DE10123062A1 - Vorrichtung und Verfahren zum Bewegen von Substraten mit Bewegungskopplung - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Bewegen von Substraten mit Bewegungskopplung

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DE10123062A1 DE2001123062 DE10123062A DE10123062A1 DE 10123062 A1 DE10123062 A1 DE 10123062A1 DE 2001123062 DE2001123062 DE 2001123062 DE 10123062 A DE10123062 A DE 10123062A DE 10123062 A1 DE10123062 A1 DE 10123062A1
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conveying
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Jochen Gutscher
Roland Wagner
Bernd Mahner
Frank Michels
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Steag Hamatech AG
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Steag Hamatech AG
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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