DE10126298A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Phasenverschiebung zwischen einem periodischen Signal und einem Ausgangssignal an einem Ausgang eines elektronischen Bauelements - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer Phasenverschiebung zwischen einem periodischen Signal (CLK) und einem Ausgangssignal (DQ, DQS) an einem Ausgang eines elektronischen Bauelementes (4). An das elektronische Bauelement (4) wird ein Versorgungsspannungspotential (V¶DD¶, V¶SS¶) angelegt, wobei das periodische Signal (CLK) an den Ausgang (A) des elektronischen Bauelementes (4) angelegt wird. Der Strom durch den Versorgungsspannungseingang wird gemessen, wobei die Größe des Stroms einer Phasenverschiebung zwischen dem periodischen Signal (CLK) und dem Ausgangssignal (DQ, DQS) entspricht.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Phasenverschiebung zwischen einem periodischen Signal und einem Ausgangssignal an einem Ausgang eines elektronischen Bauelementes.

Die Erfindung betrifft die Messung einer Phasenverschiebung zwischen einem externen periodischen Signal, das an ein elektronisches Bauelement angelegt wird, und einem bauele­ mentinternen Signals, mit dem Daten an einem oder mehreren Ausgängen eines elektronischen Bauelementes ausgegeben werden sollen.

Elektronische Bauelemente werden häufig synchron betrieben, d. h. Daten werden gemäß einem Taktsignal von einem Bauelement an ein nächstes Bauelement weitergeleitet. Insbesondere bei elektronischen Bauelementen, die mit hohen Frequenzen betrie­ ben werden, spielen jedoch Signallaufzeiten und Laufzeiten von Taktsignalen eine nicht zu vernachlässigende Rolle. Um die Verarbeitung von Daten an die laufzeitbedingten Signal­ verzögerungen anzupassen, werden in den elektronischen Bau­ elementen interne Referenz-Taktsignale erzeugt, die gegenüber den externen Taktsignalen eine Phasenverschiebung aufweisen. Diese Phasenverschiebung kann sich aus internen Signallauf­ zeiten in dem elektronischen Bauelement ergeben und ist sehr stark von Technologieschwankungen abhängig.

Um beim Testen des elektronischen Bauelements die Ausgangsda­ ten richtig bewerten zu können, ist es notwendig, die Phasen­ verschiebung zwischen dem externen Taktsignal und dem inter­ nen Taktsignal, zu dem die Daten von dem elektronischen Bau­ element synchron ausgegeben werden, zu bestimmen.

Bei bisherigen Testsystemen wird zur Messung der Phase übli­ cherweise eine Zeit Δt₀ bestimmt. Δt₀ ist eine Zeitdifferenz, um die ein Evaluierungssignal der Testvorrichtung relativ zum Taktsignal der Testvorrichtung verschoben werden muss, um ein Datensignal oder ein internes Taktsignal logisch richtig zu bewerten. Dafür ist der Übergang des Signals von "0" auf "1" oder umgekehrt nötig. Zur Messung von Δt₀ wird das Evaluie­ rungssignal der Testvorrichtung so lange variiert, bis der Übergang zwischen den zwei Spannungsniveaus des Signals ge­ funden wurde. Dieser Suchvorgang ist zeitintensiv und muss für jedes Datensignal und das interne Taktsignal durchgeführt werden.

Es ist folglich Aufgabe der Erfindung, eine verbesserte Vor­ richtung und ein verbessertes Verfahren zur Verfügung zu stellen, mit dem die Phasenverschiebung zwischen externem Taktsignal und internem Taktsignal bzw. Ausgangsdatensignal bei elektronischen Bauelementen, insbesondere beim Testen des elektronischen Bauelements, bestimmt werden kann.

Diese Aufgabe wird durch das Verfahren nach Anspruch 1, die Vorrichtung nach Anspruch 5 und die Verwendung eines phasen­ sensitiven Elementes nach Anspruch 10 gelöst. Weitere vor­ teilhafte Ausgestaltungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist vor­ gesehen, zur Messung der Phasenverschiebung zwischen einem periodischen Signal und einem Ausgangssignal an einem Ausgang eines elektronischen Bauelementes ein phasensensitives Mess­ element zu verwenden. Das phasensensitive Messelement ist so gestaltet, um eine elektrische Größe zu messen, die einen Mittelwert der Phasenverschiebung repräsentiert.

Die Verwendung eines phasensensitiven Messelementes hat den Vorteil, dass die Phasenverschiebung zwischen dem periodi­ schen Signal und dem Ausgangssignal exakter bestimmt werden kann. Bei bisherigen Verfahren wird die Phasenverschiebung durch eine Zeitmessung ermittelt, wobei die gemessene Zeit zur Periodendauer des Taktsignals in Bezug gesetzt wird. Bei sehr hohen Frequenzen des Taktsignals wird die Zeitmessung im Allgemeinen ungenau, da sie durch Einzelmessungen in diskre­ ten Schritten durchgeführt wird. Die Ungenauigkeit wird dabei hauptsächlich durch die Ungenauigkeit der Einzelmessungen so­ wie der Weite der diskreten Schritte bestimmt. Ein weiterer Vorteil liegt darin, dass die Phasenverschiebung automatisch ermittelt wird und der Wert der Phasenverschiebung als elekt­ rische Größe z. B. in einer Testervorrichtung auswertbar ist, ohne den Testablauf durch eine aufwendigen Messablauf unnötig zu verzögern.

Gemäß einem weiteren Aspekt dieser Erfindung ist ein Verfah­ ren zur Messung der Phasenverschiebung zwischen einem perio­ dischen Signal und einem Ausgangssignal an einem Ausgang ei­ nes elektronischen Bauelementes vorgesehen. Das Ausgangssig­ nal wird über eine Ausgangs-Treibervorrichtung an den Ausgang angelegt. Die Ausgangs-Treibervorrichtung weist eine Schalt­ vorrichtung auf, die mit einer Versorgungsspannung und mit dem Ausgang verbunden wird, wobei abhängig von dem Ausgangs­ signal die Versorgungsspannung auf den Ausgang durchgeschal­ tet werden kann. Ferner wird das periodische Signal an den Ausgang angelegt. Der Strom durch die Schaltvorrichtung wird gemessen, wobei die Phasenverschiebung zwischen dem periodi­ schen Signal und dem Ausgangssignal als Funktion des gemesse­ nen Stromes ermittelt wird.

In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zur Messung der Phasenverschiebung zwischen einem periodischen Signal und einem Ausgangssignal vorgesehen, das über eine Ausgangs-Treibervorrichtung an einem Ausgang eines elektronischen Bauelementes anlegbar ist. Die Ausgangs-Trei­ bervorrichtung weist eine Schaltvorrichtung auf, die mit ei­ nem Versorgungsspannungs-Anschluß und mit dem Ausgang verbun­ den ist, um abhängig von dem Ausgangssignal den Versor­ gungsspannungs-Anschluß auf den Ausgang durchzuschalten. Die Vorrichtung weist eine Treiberschaltung auf, um das periodi­ sche Signal an den Ausgang des elektronischen Bauelementes anzulegen. Die Vorrichtung weist weiterhin eine Versorgungs­ spannungsquelle auf, die über ein Strommessgerät an den Ver­ sorgungsspannungs-Anschluß des elektronischen Bauelements (4) anschließbar ist. Auf diese Weise kann die Phasenver­ schiebung zwischen dem periodischen Signal und dem Ausgangs­ signal als Funktion eines mit Hilfe des Strommessgerätes ge­ messenen Stromes gemessen werden.

Die Erfindung macht sich zunutze, dass es bei üblichen Tes­ tervorrichtungen möglich ist, zum einen den Stromfluss in bzw. aus den Versorgungsspannungseingängen zu messen und zum anderen die Anschlüsse der Testervorrichtung so an das elek­ tronische Bauelement anzuschließen, dass ein Signal auf einen Ausgang des elektronischen Bauelements getrieben werden kann. Dies ist möglich, da jede Verbindung zur Testervorrichtung als Eingang und als Ausgang gesteuert durch das jeweilige Testprogramm betrieben werden kann. Auf diese Weise ist es möglich, die Phasenverschiebung aus der Größe des in den Ver­ sorgungsspannungseingang fließenden Stroms zu bestimmen.

Bei den bisherigen Verfahren wurde die Phasenverschiebung durch eine Zeitmessung durchgeführt, wobei die gemessene Zeit zur Periodendauer des Taktsignals in Bezug gesetzt wird und daraus die Phasenverschiebung ermittelt wird. Im Gegensatz dazu hat dieses Verfahren den Vorteil, dass es auch bei sehr hohen Frequenzen des Taktsignals, d. h. bei sehr kleinen Peri­ odendauern, anwendbar ist. Die Zeitmessungen werden bei klei­ ner werdenden zu messenden Zeitdifferenzen ungenau, so dass die Phasenverschiebung nicht mehr genau gemessen werden kann. Im Gegensatz dazu hat das erfindungsgemäße Verfahren und die Vorrichtung den Vorteil, zum einen die Phasenverschiebung au­ tomatisch über mehrere Perioden zu mitteln und auch bei höhe­ ren Frequenzen und geringen Phasenverschiebungen genau zu ar­ beiten.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist vorgesehen, dass der Versorgungsspannungseingang mit einem Kapazitätsbauelement verbunden ist, wobei ein weiterer Ausgang des Kapazitätsbau­ elementes mit einem festen Spannungspotential verbunden ist. Das Kapazitätsbauelement glättet den Stromverlauf und ermög­ licht es somit, in verbesserter Weise den Mittelwert der Pha­ senverschiebung zu bestimmen.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der beigefügten Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 eine Darstellung des Verfahrens zur Bestimmung der Phasenverschiebung nach dem Stand der Technik;

Fig. 2a eine bevorzugte Ausführungsform zur Messung der Pha­ senverschiebung mit Hilfe eines phasensensitiven Elementes;

Fig. 2b ein Signalverlaufsdiagramm für Ein- und Ausgangssig­ nale des phasensensitiven Elementes nach Fig. 2a; und

Fig. 3 eine weitere bevorzugte Ausführungsform zur Messung der Phasenverschiebung bei Verwendung einer Testervorrich­ tung.

In Fig. 1 ist schematisch dargestellt, wie die Phasenver­ schiebung zwischen einem externen Taktsignal und einem intern erzeugten Taktsignal bzw. intern erzeugten Datum nach dem Stand der Technik gemessen wird. Bei herkömmlichen Testver­ fahren bestimmt eine Testvorrichtung die Zeit zwischen einer aufsteigenden Flanke des externen Taktsignals und einer dar­ auf folgenden aufsteigenden Flanke des internen Taktsignals bzw. Datensignals.

Die Zeit wird bestimmt, indem mit einer veränderlichen zeit­ lichen Verzögerung gegenüber der aufsteigenden Flanke des ex­ ternen Taktsignals ein Abtastsignal generiert wird, mit dem das interne Taktsignal bzw. Datensignal abgetastet wird. Durch Variieren der zeitlichen Verzögerung Δt des Abtastsig­ nals lässt sich herausfinden, mit welcher zeitlichen Verzöge­ rung die aufsteigende Flanke des internen Taktsignals bzw. Datensignals der aufsteigenden Flanke des externen Taktsig­ nals folgt. Die Phasenverschiebung ϕ wird ermittelt, indem die gemessene Zeitdifferenz Δt₀ zur gesamten Taktlänge ΔT₀ des externen Taktsignals in Bezug gesetzt wird. Die Phasen­ verschiebung ϕ ist dabei durch folgende Formel bestimmt:

Um die entsprechende Flanke des internen Taktsignals bzw. Da­ tensignals zu detektieren, wird das Signal mehrfach abgetas­ tet, um den Übergang, d. h. die Zeitdifferenz Δt₀, des Signals von "0" auf "1" oder umgekehrt, exakt zu bestimmen. Dieser Suchvorgang muss für jedes interne Taktsignal bzw. Datensig­ nal durchgeführt werden und ist daher zeitintensiv.

Fig. 2a zeigt ein Blockschaltbild einer bevorzugten Ausfüh­ rungsform der Erfindung. In einem phasensensitiven Element 1 werden externes Taktsignal CLK und internes Taktsignal DQS bzw. Datensignal DQ, das an einem Ausgang eines elektroni­ schen Bauelementes 4 ausgegeben wird, miteinander verknüpft. Das externe Taktsignal CLK kann von einer Testervorrichtung 3 zur Verfügung gestellt werden und wird dem Bauelement 4 zuge­ führt. An einem Ausgang des phasensensitiven Elementes 1 liegt ein Ausgangssignal XOR an, an dem sich die Phasenver­ schiebung zwischen dem externen Taktsignal CLK und dem inter­ nen Taktsignal DQS bzw. Datensignal DQ ablesen lässt.

In einer möglichen Ausführungsform besteht das phasensensi­ tive Element 1 aus einem Exklusiv-Oder-Gatter, an dessen Aus­ gang, wie in Fig. 2b gezeigt, Pulse mit der Frequenz der Taktsignale ausgegeben werden, wobei die zeitliche Länge der Pulse durch die Phasenverschiebung der Signale gegeneinander bestimmt ist.

Das Ausgangssignal XOR des phasensensitiven Elementes 1 wird mit einem Tiefpassfilter 2 gefiltert, so dass ein im Wesentlichen konstantes analoges Ausgangssignal A gebildet wird, das z. B. einem Spannungspegel entspricht. Der Spannungspegel kann dann in der Testervorrichtung 3 gemessen werden und stellt dann ein Maß für die Phasenverschiebung der externen CLK und internen Taktsignale DQS bzw. Datensignale DQ dar. Auf diese Weise lässt sich die mittlere Phasenver­ schiebung ϕ zwischen den Signalen bestimmen, wobei Schwankun­ gen zwischen den Phasenverschiebungen (Jitter) durch den Tiefpassfilter herausgemittelt werden.

Der Spannungspegel ist durch ein Spannungsmessgerät (nicht gezeigt) messbar, das sich beispielsweise in der Testervor­ richtung 3 befinden kann. Das phasensensitive Element kann an das elektronische Bauelement 4 angeschlossen werden, es kann sich allerdings auch integriert in dem elektronischen Bauele­ ment 4 befinden. Als mögliche phasensensitive Elemente können auch Login-Verstärker (erhältlich beispielsweise bei Stan­ ford Research Systems), ein analoger Phasendetektor unter Ausnutzung einer Step-Recovery-Diode, ein digitaler Phasende­ tektor usw. verwendet werden.

Fig. 3 zeigt eine weitere bevorzugte Ausführungsform zur Mes­ sung der Phasenverschiebung ϕ zwischen einem externen Takt­ signal und einem bauelementinternen Taktsignal DQS bzw. Da­ tensignal DQ einer integrierten Schaltung. Die integrierte Schaltung ist beispielsweise in Form eines SGRAM oder DDR- SDRAM ausgebildet. Die Phasenverschiebung wird mit einer Tes­ tervorrichtung 3 (automated test equipment ATE) durchgeführt. Die Testervorrichtung 3 ist in der Lage, die integrierte Schaltung 4 mit Spannungsversorgungen V_S zu versorgen, wobei der durch die Spannungsversorgungen V_S fließende Strom mit Hilfe von Strommessgeräten I1, I2, die sich in der Testervor­ richtung 3 befinden, gemessen werden kann.

Die integrierte Schaltung 4 weist eine Ausgangstreiberschal­ tung 5 auf, die einen ersten Transistor T1 und einen zweiten Transistor T2 umfasst. Ein erster Anschluss des ersten Tran­ sistors T1 ist durch die Spannungsversorgung V_S der Tester­ vorrichtung 3 mit einem ersten Versorgungsspannungspegel V_DD und ein zweiter Anschluss des ersten Transistors T1 ist mit dem Signalausgang A verbunden. Ein erster Anschluss des zwei­ ten Transistors T2 ist mit einem zweiten Versorgungsspan­ nungspegel V_SS und ein zweiter Anschluss des zweiten Transis­ tors T2 ist mit dem Signalausgang A verbunden. Erster T1 und zweiter Transistor T2 sind von unterschiedlichem Leitfähig­ keitstyp. Das an den Steuereingängen des ersten T1 und des zweiten Transistors T2 anliegende digitale interne Taktsignal DQS bzw. Datensignal DQ bewirkt, dass entweder der erste Transistor T1 oder der zweite Transistor T2 leitfähig wird und somit entweder den ersten Versorgungsspannungspegel V_DD oder den zweiten Versorgungsspannungspegel V_SS an den Signal­ ausgang A anlegt.

Die Testervorrichtung 3 ist über eine Treiberschaltung 7 so an die integrierte Schaltung 4 angeschlossen, dass auf den Signalausgang A der integrierten Schaltung 4 das externe Taktsignal CLK getrieben wird. Auf diese Weise werden exter­ nes Taktsignal CLK und das an den Steuereingängen des ersten T1 und zweiten Transistors T2 anliegende interne Taktsignal DQS bzw. Datensignal DQ gegeneinander getrieben.

Sind das externe Taktsignal CLK und das interne Taktsignal DQS, bzw. Datensignal DQ, das an den Steuereingängen des ers­ ten T1 und des zweiten Transistors T2 anliegt, in Phase, so schalten die Transistoren T1, T2 zum jeweils gleichen Zeit­ punkt, wenn sich das Signal, das von der Testervorrichtung 3 auf den Signalausgang A getrieben wird, vom hohen zum niedri­ gen Zustandspegel bzw. umgekehrt ändert. Dies führt dazu, dass an beiden Anschlüssen des jeweils ersten T1 oder zweiten Transistors T2 ein gleiches Spannungspotential anliegt, wenn der Transistor leitend ist. Eine Strommessung an dem jeweili­ gen Versorgungsspannungseingang ergibt dann keinen wesentli­ chen Stromfluss durch den Transistor T1 oder den Transistor T2.

Sind externes Taktsignal CLK und internes Taktsignal DQS bzw. Datensignal DQ zueinander phasenverschoben, so liegt für die Zeitdauer zwischen den einander entsprechenden Taktflanken der volle Spannungshub über dem jeweiligen Transistor an, der dann leitend geschaltet ist. Auf diese Weise fließt ein Strom über den jeweiligen Transistor T1, T2 für eine Zeitdauer, die der zeitlichen Größe der Phasenverschiebung ϕ entspricht. Die so ermittelte Phasenverschiebung ϕ kann in der Testervor­ richtung 3 dazu verwendet werden, Signalverzögerungselemente so einzustellen, dass eine Phasenverschiebung ϕ zwischen Sig­ nalen kompensiert werden kann.

Zum Auswerten des periodischen gepulsten Stromflusses sind an den Versorgungsspannungsanschlüssen V_S der integrierten Schaltung 4 Kondensatoren 6 vorgesehen, die den Spannungsver­ lauf und somit den Stromverlauf glätten. Die Kondensatoren 6 liegen parallel zum Versorgungsspannungsanschluss V_S und ei­ nem Massepotential GND. Dies hat zur Folge, dass ein nahezu konstanter Strom fließt, dessen Größe von der Größe der Pha­ senverschiebung abhängt. Die Kondensatoren 6 sind üblicher­ weise zum Puffern der Versorgungsspannungen Chip-intern in Form eines als Kondensator ausgebildeten Bereiches der Chip­ fläche oder bereits durch die Kapazität der Versorgungsspan­ nungsleitungen vorgesehen. Es ist ebenso möglich, dass die von der Testervorrichtung 3 zur Verfügung gestellten Versor­ gungsspannungspotentiale V_DD, V_SS über eine Kapazität gepuf­ fert sind.

Die in der vorangehenden Beschreibung, den Ansprüchen und den Zeichnungen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination zur Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen we­ sentlich sein.

Bezugszeichenliste

1

Phasensensitives Element

2

Tiefpassfilter

3

Testervorrichtung

4

Integrierte Schaltung

5

Ausgangstreiber der integrierten Schaltung

6

Kondensator

7

Treibervorrichtung der Testervorrichtung
A Ausgang der integrierten Schaltung
T1, T2 Transistoren
I1, I2 Strommessgeräte
V_DD

, V_SS

Versorgungsspannungspotentiale
V_S

Spannungsversorgung
GND Massepotential

Claims (13)

1. Verfahren zur Messung einer Phasenverschiebung (9) zwi­ schen einem periodischen Signal (CLK) und einem Ausgangs­ signal (DQ, DQS), das über eine Ausgangs-Treibervorrich­ tung (5) an einem Ausgang (A) angelegt wird,
wobei die Ausgangs-Treibervorrichtung (5) eine Schaltvor­ richtung (T1, T2) aufweist, die mit einer Versorgungsspan­ nung (VDD, VSS) und mit dem Ausgang (A) verbunden wird,
wobei abhängig von dem Ausgangssignal (DQ, DQS) die Ver­ sorgungsspannung auf den Ausgang (A) durchgeschaltet wer­ den kann,
wobei das periodische Signal (CLK) an den Ausgang (A) an­ gelegt wird,
wobei ein Strom durch die Schaltvorrichtung (T1, T2) gemes­ sen wird, und wobei die Phasenverschiebung (ϕ) zwischen dem periodischen Signal (CLK) und dem Ausgangssignal (DQ, DQS) als Funktion des gemessenen Stromes ermittelt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Funktion eine Mitte­ lung des gemessenen Stromes umfasst.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei das periodische Signal (CLK) ein externes Taktsignal (CLK) ist.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Aus­ gangssignal (DQ, DQS) ein internes Taktsignal (DQS) ist.

5. Vorrichtung zur Messung der Phasenverschiebung (ϕ) zwi­ schen einem periodischen Signal (CLK) und einem Ausgangs­ signal (DQ, DQS, das über eine Ausgangs-Treibervorrichtung (5) an einem Ausgang (A) eines elektronischen Bauelementes (4) anlegbar ist,
wobei die Ausgangs-Treibervorrichtung (5) eine Schaltvor­ richtung (T1, T2) aufweist, die mit einem Versorgungsspan­ nungs-Anschluß (VDD, VSS) und mit dem Ausgang (A) verbun­ den ist, um abhängig von dem Ausgangssignal den Versor­ gungsspannungs-Anschluß auf den Ausgang durchzuschalten,
wobei die Vorrichtung eine Treiberschaltung (7) aufweist, um das periodische Signals (CLK) an den Ausgang (A) des elektronischen Bauelementes (4) anzulegen, und weiterhin eine Versorgungsspannungsquelle (V_S) aufweist, die über ein Strommessgerät (I1, I2) an den Versorgungsspannungs- Anschluß des elektronischen Bauelements (4) anschließbar ist,
so dass die Phasenverschiebung (ϕ) zwischen dem periodi­ schen Signal (CLK) und dem Ausgangssignal (DQ, DQS) als Funktion eines mit Hilfe des Strommessgerätes (I2, I2) ge­ messenen Stromes messbar ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei der Versorgungsspan­ nungs-Anschluß mit einem ersten Anschluss eines Kapazi­ tätsbauelements (6) und der zweite Anschluss des Kapazi­ tätsbauelements (6) mit einem konstanten Gleichspannungs­ potential (GND) verbunden ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Treiberschaltung (7) in einer Testervorrichtung (3) ent­ halten ist.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, wobei die Vorrichtung zwei Versorgungsspannungsquellen (V_S) auf­ weist, die mit verschiedenen Versorgungsspannungs-An­ schlüssen verbunden sind.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei die Schaltvorrichtung (T1, T2) einen Transistor (T1, T2) auf­ weist.

10. Verwendung eines phasensensitiven Messelementes zur Mes­ sung der Phasenverschiebung (ϕ) zwischen einem periodi­ schen Signal (CLK) und einem Ausgangssignal (DQ, DQS) an einem Ausgang eines elektronischen Bauelementes (4), wobei dem phasensensitiven Messelement (1) das periodische Sig­ nal (CLK) und das Ausgangssignal (DQ, DQS) zugeführt wird, wobei das phasensensitive Messelement so gestaltet ist, um eine elektrische Größe zu messen, die einen Mittelwert der Phasenverschiebung (ϕ) zwischen dem periodischen Signal (CLK) und dem Ausgangssignal (DQ, DQS) repräsentiert.

11. Verwendung nach Anspruch 10, wobei die elektrische Größe eine Spannung ist und das phasensensitive Messelement (1) eine Spannungsmesseinrichtung umfasst, um die Spannung zu messen.

12. Verwendung nach Anspruch 11 oder 12, wobei als phasensensitives Messelement (1) ein Exklusiv-Oder-Gatter mit zwei Eingängen verwendet wird, deren zwei Eingänge mit dem periodischen Signal (CLK) und dem Ausgangssignal (DQ, DQS) verbunden werden.

13. Verwendung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, wobei als phasensensitives Element ein analoger Phasendetektor ver­ wendet wird, der eine Step-Recovery-Diode umfasst.