es auf besonders einfache Weise möglich, die Verriegelungsstifte in eine vorläufige Verriegelungsposition zu bringen und den Testkopf manuell zur Handhabungsvorrichtung auszurichten.
  • Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform ist die Druckkammer auf einer Stirnseite von einer Deckplatte der Verriegelungseinheit und radial nach innen von einem Hülsenelement begrenzt, das die Kugelklemmhülse koaxial umgibt und sich von der Deckplatte weg erstreckt. Ferner weist die Kugelklemmhülse einen sich über das Hülsenelement radial nach außen erstreckenden Mitnehmerflansch auf, der mit dem Ringkolben verbunden ist. Eine derartige Anordnung lässt sich auf eine einfache und kostengünstige Weise herstellen und stellt eine einwandfreie Funktion über einen langen Zeitraum sicher.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
  • 1: eine schematische Darstellung eines Handhabungsgeräts, eines Testkopfs und einer Dockingvorrichtung zum Kuppeln dieser beiden Vorrichtungen,
  • 2: eine Verriegelungseinheit in Explosionsdarstellung,
  • 3: einen Schnitt durch eine Verriegelungseinheit, wobei ein Verriegelungsstift zu Beginn des Einführvorgangs dargestellt ist,
  • 4: die Verriegelungseinheit von 3 in einer zweiten Stellung, wobei der Verriegelungsstift etwas weiter eingeführt ist,
  • 5: die Verriegelungseinheit von 3 in einer dritten Stellung, wobei der Ringkolben bereits etwas zugestellt ist, um den Verriegelungsstift zu verriegeln, und
  • 6: die Verriegelungseinheit von 3 in einer vierten Stellung, die der End-Verriegelungsstellung entspricht.
  • In 1 ist schematisch ein Handhabungsgerät 1 sowie ein Testkopf 2 dargestellt. Zum Andocken des Testkopfs 2 am Handhabungsgerät 1 wird eine entweder direkt am Handhabungsgerät 1 oder an einem nicht dargestellten Zwischenrahmen befestigbare Dockingplatte 3 verwendet, auf der insgesamt vier, in den Eckenbereichen der Dockingplatte 3 angeordnete Verriegelungseinheiten 4 befestigt sind. Die Verriegelungseinheiten 4 sind mittels eines Druckmittels, zweckmäßigerweise mittels Druckluft, betätigbar, das über Druckmittelleitungen 5, 6 zur Verriegelungseinheit 4 zugeführt bzw. von dieser abgeführt werden kann.
  • Am Testkopf 2 sind vier Verriegelungsstifte 7 befestigt, welche über den Testkopf 2 vorragen und, wie nachfolgend noch näher beschrieben wird, mit den Verriegelungseinheiten 4 in Eingriff bringbar sind.
  • Das Andocken des Testkopfs 2 am Handhabungsgerät 1 erfolgt dabei derart, dass zunächst der Testkopf 2 soweit auf das Handhabungsgerät 1 bzw. auf die Dockingplatte 3 zu bewegt wird, bis die Verriegelungsstifte 7 in mittige, eine Zentrierbohrung 12 aufweisende Einführöffnungen der Verriegelungseinheiten 4 eingeführt sind, wodurch der Testkopf 2 zentriert wird. Anschließend werden die Verriegelungsein heiten 4 durch Zuführen von Druckmittel derart betätigt, dass die Verriegelungsstifte 7 und damit der Testkopf 2 noch weiter zur Dockingplatte 3 bis hin zu Endposition gezogen und dort in dieser Stellung verriegelt werden.
  • Anhand der 3 bis 6 wird nachfolgend Aufbau und Funktion der Verriegelungseinheiten 4 näher erläutert. Die in 1 dargestellten vier Verriegelungseinheiten 4 sind identisch ausgebildet.
  • Wie aus den 3 bis 6 ersichtlich, weist jede Verriegelungseinheit 4 eine Befestigungsplatte 9 auf, die mittels nicht näher dargestellter Schrauben auf der Dockingplatte 3 festgeschraubt werden kann. Auf der Befestigungsplatte 9 ist ein ring- oder hülsenförmiger Gehäusemantel 10 mit kreisförmigem Querschnitt mittels nicht näher dargestellter Schrauben befestigt. Der Gehäusemantel 10 wird nach oben durch eine kreisförmige Deckplatte 11 abgedeckt, welche die mittige Zentrierbohrung 12 aufweist. Der Durchmesser dieser Zentrierbohrung 12 ist genau auf den Außendurchmesser des zylinderförmigen Verriegelungsstiftes 7 abgestimmt, so dass eine enge Passung vorliegt. Alternativ ist es auch möglich, die Zentrierbohrung 12 in einer separaten, nicht dargestellten Zentrierbuchse vorzusehen, die in der Deckplatte 11 eingesetzt ist.
  • Innerhalb des Gehäuses der Verriegelungseinheit 4 ist axial fluchtend zur Zentrierbohrung 12 ein Kugelkäfig 13 vorgesehen, der zur Führung und Halterung einer Mehrzahl von Kugeln 14 dient, die um den Umfang des Kugelkäfigs 13 herum angeordnet sind. Der Kugelkäfig 13 ist im wesentlichen napfförmig ausgebildet und weist einen ebenen Boden 15 und eine ringförmig umlaufende Seitenwand 16 auf. Im oberen Bereich der Seitenwand 16 sind insgesamt acht sich radial erstreckende Kugeleintrittsöffnungen 17 vorgesehen, welche die Seitenwand 16 durchdringen und regelmäßig über deren Umfang verteilt angeordnet sind.
  • Der Durchmesser der Kugeleintrittsöffnungen 17 ist am radialen äußeren Ende etwas größer als derjenige der Kugeln 14, so dass sich die Kugeln 14 von außen radial nach innen in die Kugeleintrittsöffnungen 17 hinein bewegen können. Am radial inneren Ende ist der Durchmesser der Kugeleintrittsöffnungen 17 dagegen etwas geringer als derjenige der Kugeln 14, wodurch verhindert wird, dass die Kugeln 14 vollständig nach innen in den Hohlraum des Kugelkäfigs 13 fallen können. Der Hohlraum des Kugelkäfigs 13 läuft nach unten hin etwas konisch zu und ist damit an die Form des freien Endbereichs des Verriegelungsstifts 7 angepasst.
  • Der Boden 15 des Kugelkäfigs 13 bildet eine Anschlagfläche für die Stirnseite des Verriegelungsstifts 7. Weiterhin ist der Außendurchmesser des unteren Abschnitts des Kugelkäfigs 13 geringer als derjenige des oberen Abschnitts, so dass eine umlaufende Schulter 18 gebildet wird, die als Anlagefläche für eine Feder 19 dient.
  • Die Feder 19 ist als Druckfeder ausgebildet und liegt einerseits an der Schulter 18 des Kugelkäfigs 13 und andererseits an der Befestigungsplatte 9 an, so dass sie auf den Kugelkäfig 13 eine Vorspannkraft entgegen der Einführrichtung des Verriegelungsstifts 7, d.h. in den 3 bis 6 nach oben, aufbringt.
  • Die Feder 19 ist von einem Führungsring 20 gegeben, der sich von der Befestigungsgplatte 9 aus nur über einen kleineren Teil der Gesamthöhe bis zur Deckplatte 11 nach oben erstreckt und zur Radialführung der Feder 19 und des Kugelkäfigs 13 dient, der in den Führungsring 20 eintauchen kann.
  • Der Kugelkäfig 13 und die Kugeln 14 sind von einer Kugelklemmhülse 21 umgeben, die innerhalb des Gehäuses der Verriegelungseinheit 4 und auch relativ zum Kugelkäfig 13 axial verschiebbar angeordnet ist. Die Kugelklemmhülse 21 weist eine zentrale, axiale Durchgangsöffnung mit unterschiedlichen Durchmessern auf. Der obere Endabschnitt 24 der Durchgangsöffnung ist dabei aufgrund eines radial nach innen vorstehenden Stegs 22 domförmig nach innen gewölbt. Der obere Endabschnitt 24 stellt somit einen Kugelklemmabschnitt dar, der die Kugeln 14 radial nach innen drückt, wenn die Kugelklemmhülse 21 relativ zum Kugelkäfig 13 nach unten verschoben wird.
  • In seinem dem Steg 22 gegenüberliegenden Endbereich weist die Kugelklemmhülse 21 einen radial vorstehenden, ringförmigen Flansch 25 auf, der an der unteren Stirnseite eines Ringkolbens 26 anliegt und mit diesem über Schrauben 27 fest verbunden ist, so dass eine Bewegung des Ringkolbens 26 in Axialrichtung der Verriegelungseinheit 4 eine entsprechende Axialbewegung der Kugelklemmhülse 21 zur Folge hat.
  • Die Axialbewegung des Ringkolbens 26 wird mittels eines Druckmittels, zweckmäßigerweise mittels Druckluft, bewirkt, die in eine Druckkammer 28 (s. insbesondere 5 und 6) über die Druckmittelleitung 5 (1, 2) eingeleitet wird. Die Druckkammer 28 wird nach oben durch die Deckplatte 11, nach unten durch den Ringkolben 26, radial nach außen durch den Gehäusemantel 10 und radial nach innen durch ein rohrförmiges Hülsenelement 29 begrenzt, das mit seinem oberen Endbereich an der Deckplatte 11 festgelegt, beispielsweise eingeklebt, ist und sich zwischen dem Ringkolben 26 und der Kugelklemmhülse 21 in Richtung zur Befestigungsplatte 9 erstreckt. Der Ringkolben 26 ist mittels eines Dichtrings 30, beispielsweise O-Rings, der in eine entsprechende Umfangsnut in der inneren Umfangswand des Ringkolbens 26 eingesetzt ist, gegenüber dem Hülsenelement 29 abgedichtet. In entsprechender Weise ist der Ringkolben 26 mittels eines Dichtrings 31, beispielsweise O-Rings, der in eine entsprechende Umfangsnut am Außenumfang des Ringkolbens 26 eingesetzt ist, gegenüber dem Gehäusemantel 10 abgedichtet.
  • Das Hülsenelement 29 ist etwa halb so lang wie der Abstand zwischen der Deckplatte 11 und der Befestigungsplatte 9. Unterhalb des Hülsenelements 29 ist daher ein Freiraum vorhanden, so dass sich der Flansch 25 der Kugelklemmhülse 21 in radialer Richtung über das Hülsenelement 29 hinaus erstrecken und den Ringkolben 26 untergreifen kann. Andererseits ist das Hülsenelement 29 lang genug, um sicherzustellen, dass in der vollkommen abgesenkten Stellung des Ringkolbens 26 (6), in welcher der Flansch 25 am Boden der Befestigungsplatte 9 auftrifft, der Dichtring 30 nicht außer Eingriff mit dem Hülsenelement 29 gelangt. Die Druckkammer 28 ist damit in jeder Position des Ringkolbens 26 gegenüber der Einführöffnung 8 druckdicht abgeschlossen.
  • Obwohl die Kugelklemmhülse 21 mit relativ geringem Spiel innerhalb des Hülsenelements 29 eingesetzt ist, ist dies für die Funktion der Vorrichtung nicht unbedingt erforder lich. Die zentrierte Führung der Kugelklemmhülse 21 erfolgt vielmehr einerseits über den Ringkolben 26, an dem die Kugelklemmhülse 21 festgeschraubt ist, als auch über den unteren Führungsring 20, über den die Kugelklemmhülse 21 bei ihrer Abwärtsbewegung geschoben werden kann. Ein in die Außenumfangsfläche des Führungsrings 20 eingesetzter Dichtring 32 sorgt zusätzlich für eine Abdichtung zwischen dem Führungsring 20 und der Kugelklemmhülse 21, falls wie im Ausführungsbeispiel der Erfindung auch der Raum 33 zwischen Ringkolben 26 und Befestigungsplatte 9 als Druckkammer ausgebildet ist, um den Ringkolben 26 von seiner in 6 dargestellten abgesenkten Position in die in 3 dargestellte Ausgangsposition zurück zu bewegen.
  • Dieses Zurückschieben des Ringkolbens 26 in seine Ausgangs- oder Entriegelungsposition wird durch eine Mehrzahl von Federn 34 unterstützt, die sich einerseits an der Befestigungsplatte 9 und andererseits an der Unterseite des Ringkolbens 26 abstützen. In der dargestellten Vorrichtung sind insgesamt sechs Federn 34 in regelmäßigem Abstand um den Führungsring 20 herum vorgesehen. Alternativ dazu ist es auch ohne weiteres möglich, eine andere Anzahl von Federn, beispielsweise nur eine einzige große Feder, vorzusehen, welche den Führungsring 20 umschließt.
  • Auf der gegenüberliegenden Seite des Ringkolbens 26, nämlich im Bereich der Druckkammer 28, befindet sich ebenfalls eine Mehrzahl von Federn 35, die sich einerseits an der Deckplatte 11 und andererseits am Ringkolben 26 abstützen und auf den Ringkolben eine zusätzliche Kraft in Zustellrichtung ausüben. Im folgenden Ausführungsbeispiel sind wiederum sechs Federn 35 vorgesehen. Die Federn 35 erstrecken sich in entsprechende, axiale Sacklochbohrungen 36 des Ringkolbens 26 hinein und sind dadurch über einen wesentlichen Teil ihrer Länge geführt.
  • Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Druckmittelleitung 5, obwohl in den 3 bis 6 nicht näher gezeigt, mit der Druckkammer 28 und die andere Druckmittelleitung 6 mit dem gegenüberliegenden Raum 33 in Fluidverbindung.
  • Im folgenden wird anhand der 3 bis 6 zunächst ein nicht erfindungsgemäßer Dockingvorgang näher beschrieben.
  • In 3 ist der Beginn des Eintritts des Verriegelungsstifts 7 in die Zentrierbohrung 12 der Deckplatte 11 gezeigt. Um das Einführen des Verriegelungsstifts 7 zu erleichtern, weist dieser einen konisch zulaufenden Endbereich 37 auf. An diesen konischen Endbereich 37 schließt sich eine umlaufende Umfangsnut 38 an. An die Umfangsnut 38 schließt sich wiederum ein zylindrischer Zentrierabschnitt 39 an.
  • In der in 3 gezeigten Ausgangsstellung befindet sich die Kugelklemmhülse 21 und der Ringkolben 26 in ihrer obersten Stellung, in der sie an der Deckplatte 11 anliegen. In dieser Stellung haben die Kugeln 14 genügend radialen Spielraum nach außen, um vollständig außerhalb des Hohlraums 40 des Kugelkäfigs 13 zu gelangen. Aufgrund der Druckkraft der Feder 19 befindet sich der Kugelkäfig 13 in seiner obersten Stellung, in der er an der Deckplatte 11 anschlägt. In der in 3 gezeigten Stellung wirkt der konische Endbereich 37 des Verriegelungsstifts 7 lediglich mit der Zentrierbohrung 12 derart zusammen, dass eine gewisse Vorzentrierung des Verriegelungsstifts 7 und damit des Testkopfs 2 erfolgt.
  • In 4 ist eine Zwischenstellung dargestellt, in welcher der Verriegelungsstift 7 bereits soweit in die Verriegelungseinheit 4 eingeführt ist, dass der Zentrierabschnitt 39 des Verriegelungsstifts 7 in der Zentrierbohrung 12 liegt und damit eine Zentrierung des Testkopfs 2 gewährleistet ist. Weiterhin schlägt in dieser Stellung die Stirnfläche 41 des Verriegelungsstifts 7 am Boden 15 des Kugelkäfigs 13 an. In dieser Stellung befindet sich die Umfangsnut 38 des Verriegelungsstifts 7 auf gleicher Höhe wie die Kugeleintrittsöffnungen 17, so dass die Kugeln 14 radial nach innen bewegt werden und in die Umfangsnut 38 eintreten können. Da jedoch in der in 4 gezeigten Stellung die Kugelklemmhülse 21 noch nicht verschoben worden ist, wird in dieser Stellung auf die Kugeln 14 noch keine nach innen gerichtete Radialkraft ausgeübt.
  • Wird anschließend, wie aus 5 ersichtlich, in die Druckkammer 28 ein Druckmittel über die Druckmittelleitung 5 eingeleitet, wird der Ringkolben 26 von der Deckplatte 11 weg bewegt und nimmt dabei über den Flansch 25 die Kugelklemmhülse 21 mit. Wird die Kugelklemmhülse 21 in axialer Richtung nach unten weiter als der Kugelkäfig 13 bewegt und tritt dadurch eine Relativbewegung zwischen diesen beiden Teilen auf, werden die Kugeln 14 durch den domförmigen Endabschnitt 24 der Kugelklemmhülse 21 radial nach innen gedrückt. In dieser Zwischenstellung ist der Verriegelungsstift 7 durch die Kugeln 14 bereits etwas axial festgelegt, so dass er nicht mehr ohne weiteres aus der Einführöffnung 8 herausgezogen werden kann. Gleichzeitig ist jedoch auch eine gewisse Flexibilität in axialer Richtung vorhanden, da der Verriegelungsstift 7 und damit der Testkopf 2 manuell auch noch weiter in Einführrichtung verschoben werden kann, wobei sich der Kugelkäfig 13 unabhängig von der Kugelklemmhülse 21 gegen die Kraft der Feder 19 in Richtung der Befestigungsplatte 9 bewegt.
  • In 6 ist das vollständige Einziehen und Verriegeln des Verriegelungsstifts 7 gezeigt. Dies erfolgt dadurch, dass der Ringkolben 26 durch Zuführen von Druckmittel in die Druckkammer 28 soweit nach unten verschoben wird, bis der Flansch 25 der Kugelklemmhülse 21 am Boden der Befestigungsplatte 9 anschlägt. Bei der Axialbewegung der Kugelklemmhülse 21 von der in 5 in die in 6 gezeigte Stellung werden die Kugeln 14 in axialer Richtung mitgenommen und gleichzeitig durch den domförmigen Endabschnitt 24 radial nach innen in die Umfangsnut 38 des Verriegelungsstifts 7 gedrückt. Über die Kugeln 14 wird somit sowohl der Kugelkäfig 13 als auch der Verriegelungsstift 7 in axialer Richtung mit bewegt. In der in 6 gezeigten Verriegelungsstellung liegt auch der Kugelkäfig 13 an der Befestigungsplatte 9 an. Der Verriegelungszapfen 7 und damit der Testkopf 7 ist sowohl zentriert als auch axial verriegelt.
  • Um den Verriegelungsstift 7 wieder von der Verriegelungseinheit 4 zu lösen, wird Druckmittel über die Druckmittelleitung 6 in den Raum 33 eingeleitet und das Druckmittel aus der Druckkammer 28 abgelassen. Der Ringkolben 26 bewegt sich dadurch zusammen mit der Kugelklemmhülse 21 wieder in Richtung der Deckplatte 11. Diese Bewegung wird durch die Wirkung der Federn 34 unterstützt. Hierdurch wird für die Kugeln 14 genügend radialer Bewegungsraum nach außen geschaffen, so dass die Kugeln 14 aus der Umfangsnut 38 heraus gelangen können und den Verriegelungs stift 7 freigeben.
  • Alternativ zu der vorstehend beschriebenen Vorgehensweise ist auch eine andere Vorgehensweise zum Verriegeln eines Testkopfs an eine Handhabungsvorrichtung möglich. So werden die beidseits des Ringkolbens 26 angeordneten und von verschiedenen Seiten her auf den Ringkolben 26 einwirkenden Federn 34, 35 derart ausgebildet und angeordnet, dass in einem drucklosen Zustand der Vorrichtung, d.h. wenn keine Druckmittelbeaufschlagung erfolgt, der Ringkolben 26 durch die Federn 34, 35 in einer Ruheposition, d.h. einer Gleichgewichtslage, gehalten wird, die zwischen seiner oberen und unteren Endposition, beispielsweise in der mittigen Position, die in 5 dargestellt ist, liegt. Da in dieser mittigen Position der Kugelkäfig 13 durch die Feder 19 nach oben gedrückt wird, werden die Kugeln 14 gegen den domförmigen Endabschnitt 24 der Kugelklemmhülse 21 und dadurch radial nach innen gedrückt.
  • Werden nun die Verriegelungsstifte 7 zu Beginn des Dockingvorgangs in derartige Verriegelungseinheiten 4 eingeführt, so können sich der Kugelkäfig 13 und die Kugelklemmhülse 21 aufgrund der Elastizität der Feder 19 in Axialrichtung etwas gegenseitig verschieben, so dass die Kugeln 14 zunächst nach außen und anschließend, wenn die Umfangsnut 38 des Verriegelungsstifts 7 den Kugeln 14 genau gegenüberliegt, wieder radial nach innen zurückgedrängt werden, so dass die Kugeln 14 in der Umfangsnut 38 zu liegen kommen, wie dies in 5 dargestellt ist. Hierdurch findet eine Vorverriegelung der Verriegelungsstifte 7 statt, wobei diese jedoch aufgrund der Elastizität der Federn 19, 34, 35 einen gewissen axialen Spielraum haben. Hierdurch ist es auf besonders einfache Weise mög lich, alle Verriegelungsstifte 7 in eine vorläufige Verriegelungsposition zu bringen und den Testkopf noch manuell zur Handhabungsvorrichtung auszurichten.
  • Wird anschließend Druckmittel in die Druckkammer 28 zugeführt und aus dem Raum 33 abgeleitet, bewegt sich der Ringkolben 26 nach unten und verriegelt damit den Verriegelungsstift 7, wie dies anhand der ersten Verriegelungsalternative im Zusammenhang mit den 4 bis 6 beschrieben worden ist.

Claims (2)

  1. Dockingvorrichtung zum Kuppeln einer aus einem Handler oder Prober bestehenden ersten Vorrichtung mit einer aus einem Testkopf (2) für elektronische Bauelemente bestehenden zweiten Vorrichtung, mit einer an einer der Vorrichtungen befestigbaren Dockingplatte (3), an der mindestens eine Verriegelungseinheit (4) vorgesehen ist, und mindestens einem an der anderen Vorrichtung angeordneten Verriegelungsstift (7), der in seiner Axialrichtung mit der zugeordneten Verriegelungseinheit (4) in Verriegelungseingriff bringbar ist, wobei die Verriegelungseinheit (4) umfasst: – eine Einführöffnung zum axialen Einführen des Verriegelungsstifts (7), – eine Mehrzahl von im Bereich der Einführöffnung angeordneten Kugeln (14), zwischen denen der Verriegelungsstift (7) einführbar ist, – eine in Axialrichtung verschiebbare Kugelklemmhülse (21), welche in einer ersten Stellung eine Radialposition der Kugeln (14) außerhalb des Einführbereichs des Verriegelungsstifts (7) ermöglicht, in welcher der Verriegelungsstift (7) zwischen die Kugeln (14) einführbar ist, und in einer zweiten Stellung die Kugeln (14) in einer Verriegelungsposition verriegelt, in der die Kugeln (14) in eine Umfangsnut (38) des eingeführten Verriegelungsstifts (7) vorstehen, dadurch gekennzeichnet, dass die Kugelklemmhülse (21) von einer gegenüber dem Einführbereich des Verriegelungsstifts (7) druckdicht abgeschlossenen, ringförmigen Druckkammer (28) umgeben und mittels eines Ringkolbens (26) in axialer Richtung bewegbar ist, der mittels eines in der Druckkammer (28) eingeleiteten Druckmittels betätigbar ist, und dass am Ringkolben (26) Federn (34, 35) angreifen, so dass er im drucklosen Zustand der Druckkammer (28) in einer zwischen seinen axialen Endpositionen liegenden Ruheposition gehalten wird, in der die Kugeln (14) durch Druckkontakt mit der Kugelklemmhülse (21) in einer in den Einführbereich des Verriegelungsstiftes (7) hineinragenden Stellung innerhalb der Verriegelungseinheit (4) angeordnet sind.
  2. Dockingvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckkammer (28) auf einer Stirnseite von einer Deckplatte (11) der Verriegelungseinheit (4) und radial nach innen von einem Hülsenelement (29) begrenzt ist, das die Kugelklemmhülse (21) koaxial umgibt und sich von der Deckplatte (11) weg erstreckt, und dass die Kugelklemmhülse (21) einen sich über das Hülsenelement (29) radial nach außen erstreckenden Flansch (25) aufweist, der mit dem Ringkolben (26) verbunden ist.
DE102005036808A 2005-08-04 2005-08-04 Druckmittelbetätigte Dockingvorrichtung Active DE102005036808B4 (de)

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