TW546239B - Device and method for moving substrates with motion coupling - Google Patents

Description

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五、發明說明（1.) 本發明係關於-種推動基板之裝置，該裝置具有一第一 推進裝置W及至少一李馬合裝置，用來協調第一推進裝置之 推進運動及第二推進裝置之推進運動。除此之外，本發明亦 關於一種相對應之方法，用來推動基板。 例如CD及DVD之製造，甚至包括半導體元件在内，均 採用此類型之裝置及方法。前述之基板，係指CD及dvd之 碟片或半綠片，或者是碎晶薄片。該等基板將在生產線上， 進行不同之程序。而各個程序都需要適當之機構來輸送該等 基板。 典型之基板冷卻及乾燥，皆需置於冷卻及乾燥線上，而 基板則豎JL在該等線上，以水平方式推進。另一種選擇為將 基板放在冷卻或乾燥塔中冷卻或乾燥，而塔中可以放置許多 在軸向上層層相疊在一起之基板，並經由垂直方向來輸送。 基板通常皆由冷卻塔之底層輸送進來，然後由上層取出。三 條平行運轉之輸送帶將基板往上輸送，而且輸送帶上面均設 有齒列，齒列上面則放著基板。光學感應器係掌握一片新基 板在冷卻塔入口處之製備狀態，並控制輸送帶之運轉，以便 新基板被收納至冷卻塔裡面。 電子式之輸送帶運轉控制，以及利用感應器來做輸送運 動’不僅昂貴，而且容易故障。感應器之污染、或基板之表 面光學特性改變時，舉例而言，都需要採取適當之清潔或是 校正措施。此外，冷卻塔這種與基板到來之節奏同步之輸送 運動方式，相對來說均花費不貲。 因此，本發明之目的在於提出一推動基板之裝置，其相 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝！丨丨丨丨訂—--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546239

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 對之製造及維修，在經濟上均較為便宜。 根據本發明，此_之解決方式係透過— f—姆⑽合裝i， 用來“周呆-推進裝置之推進運動及第二推 動，而透過耦合裝置，就能將第二推進裝 ^進： 遞給罘-推進裝置作為動力，及/ 置用推進裝置作為動力。如此；= 及用來作^ft運動，就可以用來驅動第—推進裝置，以 用來作為基板進-步之輸送之同步 =第:推進裝置用以驅動第二推進裝置之運動種==出 而孩万式職高隸之可靠歧贿性。 娘2裝置具有―以如下方式來達成的之優良架構：將-裝置上用來製備基板之元件之直線運動，轉 在第—推進裝置上之元件之圓周運動，以便進—步輸 执合裝置具有i塞時，特別具有優點，因為 二直線運動可以糊該活塞來截取，並傳遞給 田第推進裝置至少含有一具備驅動輪之輸送帶 驅動輪係利雌合裝絲加师動時，便能展現其優點 於此種驅動方式而言，τ咖祕特別合適， 心平::且分糊周方向上之長= < —· u此來，第一推進裝置逐步之運動，就备直 接入弟二推進裝置之製備運動同步。 曰

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546239 A7 一 --—------—----- 五、發明說明（3·) 本發明將參考圖式進一步加以說明，圖式如下· 圖一本發明之冷卻裝置之透視圖； 圖二一耦合裝置之側視圖；及 圖三圖二之耦合裝置之透視圖。 圖-所示用來推動基板之裝置，係根據本發明一優良之 實施形式而來。由-®盤桌板1所製備之基板2，係㈣一 起降裝置3輸送至-冷卻裝置4中。該圓盤桌板i具有一碟 片桌5，而基板2在前-製程步驟時，便置於該碟片桌裡面。 在該製程步驟中，典型之方式為紫外線硬化程序，透過該程 序，可以把-比如說DVD之半療片黏結在一起。在該製程 步驟之後，通常皆把該片基板2送至一例如ETA測量裝置 中、，以進行光學測量。但在此處，基板2最高只能暴露在3〇 C之溫度之下。因此，需要預先把基板2加以適當地冷卻。 其間所切入之冷卻裝置4 ’則是為該步驟而設。一如圖上所 示，該冷卻裝置4係處在一收納許多基板2之狀態下，並利 用冷氣流加以冷卻。若為乾燥裝置，則是把適當的熱氣傳送 至基板2上。 垂直式輸送帶或傳送帶6，本例具有三個，係把基板2 由冷卻裝置4下方之入口，輸送至冷卻裝置4上方之出口。 輸送帶6上設有齒列7，而基板2則是靠在這些齒列上來進 行往上走之垂直輸送。此外，輸送帶6分別由一對滾筒8加 以推動，而圖示則僅顯示其中一驅動滾筒。 基板2裝填至冷卻裝置4裡時，必須把碟片桌5直接放 置在冷卻裝置4之入口處。起降裝置3係利用一中心活塞9， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4$格（21G X 297公爱) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 n n n I^r«»J· I emme n n l> n n I · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546239 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（4·) 從碟片桌5裡將基板2舉起來。在中心活塞9四周，於碟片 桌5半徑之外所设置之驅動活塞iq，會在頂起的運動中，以 其額面頂在一冷卻裝置4上所設置之耦合連桿Π之額面上。 其中一驅動活塞10，會在其頂起之運動中，由/專門為此而 设之孔12刺穿過圓盤桌板丨。另外兩個驅動活塞1〇則設置 在圓盤桌板1的範圍之外。 耦合連桿11係作為耦合裝置13之截取元件，圖二及圖 二有其更詳細之圖式。此外，耦合裝置13還包栝一彈簧單元 14，以便耦合連桿11在起降裝置3之驅動連桿1〇之擎起運 動之後’能夠再回復到起始位置。 輸送τ 6之驅動滾筒8，具有一些由軸心向外伸出之棒 狀大出物15，該哭出物可以在滾筒8之外圍附近，以規律之 間距來設置。孩哭出物15也可以設置在與滾筒8結合在一起 之側緣16上。一設置在耦合連桿u上之齒17，在耦合連桿 η的擎起運動時，咬合在其中一個突出物15上，轉動滚筒8, 並因此而把輸送帶6與基板2 一起往上推動。此時，輸送帶 6亡之齒就會去抓取中心活塞9所舉起之基板2，並將其置入 郃裝置4中。在冷卻裝置4之上方，同樣也有—位在最上 方之基板2被釋放出來，以便繼續被輸送。 :、耦合裝置13之齒17係可以偏轉地架設在一轴頸19上， 而θ轴項之軸〜則垂直於耦合連桿n，以及垂直於滾筒8之 。其中，齒17朝向滾筒8之部份，只能向上偏轉，以便 & 起運動之際’说夠利用驅動連桿1〇來帶動侧緣上的 大出物15，以及在退出運動之際，利用彈费14使其滑過一 紐尺度翻 標準（CNS)A4^iT2_1Q χ 297 公釐~-~ - --裝---— 1丨丨訂·丨—丨丨丨丨丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 546239 A7 五、發明說明（5·) 個或多個突出物15。 6、二H置18阻止了滾筒8之逆轉，因此也阻止輸送帶 生H 置雜送帶6上之練，可能目為重力而產 吉所示，該定位裝置18之架設可以偏轉，並具 相對ί ^ Γ物15以—般情形搭配作用之適#凹口，而且 相對於咖8之轴心而言，基本上設置在齒Π之對面。 、、在本發明之裝置起降裝置3不伽來舉起，以 二P:置4製備基板2而設’該裝置還同時作為基板2在冷 浐：心〈繼績推進之用。如此一來’即可彼此協調擎舉 私序和繼娜進之程序，也就是使其同步。 在圖示之實施形式中，輸送帶6將冷卻裝置4中之基板 ，上往下缺。在此情況下，練2之製備以及用來搞合 f個推魏蚊祕健13之_枝，㈣財地加以配 置。 此外，有另一可行之方式為，輸送帶6之運動與-未圖 ^《取件裝置《運動相搞合，而非與起降裝置13為基板^ ^製備之運動她合。但在任何情形下，機械式之核合裝置 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3均可為個別之運動提供一可靠之同步。 除W述之耦合裝置13外，有—變化係在其中一條輸送帶 6之一或兩個滾筒8上’於循環時將其卡在一預設之位置上。 ^此-來，可同時避免輸送帶6之逆轉，否則，由於基板 之重力之緣故，依然需要利用適當之定位或煞車裝置U來 加以避免。 本發明用來推動基板之裝置之另一種變化，係採用水平 卜紙張尺度麵中關家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 546239 A7 _B7_ 五、發明說明（6·) 式之冷卻或乾燥線，而其推進之運動，係以機械方式與前 置、或是後續之製程單元相耦合。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Bn i n n n ϋ n n · 1· n n tmt i n n 一一 · ti —a— n n n n mMt I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

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   申請專利範圍 3· i，-種推動紐⑵之裝置，該裝置射-第— (6、卟以及-轉合裝置⑴），用來協調第一推進j (6、8)《推進運動及第二推進裝置⑶之 = 其特徵為，利_合裝置⑼，可以將第二推進裝置I’ 《推進運動，傳遞給第一推_置（6、8)作為動力 /或將第-推進裝置（6、8)之推進運動， 進裝置（3)作為動力。 弟—推 2.根據中請專鄕_丨爾述之裝置，其巾，韓合 (13)可將一推進裝置（3 ; 6、8)上之元件（1〇)之直 線運動，轉化成另-減裝置（6、8 ; 3)上之元 之圓周運動。 根據申請糊職第2傭述之裝置，其巾，摘合裝置 (、）八有活墓或疋一_合連桿（11 )，利用該活塞即 可截取推進裝置（3 ; 6、8)之元件之直線運動，並傳 遞給另一推進裝置（6、8; 3)之元件。 4·根據申^專利範圍第1項至第3項中任-項所述之裝置， 其中’第一推進裝置（6、8)至少含有一具備驅動輪⑻ 之輪送γ (6) ’而該驅動輪則利用耦合裝置（13)加以驅 動。 5·根據申請專利範圍帛4項所述之裝置，其巾，在驅動輪 (8)、或一與其相耦合之侧緣（16)上，設有許多基本上 與旋轉軸心平行、且分伟在圓周方向上之長桿狀元件或突 出物（15)，而驅動輪可以藉由該元件來加以驅動。 6·根據申請專利範圍第5項所述之裝置，其中，搞合裝置 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · n H —1 n n n n 訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 G張尺度適用準(cnsIm規格(21〒 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 546239 A8 g ----^___ 六、申請專利範圍 (13)包含一安裝在耦合連桿（u )上之齒狀元件（17)， 該元件基本上能夠在耦合連桿（u )之擎舉運動之垂直方 向上偏轉，而且在驅動該驅動輪（8)時，至少能夠與至 少一突出物（15)作有效之結合。 7·根據申請專利範圍第5項或第6項所述之裝置，其中，耦 合裝置（13)包含一定位裝置（18)，該裝置至少與一突 出物（15)搭配運作，使滾筒（8)只能朝一方向旋轉。 8· —種推動基板之方法，利用一尤其是非連續性之第一推進 運動與第二推進運動相耦合，其特徵為，該耦合僅利用機 械之方式來產生。 9·根據申請專利範圍第8項所述之方法，其中，該耦合係將 直線運動轉化成圓周運動。 10·根據申請專利範圍第9項所述之方法，其中，該耦合係利 用一活塞（11)來達成，活塞係用來截取直線運動，並將 其轉化成圓周運動。 u·根射請專利範®第8項至第1G項巾任—項所述之方 法，其中，第一推進運動係利用至少一内含驅動輪（8) 之輸送帶（6)來產生，而驅動輪則經由機械搞合之方式 來驅動。 12.根據申請專利範圍第11項所述之方法，其中，驅動輪 (8)、或-與其她合之側緣（16)上，設有許多基本上 與旋轉軸心平行’且分佈在圓周方向上的長桿狀元件或突 出物（15)，而驅動輪（8)可以藉由該元件來加以驅動。 ΐ紙張尺度適用家標準（CNS)A4規格⑽χ挪公髮1------ (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) --------t -------- . -12- 546239 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 13.根據申請專利範圍第11項或第12項所述之方法，其中， 利用一定位裝置（18)，即可保證驅動輪（8)基本上只能 朝一方向旋轉。 ------------裝---- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂--------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13-